JPH03158207A - 柱状体材料の切断方法及び切断装置 - Google Patents
柱状体材料の切断方法及び切断装置Info
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- JPH03158207A JPH03158207A JP29830089A JP29830089A JPH03158207A JP H03158207 A JPH03158207 A JP H03158207A JP 29830089 A JP29830089 A JP 29830089A JP 29830089 A JP29830089 A JP 29830089A JP H03158207 A JPH03158207 A JP H03158207A
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 42
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 2
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Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は柱状体材料の切断方法及びウェハに係り、特に
柱状体材料から薄片状のウェハを切断する柱状体材料の
切断方法及びウェハに関するっ〔従来の技術〕 近年、半導体技術の発達に伴って、シリコンインゴット
は大径化の傾向が顕著で、半導体ウェハを製造するスラ
イシングマシンに要求される性能も益々向上の一途を辿
っている。スライシングマンンは、垂直に支持された置
注状のシリコンインゴットを回転している内周刃に対し
て水平に移動することにより、１枚の薄片状の半導体ウ
ェハに切断する。
柱状体材料から薄片状のウェハを切断する柱状体材料の
切断方法及びウェハに関するっ〔従来の技術〕 近年、半導体技術の発達に伴って、シリコンインゴット
は大径化の傾向が顕著で、半導体ウェハを製造するスラ
イシングマシンに要求される性能も益々向上の一途を辿
っている。スライシングマンンは、垂直に支持された置
注状のシリコンインゴットを回転している内周刃に対し
て水平に移動することにより、１枚の薄片状の半導体ウ
ェハに切断する。
インゴットの切断を行う内周刃は切断を経るにつれて刃
先が摩耗して切れ味が不均一となり、切断時に刃先が軸
方向に変位するため、切断後のウェハに予定外の反りを
生じさせ、精度悪化の原因となっていた。このようなウ
ェハの反りをなくす一手段として、頻繁に刃先をドレッ
シングする方法があるが、生産能率の点から問題がある
。そこで、実開昭６１−１２２８１１号公報記載のスラ
イシングマンンが提案されている。同公報記載のスライ
シングマンンは内周刃の近傍に非接触式変位計を設冒し
、この非接触式変位計によって切断中の内周刃の軸方向
変位を検出し、この検出値を基にインゴ７）を軸方向に
上下動させ、内周刃の変位を一定に（呆つようにしてい
る。
先が摩耗して切れ味が不均一となり、切断時に刃先が軸
方向に変位するため、切断後のウェハに予定外の反りを
生じさせ、精度悪化の原因となっていた。このようなウ
ェハの反りをなくす一手段として、頻繁に刃先をドレッ
シングする方法があるが、生産能率の点から問題がある
。そこで、実開昭６１−１２２８１１号公報記載のスラ
イシングマンンが提案されている。同公報記載のスライ
シングマンンは内周刃の近傍に非接触式変位計を設冒し
、この非接触式変位計によって切断中の内周刃の軸方向
変位を検出し、この検出値を基にインゴ７）を軸方向に
上下動させ、内周刃の変位を一定に（呆つようにしてい
る。
しかしながら、切断中のインゴットには切断時に発生す
る内周刃の送り抵抗（背分力）で撓みが生じているため
、前記公報記載のスラインングマシンのようにインゴッ
トを上下に移動して内周刃の変位を一定（直に制御して
も、内周刃をインゴットの予定切断面と平行に保つこと
ができない欠点がある。
る内周刃の送り抵抗（背分力）で撓みが生じているため
、前記公報記載のスラインングマシンのようにインゴッ
トを上下に移動して内周刃の変位を一定（直に制御して
も、内周刃をインゴットの予定切断面と平行に保つこと
ができない欠点がある。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、柱状
体材料の予定切断面が切断刃に対して平行となるように
柱状体材料の姿勢を制御することにより、精度の高いウ
ェハの生産が可能な柱状体材料の切断方法及びウェハを
提供することを目的とする。
体材料の予定切断面が切断刃に対して平行となるように
柱状体材料の姿勢を制御することにより、精度の高いウ
ェハの生産が可能な柱状体材料の切断方法及びウェハを
提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するために、装置本体に摺動
自在に支持された送りテーブルに、テーブルの移動方向
に直交して柱状体材料を割り出し送りする割り出しスラ
イダが取り付けられ、回転する切断刃によって該注状！
、を材料を薄付けられ、回転する柱状体オ科の切断方法
に於いて、切断時の前記切断刃の軸方向変位量を検出し
、該検出値から前記柱状体材料の予定切断面と、該切断
刃の刃先との角度を算出し、該予定切断面が該切断刃に
対して平行となるよう柱状体材料の姿勢側（卸を行いな
がら切断することを特徴としている。
自在に支持された送りテーブルに、テーブルの移動方向
に直交して柱状体材料を割り出し送りする割り出しスラ
イダが取り付けられ、回転する切断刃によって該注状！
、を材料を薄付けられ、回転する柱状体オ科の切断方法
に於いて、切断時の前記切断刃の軸方向変位量を検出し
、該検出値から前記柱状体材料の予定切断面と、該切断
刃の刃先との角度を算出し、該予定切断面が該切断刃に
対して平行となるよう柱状体材料の姿勢側（卸を行いな
がら切断することを特徴としている。
また、前８己切断刃近傍に設けられ、該切断刃の軸方向
変位量を検出する変位量検出手段と、前記割り出しスラ
イダに設置され、前記変位量検出手段と撓み量検出手段
の検出出力に基づいて、前記柱状体材料の予定切断面が
切断刃に対して平行となるように、該柱状体材料の姿勢
制御を行う駆動手段と、を備えたことを特徴としている
。
変位量を検出する変位量検出手段と、前記割り出しスラ
イダに設置され、前記変位量検出手段と撓み量検出手段
の検出出力に基づいて、前記柱状体材料の予定切断面が
切断刃に対して平行となるように、該柱状体材料の姿勢
制御を行う駆動手段と、を備えたことを特徴としている
。
７作用：
本発明によれば、切断刃の変位量から、柱状体材料の予
定切断面と、刃先の相対角を求め、二のに目対角が０と
なるよう、即ち、柱状体材料の予定切断面が刃先に対し
て平行となるよう、切断中に柱状体材料の姿勢を制御し
て−）る。このため、切断刃の切れ味に影響される二と
なく、柱状体ｔｉｔ科を予定切断面に沿って切断するこ
とが可能である。
定切断面と、刃先の相対角を求め、二のに目対角が０と
なるよう、即ち、柱状体材料の予定切断面が刃先に対し
て平行となるよう、切断中に柱状体材料の姿勢を制御し
て−）る。このため、切断刃の切れ味に影響される二と
なく、柱状体ｔｉｔ科を予定切断面に沿って切断するこ
とが可能である。
以下、添付図面に従って本発明に係る柱状体材料の切断
方法及びウェハの好ましい実施例を詳説する。
方法及びウェハの好ましい実施例を詳説する。
第１図は本発明に係る柱状体オ科のウェハの概略を示す
斜視図である。第１図のスライシングマンンは本体１０
、送りテーブル１２、支柱１４、割り出しスライダ１８
等を主−ヨ構成としている。
斜視図である。第１図のスライシングマンンは本体１０
、送りテーブル１２、支柱１４、割り出しスライダ１８
等を主−ヨ構成としている。
本体ｌＯには送りテーブル１２が矢印Ａ又はＢ方向に摺
動自在に設けられている。また、テーブル１２には支柱
１４が立設されるとともに、支柱１４の側方には割り出
しスライダ１８が設けるれ、シリコンインゴット（柱状
体材料）２０を上下動自在に支持している。割り出しス
ライダ１８にはンリコンインゴント２０の姿勢を制御す
る図示しない圧電素子（駆動手段）が内蔵されている。
動自在に設けられている。また、テーブル１２には支柱
１４が立設されるとともに、支柱１４の側方には割り出
しスライダ１８が設けるれ、シリコンインゴット（柱状
体材料）２０を上下動自在に支持している。割り出しス
ライダ１８にはンリコンインゴント２０の姿勢を制御す
る図示しない圧電素子（駆動手段）が内蔵されている。
更に、本体１０中央邪には内周刃２２が配設され、前記
圧電素子によって切断時のインゴット２０を内周刃２２
と麺亘に保つ制御を行う（後述）。
圧電素子によって切断時のインゴット２０を内周刃２２
と麺亘に保つ制御を行う（後述）。
第２図は割り出しスライダ１８０ｔｌＩ造を示す略断面
図、第３図は第１図のスライシングマシンの制御系を示
した説明図である。第２図に示すように、割り出しスラ
イダ１８はシリコンインゴット２０を保持する保持具２
６を有しており、保持具２６には第３図に示すように４
個の圧電素子（駆動手段〉 ２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ１
２８Ｄが内蔵されている（第２図では２個のみ図示）。
図、第３図は第１図のスライシングマシンの制御系を示
した説明図である。第２図に示すように、割り出しスラ
イダ１８はシリコンインゴット２０を保持する保持具２
６を有しており、保持具２６には第３図に示すように４
個の圧電素子（駆動手段〉 ２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ１
２８Ｄが内蔵されている（第２図では２個のみ図示）。
圧電素子２８ Ａ〜２８Ｄにはピエゾ圧電素子等が使用
される。圧電素子２８ Ａ〜２８Ｄはスライシングマシ
ン内部の制御部３０と接続され、インゴット２０の軸方
向の変位及び切断方向の尭み量を逐次検出し、制＠部３
０にこれらのテ゛−夕を出力している。更に、制＠祁３
０には、内周刃２２の軸方向の変位を検出する非接触式
変位計３２が接続され、ウェハ切断中の内周刃２２の変
位を検出し、制御部３０に出力する。
される。圧電素子２８ Ａ〜２８Ｄはスライシングマシ
ン内部の制御部３０と接続され、インゴット２０の軸方
向の変位及び切断方向の尭み量を逐次検出し、制＠部３
０にこれらのテ゛−夕を出力している。更に、制＠祁３
０には、内周刃２２の軸方向の変位を検出する非接触式
変位計３２が接続され、ウェハ切断中の内周刃２２の変
位を検出し、制御部３０に出力する。
制御部３０は、内周刃２２の変位と、インゴット２０の
切断方向の撓み量とに基づいて、インコツト２０の予定
切断面が内周刃２２に対して平行となるよう各圧を素子
２８Ａ〜２８Ｄに対して洋助信号を出力する。各圧電素
子２８Ａ〜２８Ｄは二〇作助信号を受けて、インゴット
２０を軸方向及び撓み方向に駆動して姿勢制御を行う。
切断方向の撓み量とに基づいて、インコツト２０の予定
切断面が内周刃２２に対して平行となるよう各圧を素子
２８Ａ〜２８Ｄに対して洋助信号を出力する。各圧電素
子２８Ａ〜２８Ｄは二〇作助信号を受けて、インゴット
２０を軸方向及び撓み方向に駆動して姿勢制御を行う。
前記の如く構成した本発明に係る柱状体材料の切断方法
及びウェハの作用は以下の通りである。
及びウェハの作用は以下の通りである。
先ず、非接触式変位計３２から内周刃２２の変位量が制
御部３０に人力され、制御Ｂ３０はこの検出値から、イ
ンゴット２０の結晶面（予定切断面）と内周刃２２との
角度を算出する。
御部３０に人力され、制御Ｂ３０はこの検出値から、イ
ンゴット２０の結晶面（予定切断面）と内周刃２２との
角度を算出する。
そして、制１ｉ１ｆｆｆ１３０は、この算出埴に基づい
てインゴット２０の予定切断面に対して内周刃２２が平
行となるよう、即ち角度がＯとなるよう圧電素子２８Ａ
〜２８Ｄを夫々駆動する駆動信号を出力し、各圧電素子
２８Ａ〜２８Ｄの伸縮によるインボッ）２０の姿勢制御
を行う。切断中、内周刃２２の変位量は所定時間毎に逐
次検出され、二の検出値からインボッ）・２０の姿勢制
御が前述したように継続的に行われる。このため、内周
刃２２よインゴット２０の予定切断面に対して、平行≠
＝状態を保つことができ、精度の高いウェハを生産する
ことができる。
てインゴット２０の予定切断面に対して内周刃２２が平
行となるよう、即ち角度がＯとなるよう圧電素子２８Ａ
〜２８Ｄを夫々駆動する駆動信号を出力し、各圧電素子
２８Ａ〜２８Ｄの伸縮によるインボッ）２０の姿勢制御
を行う。切断中、内周刃２２の変位量は所定時間毎に逐
次検出され、二の検出値からインボッ）・２０の姿勢制
御が前述したように継続的に行われる。このため、内周
刃２２よインゴット２０の予定切断面に対して、平行≠
＝状態を保つことができ、精度の高いウェハを生産する
ことができる。
尚、本実施例ではインゴット２０の予定切断面と、切断
刃とのに目射的な角度を切断刃の変位量から算出するよ
うにしているが、インコツト２０の鳴みｌを検出する検
出手段を別個に設置し、この険出渣と、刃先の変位量と
から求めるようにしてもよい。また、圧電素子２８Ａ〜
２８Ｄを撓み量噴出手役に兼用することも可能である。
刃とのに目射的な角度を切断刃の変位量から算出するよ
うにしているが、インコツト２０の鳴みｌを検出する検
出手段を別個に設置し、この険出渣と、刃先の変位量と
から求めるようにしてもよい。また、圧電素子２８Ａ〜
２８Ｄを撓み量噴出手役に兼用することも可能である。
以上説明したように本発明に係る柱状体材料の切断方法
及びウェハによれば、柱状体材料の予定切断面が切断刃
に対して平行となるよう柱状体オ科の姿勢を制御してい
るので、切断後のウェハを所定の平面度に保つことがで
きる。これにより、精度のよいウェハを生産することが
でき、歩留りの向上に寄与する。
及びウェハによれば、柱状体材料の予定切断面が切断刃
に対して平行となるよう柱状体オ科の姿勢を制御してい
るので、切断後のウェハを所定の平面度に保つことがで
きる。これにより、精度のよいウェハを生産することが
でき、歩留りの向上に寄与する。
第１図は本発明に係る柱状体材料のウェハの概略を示す
斜視図、第２図は割り出しスライダ１８の構造を示す略
断面図、第３図は１１図のスライシングマシンの制御系
を示した説明図である。 １８・・・割り出しスライダ、 ２０・・・インゴッ
ト（ｌ−！状体材料）、 ２２・・・内周刃（切断刃）
、２８Ａ 、 ２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ ・・
圧 電 素 子 （−区動手没）、 ２２・・非接触
式変位計（変位ｌ検出手段）。
斜視図、第２図は割り出しスライダ１８の構造を示す略
断面図、第３図は１１図のスライシングマシンの制御系
を示した説明図である。 １８・・・割り出しスライダ、 ２０・・・インゴッ
ト（ｌ−！状体材料）、 ２２・・・内周刃（切断刃）
、２８Ａ 、 ２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ ・・
圧 電 素 子 （−区動手没）、 ２２・・非接触
式変位計（変位ｌ検出手段）。
Claims (2)
- （１）装置本体に摺動自在に支持された送りテーブルに
、テーブルの移動方向に直交して柱状体材料を割り出し
送りする割り出しスライダが取り付けられ、回転する切
断刃によって該柱状体材料を薄片状のウェハに切断する
柱状体材料の切断方法に於いて、 切断時の前記切断刃の軸方向変位量を検出し、該検出値
から前記柱状体材料の予定切断面と、該切断刃の刃先と
の角度を算出し、該予定切断面が該切断刃に対して平行
となるよう柱状体材料の姿勢制御を行いながら切断する
ことを特徴とする柱状体材料の切断方法。 - （２）装置本体に摺動自在に支持された送りテーブルに
、テーブルの移動方向に直交して柱状体材料を割り出し
送りする割り出しスライダが取り付けられ、回転する切
断刃によって該柱状体材料を薄片状のウェハに切断する
柱状体材料の切断装置に於いて、 前記切断刃近傍に設けられ、該切断刃の軸方向変位量を
検出する変位量検出手段と、 前記割り出しスライダに設置され、前記変位量検出手段
の検出出力に基づいて、前記柱状体材料の予定切断面が
切断刃に対して平行となるように、該柱状体材料の姿勢
制御を行う駆動手段と、を備えたことを特徴とする柱状
体材料の切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29830089A JPH03158207A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 柱状体材料の切断方法及び切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29830089A JPH03158207A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 柱状体材料の切断方法及び切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03158207A true JPH03158207A (ja) | 1991-07-08 |
Family
ID=17857865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29830089A Pending JPH03158207A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 柱状体材料の切断方法及び切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03158207A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117001856A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-11-07 | 优爱宝智能机器人(浙江)有限公司 | 具有高精密切割并取放的装置及其控制方法 |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP29830089A patent/JPH03158207A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117001856A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-11-07 | 优爱宝智能机器人(浙江)有限公司 | 具有高精密切割并取放的装置及其控制方法 |
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