JPH0671040B2 - ウェーハカセット搬送機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ウエーハカセット搬送機構に係り、特にウエ
ーハがカセット内で振動することによって生ずるウエー
ハのエッジの欠けなどを防止する機構を持たせたウエー
ハカセット搬送機構に関する。

「従来の技術」 半導体ウエーハは、一般にウエーハカセットと呼ばれる
収納具に複数枚数が収納されており、各工程内及び工程
間の搬送はこの収納具に入った状態で行なわれる。ウエ
ーハカセットはその内部に複数のガイド溝が設けられて
おり、この溝にウエーハをかん合させて立てて保持する
のであるが、この溝はウエーハの出し入れや各種の厚さ
のウエーハに対して同一のカセットを使用するためなど
の理由によりウエーハの厚さに対して十分に幅広になっ
ている。したがって、ウエーハカセット運搬時にウエー
ハが振動する。この搬送を人手によって行なう場合には
搬送時の振動が問題となることは、少ないが、近年の自
動搬送のように機械的に搬送を行なう場合にはその振動
によってウエーハ表面に形成したフォトレジスト膜、CV
D膜などのウエーハエッジ部分での損傷やそれらによる
ゴミの発生などの問題があることがわかった。

第１図、第２図は各々従来のウエーハカセット搬送機構
の外観図であって、第１図の例ではガイドレール１にか
ん合したキャリア２にウエーハカセット保持用ラッチ3,
4が設けられており、複数の半導体ウエーハ６が収納さ
れたウエーハカセット５がこれらのラッチによって保持
されて運搬される。第２図の例では自走式のキャリア７
上にウエーハカセット５が載置された状態で運搬され
る。第１図、第２図のような自動搬送系ではどうしても
加減速時や動作時にある程度の振動を発生するが、それ
によってウエーハの溝とかん合しているウエーハのエッ
ジの部分が溝とぶつかり合ってその部分からゴミが発生
する。ゴミはウエーハ上に設けた各種の膜の成分や、ウ
エーハ自体の欠けなどによるものがあるが、これらのゴ
ミはウエーハの素子領域に付着すると以後の処理工程で
素子不良を引き起こす原因となる。

このような、ウエーハの移動時にウエーハがカセットの
隔壁に接触して加工面に傷やチッピングの発生の問題点
を解決するために、カセットの脚部の前後の高さを５な
いし10mmほど変えた構造として隔壁板に傾きを持たせウ
エーハの一方の面がカセットの隔壁と非接触となるよう
にすることが特開昭59-61942号公報に記載されている。

内部にウエーハを保管したこのようなカセットを積み重
ねることは、不安定であり、かつ、片方の脚部に余分な
空間が存在し、カセット自体の保管に当たって無駄な空
間が必要となるとともに、搬送に当たってキャリアがカ
セットを保持用ラチェットによって保持しようとすると
きに、傾斜したものを捕まえるための余分な機構が必要
となるなどの問題があった。

また、ウェハ処理用のバスケットに、ウエーハをそれぞ
れ斜めに保持する複数の支持板を設けることが実開昭58
-120643号公報に記載されている。このバスケットは、
支持板を斜めに固定して設けているため同じ枚数のウエ
ーハを保管するには余分な空間が必要となるものであ
る。

さらに、特開昭56-120124号公報には、耐熱性ボートへ
のウエーハの入替え時に耐熱性ボートを傾斜した台の上
に置いてウエーハの傾き方向を揃えウエーハの作業を自
動化することが示されている。この方法は、耐熱ボート
を載置するための特別の装置を必要とするものであり、
ウエーハの搬送時における問題についてなんら考慮され
ていないものである。

実公昭57-58764号公報には、ウエーハを所定数配列させ
る治具搆体が示されている。これは、ウエーハ周縁を嵌
挿する溝を設けた支持棒を所要幅を持って対向させてそ
の両端を支持枠で枢着保持させ、各支持棒と支持枠の取
付け角度を調整して支持棒の溝の整列角度を調整自在と
するものであるが、ウエーハの出し入れを簡単にできる
ようにするためのものであり、支持棒に設けた溝を傾斜
させる機構を有するものである。ウエーは搬送時の問題
についてはなんら考慮するものではない。

「発明が解決しようとする課題」 本発明は、搬送機構にカセット保持機能を有する簡単な
傾斜手段を付与するだけで、従来のウエーハカセットを
用いてもウエーハカセット内でウエーハがほとんど振動
しないウエーハカセット搬送機構を提供することを目的
とする。

「課題を解決するための手段」 本発明は、半導体ウエーハの厚さに対して幅広であり前
記ウエーハの周縁を収納するガイド溝を複数併設すると
ともに前記ウエーハの大半を収納するウエーハカセット
の搬送機構において、半導体製造の工程内及び工程間を
結んだガイドレールと、このガイドレールにかん合して
前記カセットを搬送するキャリアと、該キャリアに設け
られ、カセット保持機能を有する、カセット着脱時に０
度（水平）に設定されカセット保持後の搬送時に５度乃
至45度の傾きにセットされる傾斜手段を設けることによ
り、上記の目的を達成するものである。

本発明の特徴は、半導体ウエーハを収納したウエーハカ
セットを搬送するウエーハカセット搬送機構において、
この半導体ウエーハが重力方向に対してある傾きを有す
るようにウエーハカセットが保持される機構を有するウ
エーハカセット搬送機構にある。カセットの傾きはウエ
ーハの傾きが５度〜45度になるように規定されることが
望ましい。特にウエーハが10度〜25度位までの範囲にあ
ると、カセットに加えられる加速度などとの関係で最も
好ましい特性が得られる。

以下本発明の実施例を図面とともに説明する。

第３図は各々本発明の一実施例の外観図である。

「実施例１」 第３図は第１図に示した搬送機構に本発明を適用した例
である。

キャリアは、ガイドレール１にかん合している台車部分
８とカセットを保持するラッチ3,4のベースとなる基台
９とから成る。ここでラッチ3,4はカセットを保持する
機能を有する手段を構成し、基台９は台車８に対する角
度を変化させる機能を有する傾斜手段を構成している。
この角度は、ウエーハカセット５を保持用ラッチ3,4に
よって着脱する時は０度に設定され、カセットを保持後
本実施例では10度の傾きにセットされる。これによって
ウエーハは重力方向に対して約10度の傾きを持つので、
ウエーハの裏面はカセットの溝の一つの面と密着し、し
たがってキャリアの動作、停止時にも溝内で振動するこ
とがなくなる。

「発明の効果」 本発明は、高いクリーン度を要求される半導体製造の工
程及び工程間の半導体ウエーハのカセット搬送機構にお
いて、これらの工程及び工程間にガイドレールを設け
て、前記ウエーハ表面にホコリやゴミの付着しにくい略
重力方向に前記ウエーハを収納するカセットキャリアに
保持するとともに、さらに前記カセットを搬送時に５度
乃至45度に保持することにより、前記ウエーハがガイド
溝の中で振動して破損したり、ゴミを発生することがほ
とんどない傾きを前記カセットに収納した全てのウエー
ハに一様に与えることができる。又、前記カセットの傾
きをキャリアに設けた傾斜手段により行なうので、この
キャリアから取りはずしたカセットは水平な保持台の上
で、収納したウエーハを略重力方向に保つのでクリーン
度を保つ上で好都合であるとともに半導体製造装置にお
ける取扱に好都合である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は各々従来のウエーハカセット搬送機構
の外観図、第３図は第１図のウエーハカセット搬送機構
に本発明を適用した実施例である。 なお図において、１……ガイドレール、２……キャリ
ア、3,4……ウエーハカセット保持用ラッチ、５……ウ
エーハカセット、６……ウエーハ、７……自走式のキャ
リア、８……台車部分、９……基台である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウェーハの厚さに対して幅広であり
   前記ウェーハの周縁を収納するガイド溝を複数並設する
   とともに前記ウェーハの大半を収納するウェーハカセッ
   トの搬送機構において、 半導体製造の工程内及び工程間を結んだガイドレール
   と、 このガイドレールに嵌合して前記カセットを搬送するキ
   ャリアと、 このキャリアに設けられカセット保持機能を有しカセッ
   ト着脱時に０度に設定されカセット保持後の搬送時に５
   度乃至45度の傾きにセットされる傾斜手段と、 を設けたことを特徴とするウェーハカセット搬送機構。