JPH03158014A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPH03158014A JPH03158014A JP29680189A JP29680189A JPH03158014A JP H03158014 A JPH03158014 A JP H03158014A JP 29680189 A JP29680189 A JP 29680189A JP 29680189 A JP29680189 A JP 29680189A JP H03158014 A JPH03158014 A JP H03158014A
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- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode fingers
- comb
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
弾性表面波素子の構造に関し、
弾性表面波素子の通過帯域特性を改善することを目的と
し、 圧電体基板上に、弾性表面波を励振・受信する複数の電
極指を有する櫛形構成の入力用電極と、複数の電極指を
有する櫛形構成の出力用電極とが少なくとも配設されて
なる弾性表面波素子において、前記入力用および出力用
電極の電極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、そ
の交差方向に沿って変化させて弾性表面波素子を構成す
る。
し、 圧電体基板上に、弾性表面波を励振・受信する複数の電
極指を有する櫛形構成の入力用電極と、複数の電極指を
有する櫛形構成の出力用電極とが少なくとも配設されて
なる弾性表面波素子において、前記入力用および出力用
電極の電極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、そ
の交差方向に沿って変化させて弾性表面波素子を構成す
る。
本発明は弾性表面波素子、とくに、弾性表面波フィルタ
の入出力電極の構成に関する。
の入出力電極の構成に関する。
近年、情報処理機器や通信機器の高速化にともなって、
搬送波や信号波の周波数帯は益々高周波域にシフトして
きており、それに対応して高周波における安定度の高い
基準信号の発生や２位相同期用の素子、あるいは、フィ
ルタなどが必要となり、最近はこれらの用途に弾性表面
波素子、たとえば、弾性表面波フィルタや弾性表面波共
振子が使用されるようになってきた。
搬送波や信号波の周波数帯は益々高周波域にシフトして
きており、それに対応して高周波における安定度の高い
基準信号の発生や２位相同期用の素子、あるいは、フィ
ルタなどが必要となり、最近はこれらの用途に弾性表面
波素子、たとえば、弾性表面波フィルタや弾性表面波共
振子が使用されるようになってきた。
今後、その小形、安価という特徴を生かして、自動車電
話、携帯電話などの移動体無線への展開が期待されてお
り、より安価で高性能、たとえば、通過帯域１１の広い
弾性表面波フィルタの開発が求められている。
話、携帯電話などの移動体無線への展開が期待されてお
り、より安価で高性能、たとえば、通過帯域１１の広い
弾性表面波フィルタの開発が求められている。
弾性表面波素子またとえば、弾性表面波フィルタは、電
気−機械結合係数が大きく、しかも周波数の温度係数か
比較的小さい圧電体基板、たとえば、３６°回転Ｙカッ
トーＸ伝播ＬｉＴａ０３（３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ０ｚ
）単結晶基板の上に、入力用および出力用の櫛形電極を
設けた３端子あるいは４端子型素子である。
気−機械結合係数が大きく、しかも周波数の温度係数か
比較的小さい圧電体基板、たとえば、３６°回転Ｙカッ
トーＸ伝播ＬｉＴａ０３（３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａ０ｚ
）単結晶基板の上に、入力用および出力用の櫛形電極を
設けた３端子あるいは４端子型素子である。
櫛形電極（すだれ状電極とも呼ばれる）の櫛歯の巾（Ｌ
）、櫛歯間のスペース（Ｓ）、櫛歯ピッチ（Ｐ）は表面
波の波長をλとすると、通常、Ｌ ＝Ｓ ＝λ／４．Ｐ
＝λ／２といった設計値のものが多い。たとえば、中心
周波数８４０ＭＨ２を得るためには、前記基板ｌのＸ伝
播表面波の音速４０９０ｍ／ｓからλ＝ ４．８８μｍ
が算出され、電極ピッチは２．４４μｍ。
）、櫛歯間のスペース（Ｓ）、櫛歯ピッチ（Ｐ）は表面
波の波長をλとすると、通常、Ｌ ＝Ｓ ＝λ／４．Ｐ
＝λ／２といった設計値のものが多い。たとえば、中心
周波数８４０ＭＨ２を得るためには、前記基板ｌのＸ伝
播表面波の音速４０９０ｍ／ｓからλ＝ ４．８８μｍ
が算出され、電極ピッチは２．４４μｍ。
電極巾および電極間隔は１．２２μｍといった値となる
。
。
第１Ｏ図は従来の弾性表面波素子の電極構成の例を示す
図で、いわゆる、正規型−正規型電極による弾性表面波
フィルタの場合であり、同図（イ）は平面図、同図（ロ
）はＸ−Ｘ断面図である。
図で、いわゆる、正規型−正規型電極による弾性表面波
フィルタの場合であり、同図（イ）は平面図、同図（ロ
）はＸ−Ｘ断面図である。
電極は通常軽い金属、たとえば、圧電体基板ｌの上にＡ
Ｊなとの薄膜金属を蒸着し、ホトエツチング法により所
要の巾とピッチに形成され、各電極の対数は所要の帯域
中に応じて決められる。
Ｊなとの薄膜金属を蒸着し、ホトエツチング法により所
要の巾とピッチに形成され、各電極の対数は所要の帯域
中に応じて決められる。
図中、１は圧電体基板で、たとえば、３６°Ｙ−Ｘ Ｌ
ｉＴａＯ５単結晶基板、２°はＡｌからなる櫛形の入力
用電極で、たとえば、電極ピッチは２．４４μｍ。
ｉＴａＯ５単結晶基板、２°はＡｌからなる櫛形の入力
用電極で、たとえば、電極ピッチは２．４４μｍ。
電極巾および電極間隔はいずれも一様で１．２２μｍ９
電極の厚さは１３０ｎｍで一定であり、電極対数は３８
対である。３′は同じ＜ ＡＪ７からなる櫛形の出力
用電極で、たとえば、電極対数は５７対てあり、その他
は入力用電極２′と同様４こ構成されている。
電極の厚さは１３０ｎｍで一定であり、電極対数は３８
対である。３′は同じ＜ ＡＪ７からなる櫛形の出力
用電極で、たとえば、電極対数は５７対てあり、その他
は入力用電極２′と同様４こ構成されている。
２０′ａ、 ２０’ ｂおよび３０’ ａ、 ３０’
ｂは入力用電極２′および出力用電極３゛の電極指で、
その巾ｄｏ’および厚さｔｏは全て一定である。
ｂは入力用電極２′および出力用電極３゛の電極指で、
その巾ｄｏ’および厚さｔｏは全て一定である。
第１１図は従来の弾性表面波素子の通過帯域特性の例を
示す図で、上記第１Ｏ図に示した電極構成例のもの＼周
波数応答特性である。中心周波数ｆ０は８４０ＭＨｚ、
フィルタ帯域内偏差が１ｄＢ以内となる通過帯域中
として約４ ＭＨ２か得られている。
示す図で、上記第１Ｏ図に示した電極構成例のもの＼周
波数応答特性である。中心周波数ｆ０は８４０ＭＨｚ、
フィルタ帯域内偏差が１ｄＢ以内となる通過帯域中
として約４ ＭＨ２か得られている。
梨構成の出力用電極３とが少な（とも配設されてなる弾
性表面波素子において、前記電極指２０および３０のそ
れぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿っ
て変化させて弾性表面波素子を構成することによって解
決することができる。
性表面波素子において、前記電極指２０および３０のそ
れぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿っ
て変化させて弾性表面波素子を構成することによって解
決することができる。
しかし、上記従来例に示したごとき弾性表面波フィルタ
の場合、比較的通過帯域中が狭く、その用途によっては
使用できない。より広い通過帯域中を得るには、たとえ
ば、電極指の長さを変化させる。たとえば、アポタイズ
法などが知られているが、設計・製作が難しく製品歩留
りが悪くなり高価になるといった問題があり、その解決
が必要てあった。
の場合、比較的通過帯域中が狭く、その用途によっては
使用できない。より広い通過帯域中を得るには、たとえ
ば、電極指の長さを変化させる。たとえば、アポタイズ
法などが知られているが、設計・製作が難しく製品歩留
りが悪くなり高価になるといった問題があり、その解決
が必要てあった。
上記の課題は、圧電体基板Ｉ上に、弾性表面波を励振・
受信する複数の電極指２０を有する櫛型構成の入力用電
極２と、複数の電極指３０を有する櫛〔作用〕 圧電帯基板ｌの表面近傍を伝播する弾性表面波は、櫛形
電極部分でその質量の影響を受けて音速か遅くなる。こ
のとき入出力電極の電極指ピッチが一定であれば、波長
は一定であるから音速が変化した分だけ中心周波数が変
化することになる。
受信する複数の電極指２０を有する櫛型構成の入力用電
極２と、複数の電極指３０を有する櫛〔作用〕 圧電帯基板ｌの表面近傍を伝播する弾性表面波は、櫛形
電極部分でその質量の影響を受けて音速か遅くなる。こ
のとき入出力電極の電極指ピッチが一定であれば、波長
は一定であるから音速が変化した分だけ中心周波数が変
化することになる。
したがって、本発明により電極指２０および３０のそれ
ぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿って
変化させることによって、中心周波数が僅かづ＼異なっ
たフィルタを同一基板上に構成したことになり、それだ
け通過帯域中を広げることが可能となるのである。
ぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿って
変化させることによって、中心周波数が僅かづ＼異なっ
たフィルタを同一基板上に構成したことになり、それだ
け通過帯域中を広げることが可能となるのである。
第１図は本発明の第１実施例の電極構成を示す図で、同
図（イ）は平面図、同図（ロ）はＸｚ−Ｘ２断面図、同
図（ロ）は粘−Ｘ１断面図である。
図（イ）は平面図、同図（ロ）はＸｚ−Ｘ２断面図、同
図（ロ）は粘−Ｘ１断面図である。
図中、１は圧電体基板で、たとえば大きさ１．２ｍｍＸ
２．２ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴ
ａＯ３単結晶基板、２はＡｌからなる櫛形の入力用電極
で、たとえば、電極ピッチは２．４４μｍ、電極巾ｄ０
および電極間隔はいずれも−様で１．２２μｍである。
２．２ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの３６°Ｙ −Ｘ ＬｉＴ
ａＯ３単結晶基板、２はＡｌからなる櫛形の入力用電極
で、たとえば、電極ピッチは２．４４μｍ、電極巾ｄ０
および電極間隔はいずれも−様で１．２２μｍである。
電極対数は３８対である。
３は同じ＜ Ａｌからなる櫛形の出力用電極で。
たとえば、電極対数は５７対であり、その他電極ピッチ
、電極巾は入力用電極２と同様に構成されている。
、電極巾は入力用電極２と同様に構成されている。
電極指２０および３０の厚さは、同図（イ）の平面図の
斜線の有無て示したごとく、たとえば、丁度電極指の長
さ方向の中央部を界にして、その厚さを変えである。た
とえば、斜線のない部分の厚さｔ２＝６０ｎｍ、斜線部
分の厚さｔ １＝２００ ｎｍとした。このように電極
指の厚さを交差方向に沿って２段に変化させるには、た
とえば、最初に厚さｔ ＋ ＝２００ ｎ ｍのＡｌの
櫛形入出力電極を形成しておき、厚くする部分、すなわ
ち、斜線部分をホトレジストで覆い、ウェットあるいは
ドライエツチングを行って非斜線部分を所要の厚さに減
らせばよい。
斜線の有無て示したごとく、たとえば、丁度電極指の長
さ方向の中央部を界にして、その厚さを変えである。た
とえば、斜線のない部分の厚さｔ２＝６０ｎｍ、斜線部
分の厚さｔ １＝２００ ｎｍとした。このように電極
指の厚さを交差方向に沿って２段に変化させるには、た
とえば、最初に厚さｔ ＋ ＝２００ ｎ ｍのＡｌの
櫛形入出力電極を形成しておき、厚くする部分、すなわ
ち、斜線部分をホトレジストで覆い、ウェットあるいは
ドライエツチングを行って非斜線部分を所要の厚さに減
らせばよい。
第３図は電極指膜厚（１）と中心周波数（ｆ、）の関係
を示す図で、たとえば、前記第１Ｏ図のような構成の弾
性表面波フィルタにおいて、Ａｌ電極指の厚さを変化さ
せた場合、それに対応して中心周波数が直線的に変化す
ることがわかる。
を示す図で、たとえば、前記第１Ｏ図のような構成の弾
性表面波フィルタにおいて、Ａｌ電極指の厚さを変化さ
せた場合、それに対応して中心周波数が直線的に変化す
ることがわかる。
第４図は本発明の第１実施例の各部分の通過帯域特性を
示す図で、第１図（イ）に示したもの＼罪科線部と斜線
部のそれぞれを別個の素子として扱い、シミュレーショ
ンによる計算結果を示したものである。、同図（イ）は
電極指膜厚ｔ＝６０ｎｍの場合、同図（ロ）は電極指膜
厚ｔ＝２００ｎｍの場合である。８４０ＭＨｚを挟んで
それぞれの中心周波数が上下にシフトしていることがわ
かる。またそれぞれの通過帯域中は前記従来例の場合と
同等である。
示す図で、第１図（イ）に示したもの＼罪科線部と斜線
部のそれぞれを別個の素子として扱い、シミュレーショ
ンによる計算結果を示したものである。、同図（イ）は
電極指膜厚ｔ＝６０ｎｍの場合、同図（ロ）は電極指膜
厚ｔ＝２００ｎｍの場合である。８４０ＭＨｚを挟んで
それぞれの中心周波数が上下にシフトしていることがわ
かる。またそれぞれの通過帯域中は前記従来例の場合と
同等である。
第２図は本発明第１実施例の総合通過帯域特性を示す図
で、前記第１図に示したちの＼罪科線部と斜線部が複合
された１つの弾性表面波フィルタとしての特性である。
で、前記第１図に示したちの＼罪科線部と斜線部が複合
された１つの弾性表面波フィルタとしての特性である。
図かられかるように中心周波数は８４０ＭＨｚ、帯域内
偏差が１ｄＢ以内となる通過帯域中は約２０ＭＨｚと、
従来例の約４ ＭＢ２に比較して大巾に向上した。
偏差が１ｄＢ以内となる通過帯域中は約２０ＭＨｚと、
従来例の約４ ＭＢ２に比較して大巾に向上した。
第５図は本発明の第１実施例の電極指拡大断面図で、前
記第１図の電極指の重量変化の様子をよく理解するため
に示したものである。なお、前記諸国面で説明したもの
と同等の部分については同一符号を付し、かつ、同等部
分についての説明は省略する。
記第１図の電極指の重量変化の様子をよく理解するため
に示したものである。なお、前記諸国面で説明したもの
と同等の部分については同一符号を付し、かつ、同等部
分についての説明は省略する。
第６図は本発明の第２実施例の電極指拡大断面図である
。本実施例では−様な厚さの、たとえばＡｌ電極指（密
度ρｌ）の上に、異なる材質の、たとえば、Ａｕ電極指
（密度ρ２）を部分的に重ねて、電極指のそれぞれの単
位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿って変化させ
た例である。
。本実施例では−様な厚さの、たとえばＡｌ電極指（密
度ρｌ）の上に、異なる材質の、たとえば、Ａｕ電極指
（密度ρ２）を部分的に重ねて、電極指のそれぞれの単
位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿って変化させ
た例である。
第７図は本発明の第３実施例の電極指拡大断面図で、本
実施例では電極指２０および３０の厚さを階段状でなく
、斜めに徐々に、たとえば、直線的に変えて電極指のそ
れぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿っ
て変化させた例である。
実施例では電極指２０および３０の厚さを階段状でなく
、斜めに徐々に、たとえば、直線的に変えて電極指のそ
れぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向に沿っ
て変化させた例である。
第８図は本発明の第４実施例の電極指拡大平面図で、本
実施例では各電極指の厚さは一定とし、その巾をｄ、か
らｄ２に変えて、電極指のそれぞれの単位長さ当たりの
重量を、その交差方向に沿って変化させた例である。
実施例では各電極指の厚さは一定とし、その巾をｄ、か
らｄ２に変えて、電極指のそれぞれの単位長さ当たりの
重量を、その交差方向に沿って変化させた例である。
第９図は本発明の第５実施例の電極指拡大平面図で、本
実施例でも各電極指の厚さは一定とし、その巾ｄを階段
状でなく、斜めに徐々に、たとえば、直線的に変えて電
極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方
向に沿って変化させた例である。
実施例でも各電極指の厚さは一定とし、その巾ｄを階段
状でなく、斜めに徐々に、たとえば、直線的に変えて電
極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方
向に沿って変化させた例である。
なお、上記実施例では、巾あるいは厚さの一方を一定と
し、他方だけを変えた例を示したが、その両方を変えて
電極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差
方向に沿って変化させてもよい。
し、他方だけを変えた例を示したが、その両方を変えて
電極指のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差
方向に沿って変化させてもよい。
以上述べた実施例は例として示したもので、本発明の趣
旨に添うものである限り、使用する素材や電極ピッチ、
電極数など適宜好ましいもの、あるいはその組み合わせ
を用いることができることは言うまでもない。
旨に添うものである限り、使用する素材や電極ピッチ、
電極数など適宜好ましいもの、あるいはその組み合わせ
を用いることができることは言うまでもない。
以上述べたように、本発明によれば電極指２０および３
０のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向
に沿って変化させ、中心周波数が僅かづ＼異なった素子
を同一基板上に形成したのと同等の構成としであるので
、それだけ通過帯域中を広げることが可能となり、弾性
表面波素子、とくに、弾性表面波フィルタの応用範囲の
拡大に寄与するところが極めて大きい。
０のそれぞれの単位長さ当たりの重量を、その交差方向
に沿って変化させ、中心周波数が僅かづ＼異なった素子
を同一基板上に形成したのと同等の構成としであるので
、それだけ通過帯域中を広げることが可能となり、弾性
表面波素子、とくに、弾性表面波フィルタの応用範囲の
拡大に寄与するところが極めて大きい。
第１図は本発明の第１実施例の電極構成を示す図、
第２図は本発明実施例の総合通過帯域特性を示す図、
第３図は電極指膜厚（１）と中心周波数（ｆｏ）を示す
図、 第５図は本発明の第１実施例の電極指拡大断面図、 第６図は本発明の第２実施例の電極指拡大断面図、 第７図は本発明の第３実施例の電極指拡大断面図、 第８図は本発明の第４実施例の電極指拡大平面図、 第９図は本発明の第５実施例の電極指拡大平面図、 第１θ図は従来の弾性表面波素子の電極構成の例を示す
図、 第１１図は従来の弾性表面波素子の通過帯域特性の例を
示す図である。 図において、 ｌは圧電体基板、 ２は入力用電極、 ３は出力用電極、 ２０．３０は電極指である。 史 （イン ユｙｈｚ さ発酪ρ第１でそ・９１ｎ９吟擺八乞示１０第 １
記 ；ン会亀９更啄（ｔｅ）乙ヂｊヒ、口２父オγ（ＴＯ）
の饗１ξ示プ固ダ ３ 」 呵 ごご（へ）自ちｅ月ｉフ隣シ２啼Ｃそ４２月Ｉつ蝉ｒ）
η１才瓜ブ（２びテｄロ２″沿 β 記 察騎甥θダ３寅杷例ｎ電語侶狐べ爵面区！ ・７ ２ 圓７（村＜＝Ｓｔ） ５、！Ｂ９ρ笑１てそマ１１．か鈍さが漣１４担ぞ樗乞
シ阪そ −１−二 １２止 ど 二ｔ５・り弓Ｉフ勺枦’、４ｆ、、＠イΣす／）電オゼ
〉！オ局プニ臥ソ【Ｊナニと日コ配置 ８ 回 杢発岬０不５て５そ９１１０電疫芋広人千二二坪 ｑ
二 （、イ） ＝斗乙ｄ匿シｎ （ニ）Ｘ−Ｘ釘面図 つ′５二も工崎、・つギ卓・＋ｆｌ＆ｒｆｒＪう史号子
１つ９合うｆＡｆｓ、ｌフイクリ゛を、カーフｆ序口×
１０ ２ ワ９０ ６父 ８′１０ ２０ ３Ｃ ４０ ５０ 動 賽 勲 ３７０ 周５ぐ叡（図Ｈｚ） 捉来θ禅・１１波１ｆ通辺病轟忰庄ｎ命ｊ１乏示ｊ運菓 回
図、 第５図は本発明の第１実施例の電極指拡大断面図、 第６図は本発明の第２実施例の電極指拡大断面図、 第７図は本発明の第３実施例の電極指拡大断面図、 第８図は本発明の第４実施例の電極指拡大平面図、 第９図は本発明の第５実施例の電極指拡大平面図、 第１θ図は従来の弾性表面波素子の電極構成の例を示す
図、 第１１図は従来の弾性表面波素子の通過帯域特性の例を
示す図である。 図において、 ｌは圧電体基板、 ２は入力用電極、 ３は出力用電極、 ２０．３０は電極指である。 史 （イン ユｙｈｚ さ発酪ρ第１でそ・９１ｎ９吟擺八乞示１０第 １
記 ；ン会亀９更啄（ｔｅ）乙ヂｊヒ、口２父オγ（ＴＯ）
の饗１ξ示プ固ダ ３ 」 呵 ごご（へ）自ちｅ月ｉフ隣シ２啼Ｃそ４２月Ｉつ蝉ｒ）
η１才瓜ブ（２びテｄロ２″沿 β 記 察騎甥θダ３寅杷例ｎ電語侶狐べ爵面区！ ・７ ２ 圓７（村＜＝Ｓｔ） ５、！Ｂ９ρ笑１てそマ１１．か鈍さが漣１４担ぞ樗乞
シ阪そ −１−二 １２止 ど 二ｔ５・り弓Ｉフ勺枦’、４ｆ、、＠イΣす／）電オゼ
〉！オ局プニ臥ソ【Ｊナニと日コ配置 ８ 回 杢発岬０不５て５そ９１１０電疫芋広人千二二坪 ｑ
二 （、イ） ＝斗乙ｄ匿シｎ （ニ）Ｘ−Ｘ釘面図 つ′５二も工崎、・つギ卓・＋ｆｌ＆ｒｆｒＪう史号子
１つ９合うｆＡｆｓ、ｌフイクリ゛を、カーフｆ序口×
１０ ２ ワ９０ ６父 ８′１０ ２０ ３Ｃ ４０ ５０ 動 賽 勲 ３７０ 周５ぐ叡（図Ｈｚ） 捉来θ禅・１１波１ｆ通辺病轟忰庄ｎ命ｊ１乏示ｊ運菓 回
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 圧電体基板（１）上に、弾性表面波を励振・受信する
複数の電極指（２０）を有する櫛型構成の入力用電極（
２）と、複数の電極指（３０）を有する櫛型構成の出力
用電極（３）とが少なくとも配設されてなる弾性表面波
素子において、 前記電極指（２０，３０）のそれぞれの単位長さ当たり
の重量を、その交差方向に沿って変化させることを特徴
とした弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29680189A JPH03158014A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29680189A JPH03158014A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03158014A true JPH03158014A (ja) | 1991-07-08 |
Family
ID=17838319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29680189A Pending JPH03158014A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03158014A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006078001A1 (ja) * | 2005-01-21 | 2008-06-19 | 国立大学法人 千葉大学 | 弾性表面波装置 |
| US7453334B1 (en) * | 2005-03-21 | 2008-11-18 | Triquint Semiconductor, Inc. | Leaky SAW resonator and method |
| US7965155B2 (en) * | 2006-12-27 | 2011-06-21 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave resonator, and surface acoustic wave filter and antenna duplexer in which the surface acoustic wave resonator is used |
| US8085116B2 (en) * | 2008-03-24 | 2011-12-27 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Elastic wave device with a dielectric layer on the comb-shaped electrodes |
| US20170201229A1 (en) * | 2016-01-13 | 2017-07-13 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave resonator, filter, and duplexer |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP29680189A patent/JPH03158014A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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