JPS61100604A

JPS61100604A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPS61100604A
Application number: JP59223652A
Authority: JP
Inventors: Hajime Yoshida; 肇吉田
Original assignee: Hajime Industries Ltd
Current assignee: Hajime Industries Ltd
Priority date: 1984-10-24
Filing date: 1984-10-24
Publication date: 1986-05-19
Also published as: FR2572181B1; GB2165942A; US4776466A; DE3532068C2; GB2165942B; FR2572181A1; CA1228136A; AU4813785A; GB8524089D0; JPH0316603B2; DE3532068A1; AU566994B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は表面検査物装置、特に、例えばベルトコンベヤ
上を連続して流れて来る被検査物の表面の良否を光イメ
ージセンサ等を用いて自動的に検査する表面検査装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

近年、物体の外観や表面の良否を、人の目視による検査
に代えて、光イメージセンサ、例えばビデオカメラを用
いて撮映し、画像（ビデオ）信号を得、このビデオ信号
を電子回路等により処理して、物体の良否の判定を自動
的に行う検査装置が、種々提供されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述した如き従来の検査装置に於いては
、ビデオカメラは、通常固定され、その視野は一方向に
限定されている。従って、被検査物が例えばコツプの如
き立体的物体の場合は、一度にその全周を検査できない
欠点がある。

一方、１個の被検査物に対して、数台のビデオカメラを
用い、夫々異なる多方向面から被検査物を同時に検査す
ることも考えられているが、これは、多数のビデオカメ
ラ及び関連する多数の処理回路等を必要とするので、高
価になり、且つ広い検査場を必要とする欠点がある。

更に、１個のビデオカメラを用い、その検査位五で、コ
ツプの如き立体的被検査物を一旦停止、回転させ、被検
査領域を変えて、数回の検査を繰り返して、全周を検査
することも考えられているが、この検査方法は、１１１
１ｉ１の被検査物の検査に長い時間がか＼す、ベルトコ
ンベヤ上を流れて来るコツプ等の被検査物の検査に適用
することは、不可能である。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、コンベヤ（１）により連続して一方向（ａ）
に送られて来る被検査物（２）の表面を照明装置（６）
。

（７）により照明し、１台の光イメージセンサ（３）を
用いて撮映し、それよりの画像信号を処理して被検査物
の表面の良否の検査を行う装置に於いて、上記光イメー
ジセンサ（３）を連続する複数個の被検査物（２）を同
時撮映する′ように配置すると共に、上記コンベヤ（１
）を、上記連続する被検査物（２）が上記光イメージセ
ンサ（３）の視界内を一方向に通過する間に、その個々
の全ての被検査面が上記光イメージセンサ（３）により
撮映されるように上記連続する被検査物を回転させるよ
うに構成し、上記光イメージセンサ（３）の出力画像信
号を検査装置（５）に供給し、そこで上記撮映された複
数個の被検査物（２）の画像信号を該被検査物の移動に
同期して検査を行い、夫々の判定信号をシフトレジスタ
（８）の互に隣接し上記被検査物の数と同数のパラレル
入力端子に供給すると共に、該シフトレジスタに上記連
続する被検査の移動に同期したシフトパルスを供給し、
上記判定信号をシフトしてし出力するようになした表面
検査夫々を提供したものである。

又、更に本発明は、コンベヤ（１）により連続して一方
向（ａ）に送られて来る被検査物（２）の表面を照明装
置＋６１．　（７＋により照明し、１台の光イメージセ
ンサ（３）を用いて撮映し、それよりの画像信号を処理
して被検査物の表面の良否の検査を行う装置に於いて、
上記光イメージセンサ（３）を連続する複数個の被検査
物（２）を同時撮映するように配置すると共に、上記コ
ンベヤ（１）を、上記連続する被検査物（２）が上記光
イメージセンサ（３）の視界内を一方向に通過する間に
、その個々の全ての被検査面が上記光イメージセンサ（
３）により撮映されるように上記連続する被検査物を回
転させるように構成し、上記光イメージセンサ（３）の
出力画像信号を検査装置（５）に供給し、そこで上記撮
映された複数個の被検査物（２）の画像信号を該被検査
物の移動に同期して検査を行い、夫々の判定信号をシフ
トレジスタ（８）の互に隣接し上記被検査物の数と同数
のパラレル入力端子に供給すると共に、該シフトレジス
タに上記連続する被検査物の移動に同期したシフトパル
スを供給して上記判定信号をシフトし、上記シフトレジ
スタの出力信号を排除装置（９）に供給し、不良被検査
物を排除するようになした表面検査装置を提供したもの
である。

〔作用〕

上述した本発明による表面検査装置は、１台の光イメー
ジセンサが、コンベヤにより搬送されて来る複数個の被
検査物を同時に撮映し、その画像信号を被検査物の移動
に同期して検査装置で検査処理して判定信号を出力し、
この判定信号をシフトレジスタで被検査物の移動に同期
して所定時間遅らせて出力し、この出力信号で排除装置
を駆動し、不良被検査物をコンベ４・より排除するよう
になす。

〔実施例〕

以下、本発明の一例を添付図面を参照して説明する。

第１図は本発明による物体の表面検査装置の一例の全体
を示す路線的ブロック図で、同図に於いて、（１）はベ
ルトコンベヤの如きコンベヤで、その上に、コツプ、ビ
ン等の被検査物（２）が、矢印（ａ）方向に、所定の間
隔を以て連続して略々一定速度で搬送される。（３）は
ビデオカメラの如き光イメージセンサで、これは、コン
ベヤ（１１上を連続して流れて来る被検査物、例えばコ
ツプ（２）を複数個、この例えば続く３個を同時に撮映
する如き位置に配置されている。（４）はビデオカメラ
（３）よりの画像（ビデオ）信号を受け、その画面上に
３個のコツプ（２）の像を再生するビデオモニタであり
、（５）は電子処理回路を有し、ビデオカメラ（３）よ
りのビデオ信号を処理して、コツプ（２）の表面の良否
を判定し、良否の判定信号（良の場合は“０”否の場合
は“１”なる判定信号）を出力する。（６）は光源で、
この例では透明なコツプ（２）を照明し、それを通過し
た光がビデオカメラ（３）に入射し得るように配置され
る。

（６Ａ）は透過拡散板で、コツプ（２）と光源（６）と
の間に配置され、光源（６）よりの光が広範囲に亘り、
均一に複数個、この例では３１１１ｉｌのコツプ（２）
を照明し得るように光源（３）と共に照明装置を構成す
る。

第１図の例では、被検査物であるコツプ（２）は、上述
の如く、透明な、例えばガラスコツプと仮定しているの
で、光−ｔＡ（６１はコツプ（２）に関して、ビデオカ
メラ（３）と反対側に配置され、コツプ（２）を通過し
た光源（６）よりの光が、ビデオカメラ（３）に入射す
る。

又、第１図に於いて、（７Ａ）及び（７Ｂ）は、コンベ
ヤ（１）の両側で、且つビデオカメラ（３）のコツプ（
２）の流れに対し、上流に配されたパルス信号発生装置
（７）を構成するもので、例えば（７Ａ）は光ビーム発
生器であり、（７Ｂ）はその受光器で、この受光器（７
Ｂ）は光ビーム発生器（７Ａ）よりの光ビームを受けて
いる時は信号を発生しないが、両者間にコツプ（２）が
通過し、光ビームが遮ぎられる（又は弱められる）毎に
、換言すれば、両者間をコツプ（２）が通過する毎に、
１個のパルスｆＢ号を発生し、このパルス信号を検査装
置（５）に供給する。この検査装置（５）は、受光器　
（７Ｂ）よりのパルス信号を受ける毎に、ビデオカメラ
（３）よりの画像信号、この例の場合、連続する３個の
コツプ（２）の画像信号を同時に判定処理し、夫々に就
き、別々の判定信号を、その出力端子　（５１）、（５
２）　、　　（５３）に発生する。又、（８）はシフト
レジスタで、その連続する複数個、この例では３個のパ
ラレル入力端子（８Ｐ１）　、　　（８Ｐ２　）　、　
　（８Ｐ３　）に、検査装置（５）の３個の出力端子（
５１）　、　　（５２）　、　　（５３）よりの３個の
判定信号が夫々同時に入力される。

又、受光器（７Ｂ）よりのパルス信号をシフトレジスタ
（８）の入力端子（８Ｉ）に、シフトパルスとして供給
し、それに供給されている上述の判定信号を、シフトパ
ルスが１個入力される毎に、シフトレジスタ（８）の出
力端子（８０）に向かって１ステップ順次シフトする。

（９）は、コンベヤ（１）のビデオカメラ（３）に対し
、下流の所定位置に配置された不良品用の排除装置で、
シフトレジスタ（８）の出力端子（８ｏ）の出力信号に
より駆動され、（信号“１”により駆動されるも、信号
“Ｏ”では駆動されない）不良コツプ（２）を、コンベ
ヤ（１）に隣接して設けた不良品の排除用コンベヤα切
上に送る。尚、矢印（ａｌは排除用コンベヤＱＯＩの移
動方向を示す。

次に、上述した本発明による物体の表面検査装置の動作
を、連続する複数個、例えば３個の被検査物（２）、例
えば透明ガラスより成るコンブを同時に検査する場合を
例に挙げ説明しよう。

第２図は、成る時点に於けるビデオモニタ（４）の画面
（４Ａ）を示し、この時点に於いては、連続する３（［
１，１の位置（２ｎ）　、　　（２ｎ＋ｔ）　、　　（
２ｎ＋ｚ）に在るコツプ（２）の画像が再生されている
ものとする。尚、位置（２ｎ−１）　、　　（２ｎ＋３
）のコツプ（２）は、ビデオカメラ（３）の視界内にな
く、従ってビデオモニタ（４）の画面（４Ａ）上には再
生されていない。

籾で、本発明に於いては、夫々のコツプ（２）がビデオ
カメラ（３）の視界内を通過する間に、その検査される
べき（被検査）表面をずべてかビデオカメラ（３）によ
り撮映されるようにするため、各コツプ（２）を、ビデ
オカメラ（３）の視界内を通過する間に、略々１回転さ
せる。このため、本発明に於いては、第１図の一部を拡
大して示す第３図の如く、コンベヤ、例えばベルトコン
ベヤ（１）を、夫々互に平行な４本のベルトコンベヤ（
１１）　、　　（１２）　、　　（１３）　。

（１４）に分割し、夫々の矢印（８１方向の移動速度を
、分割したベル）　（１１）から（１４）に行くに従っ
て、順次遅くなり、各コツプ（２）がビデオカメラ（３
）の視界内、例えば第３図のコンベヤ（１）の距離（Ｖ
Ｆ）を通過する間に、略々矢印（ｂ）方向に一回転する
ようになし、その被検査表面の全てが、ビデオカメラ（
３）により撮映されるようになす。

彷て、第２図に示す如く、続く３個の位置（２ｎ）　。

（２ｎ＋１）　　、　　（２ｎ＋２）に在るコツプ（２
）が１個のビデオカメラ（３）によって同時に撮映され
る場合、連続する位置（２ｎ）　、　　（２ｎ＋ｔ　）
　、　　（２ｎ＋＊　）に在る３個のコツプ（２）の相
互の回転位相差は、約１２０°である。今、例えば位置
（２ｎ）にあるコツプ（２）の全周面の検査を１個のビ
デオカメラ（３）により行なう場合、位置（２ｎ）のコ
ツプ（２）が第２図の位置（２ｎ）　。

（２ｎ＋１）及び（２ｎ＋２）の３個所で検査されれば
、その全周面の検査が行われることになる。従って、本
発明に於いては、ビデオカメラ（３）よりのビデオ信号
を、検査装置（５）で常に検査又は判定するのではなく
、１個コツプ（２）が３つの位置（２ｎ）　、　　（２
ｎ＋１）　。

（２ｎ＋２）に在る際に、ビデオカメラ（３）よりのビ
デオ信号を、検査装置（５）で検査処理するものである
。

勿論、あるコツプ（２）が位置（２ｎ）に在る時は、前
の２個のコツプは、位置（２ｎ＋１）及び（２ｎ＋２）
にあり、これ等のコツプ（２）のビデオ信号も、（２ｎ
）の位置にあるコツプ（２）のビデオ信号と同時に処理
され、それ等の判定信号が、検査装置（５）より、別々
且つ同時にシフトレジスタ（８）のパラレル入力端子（
８Ｐよ）　、　　（８Ｐ２　）　、　　（ＢＦ２）に供
給されることは、上述の如くである。

各コツプが（２ｎ）　、　　（２ｎ＋ｔ）及び（２ｎ＋
２）の位置にある時のビデオカメラ（３）よりのビデオ
信号を処理するため、本発明に於いては、受光器（７Ｂ
）よりのパルス信号を検査装置（５）へ供給し、このパ
ルス信号が供給された時のみ、検査装置（５）がビデオ
カメラ（３）よりのビデオ信号の処理を行い、判定信号
をシフトレジスタ（８）へ出力するようになす。

上述の如く、コツプ（２）を１回転させ、その間、回転
位相の異なる３つの位置でその外周面を検査する場合、
コツプ（２）の上面を３等分（１２０°角間隔）（Ａ）
、　　（Ｂ）、　　（Ｃ）に分けて示す第４図に関連し
て、第２図の撮映状態を説明する。この場合、位Ｗ　（
２１１＋２）にあるコツプの撮映されている領域は、第
４図の部分（Ａ）であるとすれば、位置（２ｎ＋１＞及
び（２ｎ）にあるコツプの↑最狭されている領域は、第
４図の部分（Ｂ）及び（Ｃ）である。換言すれば、各１
　ｆ［！Ｊのコツプは、ビデオカメラ（３）の視界内を
１回転しながら通過する間に、３個の位置（２ｎ）　、
　　（２ｎ＋１）　、　　（２ｎ＋２）に於いて、３等
分された部分（Ａ）、　　（Ｂ）、　　（Ｃ）のビデオ
カメラ（３）よりのビデオ信号が、検査装置（５）で１
灸査処理される。

今、成るコツプ（２）が、例えばその部分（Ｂ）のみに
、例えば「割れ」の如き欠陥（２Ａ）があったとする。

この場合を、第２図のビデオモニタ（４）の画面（４Ａ
）で説明する。このコツプ（２）は、位置（２ｎ）では
その部分（Ａ）が撮映されているので、検査装置（５）
はその位置に対応したビデオ信号に対しては、信号を出
力しない（信号“０”を出力する）が、次の位置（２ｎ
＋ｔ）では、欠陥（２Ａ）を含んだ部分（Ｂ）が撮映さ
れるので、欠陥（２Ａ）を含むビデオ信号がビデオカメ
ラ（３）から検査装置（５）に送られることになるので
、検査装置（５）は、この位置（２ｎ＋１）に対応して
は信号を出力する（信号“１゛を出力する）。更に、そ
の次の位置（２ｎ＋２）に進んだ時は、コツプ（２）の
部分（Ｃ）が撮映されるので、部分（Ａ）の撮映時と同
様、検査装置（５）は、この位置（２ｎ＋２）に対応し
たビデオ信号に対しては、信号を出力しない（信号“Ｏ
”を出力する）。

上述の信号処理は、連続して、次々と、所定の時間間隔
でビデオカメラ（３）の視界内に入って来る各コツプ（
２）に対して行なわれるものである。

尚、検査装置（５）としては、例えば、ビデオカメラ（
３）よりのアナログビデオ信号を、Ａ／Ｄコンバータに
よりデジタル信号に変換し、このデジタル信号をマイク
ロプロセッサ等により電気的に処理、、５　　　　　し
・入力され社デオ信号に欠陥等に対応する異常が含まれ
ている時は、デジタル出力を発生するものであれは、ど
のようなものでもよい。

上述の例では、検査装置（５）は、第１図に示す如（，
３個の出力端子（５１）　、　　（５２）　、　　（５
３）を有し、これ等出力端子は第２図の位置（２ｎ）　
。

（２ｎ＋ｔ）　、　　（２ｎ＋２）に対応し、それ等の
位置でのビデオ信号の処理結果の出力（Ｉｆ定出力）が
、３個の出力端子（５１）　、　　（５２）　、　　（
５３）に夫々現われる。

シフトレジスタ（８）は、第１図に示す如く、複数個、
この例ででは順次配列された１０個のメモリセル（８１
）、（８２）・・・（８９）　、　（８ｔｏ）より成り
、第１、第２、第３のメモリセル（８１）（８２）、（
８３）即ちそれ等に設けたパラレル入力端子（８Ｐ１　
）　、　　（８Ｐ２　）　、　　（８Ｐ３）に検査装置
（５）の出力端子（５１）　、　　（５２）　、　　（
５３）が夫々接続されている。又、このシフトレジスタ
（８）の入力端子（８■）には、前述の如く、コツプ（
２）が１個分矢印ｆａ）方向に進む毎に１個のシフトパ
ルスが受光器（７Ｂ）から供給されるので、各メモリセ
ル（８１）　、　　（８２）　、　　（８３）に入力さ
れた検査装置（５）の出力端子（５１）　、　　（５２
）　、　　（５３）よりの判定出力信号は、シフトパル
スに同期して、出力端子（８０）に向かって、１メモリ
セル分だけづつシフトされる。

第１図に示す実施例では、シフトレジスタ（８）は１０
１囚のメモリセル（８１）・・・　（８１ｏ）から成っ
ているので、力１のメモリセル（８１）に入力された判
定出力信号がシフトレジスタ（８）の出力端子（８０）
に現われるのは、コツプ（２）が１０個分下流へ鍛送さ
れた時点であるので、排除装置（９）を、ビデオカメラ
（３）の視野の最初のコツプ（２）から数えて、下流へ
、即ち矢印（ａ）方向に関して下流の第１Ｏ番目のコツ
プ（２）の位置に配置し、この排除装置（９）をシフト
レジスタ（８）の出力端子（８０）に現われる信号によ
り駆動すれば、不良コツプの排除タイミングは、シフト
レジスタ（８）のシフトタイミングと一致して、不良コ
ツプのみを確実に排除し、排除用コンベヤ００）に排出
することができる。面、排除装置（９）としては、例え
ばプランジャの如きもので、信号（信号“ｌ”）を受け
ると駆動され、そのロッド（９Ａ）が突出し、不良コツ
プを排除用コンベヤＱＯＩに押し出し、然る後、自動的
に後退し、元の位置（第１図の状！３）に戻り、次の信
号“１”を受ける迄、その状態を保持する。

次に、欠陥コツプ（２）の排除に就いて具体的に説明し
よう。今、成るコツプ（２Ｆ）が、第４図で示した部分
（Ｂ）のみに欠陥（２Ａ）がなあり、前の部分（Ａ＞か
らビデオカメラ（３）により最初に（第２図の位置（２
ｎ）とする）撮映されのものとする。

この位置でのビデオカメラ（３）よりのビデオ信号には
何等異常信号は含まれていない。従って、検査装置（５
）の出力端子（５１）には、信号“０１が出力され、こ
れは、シフトレジスタ（８）の第１のメモリセル（８１
）に入力端子（８Ｐｚ　）を介して入力される。コツプ
（２Ｆ）が次の位置（２ｎ＋ｘ　）に来ると、その欠陥
（２Ａ）が在る部分（Ｂ）が撮映されるので、検査装置
（５）の出力端子（５２）には、信号′１”が出力され
、これは第２のメモリセル（８２）に、入力端子（８Ｐ
２　）を介して供給される。次の位置（２ｎ＋２）に於
いては、コツプ（２Ｆ）の部分（Ｃ）が撮映されるが、
この部分には欠陥がないので、検査装置（５）の出力端
子（５３）には、信号“０”が出力され、これが第３の
メモリセル（８３）に、入力端子（８Ｐ］）を介して供
給される。このコツプ（２Ｆ）が矢印＋８１方向にコン
ベヤ（１）上を搬送され、最初の位置（２ｎ）から、排
除装置（９）が配置されているコツプ１０個分（欠陥（
２Ａ）が撮映された位置（２ｎ＋ｘ）からコップ９烟分
）下流の位置（２ｎ＋＋　）に到達したとする。この時
、シフトレジスタ（８）の第２のメモリセル（８２）に
入力された信号“１゛は、丁度シフトレジスタ（８）の
出力端子（８０）に到達しているので、この信号“１”
により排除装置（９）が駆動され、コツプ（２Ｆ）はコ
ンベヤ（１）より排除用コンベヤ００）に排出されるも
のである。

シフトレジスタ（８）は、欠陥コツプ（２）の排除タイ
ミングを調節するに供するもので、排除装置（９）の設
置位置に応じて、シフトレジスタ（８）のメモリセルの
個数を増減させ得るものである。

尚、上述の実施例では、コツプ（２）をビデオカメラ（
３）の視野内で１回転させ、その間、夫々　１２０°回
転した３位置で表面の欠陥検査を行ったが、コツプによ
っては、例えば上述の如く透明材より成るコツプの場合
、第１図の如き配置であれは、光源（６）よりの光はコ
ツプを通過してビデオカメラ（３）に入るので、ビデオ
カメラ（３）は、コツプの対向する２つの部分を撮映し
得るので、ビデオカメラ（３）の視野内でコツプを上述
の如く１回転（３６０°）しなくとも良い。即ち、例え
ば（２ｎ）位置で撮映されない両側縁部が撮映されるよ
うに、僅か回転させれば良い。この場合、コンベヤ（１
）の構造は簡単となる。

又、ビデオカメラ（３）が同時に撮映するコツプ、即ち
被検査物（２）の数は３に限定する必要はなく、ビデオ
カメラの精度、コツプの寸法によっては２或いは４以上
であってもよい。

又、上述の本発明の実施例では、光源（６）を被検査物
（２）に関して、ビデオカメラ（３）と反対側に配置し
たが、被検査物（２）が不透明材より成る場合は、被検
査物に関してビデオカメラ（３）と同一側に配置する。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明に於いては、ビデオカメラの如き光
イメージセンサを１個用いるのみでコ・ノブの如き通常
１個の光イメージセンサでは、そのま−では全ての被検
査表面が検査できない立体的被検査物の全表面を、光イ
メージセンサの１視界内の複数個所で検査することによ
り被検査物の搬送を何等妨げることなく、その被検査表
面の全てを検査し、不良品は検査後、コンベヤより排除
するもので、上述の検査及び不良品排除動作は、全て自
動的に行れると云う大なる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による物体の表面検査装置の一例の全体
を示す路線的プロ・ツク図、第２図はビデオモニタの画
面の平面図、第３図は第１図の一部の拡大図、第４図は
被検査・物を上方から見た路線図である。図に於いて、（１）はコンベヤ、（２）は被検査物、（
３）は光イメージセンサ、（４）はビデオモニタ、（５
）は検査装置、（６）は光源、（６Ａ）は透過拡散板、
（７）はパルス信号発生装置、（７Ａ）は光ビーム発生
器、（７Ｂ）は受光器、（８）はシフトレジスタ、（９
）は排除装置、α０）は排除用コンベヤを夫々示す。手続補正書昭和６０年６月３日１テ許庁旧官　　志　賀　　　学　　　殿　　　（（邑
１、串１′１−の表示昭ＪＩＪ！’ｉ９’年　特　許　１ｅ）　　’ＡＩ　２
２３６５２　号２、　Ｑ　ＩりＩ　ｏ＊　Ｇ　′ｆｉｒ
：　　　　　やあ＋’ｉ　Ｍ　Ａ’Ｕ　：い３、補正を
する者＄件との関係　　　特許出願人代表取締役　吉　１）　　肇４、代理人住　所　東京都新宿区西新宿１丁口８番１号　。置　０３−３．１３〜５１１２１を代Ｉ　　　ＨＪｉ宿
ヒル）〔；、補正により増加する発明の数（１）明細書中、第３頁１０行「表面検査物装置」とあ
るを「表面検査装置」と訂正する。（２）　　同、第５頁、３乃至４行［照明装置（６１，
ｆａｌｌとあるを［照明袋ＦＩ！、（６１Ｊと訂正する
。（３）同、第６頁、２行「表面検査夫々」とあるを「表
面検査装置」と訂正する６（４１同、同頁、５行［装置（６＋、　ｆｌとあるを「
装置（６）」と訂正する。（５）同、第８真、７行「例えば」とあるを１゛例では
」と訂正する。（６）　　同、同頁、１４行「出力する。（６）は」と
あるを［出力する検査装置。（６）は照明装置の」と訂
正する。（７）同、第１０頁、１９行「矢印（ａ）」とあるを「
矢印（ａｔ）Ｊと訂正する。（８）　　同、第１２頁、２０行ｒＮｌＩＪとあるを「
ｌ（１＾１の」と訂正する。（９）同、第２１　Ｘｒ（，３乃至５行１−コツプの如
き・・・ま＼で」を削除する。（１０）同、同頁、５行「できない」の後に［コップの
如き」を加入する。（１１）同、同頁８乃至９行「その被検査表面の全てを
」を削除する。以上

Claims

【特許請求の範囲】１、コンベヤにより連続して一方向に送られて来る被検
査物の表面を照明装置により照明し、１台の光イメージ
センサを用いて撮映し、それよりの画像信号を処理して
被検査物の表面の良否の検査を行う装置に於いて、上記
光イメージセンサを連続する被数個の被検査物を同時撮
映するように配置すると共に、上記コンベヤを上記連続
する被検査物が上記光イメージセンサの視界内を一方向
に通過する間に、その個々の全ての被検査面が上記光イ
メージセンサにより撮映されるように上記連続する被検
査物を回転させるように構成し、上記光イメージサセン
サの出力画像信号を検査装置に供給し、そこで上記撮映
された複数個の被検査物の画像信号を該被検査物の移動
に同期して検査を行い、夫々の判定信号をシフトレジス
タの互に隣接し上記被検査物の数と同数のパラレル入力
端子に供給すると共に、該シフトレジスタに上記連続す
る被検査物の移動に同期したシフトパルスを供給して、
上記判定信号をシフトして出力するようになしたことを
特徴とする表面検査装置。２、コンベヤにより連続して一方向に送られて来る被検
査物の表面を照明装置により照明し、１台の光イメージ
センサを用いて撮映し、それよりの画像信号を処理して
被検査物の表面の良否の検査を行う装置に於いて、上記
光イメージセンサを連続する複数個の被検査物を同時撮
映するように配置すると共に、上記コンベヤを上記連続
する被検査物が上記光イメージセンサの視界内を一方向
に通過する間に、その個々の全ての被検査面が上記光イ
メージセンサにより撮映されるように上記連続する被検
査物を回転させるように構成し、上記光イメージサセン
サの出力画像信号を検査装置に供給し、そこで上記撮映
された複数個の被検査物の画像信号を該被検査物の移動
に同期して検査を行い、夫々の判定信号をシフトレジス
タの互に隣接し上記被検査物の数と同数のパラレル入力
端子に供給すると共に、該シフトレジスタに上記連続す
る被検査物の移動に同期したシフトパルスを供給して、
上記判定信号をシフトし、上記シフトレジスタの出力信
号を排除装置に供給し、不良被検査物を排除するように
なしたことを特徴とする表面検査装置。