JPH03165242A - 薄鋼板の表面検査装置 - Google Patents
薄鋼板の表面検査装置Info
- Publication number
- JPH03165242A JPH03165242A JP30316089A JP30316089A JPH03165242A JP H03165242 A JPH03165242 A JP H03165242A JP 30316089 A JP30316089 A JP 30316089A JP 30316089 A JP30316089 A JP 30316089A JP H03165242 A JPH03165242 A JP H03165242A
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- Japan
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- laser beam
- inspected
- reflecting mirror
- mirror
- reflected
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- Pending
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、薄鋼板の表面検査装置に関する。
［従来の技術］
従来技術としては、特開昭６３−９０７４３号公報が知
られている。この公報には、レーザ光源から出力された
レーザ光を１回転ミラーによって反射させて、レーザ光
を被検査物に照射し、回転ミラーの回転によってレーザ
光の照射部を移動させて、被検査物の表面を走査する、
走査型表面疵検査装置が示されている。
られている。この公報には、レーザ光源から出力された
レーザ光を１回転ミラーによって反射させて、レーザ光
を被検査物に照射し、回転ミラーの回転によってレーザ
光の照射部を移動させて、被検査物の表面を走査する、
走査型表面疵検査装置が示されている。
第５図は従来例で、特開昭６３−９０７４３号公報を用
いて、ライン走行中の帯状被検査物の表面を走査する例
を示す図である。図中２はレーザ光源、３は回転ミラー
、４はレシーバである。
いて、ライン走行中の帯状被検査物の表面を走査する例
を示す図である。図中２はレーザ光源、３は回転ミラー
、４はレシーバである。
第５図（Ａ）で、レーザ光は回転ミラー３で反射されて
、先ず被検査物１の端部１１を照射する０回転ミラー３
が矢印ｌＯ力方向回転するため、この回転によって照射
部は移動し、被検査物１の他の端部１２に至る。この際
、被検査物１は矢印１３の方向に走行する。
、先ず被検査物１の端部１１を照射する０回転ミラー３
が矢印ｌＯ力方向回転するため、この回転によって照射
部は移動し、被検査物１の他の端部１２に至る。この際
、被検査物１は矢印１３の方向に走行する。
第５図（Ｂ）は、第１図（Ａ）の平面図で、レーザ光の
ビーム径９を、被検査物１の走行速度■に最も適した大
きさに選定した例である。
ビーム径９を、被検査物１の走行速度■に最も適した大
きさに選定した例である。
この際、レーザ光は１１−１→１２−１→１１−２→１
２−２の順序で、照射部が移動して、被検査物１の表面
を幅方向に逐次、漏れなく走査することができる。
２−２の順序で、照射部が移動して、被検査物１の表面
を幅方向に逐次、漏れなく走査することができる。
第５図（Ｃ）は、第５図（Ａ）の他の平面図で、レーザ
光のビーム径９′を、第５図（Ｂ）のビーム径９の１７
２に選定した例である。この際レーザ光は１１’−１→
１２’−１→１１’−２→１２’−２の順序で照射部が
移動するが、ビーム径９′が小さいために、レーザ光が
照射されない未走査部１４が発生する。尚第５図（Ｃ）
で、未走査部１４の発生を防止するには、被検査物１の
走行速度をＶ／２とする必要がある。
光のビーム径９′を、第５図（Ｂ）のビーム径９の１７
２に選定した例である。この際レーザ光は１１’−１→
１２’−１→１１’−２→１２’−２の順序で照射部が
移動するが、ビーム径９′が小さいために、レーザ光が
照射されない未走査部１４が発生する。尚第５図（Ｃ）
で、未走査部１４の発生を防止するには、被検査物１の
走行速度をＶ／２とする必要がある。
検査の精度を高めるためには、レーザ光のビーム径９や
９′は小さい事が望ましい、しかし上記の如く、ビーム
径が小さいレーザ光で、ライン走行中の帯状被検査物１
を走査すると、未走査部１４が発生する。回転ミラー３
の反射面の数を増加させあるいは回転ミラー３の回転数
を上げると、未走査部１４の発生が防止できる。しかし
前者は振り角度が小さくなるため回転ミラー３と被検査
物１との距離を大きくとる必要があり設備が大型化する
。
９′は小さい事が望ましい、しかし上記の如く、ビーム
径が小さいレーザ光で、ライン走行中の帯状被検査物１
を走査すると、未走査部１４が発生する。回転ミラー３
の反射面の数を増加させあるいは回転ミラー３の回転数
を上げると、未走査部１４の発生が防止できる。しかし
前者は振り角度が小さくなるため回転ミラー３と被検査
物１との距離を大きくとる必要があり設備が大型化する
。
また後者では１回転ミラー３のベアリングの寿命が短く
なるという問題点がある。
なるという問題点がある。
［発明が解決しようとする課題］
本発明は、ビーム径が小さいレーザ光を用いて、第５図
（Ｃ）の縞状の未走査部１４を発生させないで、ライン
走行中の帯状被検査物ｌの表面を走査する、表面検査装
置の提供を課題としている。
（Ｃ）の縞状の未走査部１４を発生させないで、ライン
走行中の帯状被検査物ｌの表面を走査する、表面検査装
置の提供を課題としている。
［課題を解決するための手段および作用］本発明は、ラ
イン走行中の帯状被検査物ｌの表面を幅方向に光走査し
、その反射光を受光して前記被検査物１の表面の欠陥を
検査する表面検査装置において、レーザ光源２から出力
されたレーザ光を反射させて被検査物の幅方向に光走査
する回転ミラー３と、レーザ光が被検査物で反射された
光量を電圧量に変換するレシーバ４と、回転ミラー３か
らの走査レーザ光の光路を変更させる第１反射ミラー５
と、第１反射ミラー５で反射されたレーザ光を反射させ
て被検査物１に照射する第２反射ミラー６とを有する事
を特徴とする、薄鋼板の表面検査装置である。
イン走行中の帯状被検査物ｌの表面を幅方向に光走査し
、その反射光を受光して前記被検査物１の表面の欠陥を
検査する表面検査装置において、レーザ光源２から出力
されたレーザ光を反射させて被検査物の幅方向に光走査
する回転ミラー３と、レーザ光が被検査物で反射された
光量を電圧量に変換するレシーバ４と、回転ミラー３か
らの走査レーザ光の光路を変更させる第１反射ミラー５
と、第１反射ミラー５で反射されたレーザ光を反射させ
て被検査物１に照射する第２反射ミラー６とを有する事
を特徴とする、薄鋼板の表面検査装置である。
以下図面に基づき本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の表面検査装置の概要説明図である。被
検査物ｌは、矢印１３方向に走行する帯状薄鋼板である
。２はレーザ光源で、レーザ光は、矢印ｌＯ力方向回転
する多数の鏡面を有する回転ミラー３で反射される。４
はレシーバで、レーザ光が被検査物で反射された光量を
電圧量に変換する６回転ミラー３で反射されたレーザ光
は、第１反射ミラー５で反射され、光路が変って、第２
反射ミラー６に至るが、レーザ光は第２反射ミラー６で
更に反射されて、被検査物ｌ上に照射される。
検査物ｌは、矢印１３方向に走行する帯状薄鋼板である
。２はレーザ光源で、レーザ光は、矢印ｌＯ力方向回転
する多数の鏡面を有する回転ミラー３で反射される。４
はレシーバで、レーザ光が被検査物で反射された光量を
電圧量に変換する６回転ミラー３で反射されたレーザ光
は、第１反射ミラー５で反射され、光路が変って、第２
反射ミラー６に至るが、レーザ光は第２反射ミラー６で
更に反射されて、被検査物ｌ上に照射される。
第２図は、第１図のイーイ矢親図で、本発明の詳細な説
明図である。第２図で、回転ミラー（図示しない）は、
レーザ光を１６から１７を経由して１８に至るように光
路を移動させる。従来法で第１反射ミラー５がない時は
、レーザ光１６は、被検査物の端部１１−１に達する。
明図である。第２図で、回転ミラー（図示しない）は、
レーザ光を１６から１７を経由して１８に至るように光
路を移動させる。従来法で第１反射ミラー５がない時は
、レーザ光１６は、被検査物の端部１１−１に達する。
しかし本発明では、第１反射ミラー５と第２反射ミラー
６とによって、レーザ光１６は反射されて、被検査物ｌ
の１５−１に達する。
６とによって、レーザ光１６は反射されて、被検査物ｌ
の１５−１に達する。
同様に、従来法で第１ミラー５がない時はレーザ光１７
は１５−２に達するが、しかし本発明では、レーザ光１
７は、第１反射ミラー５と第２反射ミラー６とによって
反射されて光路が変り、被検査物１の１２−１に達する
。レーザ光が更に移動すると、レーザ光１７は第１反射
ミラー５を外れて、１５−２に直接に照射される。レー
ザ光が、１７から１８に移動する間は、レーザ光を遮る
ものがないために、反射される事なく直接に被検査物１
上に照射されて、レーザ光１８は被検査物１の１２−２
に達する。
は１５−２に達するが、しかし本発明では、レーザ光１
７は、第１反射ミラー５と第２反射ミラー６とによって
反射されて光路が変り、被検査物１の１２−１に達する
。レーザ光が更に移動すると、レーザ光１７は第１反射
ミラー５を外れて、１５−２に直接に照射される。レー
ザ光が、１７から１８に移動する間は、レーザ光を遮る
ものがないために、反射される事なく直接に被検査物１
上に照射されて、レーザ光１８は被検査物１の１２−２
に達する。
第３図は被検査物１の表面の、レーザ光が走査した部分
を示す図で、（Ａ）は従来の装置による例、（Ｂ）は本
発明の装置による例である。
を示す図で、（Ａ）は従来の装置による例、（Ｂ）は本
発明の装置による例である。
第３図（Ａ）にみられる如く、第１反射ミラー５と第２
反射ミラー６とを有しない従来の装置によると、ビーム
径が小さいレーザ光では未走査部１４が縞状に発生する
。しかし第３図（Ｂ）にみられる如く、本発明では、被
検査物ｌの例えば右半分は走査されないが、左半分は縞
状の未走査部を発生させないで、くまなく走査すること
ができる。
反射ミラー６とを有しない従来の装置によると、ビーム
径が小さいレーザ光では未走査部１４が縞状に発生する
。しかし第３図（Ｂ）にみられる如く、本発明では、被
検査物ｌの例えば右半分は走査されないが、左半分は縞
状の未走査部を発生させないで、くまなく走査すること
ができる。
第１反射ミラー５と第２反射ミラー６とを、第２図でレ
ーザ光１７に対して対象の位置に配すると。
ーザ光１７に対して対象の位置に配すると。
第３図（Ｂ）の被検査物１の右半分をくまなく走査する
ことができる。
ことができる。
以上の如く、本発明の表面検査装置を２ケ用いると、被
検査物１の全面を、くまなく走査することができる。ま
た、第１反射ミラー５と第２反射ミラー６とを、被検査
物の第１回目の通板では第２図の如くに、また第２回目
の通板では第２図のレーザ光１７に対して対象の位置に
、それぞれ設定して、被検査物１を２回通板すると、被
検査物１の全面を、くまなく走査する事ができる。
検査物１の全面を、くまなく走査することができる。ま
た、第１反射ミラー５と第２反射ミラー６とを、被検査
物の第１回目の通板では第２図の如くに、また第２回目
の通板では第２図のレーザ光１７に対して対象の位置に
、それぞれ設定して、被検査物１を２回通板すると、被
検査物１の全面を、くまなく走査する事ができる。
本発明を、１組の第１反射ミラー５と第２反射ミラー６
とを用いて、被検査物ｌを走査する例について説明した
が、第１反射ミラーと第２反射ミラーを２組用いて、被
検査物ｌの幅の１／３宛を、くまなく走査出来る事は、
上記の記載から明らかであり１本発明に含まれる。
とを用いて、被検査物ｌを走査する例について説明した
が、第１反射ミラーと第２反射ミラーを２組用いて、被
検査物ｌの幅の１／３宛を、くまなく走査出来る事は、
上記の記載から明らかであり１本発明に含まれる。
［実施例］
第４図は１本発明の実施例を示す図である。
回転ミラーの振り角αは３０°である。第１反射ミラー
５はβ＝４５１にまた第２反射ミラー６はγ＝４２．５
°になるように配した。尚回転ミラーと、被検査物Ｉと
の距離Ｑ１を１００とすると、回転ミラーと第１反射ミ
ラー５との距離Ｑ２は２０で、被検査物１の幅Ｑ、は５
４である。
５はβ＝４５１にまた第２反射ミラー６はγ＝４２．５
°になるように配した。尚回転ミラーと、被検査物Ｉと
の距離Ｑ１を１００とすると、回転ミラーと第１反射ミ
ラー５との距離Ｑ２は２０で、被検査物１の幅Ｑ、は５
４である。
本発明者等は第４図の装置を用いて、第１回の通板では
被検査物１の左半分を０次に第１反射ミラー５と第２反
射ミラー６とをレーザ光１７に対して第２図と対象の位
置に移して、第２回の通板では被検査物ｌの右半分を走
査したが、ビーム径が従来の１７２のレーザ光を用いて
、高速度で走行する被検査物１の全面をくまなく走査す
ることができた。
被検査物１の左半分を０次に第１反射ミラー５と第２反
射ミラー６とをレーザ光１７に対して第２図と対象の位
置に移して、第２回の通板では被検査物ｌの右半分を走
査したが、ビーム径が従来の１７２のレーザ光を用いて
、高速度で走行する被検査物１の全面をくまなく走査す
ることができた。
［発明の効果］
レーザ光を用いた表面検査装置では、レーザ光のビーム
径が小さい程検出能力が向上する。しかし帯状被検査物
は高速度でラインを走行するため。
径が小さい程検出能力が向上する。しかし帯状被検査物
は高速度でラインを走行するため。
ビーム径が小さいレーザ光では、縞状の未走査部が発生
する。被検査物１は全面を均一に走査する事が重要で、
従って従来の装置では縞状の未走査部の発生を防止する
ため、被検査物ｌが高速度で走行する際は、ビーム径の
大きいレーザ光の使用を余儀なくされていた６ 本発明の表面検査装置を用いると、ビーム径が小さいレ
ーザ光を用いて、高速度でラインを走行する帯状検査物
の表面を、くまなく走査する事ができる。
する。被検査物１は全面を均一に走査する事が重要で、
従って従来の装置では縞状の未走査部の発生を防止する
ため、被検査物ｌが高速度で走行する際は、ビーム径の
大きいレーザ光の使用を余儀なくされていた６ 本発明の表面検査装置を用いると、ビーム径が小さいレ
ーザ光を用いて、高速度でラインを走行する帯状検査物
の表面を、くまなく走査する事ができる。
第１図は本発明の表面検査装置の概要説明図、第２図は
本発明の詳細な説明図、 第３図はレーザ光が走査した部分を示す図。 第４図は本発明の実施例を示す図、 第５図は従来の装置を用いて帯状被検査物を走査する例
を示す図、 である。 １：被検査物、 ２：レーザ光源、 ３：回転ミラー、
４：レシーバ、 ５：第１反射ミラー６：第２反射ミ
ラー、 ９（９’）：ビーム径。
本発明の詳細な説明図、 第３図はレーザ光が走査した部分を示す図。 第４図は本発明の実施例を示す図、 第５図は従来の装置を用いて帯状被検査物を走査する例
を示す図、 である。 １：被検査物、 ２：レーザ光源、 ３：回転ミラー、
４：レシーバ、 ５：第１反射ミラー６：第２反射ミ
ラー、 ９（９’）：ビーム径。
Claims (1)
- ライン走行中の帯状被検査物１の表面を幅方向に光走査
し、その反射光を受光して前記被検査物１の表面の欠陥
を検査する表面検査装置において、レーザ光源２から出
力されたレーザ光を反射させて被検査物の幅方向に光走
査する回転ミラー３と、レーザ光が被検査物で反射され
た光量を電圧量に変換するレシーバ４と、回転ミラー３
からの走査レーザ光の光路を変更させる第１反射ミラー
５と、第１反射ミラー５で反射されたレーザ光を反射さ
せて被検査物１に照射する第２反射ミラー６とを有する
事を特徴とする、薄鋼板の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30316089A JPH03165242A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 薄鋼板の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30316089A JPH03165242A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 薄鋼板の表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165242A true JPH03165242A (ja) | 1991-07-17 |
Family
ID=17917604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30316089A Pending JPH03165242A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 薄鋼板の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03165242A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6390743A (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JPS63267909A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-04 | Takanari Kawabe | 高速回転多面鏡機械的偏光器 |
| JPS6413114A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-18 | Fujitsu Ltd | Optical scanner |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30316089A patent/JPH03165242A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6390743A (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-21 | Toshiba Corp | 表面検査装置 |
| JPS63267909A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-04 | Takanari Kawabe | 高速回転多面鏡機械的偏光器 |
| JPS6413114A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-18 | Fujitsu Ltd | Optical scanner |
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