JPH03156949A - Ｉｃリード曲り検出方式 - Google Patents
Ｉｃリード曲り検出方式Info
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- JPH03156949A JPH03156949A JP29701889A JP29701889A JPH03156949A JP H03156949 A JPH03156949 A JP H03156949A JP 29701889 A JP29701889 A JP 29701889A JP 29701889 A JP29701889 A JP 29701889A JP H03156949 A JPH03156949 A JP H03156949A
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- leads
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- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＩＣリード曲り検出方式に関し、特に微細なリ
ードピッチを有しプリント基板への精密接合が必要なＩ
Ｃの検査に適用されるＩＣリード曲り検出方式に関する
。
ードピッチを有しプリント基板への精密接合が必要なＩ
Ｃの検査に適用されるＩＣリード曲り検出方式に関する
。
従来、この種の微細なリードピッチを有しプリント基板
への精密接合が必要なＩＣに対するＩＣリード曲りの検
出は、リードを含む平面に垂直な位置に配置した二次元
ＣＣＤカメラにより、リード先端部を撮影することによ
り行われている。
への精密接合が必要なＩＣに対するＩＣリード曲りの検
出は、リードを含む平面に垂直な位置に配置した二次元
ＣＣＤカメラにより、リード先端部を撮影することによ
り行われている。
第４図は従来のＩＣリード曲り検出方式の一例を示す構
成図である。
成図である。
第４図に示すＩＣリード曲り検出方式は、ＩＣ５の側面
に一列に配列されているリード６を含む平面Ａの両側に
対向して配置された二次元ＣＯＤカメラ８及び照明系９
と、二次元ＣＣＤカメラ８の出力を処理する画像処理部
１０とを含んで構成されている。
に一列に配列されているリード６を含む平面Ａの両側に
対向して配置された二次元ＣＯＤカメラ８及び照明系９
と、二次元ＣＣＤカメラ８の出力を処理する画像処理部
１０とを含んで構成されている。
この構成においては、照明系９から発せられた光の一部
がリード６により遮られ、残りが二次元ＣＣＤカメラ８
に捕らえられることにより、画像処理部１０からは第５
図に示すリード先端部の画像が得られる。この画像のリ
ードピッチと正しいリードピッチとの比較により、リー
ド６を含む平面内におけるリード曲り（図中のＢ参照）
が検出できる。
がリード６により遮られ、残りが二次元ＣＣＤカメラ８
に捕らえられることにより、画像処理部１０からは第５
図に示すリード先端部の画像が得られる。この画像のリ
ードピッチと正しいリードピッチとの比較により、リー
ド６を含む平面内におけるリード曲り（図中のＢ参照）
が検出できる。
上述した従来のＩＣリード曲り検出方式では、リードを
含む平面内の曲りは検出できるが、リードを含む平面に
垂直な方向へのリード曲りは検出できないという欠点が
ある。
含む平面内の曲りは検出できるが、リードを含む平面に
垂直な方向へのリード曲りは検出できないという欠点が
ある。
本発明の目的は、リードを含む平面内の曲りのみでなく
それと垂直な方向のリード曲りも検出できるＩＣリード
曲り検出方式を提供することである。
それと垂直な方向のリード曲りも検出できるＩＣリード
曲り検出方式を提供することである。
本発明のＩＣリード曲り検出方式は、ＩＣの側面に一列
に配列されたリードの先端部のみを周囲の温度に対して
所定の温度差が生じるように側方の離れた位置から加熱
するリード先端加熱部と、前記リードの延長線上に位置
し加熱されたリード端面から放射する赤外線を捕捉する
赤外受光部と、この赤外受光部の出力に接続され熱画像
データを発生する赤外映像装置と、前記熱画像データか
ら前記リード端面の画像を抽出する画像処理部とを含ん
で構成されている。
に配列されたリードの先端部のみを周囲の温度に対して
所定の温度差が生じるように側方の離れた位置から加熱
するリード先端加熱部と、前記リードの延長線上に位置
し加熱されたリード端面から放射する赤外線を捕捉する
赤外受光部と、この赤外受光部の出力に接続され熱画像
データを発生する赤外映像装置と、前記熱画像データか
ら前記リード端面の画像を抽出する画像処理部とを含ん
で構成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
第１図に示すＩＣリード曲り検出方式は、ＩＣ５の側面
に一列に配列されているリード６の先端部を側方の離れ
た位置から加熱するリード先端加熱部１と、リード６の
延長線上にあり加熱されたリード端面から放射される赤
外線を捕捉する赤外受光部２と、その出力から熱画像デ
ータを得る赤外映像装置３と、その出力からリード端面
の画像を抽出し表示する画像処理部４とを含んで構成さ
れている。
に一列に配列されているリード６の先端部を側方の離れ
た位置から加熱するリード先端加熱部１と、リード６の
延長線上にあり加熱されたリード端面から放射される赤
外線を捕捉する赤外受光部２と、その出力から熱画像デ
ータを得る赤外映像装置３と、その出力からリード端面
の画像を抽出し表示する画像処理部４とを含んで構成さ
れている。
リード先端加熱部１により加熱したリード端面からの赤
外線を赤外受光部２により捕捉すると、赤外映像装置３
からは第２図のような温度分布を示す熱画像に対応した
熱画像データが得られる。
外線を赤外受光部２により捕捉すると、赤外映像装置３
からは第２図のような温度分布を示す熱画像に対応した
熱画像データが得られる。
第２図において、破線で示したＩＣ５及びリード６は実
際の熱画像には表示されないが、リード端面の温度より
も低い温度である。
際の熱画像には表示されないが、リード端面の温度より
も低い温度である。
この熱画像データを画像処理部４で画像処理し所定の温
度以上の部分のみを表示させれば、第３図に示すように
リード端面画像７のみを表示させることができる。この
画像から、リード６を含む平面内および平面と垂直なリ
ード曲りを容易に検出することができる。
度以上の部分のみを表示させれば、第３図に示すように
リード端面画像７のみを表示させることができる。この
画像から、リード６を含む平面内および平面と垂直なリ
ード曲りを容易に検出することができる。
以上詳細に説明したように、本発明のＩＣリード曲り検
出方式は、リード先端を側方から加熱して、リード端面
から放射される赤外線から熱画像データを得て、リード
端面形状を検出するため、リードを含む平面内のリード
曲りのみでなくリードを含む平面に対して垂直な方向の
リード曲りも容易に検出できる効果がある。
出方式は、リード先端を側方から加熱して、リード端面
から放射される赤外線から熱画像データを得て、リード
端面形状を検出するため、リードを含む平面内のリード
曲りのみでなくリードを含む平面に対して垂直な方向の
リード曲りも容易に検出できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第１図の
赤外映像装置の熱画像データの一例を示す図、第３図は
第１図の画像処理部の出力画像の一例を示す図、第４図
は従来のＩＣリード曲り検出方式の一例を示す構成図、
第５図は第４図の二次元ＣＣＤカメラの出力画像の一例
を示す図である。 １・・・・・・リード先端加熱部、２・・・・・・赤外
受光部、３・・・・・・赤外映像装置、４，１０・・・
−・・画像処理部、５・・・・・・ＩＣ５６・・・・・
・リード、７・−・・・・リード端面画像、８・・・・
・−二次元ＣＣＤカメラ、９・−・・・・照明系。
赤外映像装置の熱画像データの一例を示す図、第３図は
第１図の画像処理部の出力画像の一例を示す図、第４図
は従来のＩＣリード曲り検出方式の一例を示す構成図、
第５図は第４図の二次元ＣＣＤカメラの出力画像の一例
を示す図である。 １・・・・・・リード先端加熱部、２・・・・・・赤外
受光部、３・・・・・・赤外映像装置、４，１０・・・
−・・画像処理部、５・・・・・・ＩＣ５６・・・・・
・リード、７・−・・・・リード端面画像、８・・・・
・−二次元ＣＣＤカメラ、９・−・・・・照明系。
Claims (1)
- ＩＣの側面に一列に配列されたリードの先端部のみを周
囲の温度に対して所定の温度差が生じるように側方の離
れた位置から加熱するリード先端加熱部と、前記リード
の延長線上に位置し加熱されたリード端面から放射する
赤外線を捕捉する赤外受光部と、この赤外受光部の出力
に接続され熱画像データを発生する赤外映像装置と、前
記熱画像データから前記リード端面の画像を抽出する画
像処理部とを含むことを特徴とするＩＣリード曲り検出
方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29701889A JPH03156949A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Ｉｃリード曲り検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29701889A JPH03156949A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Ｉｃリード曲り検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156949A true JPH03156949A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=17841179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29701889A Pending JPH03156949A (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | Ｉｃリード曲り検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03156949A (ja) |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP29701889A patent/JPH03156949A/ja active Pending
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