JPH0316005U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0316005U JPH0316005U JP1989076947U JP7694789U JPH0316005U JP H0316005 U JPH0316005 U JP H0316005U JP 1989076947 U JP1989076947 U JP 1989076947U JP 7694789 U JP7694789 U JP 7694789U JP H0316005 U JPH0316005 U JP H0316005U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seat
- probe
- micro
- fixed
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例断面図、第2図は従来
品の断面図、第3図は従来品の周波数特性、第4
図は本考案実施例の周波数特性をそれぞれ示した
ものである。 1……探針、2……探針座、3……探針固定座
、4……絶縁座、5……微動素子、6……振動緩
衝座、7……基台、8……絶縁台座、9……配線
、10……電極端子。
品の断面図、第3図は従来品の周波数特性、第4
図は本考案実施例の周波数特性をそれぞれ示した
ものである。 1……探針、2……探針座、3……探針固定座
、4……絶縁座、5……微動素子、6……振動緩
衝座、7……基台、8……絶縁台座、9……配線
、10……電極端子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 探針を固定した探針座、探針座をネジ込み
固定する探針固定座、探針固定座を絶縁座を介し
て固定する圧電又は電歪材からなる微動素子、こ
の微動素子を振動緩衝材からなる振動緩衝座を介
して基台に固定したことを特徴とする微小位置決
め機構。 (2) 走査型トンネル顕微鏡として使用される請
求項1記載の微小位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989076947U JPH0316005U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989076947U JPH0316005U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316005U true JPH0316005U (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=31618876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989076947U Pending JPH0316005U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316005U (ja) |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1989076947U patent/JPH0316005U/ja active Pending
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