JPH0316603B2 - - Google Patents

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JPH0316603B2
JPH0316603B2 JP59223652A JP22365284A JPH0316603B2 JP H0316603 B2 JPH0316603 B2 JP H0316603B2 JP 59223652 A JP59223652 A JP 59223652A JP 22365284 A JP22365284 A JP 22365284A JP H0316603 B2 JPH0316603 B2 JP H0316603B2
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signal
image sensor
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Priority to GB08524089A priority patent/GB2165942B/en
Priority to FR8514464A priority patent/FR2572181B1/fr
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    • B07SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07CPOSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34Sorting according to other particular properties
    • B07C5/3404Sorting according to other particular properties according to properties of containers or receptacles, e.g. rigidity, leaks, fill-level
    • B07C5/3408Sorting according to other particular properties according to properties of containers or receptacles, e.g. rigidity, leaks, fill-level for bottles, jars or other glassware
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/90Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/845Objects on a conveyor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は表面検査装置、特に、例えばベルトコ
ンベヤ上を連続して流れて来る被検査物の表面の
良否を光イメージセンサ等を用いて自動的に検査
する表面検査装置に関するものである。
〔従来の技術〕
近年、物体の外観や表面の良否を、人の目視に
よる検査に代えて、光イメージセンサ、例えばビ
デオカメラを用いて撮映し、画像(ビデオ)信号
を得、このビデオ信号を電子回路等によりい処理
して、物体の良否の判定を自動的に行う検査装置
が、種々提供されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上述した如き従来の検査装置に
於いては、ビデオカメラは、通常固定され、その
視野は一方向に限定されている。従つて、被検査
物が例えばコツプの如き立体的物体の場合は、一
度にその全周を検査できない欠点がある。
一方、1個の被検査物に対して、数台のビデオ
カメラを用い、夫々異なる多方向面から被検査物
を同時に検査することも考えられているが、これ
は、多数のビデオカメラ及び関連する多数の処理
回路等を必要とするので、高価になり、且つ広い
検査場を必要とする欠点がある。
更に、1個のビデオカメラを用い、その検査位
置で、コツプの如き立体的被検査物を一旦停止、
回転させ、被検査領域を変えて、数回の検査を繰
り返して、全周を検査することも考えられている
が、この検査方法は、1個の被検査物の検査に長
い時間がかゝり、ベルトコンベヤ上を流れて来る
コツプ等の被検査物の検査に適用することは、不
可能である。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、コンベヤ1により連続して一方向a
に送られて来る被検査物2の表面を照明装置6に
より照明し、1台の光イメージセンサ3を用いて
撮映し、それよりの画像信号を処理して被検査物
の表面の良否の検査を行う装置に於いて、上記光
イメージセンサ3を連続する複数個の被検査物2
を同時撮映するように配置すると共に、上記コン
ベヤ1を、上記連続する被検査物2が上記光イメ
ージセンサ3の視界内を一方向に通過する間に、
その個々の全ての被検査面が上記光イメージセン
サ3により撮映されるように上記連続する被検査
物を回転させるように構成し、上記光イメージセ
ンサ3の出力画像信号を検査装置5に供給し、そ
こで上記撮映された複数個の被検査物2の画像信
号を該被検査物の移動に同期して検査を行い、
夫々の判定信号をシフトレジスタ8の互に隣接し
上記被検査物の数と同数のパラレル入力端子に供
給すると共に、該シフトレジスタに上記連続する
被検査の移動に同期したシフトパルスを供給し、
上記判定信号をシフトして出力するようになした
表面検査装置を提供したものである。
又、更に本発明は、コンベヤ1により連続して
一方向aに送られて来る被検査物2の表面を照明
装置6により照明し、1台の光イメージセンサ3
を用いて撮映し、それよりの画像信号を処理して
被検査物の表面の良否の検査を行う装置に於い
て、上記光イメージセンサ3を連続する複数個の
被検査物2を同時撮映するように配置すると共
に、上記コンベヤ1を、上記連続する被検査物2
が上記光イメージセンサ3の視界内を一方向に通
過する間に、その個々の全ての被検査面が上記光
イメージセンサ3により撮映されるように上記連
続する被検査物を回転させるように構成し、上記
光イメージセンサ3の出力画像信号を検査装置5
に供給し、そこで上記撮映された複数個の被検査
物2の画像信号を該被検査物の移動に同期して検
査を行い、夫々の判定信号をシフトレジスタ8の
互に隣接し上記被検査物の数と同数のパラレル入
力端子に供給すると共に、該シフトレジスタに上
記連続する被検査物の移動に同期したシフトパル
スを供給して上記判定信号をシフトし、上記シフ
トレジスタの出力信号を排除装置9に供給し、不
良被検査物を排除するようになした表面検査装置
を提供したものである。
〔作用〕
上述した本発明による表面検査装置は、1台の
光イメージセンサが、コンベヤにより搬送されて
来る複数個の被検査物を同時に撮映し、その画像
信号を被検査物の移動に同期して検査装置で検査
処理して判定信号を出力し、この判定信号をシフ
トレジスタで被検査物の移動に同期して所定時間
遅らせて出力し、この出力信号で排除装置を駆動
し、不良被検査物をコンベヤより排除するように
なす。
〔実施例〕
以下、本発明の一例を添付図面を参照して説明
する。
第1図は本発明による物体の表面検査装置の一
例の全体を示す略線的ブロツク図で、同図に於い
て、1はベルトコンベヤの如きコンベヤで、その
上に、コツプ、ビン等の被検査物2が、矢印a方
向に、所定の間隔を以て連続して略々一定速度で
搬送される。3はビデオカメラの如き光イメージ
センサで、これは、コンベヤ1上を連続して流れ
て来る被検査物、例えばコツプ2を複数個、この
例では続く3個を同時に撮映する如き位置に配置
されている。4はビデオカメラ3よりの画像(ビ
デオ)信号を受け、その画面上に3個のコツプ2
の像を再生するビデオモニタであり、5は電子処
理回路を有し、ビデオカメラ3よりのビデオ信号
を処理して、コツプ2の表面の良否を判定し、良
否の判定信号(良の場合は“0”否の場合は
“1”なる判定信号)を出力する検査装置。6は
照明装置の光源で、この例では透明なコツプ2を
照明し、それを通過した光がビデオカメラ3に入
射し得るように配置される。6Aは透過拡散板
で、コツプ2と光源6との間に配置され、光源6
よりの光が広範囲に亘り、均一に複数個、この例
では3個のコツプ2を照明し得るように光源3と
共に照明装置を構成する。
第1図の例では、被検査物であるコツプ2は、
上述の如く、透明な、例えばガラスコツプと仮定
しているので、光源6はコツプ2に関して、ビデ
オカメラ3と反対側に配置され、コツプ2を通過
した光源6よりの光が、ビデオカメラ3に入射す
る。
又、第1図に於いて、7A及び7Bは、コンベ
ヤ1の両側で、且つビデオカメラ3のコツプ2の
流れに対し、上流に配されたパルス信号発生装置
7を構成するもので、例えば7Aは光ビーム発生
器であり、7Bはその受光器で、この受光器7B
は光ビーム発生器7Aよりの光ビームを受けてい
る時は信号を発生しないが、両者間にコツプ2が
通過し、光ビームが遮ぎられる(又は弱められ
る)毎に、換言すれば、両者間をコツプ2が通過
する毎に、1個のパルス信号を発生し、このパル
ス信号を検査装置5に供給する。この検査装置5
は、受光器7Bよりのパルス信号を受ける毎に、
ビデオカメラ3よりの画像信号、この例の場合、
連続する3個のコツプ2の画像信号を同時に判定
処理し、夫々に就き、別々の判定信号を、その出
力端子51,52,53に発生する。又、8はシフ
トレジスタで、その連続する複数個、この例では
3個のパラレル入力端子8P1,8P2,8P3に、
検査装置5の3個の出力端子51,52,53より
の3個の判定信号が夫々同時に入力される。又、
受光器7Bよりのパルス信号をシフトレジスタ8
の入力端子8Iに、シフトパルスとして供給し、
それに供給されている上述の判定信号を、シフト
パルスが1個入力される毎に、シフトレジスタ8
の出力端子8Oに向かつて1ステツプ順次シフト
する。9は、コンベヤ1のビデオカメラ3に対
し、下流の所定位置に配置された不良品用の排除
装置で、シフトレジスタ8の出力端子8Oの出力
信号により駆動され、(信号“1”により駆動さ
れるも、信号“0”では駆動されない)不良コツ
プ2を、コンベヤ1に隣接して設けた不良品の排
除用コンベヤ10上に送る。矢印a1は排除用コン
ベヤ10の移動方向を示す。
次に、上述した本発明による物体の表面検査装
置の動作を、連続する複数個、例えば3個の被検
査物2、例えば透明ガラスより成るコツプを同時
に検査する場合を例に挙げ説明しよう。
第2図は、或る時点に於けるビデオモニタ4の
画面4Aを示し。この時点に於いては、連続する
3個の位置2n,2n+1,2n+2に在るコツプ2の
画像が再生されているものとする。尚、位置2
n-1,2n+3のコツプ2は、ビデオカメラ3の視界
内になく、従つてビデオモニタ4の画面4A上に
は再生されていない。
扨て、本発明に於いては、夫々のコツプ2がビ
デオカメラ3の視界内を通過する間に、その検査
されるべき(被検査)表面をずべてがビデオカメ
ラ3により撮映されるようにするため、各コツプ
2を、ビデオカメラ3の視界内を通過する間に、
略々1回転させる。このため、本発明に於いて
は、第1図の一部を拡大して示す第3図の如く、
コンベヤ、例えばベルトコンベヤ1を、夫々互に
平行な4本のベルトコンベヤ11,12,13,
14に分割し、夫々の矢印a方向の移動速度を、
分割したベルト11から14に行くに従つて、順
次遅くなり、各コツプ2がビデオカメラ3の視界
内、例えば第3図のコンベヤ1の距離VFを通過
する間に、略々矢印b方向に一回転するようにな
し、その被検査表面の全てが、ビデオカメラ3に
より撮映されるようになす。
扨て、第2図に示す如く、続く3個の位置2
n,2n+1,2n+2に在るコツプ2が1個のビデオ
カメラ3によつて同時に撮映される場合、連続す
る位置2n,2n+1,2n+2に在る3個のコツプ2
の相互の回転位相差は、約120°である。今、例え
ば位置2nにあるコツプ2の全周面の検査を1個
のビデオカメラ3により行なう場合、位置2nの
コツプ2が第2図の位置2n,2n+1及び2n+2
3個所で検査されれば、その全周面の検査が行わ
れることになる。従つて、本発明に於いては、ビ
デオカメラ3よりのビデオ信号を、検査装置5で
常に検査又は判定するのではなく、1個のコツプ
2が3つの位置2n,2n+1,2n+2に在る際に、
ビデオカメラ3よりのビデオ信号を、検査装置5
で検査処理するものである。勿論、あるコツプ2
が位置2nに在る時は、前の2個のコツプは、位
置2n+1及び2n+2にあり、これ等のコツプ2のビ
デオ信号も、2nの位置にあるコツプ2のビデオ
信号と同時に処理され、それ等の判定信号が、検
査装置5より、別々且つ同時にシフトレジスタ8
のパラレル入力端子8P1,8P2,8P3に供給さ
れることは、上述の如くである。
各コツプが2n,2n+1及び2n+2の位置にある
時のビデオカメラ3よりのビデオ信号を処理する
ため、本発明に於いては、受光器7Bよりのパル
ス信号を検査装置5へ供給し、このパルス信号が
供給された時のみ、検査装置5がビデオカメラ3
よりのビデオ信号の処理を行い、判定信号をシフ
トレジスタ8へ出力するようになす。
上述の如く、コツプ2を1回転させ、その間、
回転位相の異なる3つの位置でその外周面を検査
する場合、コツプ2の上面を3等分(120°角間
隔)A,B,Cに分けて示す第4図に関連して、
第2図の撮映状態を説明する。この場合、位置2
n+2にあるコツプの撮映されている領域は、第4
図の部分Aであるとすれば、位置2n+1及び2n
にあるコツプの撮映されている領域は、第4図の
部分B及びCである。換言すれば、各1個のコツ
プは、ビデオカメラ3の視界内を1回転しながら
通過する間に、3個の位置2n,2n+1,2n+2
於いて、3等分された部分A,B,Cのビデオカ
メラ3よりのビデオ信号が、検査装置5で検査処
理される。
今、或るコツプ2が、例えばその部分Bのみ
に、例えば「割れ」の如き欠陥2Aがあつたとす
る。この場合を、第2図のビデオモニタ4の画面
4Aで説明する。このコツプ2は、位置2nでは
その部分Aが撮映されているので、検査装置5は
その位置に対応したビデオ信号に対しては、信号
を出力しない(信号“0”を出力する)が、次の
位置2n+1では、欠陥2Aを含んだ部分Bが撮映
されるので、欠陥2Aを含むビデオ信号がビデオ
カメラ3から検査装置5に送られることになるの
で、検査装置5は、この位置2n+1に対応しては
信号を出力する(信号“1”を出力する)。更に、
その次の位置2n+2に進んだ時は、コツプ2の部
分Cが撮映されるので、部分Aの撮映時と同様、
検査装置5は、この位置2n+2に対応したヒデオ
信号に対しては、信号を出力しない(信号“0”
を出力する)。
上述の信号処理は、連続して、次々と、所定の
時間間隔でビデオカメラ3の視界内に入つて来る
各コツプ2に対して行なわれるものである。
尚、検査装置5としては、例えば、ビデオカメ
ラ3よりのアナログビデオ信号を、A/Dコンバ
ータによりデジタル信号に変換し、このデジタル
信号をマイクロプロセツサ等により電気的に処理
し、入力されるビデオ信号に欠陥等に対応する異
常が含まれている時は、デジタル出力を発生する
ものであれば、どのようなものでもよい。
上述の例では、検査装置5は、第1図に示す如
く、3個の出力端子51,52,53を有し、これ
等出力端子は第2図の位置2n,2n+1,2n+2
対応し、それ等の位置でのビデオ信号の処理結果
の出力(判定出力)が、3個の出力端子51,5
,53に夫々現われる。
シフトレジスタ8は、第1図に示す如く、複数
個、この例てでは順次配列された10個のメモリセ
ル81,82…89,810より成り、第1、第2、第
3のメモリセル81,82,83即ちそれ等に設け
たパラレル入力端子8P1,8P2,8P3に検査装
置5の出力端子51,52,53が夫々接続されて
いる。又、このシフトレジスタ8の入力端子8I
には、前述の如く、コツプ2が1個分矢印a方向
に進む毎に1個のシフトパルスが受光器7Bから
供給されるので、各メモリセル81,82,83
入力された検査装置5の出力端子51,52,53
よりの判定出力信号は、シフトパルスに同期し
て、出力端子8Oに向かつて、1メモリセル分だ
けづつシフトされる。
第1図に示す実施例では、シフトレジスタ8は
10個のメモリセル81…810から成つているので、
第1のメモリセル81に入力された判定出力信号
がシフトレジスタ8の出力端子8Oに現われるの
は、コツプ2が10個分下流へ搬送された時点であ
るので、排除装置9を、ビデオカメラ3の視野の
最初のコツプ2から数えて、下流へ、即ち矢印a
方向に関して下流の第10番目のコツプ2の位置に
配置し、この排除装置9をシフトレジスタ8の出
力端子8Oに現われる信号により駆動すれば、不
良コツプの排除タイミングは、シフトレジスタ8
のシフトタイミングと一致して、不良コツプのみ
を確実に排除し、排除用コンベヤ10に排出する
ことができる。尚、排除装置9としては、例えば
プランジヤの如きもので、信号(信号“1”)を
受けると駆動され、そのロツド9Aが突出し、不
良コツプを排除用コンベヤ10に押し出し、然る
後、自動的に後退し、元の位置(第1図の状態)
に戻り、次の信号“1”を受ける迄、その状態を
保持する。
次に、欠陥コツプ2の排除に就いて具体的に説
明しよう。今、或るコツプ2Fが、第4図で示し
た部分Bのみに欠陥2Aがなあり、前の部分Aか
らビデオカメラ3により最初に(第2図の位置2
nとする)撮映されのものとする。この位置での
ビデオカメラ3よりのビデオ信号には何等異常信
号は含まれていない。従つて、検査装置5の出力
端子51には、信号“0”が出力され、これは、
シフトレジスタ8の第1のメモリセル81に入力
端子8P1を介して入力される。コツプ2Fが次
の位置2n+1に来ると、その欠陥2Aが在る部分
Bが撮映されるので、検査装置5の出力端子52
には、信号“1”が出力され、これは第2のメモ
リセル82に、入力端子8P2を介して供給される。
次の位置2n+2に於いては、コツプ2Fの部分C
が撮映されるが、この部分には欠陥がないので、
検査装置5の入力端子53には、信号“0”が出
力され、これが第3のメモリセル83に、入力端
子8P3を介して供給される。このコツプ2Fが
矢印a方向にコンベヤ1上を搬送され、最初の位
置2nから、排除装置9が配置されているコツプ
10個分(欠陥2Aが撮映された位置2n+1からコ
ツプ9個分)下流の位置2n+9に到達したとする。
この時、シフトレジスタ8の第2のメモリセル8
に入力された信号“1”は、丁度シフトレジス
タ8の出力端子8Oに到達しているので、この信
号“1”により排除装置9が駆動され、コツプ2
Fはコンベヤ1より排除用コンベヤ10に排出さ
れるものである。
シフトレジスタ8は、欠陥コツプ2の排除タイ
ミングを調節するに供するもので、排除装置9の
設置位置に応じて、シフトレジスタ8のメモリセ
ルの個数を増減させ得るものである。
尚、上述の実施例では、コツプ2をビデオカメ
ラ3の視野内で1回転させ、その間、夫々120°回
転した3位置で表面の欠陥検査を行つたが、コツ
プによつては、例えば上述の如く透明材より成る
コツプの場合、第1図の如き配置であれは、光源
6よりの光はコツプを通過してビデオカメラ3に
入るので、ビデオカメラ3は、コツプの対向する
2つの部分を撮映し得るので、ヒデオカメラ3の
視野内でコツプを上述の如く1回転(360°)しな
くとも良い。即ち、例えば2n位置で撮映されな
い両側縁部が撮映されるように、僅か回転させれ
ば良い。この場合、コンベヤ1の構造は簡単とな
る。
又、ビデオカメラ3が同時に撮映するコツプ、
即ち被検査物2の数は3に限定する必要はなく、
ビデオカメラの精度、コツプと寸法によつては2
或いは4以上であつてもよい。
又、上述の本発明の実施例では、光源6を被検
査物2に関して、ビデオカメラ3と反対側に配置
したが、被検査物2が不透明材より成る場合は、
被検査物に関してビデオカメラ3と同一側に配置
する。
〔発明の効果〕
上述の如く、本発明に於いては、ビデオカメラ
の如き光イメージセンサを1個用いるのみで通常
1個の光イメージセンサでは、そのまゝでは全て
の被検査表面が検査できないコツプの如き立体的
被検査物の全表面を、光イメージセンサの1視界
内の複数個所で検査することにより被検査物の搬
送を何等妨げることなく、検査し、不良品は検査
後、コンベヤより排除するもので、上述の検査及
び不良品排除動作は、全て自動的に行れると云う
大なる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による物体の表面検査装置の一
例の全体を示す略線的ブロツク図、第2図はビデ
オモニタの画面の平面図、第3図は第1図の一部
の拡大図、第4図は被検査物を上方から見た略線
図である。 図に於いて、1はコンベヤ、2は被検査物、3
は光イメージセンサ、4はビデオモニタ、5は検
査装置、6は光源、6Aは透過拡散板、7はパル
ス信号発生装置、7Aは光ビーム発生器、7Bは
受光器、8はシフトレジスタ、9は排除装置、1
0は排除用コンベヤを夫々示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 コンベヤにより連続して一方向に送られて来
    る被検査物の表面を照明装置により照明し、1台
    の光イメージセンサを用いて該被検査物を撮映
    し、それよりの画像信号を1個の被検査物が通過
    する毎に1個のパルスを発生するパルス信号発生
    装置よりのパルス信号に応じて処理して被検査物
    の表面の良否の検査を行う際に、上記光イメージ
    センサを連続する複数個の被検査物を同時撮映す
    るように配置すると共に、上記コンベヤを上記連
    続する被検査物が上記光イメージセンサの視界内
    を一方向に通過する間に、その個々の全ての被検
    査面が上記光イメージセンサにより撮映されるよ
    うに上記連続する被検査物を回転させるように構
    成した装置に於て、上記光イメージセンサの出力
    画像信号及び上記パルス信号発生装置よりのパル
    ス信号を検査装置に供給し、該検査装置により上
    記撮映された複数個の被検査物の画像信号を該被
    検査物の移動に同期して検査を行い、夫々の判定
    信号をシフトレジスタの互に隣接し上記被検査物
    の数と同数のパラレル入力端子に供給すると共
    に、該シフトレジスタに上記パルス信号発生装置
    よりのパルス信号を供給して、上記判定信号を上
    記被検査物の移動に同期してシフトして出力する
    ようになしたことを特徴とする表面検査装置。 2 コンベヤにより連続して一方向に送られて来
    る被検査物の表面を照明装置により照明し、1台
    の光イメージセンサを用いて該被検査物を撮映
    し、それよりの画像信号を1個の被検査物が通過
    する毎に1個のパルスを発生するパルス信号発生
    装置よりのパルス信号に応じて処理して被検査物
    の表面の良否の検査を行う際に、上記光イメージ
    センサを連続する複数個の被検査物を同時撮映す
    るように配置すると共に、上記コンベヤを上記連
    続する被検査物が上記光イメージセンサの視界内
    を一方向に通過する間に、その個々の全ての被検
    査面が上記光イメージセンサにより撮映されるよ
    うに上記連続する被検査物を回転させるように構
    成した装置に於て、上記光イメージセンサの出力
    画像信号及び上記パルス信号発生装置よりのパル
    ス信号を検査装置に供給し、該検査装置により上
    記撮映された複数個の被検査物の画像信号を該被
    検査物の移動に同期して検査を行い、夫々の判定
    信号をシフトレジスタの互に隣接し上記被検査物
    の数と同数のパラレル入力端子に供給すると共
    に、該シフトレジスタの他の入力端子に上記パル
    ス信号発生装置よりのシフトパルス信号を供給し
    て、上記判定信号を上記被検査物の移動に同期し
    てシフトし、上記シフトレジスタの出力信号を排
    除装置に供給し、不良被検査物を排除するように
    なしたことを特徴とする表面検査装置。
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