JPH03160810A - 多区間フィルタの製造方法 - Google Patents
多区間フィルタの製造方法Info
- Publication number
- JPH03160810A JPH03160810A JP1299615A JP29961589A JPH03160810A JP H03160810 A JPH03160810 A JP H03160810A JP 1299615 A JP1299615 A JP 1299615A JP 29961589 A JP29961589 A JP 29961589A JP H03160810 A JPH03160810 A JP H03160810A
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- JP
- Japan
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- manufacturing
- filter
- section filter
- vibrating element
- capacitive element
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、テレビ，ラジオ等の装置にバンドバスフィル
タ用等に用いる，圧電効果素材を用いた多区間フィルタ
の製造方法に関する． （従来の技術） 圧電効果素材により形成するフィルタは，その優れた特
性や、小型形戒が可能なところから、各種のテレビ、ビ
デオ等の弱電装置等において重宝がられている． 第５図はそのような従来の多区間フィルタの製造方法を
示す工程図である．従来，まず、ウエハ状に形成した圧
電効果素材を精密研磨して（ステップ（以下Ｓと略す）
１１）、その表面にエッチング、蒸着あるいはスパッタ
リング等の必要な処理によりフィルタ電極（以下、単に
電極という）を形成し（Ｓ１２）．それを切断，剪開に
より所定の単位に形成（ Ｓ １３）、その後、組立工
程（ Ｓ １４）を経て組立製品を検査するか（８１５
）、または上記Ｓ１２の電極形戊後、ウエハ状態で中間
検査をブロービングマシン等を用いて行い（Ｓ１６）、
良品のみを組立てて製品としている． （発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述のようなフィルタの製造方法では、
振動エレメントを構或する電極や，容量部分の電極が、
設計寸法として一定な固定のものである．そのため圧電
材料または各種の加工で発生した寸法のばらつきが吸収
できず，その修正のために必要となる電気的特性の微調
整は組立完成後では極めて困難であった。
タ用等に用いる，圧電効果素材を用いた多区間フィルタ
の製造方法に関する． （従来の技術） 圧電効果素材により形成するフィルタは，その優れた特
性や、小型形戒が可能なところから、各種のテレビ、ビ
デオ等の弱電装置等において重宝がられている． 第５図はそのような従来の多区間フィルタの製造方法を
示す工程図である．従来，まず、ウエハ状に形成した圧
電効果素材を精密研磨して（ステップ（以下Ｓと略す）
１１）、その表面にエッチング、蒸着あるいはスパッタ
リング等の必要な処理によりフィルタ電極（以下、単に
電極という）を形成し（Ｓ１２）．それを切断，剪開に
より所定の単位に形成（ Ｓ １３）、その後、組立工
程（ Ｓ １４）を経て組立製品を検査するか（８１５
）、または上記Ｓ１２の電極形戊後、ウエハ状態で中間
検査をブロービングマシン等を用いて行い（Ｓ１６）、
良品のみを組立てて製品としている． （発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述のようなフィルタの製造方法では、
振動エレメントを構或する電極や，容量部分の電極が、
設計寸法として一定な固定のものである．そのため圧電
材料または各種の加工で発生した寸法のばらつきが吸収
できず，その修正のために必要となる電気的特性の微調
整は組立完成後では極めて困難であった。
本発明は上述のような，従来の圧電素子を用いたフィル
タの製造方法上の問題点を解決することを目的として簡
単な構或で製造後に特性を修正する調整をほとんど不要
にした、安定、かつ高精度の多区間フィルタの製造方法
を提供するものである。
タの製造方法上の問題点を解決することを目的として簡
単な構或で製造後に特性を修正する調整をほとんど不要
にした、安定、かつ高精度の多区間フィルタの製造方法
を提供するものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記の目的を，圧電素子を用いる多区間フィル
タの製造において、振動エレメント，容量エレメントを
、相互に電気的に独立させて構威し、振動エレメントの
みの電気的特性を測定して、必要な容量値を決定し、そ
の容量値を容量エレメントを選択することにより形或し
て、上記振動エレメントに電気的に、たとえば導電性ペ
ーストを用いて接続することによって達成する．（作
用） 上記の本発明の方法によれば、振動エレメントを形成し
た時点で，その振動エレメントの電気的特性を測定し、
製造目的の圧電フィルタ規格に必要な容量を，基本的に
自由に選択可能な容量エレメントから選択して付加する
から、組立後のフィルタ特性の修正，調整が不要となり
，圧電材料ロット間あるいは加工による，特性のばらつ
き等が容易、かつ効果的に吸収され優れた多区間フィル
タが製造できる。
タの製造において、振動エレメント，容量エレメントを
、相互に電気的に独立させて構威し、振動エレメントの
みの電気的特性を測定して、必要な容量値を決定し、そ
の容量値を容量エレメントを選択することにより形或し
て、上記振動エレメントに電気的に、たとえば導電性ペ
ーストを用いて接続することによって達成する．（作
用） 上記の本発明の方法によれば、振動エレメントを形成し
た時点で，その振動エレメントの電気的特性を測定し、
製造目的の圧電フィルタ規格に必要な容量を，基本的に
自由に選択可能な容量エレメントから選択して付加する
から、組立後のフィルタ特性の修正，調整が不要となり
，圧電材料ロット間あるいは加工による，特性のばらつ
き等が容易、かつ効果的に吸収され優れた多区間フィル
タが製造できる。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例による多区間フィルタの製造
方法を示す工程図である。
方法を示す工程図である。
まず、圧電材料による所定の圧電素体を精密に研磨し（
第１図、Ｓｌ）、エッチング、蒸着あるいはスパッタリ
ング等の処理により振動エレメントまたは容量エレメン
トの電極パターンを形成し（Ｓ２）、その後、上記振動
エレメント電極の特性を測定し（Ｓ３）、製造すべき規
格を満足する最適容量値を決定、判別する（Ｓ４）。つ
ぎに上記で判別した最適容量値を、先に形成した複数の
容量エレメントから選択して構成し，それを振動エレメ
ントに接続して導電性を確保し（Ｓ５）、その後、必要
な組立を行い（Ｓ６）、検査（Ｓ７）によって製造が終
る． 第２図は上記Ｓ２の電極パターンの一例を示す圧電基板
１の表面図（ａ）、およびその裏面図（ｂ）であり、第
３図はそのシンボル構成図である．両図においてｌは圧
電材料からなる圧電基板、２，２′はそれぞれ振動エレ
メントの表面、同じく裏面（以下、このように、表面の
符号にダッシュを付して裏面の電極を表わす）、同様に
（３．３’）、および（４．４’）は各々容量エレメン
トの表裏面であり、このように構威された振動エレメン
ト（２．２’）と，容量エレメント（３．３’）または
（４．４’）との電極間相互は離間されており，電気的
に導通されていない．また、５は引出し電極である． このように第１図の８２の工程で電極パターンを構成後
、振動エレメント（２．２’）のみの電気的特性を測定
する．一方、前記、振動エレメント（２．２’）のみの
特性測定結果に対し、製造すべきフィルタの規格を満足
させるに必要な、付加すべき最適容量値が予め決定する
。
第１図、Ｓｌ）、エッチング、蒸着あるいはスパッタリ
ング等の処理により振動エレメントまたは容量エレメン
トの電極パターンを形成し（Ｓ２）、その後、上記振動
エレメント電極の特性を測定し（Ｓ３）、製造すべき規
格を満足する最適容量値を決定、判別する（Ｓ４）。つ
ぎに上記で判別した最適容量値を、先に形成した複数の
容量エレメントから選択して構成し，それを振動エレメ
ントに接続して導電性を確保し（Ｓ５）、その後、必要
な組立を行い（Ｓ６）、検査（Ｓ７）によって製造が終
る． 第２図は上記Ｓ２の電極パターンの一例を示す圧電基板
１の表面図（ａ）、およびその裏面図（ｂ）であり、第
３図はそのシンボル構成図である．両図においてｌは圧
電材料からなる圧電基板、２，２′はそれぞれ振動エレ
メントの表面、同じく裏面（以下、このように、表面の
符号にダッシュを付して裏面の電極を表わす）、同様に
（３．３’）、および（４．４’）は各々容量エレメン
トの表裏面であり、このように構威された振動エレメン
ト（２．２’）と，容量エレメント（３．３’）または
（４．４’）との電極間相互は離間されており，電気的
に導通されていない．また、５は引出し電極である． このように第１図の８２の工程で電極パターンを構成後
、振動エレメント（２．２’）のみの電気的特性を測定
する．一方、前記、振動エレメント（２．２’）のみの
特性測定結果に対し、製造すべきフィルタの規格を満足
させるに必要な、付加すべき最適容量値が予め決定する
。
つぎに導電性ペースト６を用いて，上記のように決定し
た最適容量値になるように，容量エレメント（３．３’
）、（４．４’）を選択して容量を形成させ、それを振
動エレメント（２．２’）と電気的に導通し接続する（
第ｌ図、Ｓ５）。第４図は、上記のペースト６により接
続した容量部分を示す図である． その後組立工程により必要な組立を行い、厳密な検査を
経て目的の規格を有するフィルタが製造される． 以上、多区間フィルタの製造を，容量部分の表側電極３
または４を，それぞれ６分割した電極として説明したが
、その分割数は上例に制限されるものではなく、より細
分することにより一層の微調整が容易に可能になること
は明白であるが、それは必ずしも必要要件ではなく，た
とえば振動エレメントと導通しない，細分された複数の
容量エレメントとして構成しても差し支えがない．（発
明の効果） 以上の説明から明らかなように本発明は、フィルタ素子
上での電気的特性の調整が容易に可能であり、安定した
特性を有する多区間フィルタが短時間で製造できる効果
がある．
た最適容量値になるように，容量エレメント（３．３’
）、（４．４’）を選択して容量を形成させ、それを振
動エレメント（２．２’）と電気的に導通し接続する（
第ｌ図、Ｓ５）。第４図は、上記のペースト６により接
続した容量部分を示す図である． その後組立工程により必要な組立を行い、厳密な検査を
経て目的の規格を有するフィルタが製造される． 以上、多区間フィルタの製造を，容量部分の表側電極３
または４を，それぞれ６分割した電極として説明したが
、その分割数は上例に制限されるものではなく、より細
分することにより一層の微調整が容易に可能になること
は明白であるが、それは必ずしも必要要件ではなく，た
とえば振動エレメントと導通しない，細分された複数の
容量エレメントとして構成しても差し支えがない．（発
明の効果） 以上の説明から明らかなように本発明は、フィルタ素子
上での電気的特性の調整が容易に可能であり、安定した
特性を有する多区間フィルタが短時間で製造できる効果
がある．
第１図は本発明の一実施例の製造工程図，第２図は一実
施例の説明に一例として用いた圧電フィルタの構或図、
第３図は第２図の電気回路シンボル構成図、第４図は圧
電フィルタ素子構成後の容量部分を示す図，第５図は従
来例の多区間フィルタの製造工程図である． １・・・圧電基板、 （２．２’）・・・振動エレメン
ト． （３．３’），（４．４’）・・・容量エレメ
ント， ５・・・引出し電極、 ６・・・導電性ペース
ト．
施例の説明に一例として用いた圧電フィルタの構或図、
第３図は第２図の電気回路シンボル構成図、第４図は圧
電フィルタ素子構成後の容量部分を示す図，第５図は従
来例の多区間フィルタの製造工程図である． １・・・圧電基板、 （２．２’）・・・振動エレメン
ト． （３．３’），（４．４’）・・・容量エレメ
ント， ５・・・引出し電極、 ６・・・導電性ペース
ト．
Claims (2)
- （１）圧電基板と、その一面に形成した分割電極と、こ
れに対応する前記圧電基板の他面に一体に形成した電極
とからなる、エネルギ閉じ込め型厚み振動を励起する振
動エレメント２個以上と、および上記圧電基板を介して
電極を対応して形成してなる、容量エレメントを形成す
る多区間フィルタの製造方法において、上記の各エレメ
ントを電気的に独立させて形成し、かつ、製造工程中に
上記各振動エレメントの電気的特性を測定することによ
り、製造すべきフィルタの規格を達成するための付加容
量を決定し、その決定に基づき容量エレメントを選択、
その選択した容量エレメントを上記振動エレメントに電
気的に接続することを特徴とする多区間フィルタの製造
方法。 - （２）電気的接続を、導電性ペーストを用いて行うこと
を特徴とする請求項（１）記載の多区間フィルタの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1299615A JPH03160810A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 多区間フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1299615A JPH03160810A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 多区間フィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03160810A true JPH03160810A (ja) | 1991-07-10 |
Family
ID=17874914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1299615A Pending JPH03160810A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 多区間フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03160810A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009100328A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法および圧電共振子 |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1299615A patent/JPH03160810A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009100328A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の製造方法および圧電共振子 |
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