JPS6232346A - スル−ホ−ル検査法 - Google Patents
スル−ホ−ル検査法Info
- Publication number
- JPS6232346A JPS6232346A JP17132385A JP17132385A JPS6232346A JP S6232346 A JPS6232346 A JP S6232346A JP 17132385 A JP17132385 A JP 17132385A JP 17132385 A JP17132385 A JP 17132385A JP S6232346 A JPS6232346 A JP S6232346A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
プリント板等の透光性基板のスルーホール内に被着され
たメッキ層等の導電層の欠陥を検出する漏光検査法にお
いて、微小スルーホールからの漏光、特にアスペクト比
（スルーホール長／口径）の小さいスルーホールからの
漏光を十分に検知するため、スルーホール漏光をスルー
ホールに対し斜め方向から観測する方法を提案する。
たメッキ層等の導電層の欠陥を検出する漏光検査法にお
いて、微小スルーホールからの漏光、特にアスペクト比
（スルーホール長／口径）の小さいスルーホールからの
漏光を十分に検知するため、スルーホール漏光をスルー
ホールに対し斜め方向から観測する方法を提案する。
本発明は透光性基板に形成されたスルーホールの内壁面
に被着している導電層に生ずるピンホール等の欠陥を検
査するスル・−ホール検査法に関する。
に被着している導電層に生ずるピンホール等の欠陥を検
査するスル・−ホール検査法に関する。
両面プリント板や、多層プリント板において、表裏プリ
ント配線間や、各層プリン（・配線間の電気的接続のた
めにスルーホールが用いられる。
ント配線間や、各層プリン（・配線間の電気的接続のた
めにスルーホールが用いられる。
スルーホールは電気的、あるいは化学的メッキによりそ
の内壁面に導電層が形成される。
の内壁面に導電層が形成される。
スルーホール内の導電層にしばし２ば切れ目、ピンホー
ル等の欠陥を生じ、プリント板の信頼性を低下させるた
め、あらかじめ検査することが必要である。
ル等の欠陥を生じ、プリント板の信頼性を低下させるた
め、あらかじめ検査することが必要である。
従、って、厖大な数のスルーホールを確実に、かつ短時
間に検査するため、いままでにも種々の検査法が開発さ
れている。
間に検査するため、いままでにも種々の検査法が開発さ
れている。
本発明人は、
特願昭５７−２２８６７２号明細書、
昭和６０年度電子通信学会総合全国大会予稿５１２−４
、 ＩＥＥＥ主催の第２回Ｒｏｂｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ａｕ
ｔｏｍａｔｉｏｎＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（１９８５） 等において、改善された検査法を開示しているが、実用
面よりなお改善の余地が残されている。
、 ＩＥＥＥ主催の第２回Ｒｏｂｏｔｉｃｓ ａｎｄ Ａｕ
ｔｏｍａｔｉｏｎＣｏｎｆｅｒｅｎｃｅ（１９８５） 等において、改善された検査法を開示しているが、実用
面よりなお改善の余地が残されている。
第３図は従来のスルーホール漏光検知法を説明する模式
的な斜視図である。
的な斜視図である。
図において、１は透光性基板で通常のプリント板、２は
プリント板１に形成された被検査スルーホール、３は遮
光マスクでこの例ではローラマスク、４はスルーホール
内に被着された導電層の欠陥、３１はレンズ、３２は電
荷転送素子（ＣＣＤ）等の光検知器である。
プリント板１に形成された被検査スルーホール、３は遮
光マスクでこの例ではローラマスク、４はスルーホール
内に被着された導電層の欠陥、３１はレンズ、３２は電
荷転送素子（ＣＣＤ）等の光検知器である。
従来方法では、漏光をスルーホールの真上から観測して
いた。従って微小スルーホールからの漏光の観測成分は
弱く、特にスルーホールのアスペクト比が小さいときは
、スルーホール内壁の側面を観測しなければ検知感度が
得られないため、このようなときは観測角（観測漏光が
垂直線となす角度）を大きくして観測する必要がある。
いた。従って微小スルーホールからの漏光の観測成分は
弱く、特にスルーホールのアスペクト比が小さいときは
、スルーホール内壁の側面を観測しなければ検知感度が
得られないため、このようなときは観測角（観測漏光が
垂直線となす角度）を大きくして観測する必要がある。
第４図は上記の様子を説明するために、スルーホール欠
陥からの漏光の拡散方向と、強度を示す図である。
陥からの漏光の拡散方向と、強度を示す図である。
従来のスルーホール漏光検査法においては、微小スルー
ホール、特にスルーホールのアスペクト比が小さいとき
は漏光の十分な検知ができなかった。
ホール、特にスルーホールのアスペクト比が小さいとき
は漏光の十分な検知ができなかった。
上記問題点の解決は、透光性基板（１）に形成され、か
つ導電層を内壁面に被着しているスルーホール（２）に
遮光マスク（３）を押しつけて、該透光性基板（１）を
該遮光マスク（３）の側より照明して、照明側と反対側
で該スルーホール（２）よりの漏光を該スルーホール（
２）の長さ方向に対し斜め方向より検知して、該スルー
ホール（２）内の導電層の欠陥（４）を検査する本発明
によるスルーホール検査法により達成される。
つ導電層を内壁面に被着しているスルーホール（２）に
遮光マスク（３）を押しつけて、該透光性基板（１）を
該遮光マスク（３）の側より照明して、照明側と反対側
で該スルーホール（２）よりの漏光を該スルーホール（
２）の長さ方向に対し斜め方向より検知して、該スルー
ホール（２）内の導電層の欠陥（４）を検査する本発明
によるスルーホール検査法により達成される。
本発明は微小スルーホール、特にスルーホールのアスペ
クト比が小さいときの漏光を十分に検知できるように、
スルーホールの斜め方向より漏光を観測することにより
、漏光強度の強い成分を直接観測して検知感度を上げる
ようにしたものである。
クト比が小さいときの漏光を十分に検知できるように、
スルーホールの斜め方向より漏光を観測することにより
、漏光強度の強い成分を直接観測して検知感度を上げる
ようにしたものである。
第１図は本発明の実施例による微小スルーホール検査法
を説明する模式的な斜視図とブロック図である。
を説明する模式的な斜視図とブロック図である。
図において、１は透光性基板で通常のプリント板、２は
プリント板１に形成された被検査スルーホール、３は遮
光マスク（ローラマスク）、４はスルーホール内に被着
された導電層の欠陥、５は光検知器（３個のＩＫビット
のＣＣＤ ： ＣＣＤＩ、ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる
）、６は検知用レンズ、７．８はスルーホールからの漏
光をスルーホールに対し斜めより検知する方向調整鏡で
ある。
プリント板１に形成された被検査スルーホール、３は遮
光マスク（ローラマスク）、４はスルーホール内に被着
された導電層の欠陥、５は光検知器（３個のＩＫビット
のＣＣＤ ： ＣＣＤＩ、ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる
）、６は検知用レンズ、７．８はスルーホールからの漏
光をスルーホールに対し斜めより検知する方向調整鏡で
ある。
つぎに装置各部の動作を説明する。
プリント板１は矢印方向に水平に移動して、スルーホー
ルを順次検査する。
ルを順次検査する。
プリント板ｌを下部から照明し、被検査スルーホール２
をコーラマスク３で遮光する。欠陥４からの漏光は方向
調整鏡７．８で曲げられ、レンズ６を経由して光検知器
５のＣＣＤＩ、ＣＣＤ３で検知される。ＣＣＤ２は被検
査スルーホール２の孔位置検知用のものである。
をコーラマスク３で遮光する。欠陥４からの漏光は方向
調整鏡７．８で曲げられ、レンズ６を経由して光検知器
５のＣＣＤＩ、ＣＣＤ３で検知される。ＣＣＤ２は被検
査スルーホール２の孔位置検知用のものである。
この場合はスルーホール２の左右両面を観測できるよう
に、鏡とＣＣＤを２組設けている。
に、鏡とＣＣＤを２組設けている。
特に、アスペクト比の小さいスルーホールに対しては点
線で示された位置に鏡７．８を移動させて、漏光の検知
を行う。
線で示された位置に鏡７．８を移動させて、漏光の検知
を行う。
ＣＣＤＩとＣＣＤ３の出力信号は加算器９で加算された
後、アナログ−ディジタル（Ａ／Ｄ）コンバータ１０に
より２値化されディジタルの漏光信号となる。
後、アナログ−ディジタル（Ａ／Ｄ）コンバータ１０に
より２値化されディジタルの漏光信号となる。
一方、ＣＣＤ２の位置信号はＡ／Ｄコンバータ１）によ
り２値化されプリント板１の漏光像がＣＣＤＩからＣＣ
Ｄ２まで移動する時間だけ遅延回路１２により遅延され
る。
り２値化されプリント板１の漏光像がＣＣＤＩからＣＣ
Ｄ２まで移動する時間だけ遅延回路１２により遅延され
る。
漏光信号と位置信号はアンド回路１３により論理積をと
り、欠陥信号を得ることができる。
り、欠陥信号を得ることができる。
第２図は本発明の他の実施例による微小スルーホール検
査法を説明する模式的な斜視図とブロック図である。
査法を説明する模式的な斜視図とブロック図である。
図において、１はプリント板、２．２Ａは被検査スルー
ホール、３．３Ａは遮光マスク（ローラマスク）、４．
４Ａはスルーホール内に被着された導電層の欠陥、５は
光検知器（３個の１にビットのＣＣＤ ： ＣＣＤＩ、
ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる）、６は検知用レンズであ
る。
ホール、３．３Ａは遮光マスク（ローラマスク）、４．
４Ａはスルーホール内に被着された導電層の欠陥、５は
光検知器（３個の１にビットのＣＣＤ ： ＣＣＤＩ、
ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる）、６は検知用レンズであ
る。
つぎに装置各部の動作を説明する。
プリント板１は矢印方向に水平に移動して、スルーホー
ルを順次検査する。
ルを順次検査する。
プリント板１を下部から照明し、被検査スルーホール２
．２Ａをローラマスク３．３Ａで遮光する。
．２Ａをローラマスク３．３Ａで遮光する。
欠陥４．４Ａからの漏光はレンズ６を経由して光検知器
５のＣＧＤＩ、ＣＣＤ３で検知される。ＣＣＤ２は被検
査スルーホール２の孔位置検知用のものである。
５のＣＧＤＩ、ＣＣＤ３で検知される。ＣＣＤ２は被検
査スルーホール２の孔位置検知用のものである。
この例では、ローラマスクを２個設け、スルーホール内
壁の左側と右側とからの漏光信号を、それぞれ異なる場
所（スルーホール）で観測している。
壁の左側と右側とからの漏光信号を、それぞれ異なる場
所（スルーホール）で観測している。
プリント板１の漏光像がＣＣＤＩ→ＣＣＤ２→ＣＣＤ３
と移動するとき、 （１） ＣＣＤ３の漏光信号はＡ／Ｄコンバータ１４
により２値化される。
と移動するとき、 （１） ＣＣＤ３の漏光信号はＡ／Ｄコンバータ１４
により２値化される。
（２） ＣＣＤ ２の位置信号はＡ／Ｄコンバータ１
５により２値化され、プリント板１の漏光像がＣＣＤ２
からＣＣＤ３まで移動する時間１．たけ遅延回路１６に
より遅延される。
５により２値化され、プリント板１の漏光像がＣＣＤ２
からＣＣＤ３まで移動する時間１．たけ遅延回路１６に
より遅延される。
いま、被検査スルーホール２．２Ａ間の中間に位置し、
かつＣＣＤ２に対応するスルーホールを２Ｂとし、スル
ーホール２．２Ｂ間の距離を１．％スルーホール２Ｂ、
２Ａ間の距離を２□、プリント板１の移動速度をＶとす
ると、ｔ、は次式で与えられる。
かつＣＣＤ２に対応するスルーホールを２Ｂとし、スル
ーホール２．２Ｂ間の距離を１．％スルーホール２Ｂ、
２Ａ間の距離を２□、プリント板１の移動速度をＶとす
ると、ｔ、は次式で与えられる。
ｔ １ ＝ｌ １ ／ Ｖ。
＋３１ ＣＣＤＩの漏光信号はＡ／Ｄコンバータ１７
により２値化され、プリント板１の漏光像がＣＣＤＩか
らＣＣＤ３まで移動する時間ｔ２だけ遅延回路１８によ
り遅延される。ここに、 ｔ、＝１２／ｖ。
により２値化され、プリント板１の漏光像がＣＣＤＩか
らＣＣＤ３まで移動する時間ｔ２だけ遅延回路１８によ
り遅延される。ここに、 ｔ、＝１２／ｖ。
である。
上記のＣＣＤ３とＣＣＤＩのからの２つの漏光信号とＣ
ＣＤ２の位置信号ははアンド回路１９により論理積をと
り、欠陥信号を得ることができる。
ＣＤ２の位置信号ははアンド回路１９により論理積をと
り、欠陥信号を得ることができる。
この方式では、反射鏡を用いないので、より簡単な構成
でスルーホールの検査が可能となる。
でスルーホールの検査が可能となる。
以上詳細に説明したように本発明によるスルーホール漏
光検査法は、微小スルーホール、特にスルーホールのア
スペクト比が小さい場合に対しても、漏光の十分な検知
ができ検査が可能となる。
光検査法は、微小スルーホール、特にスルーホールのア
スペクト比が小さい場合に対しても、漏光の十分な検知
ができ検査が可能となる。
第１図は本発明の実施例による微小スルーホール検査法
を説明する模式的な斜視図とブロック図、第２図は本発
明の他の実施例による微小スルーホール検査法を説明す
る模式的な斜視図とブロック図、 第３図は従来のスルーホール漏光検知法を説明する模式
的な斜視図、 第４図はスルーホール欠陥からの漏光の拡散方向と、強
度を示す図である。 図において、 １は透光性基板で通常のプリント板、 ２．２八、２Ｂはスルーホール ３、３Ａは遮光マスク（ローラマスク）、４、４Ａはス
ルーホール内の導電層の欠陥、５は光検知器（ＣＣＤＩ
， ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる）、６は検知用レンズ
、 ７．８は方向調整鏡、 ９は加算器、 １０．１）．１４．１５．１７はＡ／Ｄコンバータ、１
２．１６．１８は遅延回路、 １３．１９はアンド回路 木蔭■目の一失掩ε説期邦 刺−羊地図ＬブロックＨ キＩ Ｈ
を説明する模式的な斜視図とブロック図、第２図は本発
明の他の実施例による微小スルーホール検査法を説明す
る模式的な斜視図とブロック図、 第３図は従来のスルーホール漏光検知法を説明する模式
的な斜視図、 第４図はスルーホール欠陥からの漏光の拡散方向と、強
度を示す図である。 図において、 １は透光性基板で通常のプリント板、 ２．２八、２Ｂはスルーホール ３、３Ａは遮光マスク（ローラマスク）、４、４Ａはス
ルーホール内の導電層の欠陥、５は光検知器（ＣＣＤＩ
， ＣＣＤ２、ＣＣＤ３よりなる）、６は検知用レンズ
、 ７．８は方向調整鏡、 ９は加算器、 １０．１）．１４．１５．１７はＡ／Ｄコンバータ、１
２．１６．１８は遅延回路、 １３．１９はアンド回路 木蔭■目の一失掩ε説期邦 刺−羊地図ＬブロックＨ キＩ Ｈ
Claims (1)
- 透光性基板（１）に形成され、かつ導電層を内壁面に
被着しているスルーホール（２）に遮光マスク（３）を
押しつけて、該透光性基板（１）を該遮光マスク（３）
の側より照明して、照明側と反対側で該スルーホール（
２）よりの漏光を該スルーホール（２）の長さ方向に対
し斜め方向より検知して、該スルーホール（２）内の導
電層の欠陥（４）を検査することを特徴とするスルーホ
ール検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17132385A JPS6232346A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | スル−ホ−ル検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17132385A JPS6232346A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | スル−ホ−ル検査法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6232346A true JPS6232346A (ja) | 1987-02-12 |
Family
ID=15921112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17132385A Pending JPS6232346A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | スル−ホ−ル検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6232346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5251580A (en) * | 1991-04-30 | 1993-10-12 | Sanshin Kogyo Kabushiki Kaisha | Crank chamber precompression type two-cycle internal combustion engine |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP17132385A patent/JPS6232346A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5251580A (en) * | 1991-04-30 | 1993-10-12 | Sanshin Kogyo Kabushiki Kaisha | Crank chamber precompression type two-cycle internal combustion engine |
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