JPH03165534A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JPH03165534A JPH03165534A JP30562089A JP30562089A JPH03165534A JP H03165534 A JPH03165534 A JP H03165534A JP 30562089 A JP30562089 A JP 30562089A JP 30562089 A JP30562089 A JP 30562089A JP H03165534 A JPH03165534 A JP H03165534A
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Links
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は欠陥検査装置、特に半導体ウェーハの検査に適
用しうる欠陥検査装置に関する。
用しうる欠陥検査装置に関する。
従来の技術としては、例えば、特公昭６１５０１０６２
号公報に示されているように暗視野照明を持いた検査シ
ステムがある。
号公報に示されているように暗視野照明を持いた検査シ
ステムがある。
従来の欠陥検査装置は、検査領域がら光が透過するよう
に、前記領域を照射する手段と、前記透過光を集め、前
記領域のパターンを表す第１の出力信号を発生する手段
と、前記第一の領域と同一と仮定される第２の領域から
、比較信号を発生させる手段と、暗視野照射の手段と、
前記第１の領域と前記第２の領域を比較するための手段
とを含んで構成される。
に、前記領域を照射する手段と、前記透過光を集め、前
記領域のパターンを表す第１の出力信号を発生する手段
と、前記第一の領域と同一と仮定される第２の領域から
、比較信号を発生させる手段と、暗視野照射の手段と、
前記第１の領域と前記第２の領域を比較するための手段
とを含んで構成される。
次に従来の欠陥検査装置について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第２図に示す欠陥検査装置は、被検査物２０に焦点を合
わした絞りレンズ２１，２２，２３．２４と、透過照明
２５．２６と暗視野照明源２７゜２８と光電変換素子２
９．３０と比較器３１とを含んでいる。
わした絞りレンズ２１，２２，２３．２４と、透過照明
２５．２６と暗視野照明源２７゜２８と光電変換素子２
９．３０と比較器３１とを含んでいる。
ここで、暗視野照射により、検査領域を照射し、透過光
がパターン端部から散乱された光となるようにし、パタ
ーン境界部を強調して比較検査する。
がパターン端部から散乱された光となるようにし、パタ
ーン境界部を強調して比較検査する。
上述した従来の欠陥検査装置は、暗視野照明源より散乱
光を強調し、パターンの検査をするとるっているなめ、
パターンの微小な細りなどは暗祁野照明による散乱のハ
レーションで検出出来な−という欠点があった。
光を強調し、パターンの検査をするとるっているなめ、
パターンの微小な細りなどは暗祁野照明による散乱のハ
レーションで検出出来な−という欠点があった。
本発明の欠陥検査装置は、検査試料を位置決ダるＸ−Ｙ
ステージと、前記検査試料上に焦点をそわせた明視野・
暗視野の切変え式光学系を持つ黄電変換素子と、該光電
変換素子の暗視野像を２金化する２値化回路と、明視野
、暗視野の各前記黄電変換素子像間を比較する比較回路
と、説明視ｙ像の比較結果から前記２値化回路結果部分
を除くＸＯＲ回路とを含んで構成される。
ステージと、前記検査試料上に焦点をそわせた明視野・
暗視野の切変え式光学系を持つ黄電変換素子と、該光電
変換素子の暗視野像を２金化する２値化回路と、明視野
、暗視野の各前記黄電変換素子像間を比較する比較回路
と、説明視ｙ像の比較結果から前記２値化回路結果部分
を除くＸＯＲ回路とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す欠陥検査装置は、Ｘ−Ｙステージ１上に置
かれた被検査物２へ焦点合わせした結像レーンズ３．４
と暗視野照明源５，６と明視野照明源７，８を制御する
明・暗視野コントローラ９と、結像レンズ３．４のそれ
ぞれの像を結ぶ光電変換素子１０．１１と、明・暗視野
コントローラ９が明視野時に前記光電変換素子１０．１
１の像を比較する明視野比較器１２と、明暗視野コント
ローラ９が明視野時に光電変換素子１ｏ １１の像から
２値化像を発生する２値化回路１３と、暗視野像の比較
をする暗視野比較器１４と、２値化回路１３と明視野比
較器のＸＯＲを行うＸＯＲ回路１５と、前記ＸＯＲ回路
１５と暗視野比較器との結果から結果出力を行う結果出
力器１６とを含んで構成される。
かれた被検査物２へ焦点合わせした結像レーンズ３．４
と暗視野照明源５，６と明視野照明源７，８を制御する
明・暗視野コントローラ９と、結像レンズ３．４のそれ
ぞれの像を結ぶ光電変換素子１０．１１と、明・暗視野
コントローラ９が明視野時に前記光電変換素子１０．１
１の像を比較する明視野比較器１２と、明暗視野コント
ローラ９が明視野時に光電変換素子１ｏ １１の像から
２値化像を発生する２値化回路１３と、暗視野像の比較
をする暗視野比較器１４と、２値化回路１３と明視野比
較器のＸＯＲを行うＸＯＲ回路１５と、前記ＸＯＲ回路
１５と暗視野比較器との結果から結果出力を行う結果出
力器１６とを含んで構成される。
暗視野照明源５，６を使用した像は、明・暗視野コント
ローラ９の指示により暗視野比較器１４を使用して検査
される。この時暗視野検査域は２値化回路１３により、
２値化像として保存される。明視野照明源７，８を使用
した像は、明・暗視野コントローラ９の指示により明視
野比較器１５を使用して検査される。
ローラ９の指示により暗視野比較器１４を使用して検査
される。この時暗視野検査域は２値化回路１３により、
２値化像として保存される。明視野照明源７，８を使用
した像は、明・暗視野コントローラ９の指示により明視
野比較器１５を使用して検査される。
ＸＯＲ回路１５により、明視野比較器１２の結果より暗
視野における検査部分が取りのぞがれ、結果出力器１６
から、明・暗視野それぞれの特長。
視野における検査部分が取りのぞがれ、結果出力器１６
から、明・暗視野それぞれの特長。
を利用した検査結果が出力される。
本発明の欠陥検査装置は、明視野と暗視野比較を行い、
暗視野像を２値化し明視野比較部分から暗視野像部をの
ぞくことにより、平面部は明視野で凹凸部は暗視野で検
査できるという効果がある。
暗視野像を２値化し明視野比較部分から暗視野像部をの
ぞくことにより、平面部は明視野で凹凸部は暗視野で検
査できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
従来の一例を示すブロック図である。 １・・・Ｘ−Ｙステージ、２・・・被検査物、３．４・
・・結像レンズ、５，６・・・暗視野照明源、７．８・
・・明視野照明源、９・・・明・暗視野コントローラ、
１０．１１・・・光電変換素子、１２・・・明視野比較
器、１３・・・２値化回路、１４・・・暗視野回路、１
５・・・ＸＯＲ回路、１６・・・結果出力器、２ｏ・・
・被検査物、２１〜２４・・・絞りレンズ、２５．２６
・・・透過照明、２７，２８川暗視野照明源、２９．３
０・・・光電変換素子、３１・・・比較器。
従来の一例を示すブロック図である。 １・・・Ｘ−Ｙステージ、２・・・被検査物、３．４・
・・結像レンズ、５，６・・・暗視野照明源、７．８・
・・明視野照明源、９・・・明・暗視野コントローラ、
１０．１１・・・光電変換素子、１２・・・明視野比較
器、１３・・・２値化回路、１４・・・暗視野回路、１
５・・・ＸＯＲ回路、１６・・・結果出力器、２ｏ・・
・被検査物、２１〜２４・・・絞りレンズ、２５．２６
・・・透過照明、２７，２８川暗視野照明源、２９．３
０・・・光電変換素子、３１・・・比較器。
Claims (1)
- 検査試料を位置決めるＸ−Ｙステージと、前記検査試料
上に焦点を合わせた明視野・暗視野の切変え式光学系を
持つ光電変換素子と、該光電変換素子の暗視野像を２値
化する２値化回路と、明視野、暗視野の各前記光電変換
素子像間を比較する比較回路と、説明視野像の比較結果
から前記２値化回路結果部分を除くＸＯＲ回路とを含む
ことを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562089A JPH03165534A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30562089A JPH03165534A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165534A true JPH03165534A (ja) | 1991-07-17 |
Family
ID=17947332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30562089A Pending JPH03165534A (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03165534A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0610916A3 (en) * | 1993-02-09 | 1994-10-12 | Cedars Sinai Medical Center | Method and device for generating preferred segmented numerical images. |
| WO1996039619A1 (en) * | 1995-06-06 | 1996-12-12 | Kla Instruments Corporation | Optical inspection of a specimen using multi-channel responses from the specimen |
| JPH1090192A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-04-10 | Kla Instr Corp | 試料からの多重チャネル応答を用いた試料の光学的検査 |
| US5917588A (en) * | 1996-11-04 | 1999-06-29 | Kla-Tencor Corporation | Automated specimen inspection system for and method of distinguishing features or anomalies under either bright field or dark field illumination |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30562089A patent/JPH03165534A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0610916A3 (en) * | 1993-02-09 | 1994-10-12 | Cedars Sinai Medical Center | Method and device for generating preferred segmented numerical images. |
| WO1996039619A1 (en) * | 1995-06-06 | 1996-12-12 | Kla Instruments Corporation | Optical inspection of a specimen using multi-channel responses from the specimen |
| US5822055A (en) * | 1995-06-06 | 1998-10-13 | Kla Instruments Corporation | Optical inspection of a specimen using multi-channel responses from the specimen using bright and darkfield detection |
| JPH1090192A (ja) * | 1996-08-29 | 1998-04-10 | Kla Instr Corp | 試料からの多重チャネル応答を用いた試料の光学的検査 |
| US5917588A (en) * | 1996-11-04 | 1999-06-29 | Kla-Tencor Corporation | Automated specimen inspection system for and method of distinguishing features or anomalies under either bright field or dark field illumination |
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