JPH0316550B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 １ 産業上の利用分野 本発明は真空蒸発器、真空濃縮器や蒸溜の促進
時に所望の真空圧力に自己制御機能を持つ真空度
調節弁に関し、特にこれらの周辺機器システムに
関する。

上記装置に於て製品の品質を一定に保つ為に、
真空圧力を一定に制御しなければならないし、ま
た装置から発生したガスは凝縮させ完全除去しな
ければ、ガスの種類によつては真空発生装置自体
の寿命を短くする。

２ 従来技術 従来この種の真空圧力制御機器に於ては、メイ
ンの真空ラインがあつて、そこから枝別れした管
を真空にすべき装置の吸引口に連結していた。そ
して、真空装置内の真空度を一定に保持する為に
装置の吸引側にバイパス用のニードル弁を設け、
強制的に空気を吸入させ装置内の真空度を調整し
ていた。

また、装置から発生したガスは、液体窒素等の
極低温溶液により強制的に凝縮させるコールドト
ラツプで除去し、真空発生装置には流れ込まない
ようにしていた。

３ 本発明が解決しようとする問題点 上記システムでは所望の真空度を精度よく得る
ことは困難である。つまり、真空発生装置側の圧
力変化に応じて、バイパスのニードル弁の開度を
常時調節する必要がある。また、管内に空気を吸
入させるということは、それだけ真空発生装置の
余分な運転につながり、ランニングコストが高く
なる。

コールドトラツプ自体高価なものであり、また
それに類する配管をしなければならず、さらには
極低温溶液を使用するのでコストが非常に高くな
る。

４ 問題を解決する為の手段 本発明が講じた技術的手段は、入口出口を有す
る弁筐体内に両者を連通する弁口を設け、ダイヤ
フラムで仕切つた弁室を入口側に形成し、当該弁
口を開閉せしめる弁体を当該ダイヤフラムの弁室
内側に設け、弁室内圧力に応じて当該ダイヤフラ
ムをバランスさせる調整ばねを、当該ダイヤフラ
ムの弁室内側、又は外側、又は両側に配置せしめ
た真空度調節弁に於て、真空気体中の未凝縮ガス
を摘出せしめる為に、入口と出口の通路間に液溜
室を設け、その液溜室内に水溶液を溜め、その中
へ焼結金属フイルターを通して未凝縮ガスを噴
出・発泡せしめたものである。あるいは液溜室の
二次側通路に活性炭フイルターを配置したもので
ある。

５ 作用 本発明の弁の入口側と真空にしたい機器、出口
側と真空ポンプをそれぞれ配管接続し、真空ポン
プにて吸引する。調整ねじを操作してダイヤフラ
ム及びそれに設けられた弁を所望の状態に押し付
ける。運転初期は弁室の圧力がまだ所望の圧力よ
り高い為に、ダイヤフラムはそのままの状態にあ
り弁口は吸引を続ける。やがて弁室の圧力が下が
り所望の圧力に近付いてくると、上調整ばねの付
勢力が勝つてダイヤフラムが下へ撓み、弁口を閉
じる様に働く。通常はこのバランス状態を保ちな
がら作動する。この調整ばね力を操作することに
より任意の真空度を容易に得ることが出来る。

弁口から出口側への間に未凝縮ガスは、焼結金
属フイルターを通つて液溜室内の水溶液中へ噴出
する。この時ガスは発泡作用により、表面積を多
くして、水溶液中に溶解する。

溶解しきれなかつたガスは、更に出口側に設け
られた活性炭フイルターで吸着される。

６ 発明の効果 本発明は下記の特有の効果を生じる。

大掛かりな装置を必要とせず安価で容易に真空
度を調節でき、更にクリーンな空気を二次側へ送
ることが出来る。

弁はダイヤフラムでバランス作動しているの
で、二次側の真空度の変化に関係なく、一次側圧
力を一定に保持するとが出来る。

７ 実施例 上記の技術的手段の具体例を示す実施例を説明
する。（第１図参照） 本体１に入口２、出口３を同軸上に形成し、それ
ぞれに配管接続用の雌ねじを施す。本体の入口出
口を結ぶ軸と垂直方向に本体壁に囲まれた空間を
形成し、底部に弁口４を有する弁座部材５をガス
ケツト９を挾んで挿入する。弁座部材５の下部に
は雄ねじが施され、本体下面にガスケツト６を介
入してキヤツプ７をホルダー８で挾んで固定す
る。弁座部材５の上端部はゴム製の弁座シート１
０を接着接合する。

本体１と蓋１３の間にゴム製（または金属製）
のダイヤフラム１１を挾み袋ナツト１２で締付
け、弁室１４に形成する。ダイヤフラム１１に弁
体１５を弁室１４の内側向きに貫通せしめ、座金
１６，１７を上下に挾んで固定する。

ダイヤフラム１１の下面と弁室１４の底部の間
に弁口を中心に位置するように下調整ばね１９を
配置する。一方上面には上調整ばね２０を配置
し、剛性のボール２１を圧入したぱね押え２２を
挾んで蓋１３の上部に螺合せしめた調整ねじ１８
で付勢する。

蓋１３の上部と調整ねじ１８の間にロツクナツ
ト２３を螺合せしめ、大気との連通口２４を開け
る。

キヤツプ７下部に捕集ピン２５を嵌め込んで取
付ける。弁座部材５の下端は捕集ビン２５内に有
り、ゴム製品の管２６を取付け、その一端は焼結
金属フイルター２７を取付ける。ホルダー８には
出口へ向かう孔が開けられ、その孔を活性炭フイ
ルター２８で塞ぐ。捕集ピン２５には常時水溶液
で半分程度満たされていて、焼結金属フイルター
２７は水中にある。

作用は下記の通りである。

入口２と真空にしたに機器、出口３と真空発生
装置をそれぞれ配管で接続する。調整ねじ１８を
操作してダイヤフラム１１及び弁体１５を所望の
状態に押し付ける。運転初期は弁室１４の圧力が
まだ所望の圧力より高い為に、ダイヤフラム１１
はそのままの状態にあり弁口４を開けて吸引を続
ける。やがて弁室１４の圧力が下がり、所望の圧
力に近付いてくると、上調整ばね２０の付勢力が
勝つてダイヤフラム１１が下へ撓み、弁口４を閉
じる様に働く。通常はこのバランス状態を保ちな
がら作動する。調整ねじ１８を押し下げると閉弁
しやすくなるので、設定圧力を高くすることがで
き、逆に引き上げると、閉弁し難くなるので、設
定圧力を低く設けることができる。この様に、調
整ばね力を操作することにより任意の真空度を容
易に得ることが出来る。

弁口４から出口３への間に未凝縮ガスは、焼結
金属フイルター２７を通つて液溜室内の水溶液中
へ噴出する。この時ガスは発泡作用により、表面
積を多くして、水溶液中に溶解する。

溶解しきれなかつたガスは、更に出口３に設け
られた活性炭フイルター２８で吸着される。

本発明の弁は弁室１４の圧力と調整ばね１８の
バランス状態で作動しているので、二次側圧力の
真空度が変化した場合でも、調整ねじを操作する
ことなく自動的に自己制御し、常に所望の一時圧
力を提供する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の真空度調整弁の断面
図である。 １……本体、２……入口、３……出口、４……
弁口、１３……蓋、１１……ダイヤフラム、１４
……弁室、１５…弁体、１８……調整ねじ、１
９，２０……調整ばね、２５……捕集ビン、２７
……焼結金属フイルター、２８……活性炭フイル
ター。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 入口出口を有する弁筐体内に両者を連通する
   弁口を設け、ダイヤフラムで仕切つた弁室を入口
   側に形成し、当該弁口を開閉せしめる弁体を当該
   ダイヤフラムの弁室内側に設け、弁室内圧力に応
   じて当該ダイヤフラムをバランスさせる調整ばね
   を、当該ダイヤフラムの弁室内側、又は外側、又
   は両側に配置せしめた真空度調節弁に於て、真空
   気体中の未凝縮ガスを摘出せしめる為に、入口と
   出口の通路間に液溜室を設けたことを特徴とする
   真空度調節弁装置。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の装置に於いて、
   液溜室内に水溶液を溜め、その中へ焼結金属フイ
   ルターを通して未凝縮ガスを噴出・発泡せしめた
   ことを特徴とする真空度調節弁装置。 ３ 特許請求の範囲第１項記載の装置に於いて、
   液溜室の二次側通路に活性炭フイルターを配置し
   たことを特徴とする真空度調節弁装置。