JPH03164075A - 精密直動アクチュエーター - Google Patents
精密直動アクチュエーターInfo
- Publication number
- JPH03164075A JPH03164075A JP1299581A JP29958189A JPH03164075A JP H03164075 A JPH03164075 A JP H03164075A JP 1299581 A JP1299581 A JP 1299581A JP 29958189 A JP29958189 A JP 29958189A JP H03164075 A JPH03164075 A JP H03164075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output shaft
- linear actuator
- precision linear
- actuator according
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、精密機器等で用いるアクチュエーターに関し
、特に高分解能でかつ長いストロークを持つ直進移動と
、同じく高分解能で３６０゜の可勅範囲を持つ回転移動
を同軸で行なう直動回転２軸型の駆動アクチュエーター
に関するものである。
、特に高分解能でかつ長いストロークを持つ直進移動と
、同じく高分解能で３６０゜の可勅範囲を持つ回転移動
を同軸で行なう直動回転２軸型の駆動アクチュエーター
に関するものである。
［従来の技術］
従来のアクチュエーターは電動型、空圧型、油圧型、そ
の他を含めて数多くある。その中で直進型アクチュエー
ターの種類は少ない。回転型および直進型のアクチュエ
ーターにおいて、ダイナミックレンジが大きく、かつ高
い分解能の位置決め能力を持つアクチュエーターはごく
限られており、さらにコンパクト性まで要求するとこれ
らを充分満足するアクチュエーターは従来なかった。
の他を含めて数多くある。その中で直進型アクチュエー
ターの種類は少ない。回転型および直進型のアクチュエ
ーターにおいて、ダイナミックレンジが大きく、かつ高
い分解能の位置決め能力を持つアクチュエーターはごく
限られており、さらにコンパクト性まで要求するとこれ
らを充分満足するアクチュエーターは従来なかった。
例えば、リニアモーターはその条件を満たす数少ないア
クチュエーターであるがコンパクト性には欠けている。
クチュエーターであるがコンパクト性には欠けている。
また俗称インチワームと呼ばれる圧電素子を組合わせた
アクチュエーターは２つの基本要求を満たしてはいるが
剛性の面で弱く、信頼性に乏しくさらには価格的にはか
なり高価なものである。圧電素子（ビエゾ素子）は微小
位置決め能力を持っているがそのストロークは数十μｍ
でしかない。
アクチュエーターは２つの基本要求を満たしてはいるが
剛性の面で弱く、信頼性に乏しくさらには価格的にはか
なり高価なものである。圧電素子（ビエゾ素子）は微小
位置決め能力を持っているがそのストロークは数十μｍ
でしかない。
精密機器で要望されるアクチュエーターは、可動範囲（
ストローク）が大きく、分解能が高く、ストロークと分
解能の比が１ ０００を越えるものであり、さらにコン
パクトで、安価なアクチュエーターである。さらに駆動
量が出力軸の値としてアクチュエーター自身で検出でき
る能力を持つことが望ましい。
ストローク）が大きく、分解能が高く、ストロークと分
解能の比が１ ０００を越えるものであり、さらにコン
パクトで、安価なアクチュエーターである。さらに駆動
量が出力軸の値としてアクチュエーター自身で検出でき
る能力を持つことが望ましい。
従来技術の範晴にこれらの要求を満たすものがないため
、大きな可動範囲を高い分解能で送り位置決めする必要
が生じたときには、従来はモーター（例えばステッピン
グモーター）を動力源に選び、減速機構を介し、四転／
直進変換機構を使用していた。
、大きな可動範囲を高い分解能で送り位置決めする必要
が生じたときには、従来はモーター（例えばステッピン
グモーター）を動力源に選び、減速機構を介し、四転／
直進変換機構を使用していた。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は前記従来技術の問題点に鑑みなされたものであ
って、１ミクロン以下の位置決め能力と１ミリメートル
以上のストロークを持つ、コンパクトで安価なコンポー
ネントタイプの直動型アクチュエーターをｔ是イ共する
ことを目的とする。さらに送り量を自己検出可能なアク
チュエーターの提供を目的とする。また、コンパクトで
あるがゆえに、コンポーネントである必要はなく機器内
への直接的なビルトインが可能なアクチュエーターの提
供を目的とする。
って、１ミクロン以下の位置決め能力と１ミリメートル
以上のストロークを持つ、コンパクトで安価なコンポー
ネントタイプの直動型アクチュエーターをｔ是イ共する
ことを目的とする。さらに送り量を自己検出可能なアク
チュエーターの提供を目的とする。また、コンパクトで
あるがゆえに、コンポーネントである必要はなく機器内
への直接的なビルトインが可能なアクチュエーターの提
供を目的とする。
［課題を解決するための手段および作用コ前記目的を連
戒するため本発明では超音波モーターを利用している。
戒するため本発明では超音波モーターを利用している。
超音波モーター自体は公知であり特に詳細な説明は不要
であるが、基本的には第５図に示すようにクシ歯状のリ
ング形状のステーター５０と同じくリング状のローター
５１とが主要部分であり、ステーターの裏面に接着した
圧電セラミック５２に交流威分を持つ電圧を印加するこ
とによりクシ歯状の表面に波を発生させローターを回転
させるものである。
であるが、基本的には第５図に示すようにクシ歯状のリ
ング形状のステーター５０と同じくリング状のローター
５１とが主要部分であり、ステーターの裏面に接着した
圧電セラミック５２に交流威分を持つ電圧を印加するこ
とによりクシ歯状の表面に波を発生させローターを回転
させるものである。
超音波モーターの一般的特長としては第１に低速で高ト
ルクであること、第２に摩擦駆動を原則としているため
停止時（非通電時）に高い自己保持トルクが得られるこ
と、第３に駆動部がリング状であるため回転中心軸の近
傍のスペースを活用できること、などがあげられる。
ルクであること、第２に摩擦駆動を原則としているため
停止時（非通電時）に高い自己保持トルクが得られるこ
と、第３に駆動部がリング状であるため回転中心軸の近
傍のスペースを活用できること、などがあげられる。
しかし一般にはまだ知られていないが超音波モーターの
何より重要な特長はその回転位置決め精度である。この
ことについて少し解説する．第６図には超音波モーター
の印加周波数と角速度特性を示している。超音彼モータ
ーの角速度を制御するためには、ほかに印加電圧で制御
する方法と、位相を変化させる制御方向があるが、位置
決め制御のためには印加周波数制御の方が好ましい。こ
の場合モーターを起動するにはまず高い周波数（第６図
では４１．５ＫＨｚ近傍の電圧周波数）を印加すること
によりモーターは低速回転を始める。その後徐々に周波
数を落としていくことにより高速回転に移行してゆき３
９ＫＨｚで最高速度に達する。逆に停止のためには周波
数を上げてゆき、例えば位置決めが目的の場合には目標
位置の直前で最低速状態（４１ＫＨｚあたり）に持って
いき、目標位置に達した時点、あるいはその直前で入力
を切ることにより位置決めを行なうことができる。摩擦
駆動を原則としているので立ち上げ、立ち下げの加速度
が大きいことは超音波モーターの特長であり、低速回転
時に印加電圧を遮断することにより、ほとんど瞬時にモ
ーターは停止する。この時のオーバーラン量は微小であ
り、低速定速の角速度が一定であればオーバーラン量も
ほぼ一定となるために高い位置決め精度が得られる。
何より重要な特長はその回転位置決め精度である。この
ことについて少し解説する．第６図には超音波モーター
の印加周波数と角速度特性を示している。超音彼モータ
ーの角速度を制御するためには、ほかに印加電圧で制御
する方法と、位相を変化させる制御方向があるが、位置
決め制御のためには印加周波数制御の方が好ましい。こ
の場合モーターを起動するにはまず高い周波数（第６図
では４１．５ＫＨｚ近傍の電圧周波数）を印加すること
によりモーターは低速回転を始める。その後徐々に周波
数を落としていくことにより高速回転に移行してゆき３
９ＫＨｚで最高速度に達する。逆に停止のためには周波
数を上げてゆき、例えば位置決めが目的の場合には目標
位置の直前で最低速状態（４１ＫＨｚあたり）に持って
いき、目標位置に達した時点、あるいはその直前で入力
を切ることにより位置決めを行なうことができる。摩擦
駆動を原則としているので立ち上げ、立ち下げの加速度
が大きいことは超音波モーターの特長であり、低速回転
時に印加電圧を遮断することにより、ほとんど瞬時にモ
ーターは停止する。この時のオーバーラン量は微小であ
り、低速定速の角速度が一定であればオーバーラン量も
ほぼ一定となるために高い位置決め精度が得られる。
この超音波モーターの位置決め能力は、例えばステータ
ー直径８０ｍｍ位のモーターであれば１／８５，０００
回転以下、角度に換算して約１５秒以下の位置決め精度
を達成することが可能である。
ー直径８０ｍｍ位のモーターであれば１／８５，０００
回転以下、角度に換算して約１５秒以下の位置決め精度
を達成することが可能である。
次に超音波モーターの回転を直進方向に変換する手段で
あるが、これはテーパー送りを基本として考えるのが妥
当であり、この場合には具体的にはネジとナットを使用
するのが適切である。ネジとナットは一方を固定すれば
もう一方は回転しながら軸方向に移動してしまうから、
一方を回転フリーで軸方向の移動を固定し、もう一方は
逆に回転方向を拘束し軸方向をフリーとすれば、前者の
回転により後者を軸方向に移勅することが可能になる。
あるが、これはテーパー送りを基本として考えるのが妥
当であり、この場合には具体的にはネジとナットを使用
するのが適切である。ネジとナットは一方を固定すれば
もう一方は回転しながら軸方向に移動してしまうから、
一方を回転フリーで軸方向の移動を固定し、もう一方は
逆に回転方向を拘束し軸方向をフリーとすれば、前者の
回転により後者を軸方向に移勅することが可能になる。
さらに前記ガイド機構は超音波モーターの第２の特長に
あげたようにローター ステーターの内部スペースを有
効に利用することによりコンパクトなアクチュエーター
を構戊することができる。
あげたようにローター ステーターの内部スペースを有
効に利用することによりコンパクトなアクチュエーター
を構戊することができる。
［実施例］
第１図には本発明の実施例の基本形を示してある。１は
超音波モーターのステーターであり、その裏面には圧電
セラミックス２が接着されており、これにある周波数を
持った電圧を印加することによりステーターの表面３に
振動波を発生させる。ステーター１はビス４により第１
のハウジング５に固定される。ステーター１−の振勅部
と固定部の間には薄板状部６があり、この部分の役目は
摩擦押しつけ力に対する反発バネであると同時に振動部
の振動が固定部により妨げられないためのダンパー的役
目もはたしている。
超音波モーターのステーターであり、その裏面には圧電
セラミックス２が接着されており、これにある周波数を
持った電圧を印加することによりステーターの表面３に
振動波を発生させる。ステーター１はビス４により第１
のハウジング５に固定される。ステーター１−の振勅部
と固定部の間には薄板状部６があり、この部分の役目は
摩擦押しつけ力に対する反発バネであると同時に振動部
の振動が固定部により妨げられないためのダンパー的役
目もはたしている。
ローター６の摩擦面７は、ステーターの振動面３と接触
しており、ステーターの進行波を受けて回転する。ロー
ター６はビス９によりメス側のボールネジ（ナット）１
０に固定されている。ローター６の摩擦面７と固定部の
間はやはり薄板状部８があり、ある程度のバネ性を持た
せてある。出力軸１２の一部はボールネジのオスネジ部
（スクリュウ）１３を形成しており、メス側のボールネ
ジ１０と係合している。一方出力軸１２の一部は回転規
制直進ガイド、具体的にはボールスプラインの軸側部（
スプライン！Ｌｌｌ）１４を形成してボールスプライン
のメス側軸受（ボス部材）１５と係合して直進ガイドを
構威している。ボールスプラインのメス側軸受１５は第
１のハウジング５に挿入され押え環１６により固定され
ている。出力軸１２の一方の端には穴１７がありその中
にコイルスプリング１８が挿入されており、コイルスプ
リング１８の１端は第２のハウジング２０で支持され、
もう１端は穴１７の底；つまりは出力軸を押している。
しており、ステーターの進行波を受けて回転する。ロー
ター６はビス９によりメス側のボールネジ（ナット）１
０に固定されている。ローター６の摩擦面７と固定部の
間はやはり薄板状部８があり、ある程度のバネ性を持た
せてある。出力軸１２の一部はボールネジのオスネジ部
（スクリュウ）１３を形成しており、メス側のボールネ
ジ１０と係合している。一方出力軸１２の一部は回転規
制直進ガイド、具体的にはボールスプラインの軸側部（
スプライン！Ｌｌｌ）１４を形成してボールスプライン
のメス側軸受（ボス部材）１５と係合して直進ガイドを
構威している。ボールスプラインのメス側軸受１５は第
１のハウジング５に挿入され押え環１６により固定され
ている。出力軸１２の一方の端には穴１７がありその中
にコイルスプリング１８が挿入されており、コイルスプ
リング１８の１端は第２のハウジング２０で支持され、
もう１端は穴１７の底；つまりは出力軸を押している。
コイルスプリングの力は軸１２、メス側ボールネジ１０
を介してローター６をステーター１に押し付ける役目を
果たしている。
を介してローター６をステーター１に押し付ける役目を
果たしている。
以上が本発明の実施例における基本構造になる。この状
態で超音波モーターを作動するとボールネジのナット側
が回転するが、軸側は回転規制されているために軸方向
に移動することになる。
態で超音波モーターを作動するとボールネジのナット側
が回転するが、軸側は回転規制されているために軸方向
に移動することになる。
このとき超音波モーターの位置決め角度分解能が前述の
ように１５秒とし、ボールネジのリードが２ｍｍとする
と軸方向の送りは０．０２３μｍ５リード１ｍｍでは０
．０１１μｍという非常に高い位置決め分解能が得られ
ることになる。
ように１５秒とし、ボールネジのリードが２ｍｍとする
と軸方向の送りは０．０２３μｍ５リード１ｍｍでは０
．０１１μｍという非常に高い位置決め分解能が得られ
ることになる。
また第１図における出力軸のストロークは±Ｓであり、
実寸でｓ＝５ｍｍと設定しているが、ストロークＳはメ
ス側ボールスプライン１５、メス側ボールネジ１０の位
置と、出力軸のスプライン軸部１４、ボールネジ軸部１
３の長さと位置を適宜設定することにより長ストローク
も短ストロークも自由に設定可能なのは自明である。
実寸でｓ＝５ｍｍと設定しているが、ストロークＳはメ
ス側ボールスプライン１５、メス側ボールネジ１０の位
置と、出力軸のスプライン軸部１４、ボールネジ軸部１
３の長さと位置を適宜設定することにより長ストローク
も短ストロークも自由に設定可能なのは自明である。
第１図は説明を容易にするための基本形であり、例えは
出力軸の軸力が働いた場合、その分だけ超音波モーター
の摩擦力が変化するために実用的には好ましい形ではな
い。
出力軸の軸力が働いた場合、その分だけ超音波モーター
の摩擦力が変化するために実用的には好ましい形ではな
い。
第２図に本発明に基づく現実的な実施例を示す。出力軸
、超音波モーター、リニアガイド、および第１のハウジ
ングは第１図と同一なので同じ番号を符って説明は省く
。主な改良はボールネジのナットのガイドと押し圧バネ
部である。ボールネジのナット２１と第２のハウジング
２４は回転軸受２２、２３を介して回転方向に支持され
、スラスト軸受２５、押え環２６、ダブルナット２７、
を介して軸方向に支持されている。ロータ−６とボール
ネジのナット２１はリング状板バネ３０を介して結合さ
れている。つまりリング状板バネ３０の一部はスベーサ
−３１をはさんでビス３２でローターに固定され、リン
グ状板バネ３０の対向部分ではスペーサ−３３をはさん
でビス３４でナットに固定されている。これによりナッ
ト２１はローター６に押し圧力を与えることができる。
、超音波モーター、リニアガイド、および第１のハウジ
ングは第１図と同一なので同じ番号を符って説明は省く
。主な改良はボールネジのナットのガイドと押し圧バネ
部である。ボールネジのナット２１と第２のハウジング
２４は回転軸受２２、２３を介して回転方向に支持され
、スラスト軸受２５、押え環２６、ダブルナット２７、
を介して軸方向に支持されている。ロータ−６とボール
ネジのナット２１はリング状板バネ３０を介して結合さ
れている。つまりリング状板バネ３０の一部はスベーサ
−３１をはさんでビス３２でローターに固定され、リン
グ状板バネ３０の対向部分ではスペーサ−３３をはさん
でビス３４でナットに固定されている。これによりナッ
ト２１はローター６に押し圧力を与えることができる。
押し圧力は押え環２６を回転調整してスラストベアリン
グ２５の位置を調整することにより可変調整可能である
。
グ２５の位置を調整することにより可変調整可能である
。
実施例第２図においては軸、およびナットが強固にガイ
ドされているので出力軸にある程度の外力が加わっても
所定の性能を維持することが可能となる。
ドされているので出力軸にある程度の外力が加わっても
所定の性能を維持することが可能となる。
第１図、第２図の実施例ではアクチュエーター自体が出
力軸の位置検出機能を持っておらず、そのため位置決め
あるいは定量送りを目的とする場合には例えば被駆動体
に位置検出センサーを設けその出力に基づいてフィード
バック制御する必要がある。
力軸の位置検出機能を持っておらず、そのため位置決め
あるいは定量送りを目的とする場合には例えば被駆動体
に位置検出センサーを設けその出力に基づいてフィード
バック制御する必要がある。
第３図は位置検出機能を組み込んだ実施例である。駆動
部とガイド部は第２図の実施例と同一であるので説明を
省く。この場合の検出器としては高い角度分解能を有す
るレーザーロータリーエンコーダ−（以下ＬＲＥと略す
）が好適である。ＬＲＥ自体は本出願人により提案され
公知であるので説明は省略する。第３図でメス側のボー
ルネジ３５に継ぎ手３６が固定され、その他端に光学ス
ケール３７が固定されている。光学スケールには硝子円
盤に放射状の微細な格子が刻まれている。
部とガイド部は第２図の実施例と同一であるので説明を
省く。この場合の検出器としては高い角度分解能を有す
るレーザーロータリーエンコーダ−（以下ＬＲＥと略す
）が好適である。ＬＲＥ自体は本出願人により提案され
公知であるので説明は省略する。第３図でメス側のボー
ルネジ３５に継ぎ手３６が固定され、その他端に光学ス
ケール３７が固定されている。光学スケールには硝子円
盤に放射状の微細な格子が刻まれている。
この光学スケールに対向して検出部３８が配置され光学
スケールの回転玉を検出して電気信号に変換して出力す
る。検出部３８には半導体レーザ、干渉光学系、受光素
子などが含まれる。ＬＲＥ全体は第３のハウジング３９
により保護される。以上の付加機能によりメス側ボール
ネジ３５の回転角度を知ることが可能になり、ボールネ
ジのリードにより軸方向の移動量に換算でき、その結果
クローズドルーブの位置サーボが可能になる。
スケールの回転玉を検出して電気信号に変換して出力す
る。検出部３８には半導体レーザ、干渉光学系、受光素
子などが含まれる。ＬＲＥ全体は第３のハウジング３９
により保護される。以上の付加機能によりメス側ボール
ネジ３５の回転角度を知ることが可能になり、ボールネ
ジのリードにより軸方向の移動量に換算でき、その結果
クローズドルーブの位置サーボが可能になる。
第４図は位置検出機能を組み込んだ第２の実施例である
。駆動部とガイド部はやはり第２図の実施例と同一であ
るので説明を省く。この事例では検出器としレーザーリ
ニアエンコーダ−（以下ＬＬＥと略す）を使用する。光
学スケール４１は直接出力軸（スクリュウ）４０に接着
固定する。この場合光学スケールの格子面はアッペの誤
差を無くすために出力軸の中心軸と合致しているのが望
ましい。
。駆動部とガイド部はやはり第２図の実施例と同一であ
るので説明を省く。この事例では検出器としレーザーリ
ニアエンコーダ−（以下ＬＬＥと略す）を使用する。光
学スケール４１は直接出力軸（スクリュウ）４０に接着
固定する。この場合光学スケールの格子面はアッペの誤
差を無くすために出力軸の中心軸と合致しているのが望
ましい。
［発明の効果］
以上説明したように超音波モーターの特長を有効に活用
することにより、１ミクロン以下の位置決め能力と１ミ
リメートル以上のストロークを持つ、コンパクトで安価
なコンポーネントタイプの直動型アクチュエーターを実
現することが可能になる。さらにＬＲＥ，ＬＬＥなどの
レーザーエンコーダーを組み合わせることにより、送り
量を自己検出可能な直動型アクチュエーターをも実現す
ることができる。
することにより、１ミクロン以下の位置決め能力と１ミ
リメートル以上のストロークを持つ、コンパクトで安価
なコンポーネントタイプの直動型アクチュエーターを実
現することが可能になる。さらにＬＲＥ，ＬＬＥなどの
レーザーエンコーダーを組み合わせることにより、送り
量を自己検出可能な直動型アクチュエーターをも実現す
ることができる。
なお本発明はかならずしもコンポーネントタイプのアク
チュエーターである必要はなく機器内への直接的なビル
トインのアクチュエーターとすることにより軽量で高精
度の駆動機構を実現することが可能になる。
チュエーターである必要はなく機器内への直接的なビル
トインのアクチュエーターとすることにより軽量で高精
度の駆動機構を実現することが可能になる。
第１図は、本発明の基本構戊の説明図、第２図は、本発
明の実施例の構戊図、 第３図は、本発明に回転位置検出器を付加した実施例の
構戒図、 第４図は、本発明に軸方向位置検出器を付加した第２の
実施例の構成図、 第５図は、超音波モーターの動力部詳細図、第６図は、
超音波モーターの特性図である。 １：ステーター ２：圧電セラミックス、 ５、２０、３９；ハウジング、 ６：ローター １２，出力軸。 ０ 框型使 ＆−ｃＬε
明の実施例の構戊図、 第３図は、本発明に回転位置検出器を付加した実施例の
構戒図、 第４図は、本発明に軸方向位置検出器を付加した第２の
実施例の構成図、 第５図は、超音波モーターの動力部詳細図、第６図は、
超音波モーターの特性図である。 １：ステーター ２：圧電セラミックス、 ５、２０、３９；ハウジング、 ６：ローター １２，出力軸。 ０ 框型使 ＆−ｃＬε
Claims (8)
- （１）ハウジングと、該ハウジング内に装着した円環状
のローターおよびステーターからなる超音波モーターと
、出力軸と、該出力軸を前記ハウジングに対し回転不能
でかつ軸方向に摺動可能に連結する回転規制直進ガイド
手段と、前記出力軸と前記ローターとをナットおよびス
クリュウを介して連結するスクリュウネジ手段とを具備
したことを特徴とする精密直動アクチュエーター。 - （２）前記出力軸は、前記超音波モーターの回転軸と同
軸上に設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の精密直動アクチュエーター。 - （３）前記回転規制直進ガイド手段は、スプライン軸お
よびボス部からなるスプライン機構からなり、該スプラ
イン軸は前記出力軸と同軸の一体構造とし、前記ボス部
は前記ハウジングに固定されたことを特徴とする特許請
求の範囲第２項記載の精密直動アクチュエーター。 - （４）前記出力軸を軸方向に押圧するスプリング手段を
具備したことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
精密直動アクチュエーター。 - （５）前記スクリュウネジ手段のスクリュウは前記出力
軸と同軸の一体構造とし、前記ナットは前記ハウジング
に対し回転可能に装着されたことを特徴とする第４項記
載の精密直動アクチュエーター。 - （６）前記ナットに対し前記ローターがスプリング手段
を介して連結されたことを特徴とする特許請求の範囲第
５項記載の精密直動アクチュエーター。 - （７）前記出力軸の回転を検出する角度検出手段を具備
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の精密
直動アクチュエーター。 - （８）前記出力軸の軸方向の移動を検出する位置検出手
段を具備したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の精密直動アクチュエーター。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1299581A JPH03164075A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 精密直動アクチュエーター |
| US07/616,063 US5053670A (en) | 1989-11-20 | 1990-11-20 | Precision actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1299581A JPH03164075A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 精密直動アクチュエーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03164075A true JPH03164075A (ja) | 1991-07-16 |
Family
ID=17874490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1299581A Pending JPH03164075A (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 精密直動アクチュエーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03164075A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009075085A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-04-09 | Kokusai Keisokki Kk | 直動アクチュエータ |
| JP2019213255A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 回転直動変換装置 |
| CN110880855A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-03-13 | 山东三木环保工程有限公司 | 一种直线电机驱动式捣固机的工作方法 |
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