JPH03168907A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 星業ユ１４叫旧別比 この発明は例えばＨＤＴＶ対応のビデオテーブレコーダ
等の高周波信号を記録再生する軟磁性薄膜と非磁性基板
からなる磁気ヘッドの製造方法に関する。

従泉空皮置 従来、この種の磁気ヘッドの製造方法は、第８図〜第１
４図に示すような方法となっていた。以下に従来の磁気
ヘッドの製造方法について図を参照しながら説明する。

第８図に示すように、複数個の非磁性体基板３１の表面
に、スパッタリング等の真空薄膜形成技術を用い、同図
ｂのように強磁性体金属薄膜３２と絶縁薄膜３３とを交
互に積層した積層膜３４を形成し、更に複数個の非磁性
体基板３３の一番外側の面３５ａ，３５ｂを除く基板面
の少なくとも一方に真空薄膜形成技術を用いガラス薄膜
３６を成膜する。次に、これら複数個の非磁性体基板３
１，強磁性体金属薄膜３２，積層薄ｌＸ３３およびガラ
ス薄膜３６の複合体を重ね合わせ加圧しながら加熱し、
ガラスで融着させて第９図に示すような接合体３７を得
ることができる。この接合体３７をダイシングソー等の
回転砥石やワイヤーソー等でスライスして、第１０図に
示すような一対の磁気コアブロック半体３８ａ，３８ｂ
を得る。ここで、ビデオテープレコーダに用いられる磁
気ヘッドにおいては、アジマス記録ノ５式が採用きれで
いるのぞ、所望のアジマス角を設けてスライスしておく
ことは、周知の通りである。

次に第１１図に示すように、少な《とも一方の磁気コア
ブロック半体３８ａのギャップ突き合わせ面３９ａに、
グイシングソー等の回転砥石を用い強磁性体金属薄膜と
絶縁薄膜の積層膜３４を挟んで平行に補強用ガラス溝４
０を切り欠く。ここで第１１図は、袖強用ガラス溝４０
が強磁性金属薄膜と絶縁薄膜の積層体３４に平行に切り
欠かれるようにアジマス角θなキャン々ルする治具４１
に乗せた場合を示している。

次に、第１２図に示すように、少な《とも一方の磁気コ
アブ口ツク半体３８ａ．３８ｈのギャップ突き合わせ而
に、巻線内窓４２およびガラス溝４３を切り欠く。更に
磁気コアブロック半体３８ａ　＊　３　８　ｂのギャッ
プ突き合わせ面にガラス４４をモールドし、更にこの面
を鏡面研磨した後、対の磁気コアブロック半体３８ａ，
３８ｂのギャップ突き合わせ面どうしをギヤツブスｄ−
サを介して突き合わせ、加熱しガラス／１４を溶融接合
して磁気コアブロック４５を得る。

次に第ｌ３図に示すように磁気コアブロック４５の磁性
媒体対接面４６に、磁性媒体色の接触面積を小キ＜シて
、媒体との接触を良好にするための切り欠き溝４７を、
強磁性体金属薄膜と絶縁薄膜の積層模３４の両側に平行
に設ける。更に、第１４図に示すように、磁性媒体との
対接面４６にｄｌ１面研磨を施し、スライサー等の回転
砥石やワイヤーソー等でスライスして磁気ヘッドチップ
４８を得るような製造方法となっていた。

発咀夏邂扶↓ユｊユまふ五鳳一 ところで、上記の従来の磁気ヘッドの製造方法は、第１
１図に示すような磁気コアブロック半体３８ａのギャッ
プ突き会わせ面３９ａに補強用ガラス溝４０を切り欠く
場合や、第１３図に示すような媒体その接触面積を小さ
くするための切欠溝４７を切削加工する場合や、磁気へ
ッドチップに切り離す場合、非磁牲体基板３１の厚さや
強磁性体金属薄膜と絶縁薄膜の積層膜３４の膜厚やガラ
ス膜３６の膜厚にどうしても１μｍ程度のばらつきが生
じ、これらを複数個電ね合わせて接合した接合体３７に
は、数μｍのピッチのずれが発生し、ダイシングソー等
の目転砥石やワイヤーソーで、切削加工を行う場会に、
所望の位置に加工を施すことができなくなり、歩留京り
が低下したり、前記ピッチのずれに対応した加工をする
ために手間がかかる等の欠点があった。

星延金鼓沃土玉禿＆立王且一 この発明の磁気ヘッドの製造方法では、第１の非磁性体
基板の表面に少なくとも強磁性体金属薄膜に被着形成し
、第２の非磁性体基板の表面をガラス薄膜を溶融して接
合し接合体を形成し、強磁性体金属薄膜の面内方向に、
磁気コア事体が磁気ギャップ深さ方向に複数個並ぶよう
に切り出して、一対の磁気コアブロック半体とし、以後
の製造工程を施す。

拒批 上記の構成によるた、強磁性体金属薄膜と絶縁薄膜の積
層膜の面内方向にのみ複数個の薄膜状磁気へッドコアが
位置し、法線方向には薄膜状磁気コアは位置しないため
、原理的に基板厚さや膜厚のばらつきにより、コア突き
合わせ作業時のピッチのずれがない構造であり、ピッチ
のずれによる補強用ガラス溝や磁性媒体その接触面積を
小きくするための切欠講の加工位置のずれをなくすこと
ができる。

実１ｕ殊 以下、この発明について図面を参照して説明する。

第１図〜第７図はこの発明の磁気ヘッドの製造力法の一
実施例を示す斜視図である。

第１図に示すように、第１の非磁性体基板１の内面にス
パッタリング等の真空薄膜形成技術を用いて、センダス
ト等の強磁性体金属薄膜３とＳｉｆ＋等の絶縁薄膜４こ
を交互に積層し積層膜５を形成する。次に、第２の非磁
性体基板２の表面に真空薄膜形成技術を用いて、ガラス
膜６を被着形成する。次に前記積層膜６とガラス膜６と
を突き合わせ加熱●溶融接合し、第２図に示すような接
合体７を得る。

次に第３図に示すように、前記接合体７をアジマス角θ
を設けて切り離し、一対の短冊状の磁気コアブロック半
体８ａ，８ｂを得る。

次に第４図に示すように、少なくとも一方の磁気コアブ
ロック半体８ａのギャップ突き合わせ面９ａに強磁性体
金属薄膜と絶縁薄膜の積層膜５の両側に積層膜５と平行
に補強用ガラス溝１０を切り欠く、更に、巻線用内窓１
１とガラス溝１２を切削加工する。

次に磁気コアブロック半体８　ａ　＊　８　ｂのギャッ
プ突き合わせ面にガラス１３を加熱モールドした後、鏡
面研磨を施す。

更に第５図に示すように、ギヤップスペーサを介して一
対の磁気へッドコア半体８ａ，８ｂを突き合わせ、磁性
媒体対接面をのぞむ方向１４とその反対のヘッド下端面
をのぞむ方向１５より、前記積層体５どうしを突き合わ
せ所望のトラック幅が得られるようにし加熱し、ガラス
１３を溶融接合し磁気コアブロック１６を得る。更に所
望の切断位置ｌ７でスライスして第６図に示すような磁
気へッドチップ１８を得る。更に、磁性媒体対接面１９
に磁性媒体対接面の面積を小さくして、接触を良好にす
るための切欠溝２０を前記積層膜５と平行に切り欠く。

更に磁性媒体対接面１９を曲面研摩し、更に所望のチッ
プ厚となるように両側面２１を平面研摩し、第７図に示
すような磁気ヘッドが得られる。

発肚空羞果 以上説明したように、この発明は非磁性体基板に形成し
た強磁性金属薄膜と絶縁薄膜の積層膜の面内方向にのみ
複数個の薄膜磁気コアが配置するような一対の磁気コア
ブロック半体を作り、補強用ガラス構の切削加工や磁性
媒体対接面の切欠満の切削加工を行うことにより、基板
の厚さや強磁性金属薄膜，ガラス膜厚のばらつきにとも
なう切削加工位置のずれを防止でき、歩留りを改善でき
る。

また、一対の磁気コアブロック半体を突き合わせてトラ
ックを合わせる際に、磁性媒体対接面側と磁気コア下端
側との両側より、トラック幅の規定するためフロントギ
ャップ部およびリアギャップ部のトラックずれが小さく
なり、挟トラックヘッドのトラックずれによる出力変動
を小さくできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１〜７図はこの発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施
例を示す斜視図である。 第８〜１４図は従来の磁気の磁気ヘッドの製造方法を示
す斜視図である。 １．　２，　３１・・・・・・非磁性体基板、３，３２
・・・・・・強磁性体金属薄膜、４．３３・・・・・・
絶縁薄膜、 ５．３４・・・・・・強磁性体金属薄膜と絶縁薄膜の積
層膜、 ６，３６・・・・・・ガラス膜、 １０．４０・・・・・・補強用ガラス溝、２０， ４７・・・・・・磁性媒体対接面幅を規制する切欠溝。 （０） 第 １ 図 ・ｔ，ｂｌ　ｔ （ｂ） ５ 第 ２ 図 第 ３ 図 筒 ５ 図 第 ６ 図 第 ７ 図 ３５ＣＬ ３５コ ＣＱ） 第 ８ 図 第 １つ 図 ４１ 第 １１ 図 第 １２ 図 第 １３ 図 ４６ ／ ／ ？　１４　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 多数個分のコア面積を有する非磁性体基板を一対用意し
   て、上記非磁性体基板の少なくとも一方の表面に、多数
   個分の強磁性体金属薄膜コアを形成しておき、非磁性体
   基板で強磁性体金属薄膜コアを挟着してコアブロック半
   体を得て、上記コアブロック半体を一組準備して、コア
   接合を行ってギャップ形成後、個々のコアに切断させる
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。