JPH0317088B2 - - Google Patents
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- JPH0317088B2 JPH0317088B2 JP9988583A JP9988583A JPH0317088B2 JP H0317088 B2 JPH0317088 B2 JP H0317088B2 JP 9988583 A JP9988583 A JP 9988583A JP 9988583 A JP9988583 A JP 9988583A JP H0317088 B2 JPH0317088 B2 JP H0317088B2
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- 230000004069 differentiation Effects 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims description 6
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 230000001934 delay Effects 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、２次元撮像素子の出力をリアルタ
イムでアナログ処理することにより、物体（例え
ば直方体）の表面のひび等の欠陥を検出する欠陥
検出装置に関するものである。
イムでアナログ処理することにより、物体（例え
ば直方体）の表面のひび等の欠陥を検出する欠陥
検出装置に関するものである。
従来、物体を撮像した画像から物体の表面等の
欠陥を検出する方法の一つとして２値化法があつ
た。この２値化法は、面の明るさが均一で欠陥部
分と明確なコントラストをもつている場合に有効
である。今、撮像した画像が第１図ａのように３
面Ａ，Ｂ，Ｃを見込んでいる場合、各面Ａ，Ｂ，
Ｃの各々の明るさが均一であつてもそれぞれの明
るさは異なり、例えば第１図ａの水平走査線L1
上の信号波形は、良品（ひびＸがないもの）の場
合第１図ｂのようになり、欠陥品（ひびＸのある
もの）の場合第１図ｄのようにひびＸの部分でレ
ベルが落ち込むことになる。この場合、単一レベ
ルで第１図ｂまたはｄの波形を２値化してもひび
Ｘの検出は困難である。また、別の方法として第
１図ｂまたはｄの波形を微分して微細な成分を検
出する方法もあるが、この場合、微分波形は良品
の場合第１図ｃのようになり、また欠陥品の場合
第１図ｅのようになり、物体のエツジ部および欠
陥部の両方において、微分パルスが発生するた
め、これらの選別が必要であり、この波形をマイ
クロコンピユータに取り込んでソフト処理を行わ
ねばならず、コストがかかるという欠点がある。
また、ソフト処理を行うためリアルタイムで欠陥
を検出することができなかつた。
欠陥を検出する方法の一つとして２値化法があつ
た。この２値化法は、面の明るさが均一で欠陥部
分と明確なコントラストをもつている場合に有効
である。今、撮像した画像が第１図ａのように３
面Ａ，Ｂ，Ｃを見込んでいる場合、各面Ａ，Ｂ，
Ｃの各々の明るさが均一であつてもそれぞれの明
るさは異なり、例えば第１図ａの水平走査線L1
上の信号波形は、良品（ひびＸがないもの）の場
合第１図ｂのようになり、欠陥品（ひびＸのある
もの）の場合第１図ｄのようにひびＸの部分でレ
ベルが落ち込むことになる。この場合、単一レベ
ルで第１図ｂまたはｄの波形を２値化してもひび
Ｘの検出は困難である。また、別の方法として第
１図ｂまたはｄの波形を微分して微細な成分を検
出する方法もあるが、この場合、微分波形は良品
の場合第１図ｃのようになり、また欠陥品の場合
第１図ｅのようになり、物体のエツジ部および欠
陥部の両方において、微分パルスが発生するた
め、これらの選別が必要であり、この波形をマイ
クロコンピユータに取り込んでソフト処理を行わ
ねばならず、コストがかかるという欠点がある。
また、ソフト処理を行うためリアルタイムで欠陥
を検出することができなかつた。
この発明は簡単な構成でかつリアルタイムで欠
陥を検出することができる欠陥検出装置を提供す
ることを目的とする。
陥を検出することができる欠陥検出装置を提供す
ることを目的とする。
この発明は、第１図ｄの微分波形において、欠
陥部では正負の微分パルスが組になつて発生し、
エツジ部では正および負の微分パルスのいずれか
一方のみが発生することに着目して構成したもの
である。
陥部では正負の微分パルスが組になつて発生し、
エツジ部では正および負の微分パルスのいずれか
一方のみが発生することに着目して構成したもの
である。
すなわち、第１の発明の欠陥検出装置は、検査
物体を撮像して得たビデオ信号を微分する微分回
路と、この微分回路から出力される正および負の
微分パルスのいずれか一方のピークが所定値を越
えたときに出力を発生するコンパレータと、この
コンパレータの出力でトリガされる単安定マルチ
バイブレータと、常時前記微分回路の出力を通過
させ前記単安定マルチバイブレータのパルス出力
時に前記微分回路の出力を遮断するアナログスイ
ツチと、このアナログスイツチの出力から前記微
分回路の出力を減算する減算器とを備える構成に
したことを特徴とする。
物体を撮像して得たビデオ信号を微分する微分回
路と、この微分回路から出力される正および負の
微分パルスのいずれか一方のピークが所定値を越
えたときに出力を発生するコンパレータと、この
コンパレータの出力でトリガされる単安定マルチ
バイブレータと、常時前記微分回路の出力を通過
させ前記単安定マルチバイブレータのパルス出力
時に前記微分回路の出力を遮断するアナログスイ
ツチと、このアナログスイツチの出力から前記微
分回路の出力を減算する減算器とを備える構成に
したことを特徴とする。
第２の発明の欠陥検出装置は、検査物体を撮像
して得たビデオ信号を微分する微分回路と、この
微分回路の出力を一定時間遅延する遅延回路と、
前記微分回路の出力と前記遅延回路の出力とを加
算する加算器と、この加算器の出力パルスの幅に
対応した矩形パルスを出力するコンパレータと、
このコンパレータのパルス出力期間中一定周期の
クロツクパルスを通過させる第１のゲートと、前
記コンパレータの出力パルスの立下がりでリセツ
トされて前記第１のゲートを通過したクロツクパ
ルスをカウントするカウンタと、このカウンタの
カウント値を一定値と比較するデジタルコンパレ
ータと、前記カウント値が前記一定値より小さい
ときの前記デジタルコンパレータの出力に応答し
て前記コンパレータの出力を通過させ前記カウン
ト値が前記一定値より大きいときの前記デジタル
コンパレータの出力に応答して前記コンパレータ
の出力を遮断する第２のゲートと、この第２のゲ
ートを通過した前記コンパレータの出力パルスの
立下がりでトリガされる単安定マルチバイブレー
タとを備える構成にしたことを特徴とする。
して得たビデオ信号を微分する微分回路と、この
微分回路の出力を一定時間遅延する遅延回路と、
前記微分回路の出力と前記遅延回路の出力とを加
算する加算器と、この加算器の出力パルスの幅に
対応した矩形パルスを出力するコンパレータと、
このコンパレータのパルス出力期間中一定周期の
クロツクパルスを通過させる第１のゲートと、前
記コンパレータの出力パルスの立下がりでリセツ
トされて前記第１のゲートを通過したクロツクパ
ルスをカウントするカウンタと、このカウンタの
カウント値を一定値と比較するデジタルコンパレ
ータと、前記カウント値が前記一定値より小さい
ときの前記デジタルコンパレータの出力に応答し
て前記コンパレータの出力を通過させ前記カウン
ト値が前記一定値より大きいときの前記デジタル
コンパレータの出力に応答して前記コンパレータ
の出力を遮断する第２のゲートと、この第２のゲ
ートを通過した前記コンパレータの出力パルスの
立下がりでトリガされる単安定マルチバイブレー
タとを備える構成にしたことを特徴とする。
つぎに、この発明の一実施例の欠陥検出装置を
第２図および第３図に基づいて説明する。第２図
において、１はビデオ信号の入力端子、２はビデ
オ信号を微分する微分回路でコンデンサ３および
抵抗４よりなる。５は微分回路２の出力を負のス
ライスレベルVSL1と比較するコンパレータ、６は
スライスレベルVSL1を設定する可変抵抗、７はコ
ンパレータ５の出力でトリガされる単安定マルチ
バイブレータ、８および９は単安定マルチバイブ
レータ７の準安定時間を決定するコンデンサおよ
び抵抗、１０および１１は単安定マルチバイブレ
ータ７の出力により開閉制御されるアナログスイ
ツチ、１２は減算器、１３〜１６は抵抗、１７は
出力端子である。
第２図および第３図に基づいて説明する。第２図
において、１はビデオ信号の入力端子、２はビデ
オ信号を微分する微分回路でコンデンサ３および
抵抗４よりなる。５は微分回路２の出力を負のス
ライスレベルVSL1と比較するコンパレータ、６は
スライスレベルVSL1を設定する可変抵抗、７はコ
ンパレータ５の出力でトリガされる単安定マルチ
バイブレータ、８および９は単安定マルチバイブ
レータ７の準安定時間を決定するコンデンサおよ
び抵抗、１０および１１は単安定マルチバイブレ
ータ７の出力により開閉制御されるアナログスイ
ツチ、１２は減算器、１３〜１６は抵抗、１７は
出力端子である。
以下、より詳しく説明する。
この欠陥検出装置は、第２図に示すように、テ
レビカメラ等から得られるビデオ信号を微分回路
２で微分して第１図ｅと同じ波形の第３図ａのよ
うな微分信号を得、この微分信号をコンパレータ
５によりあらかじめ負の値に設定されたスライス
レベルVSL1と比較し、このスライスレベルVSL1よ
り上記微分信号が負になつた時点でコンパレータ
５が単安定マルチバイブレータ７をトリガするよ
うになつている。単安定マルチバイブレータ７が
第３図ｂに示すようなパルスを出力している期間
中、アナログスイツチ１０がオフとなるとともに
アナログスイツチ１１がオンとなつて減算器１２
の正側入力端が0Vに強制的に固定され、パルス
休止期間中にアナログスイツチ１０がオンとなる
とともにアナログスイツチ１１がオフとなり、減
算器１２の正側入力端には微分回路２の出力が加
えられるため、減算器１２の正側入力端の信号波
形は第３図ｃのように負の微分パルスの直後の正
の微分パルスが除去されたものとなる。一方、減
算器１２の負側入力端には、第３図ａに示した微
分回路２の出力がそのまま入力されるため、減算
器１２の出力としては第３図ｄのように前記除去
された負の微分パルスの直後の正の微分パルスの
みが残ることになる。すなわち、欠陥により生じ
る正負の微分パルスの組の後の正の微分パルスの
みが検出されることになり、この微分パルスが画
像中の欠陥に対応する。
レビカメラ等から得られるビデオ信号を微分回路
２で微分して第１図ｅと同じ波形の第３図ａのよ
うな微分信号を得、この微分信号をコンパレータ
５によりあらかじめ負の値に設定されたスライス
レベルVSL1と比較し、このスライスレベルVSL1よ
り上記微分信号が負になつた時点でコンパレータ
５が単安定マルチバイブレータ７をトリガするよ
うになつている。単安定マルチバイブレータ７が
第３図ｂに示すようなパルスを出力している期間
中、アナログスイツチ１０がオフとなるとともに
アナログスイツチ１１がオンとなつて減算器１２
の正側入力端が0Vに強制的に固定され、パルス
休止期間中にアナログスイツチ１０がオンとなる
とともにアナログスイツチ１１がオフとなり、減
算器１２の正側入力端には微分回路２の出力が加
えられるため、減算器１２の正側入力端の信号波
形は第３図ｃのように負の微分パルスの直後の正
の微分パルスが除去されたものとなる。一方、減
算器１２の負側入力端には、第３図ａに示した微
分回路２の出力がそのまま入力されるため、減算
器１２の出力としては第３図ｄのように前記除去
された負の微分パルスの直後の正の微分パルスの
みが残ることになる。すなわち、欠陥により生じ
る正負の微分パルスの組の後の正の微分パルスの
みが検出されることになり、この微分パルスが画
像中の欠陥に対応する。
なお、上記回路構成では、負の微分パルスが先
に出現するもの、すなわち画像中の黒い欠陥を検
出するものであるが、コンパレータ５のスライス
レベルを正の電位に設定すれば、逆に白い欠陥を
検出することができる。
に出現するもの、すなわち画像中の黒い欠陥を検
出するものであるが、コンパレータ５のスライス
レベルを正の電位に設定すれば、逆に白い欠陥を
検出することができる。
このように構成した結果、リアルタイムで物体
のエツジ部と欠陥部とを区別し、欠陥部のみ検出
することができる。また、マイクロコンピユータ
等を必要とせず、簡単な構成で安価に実現でき
る。さらに、平面で構成される多面体を斜め方向
から撮像することにより、一画面で多面を検査で
き、実質的に検査時間を短縮できる。
のエツジ部と欠陥部とを区別し、欠陥部のみ検出
することができる。また、マイクロコンピユータ
等を必要とせず、簡単な構成で安価に実現でき
る。さらに、平面で構成される多面体を斜め方向
から撮像することにより、一画面で多面を検査で
き、実質的に検査時間を短縮できる。
この発明の他の実施例の欠陥検出装置を第４図
および第５図に基づいて説明する。第４図におい
て、２１はビデオ信号の入力端子、２２は微分回
路で、コンデンサ２３および抵抗２４で構成され
る。２５は５〜50画素程度の遅延時間を有する遅
延回路、２６は加算器、２７〜２９は抵抗、３０
はコンパレータ、３１はスライスレベルVSL2を設
定する可変抵抗、３２はクロツクパルスの入力端
子、３３はアンドゲート、３４はカウンタ、３５
はデジタルスイツチ、３６はデジタルコンパレー
タ、３７はトライステートバツフア、３８は単安
定マルチバイブレータ、３９および４０は単安定
マルチバイブレータの準安定期間を決めるコンデ
ンサおよび抵抗、４１は出力端子である。
および第５図に基づいて説明する。第４図におい
て、２１はビデオ信号の入力端子、２２は微分回
路で、コンデンサ２３および抵抗２４で構成され
る。２５は５〜50画素程度の遅延時間を有する遅
延回路、２６は加算器、２７〜２９は抵抗、３０
はコンパレータ、３１はスライスレベルVSL2を設
定する可変抵抗、３２はクロツクパルスの入力端
子、３３はアンドゲート、３４はカウンタ、３５
はデジタルスイツチ、３６はデジタルコンパレー
タ、３７はトライステートバツフア、３８は単安
定マルチバイブレータ、３９および４０は単安定
マルチバイブレータの準安定期間を決めるコンデ
ンサおよび抵抗、４１は出力端子である。
つぎに、動作について説明する。入力端子２１
に加えられる第５図ａのビデオ信号（欠陥による
レベル落ち込み部Ｙが存在する）は、微分回路２
２により微分されて第５図ｂの波形となる。この
微分波形は遅延回路２５に５〜50画素程度遅延さ
れて第５図ｃのような波形となる。上記第５図ｂ
の微分波形と第５図ｃの遅延波形とが加算器２６
により加算されると、第５図ｄの波形となる。こ
の加算波形は、エツジ部に対応する弧立した微分
パルスについては遅延加算することにより高くよ
り太くなるが、欠陥部に対応する正負の一組のパ
ルスは遅延加算により打ち消し合う部分ができる
ため太くはならない。そこで、加算波形のパルス
の太さを調べると、弧立したパルスであるか正負
一組のパルスであるかを、すなわちエツジ部であ
るか欠陥部であるかを判定できる。なお、加算器
２６の出力は反転しているので、回路上は負のス
ライスレベルVSL2とコンパレータ３０で比較され
るが、第５図ｄでは反転しないものとして波形を
示している。
に加えられる第５図ａのビデオ信号（欠陥による
レベル落ち込み部Ｙが存在する）は、微分回路２
２により微分されて第５図ｂの波形となる。この
微分波形は遅延回路２５に５〜50画素程度遅延さ
れて第５図ｃのような波形となる。上記第５図ｂ
の微分波形と第５図ｃの遅延波形とが加算器２６
により加算されると、第５図ｄの波形となる。こ
の加算波形は、エツジ部に対応する弧立した微分
パルスについては遅延加算することにより高くよ
り太くなるが、欠陥部に対応する正負の一組のパ
ルスは遅延加算により打ち消し合う部分ができる
ため太くはならない。そこで、加算波形のパルス
の太さを調べると、弧立したパルスであるか正負
一組のパルスであるかを、すなわちエツジ部であ
るか欠陥部であるかを判定できる。なお、加算器
２６の出力は反転しているので、回路上は負のス
ライスレベルVSL2とコンパレータ３０で比較され
るが、第５図ｄでは反転しないものとして波形を
示している。
コンパレータ３０の出力が第５図ｆに示すよう
に高レベルのとき、すなわち、第５図ｄにおいて
加算波形がスライスレベルVSL2より高いときに、
アンドゲート３３が開いて20MHz程度のクロツク
パルスが通り、カウンタ３４にはコンパレータ３
０のパルス幅に応じて第５図ｅのようなパルス信
号が入力され、カウンタ３４がこれをカウントす
る。
に高レベルのとき、すなわち、第５図ｄにおいて
加算波形がスライスレベルVSL2より高いときに、
アンドゲート３３が開いて20MHz程度のクロツク
パルスが通り、カウンタ３４にはコンパレータ３
０のパルス幅に応じて第５図ｅのようなパルス信
号が入力され、カウンタ３４がこれをカウントす
る。
そして、このカウンタ３４のカウント値を検出
することにより、コンパレータ３０の出力パルス
の幅、すなわちエツジ部であるか欠陥部であるか
を判別する。具体的には、カウント値がある設定
値より大きいか小さいかで判断する。以下の動作
はその判断のための動作である。
することにより、コンパレータ３０の出力パルス
の幅、すなわちエツジ部であるか欠陥部であるか
を判別する。具体的には、カウント値がある設定
値より大きいか小さいかで判断する。以下の動作
はその判断のための動作である。
デジタルコンパレータ３６は、デジタルスイツ
チ３５による設定値とカウンタ３４のカウント値
を比較するが、カウント値が設定値より小さいと
きは、高レベルの出力を発生し、逆の場合は低レ
ベルの出力を発生するので、アンドゲート３３が
開いた時点以前から出力が高レベルとなつてお
り、トータルのカウント値が小さければ、出力が
低レベルとはならない。
チ３５による設定値とカウンタ３４のカウント値
を比較するが、カウント値が設定値より小さいと
きは、高レベルの出力を発生し、逆の場合は低レ
ベルの出力を発生するので、アンドゲート３３が
開いた時点以前から出力が高レベルとなつてお
り、トータルのカウント値が小さければ、出力が
低レベルとはならない。
トライステートバツフア３７は、デジタルコン
パレータ３６の出力が高レベルのとき、すなわ
ち、カウント値が設定値より小さいときに導通さ
せ、出力が低レベルのときに入出力を遮断する。
したがつて、カウンタ３４のカウント値が設定値
を越えるまでにコンパレータ３０の出力が立下が
ると（欠陥部）、このコンパレータ３０の出力の
立下がりがトライステートバツフア３７を通して
単安定マルチバイブレータ３８に加えられること
になり、単安定マルチバイブレータ３８がトリガ
されて一定時間幅の欠陥信号が出力される。ま
た、コンパレータ３０の出力の立下がりによりカ
ウンタ３４がクリアされる。
パレータ３６の出力が高レベルのとき、すなわ
ち、カウント値が設定値より小さいときに導通さ
せ、出力が低レベルのときに入出力を遮断する。
したがつて、カウンタ３４のカウント値が設定値
を越えるまでにコンパレータ３０の出力が立下が
ると（欠陥部）、このコンパレータ３０の出力の
立下がりがトライステートバツフア３７を通して
単安定マルチバイブレータ３８に加えられること
になり、単安定マルチバイブレータ３８がトリガ
されて一定時間幅の欠陥信号が出力される。ま
た、コンパレータ３０の出力の立下がりによりカ
ウンタ３４がクリアされる。
一方、カウンタ３４のカウント値が設定値を越
えたのちにコンパレータ３０の出力が立下がると
（エツジ部）、このときはデジタルコンパレータ３
６の出力が低レベルとなつてトライステートバツ
フア３７が入出力遮断状態となつているため、コ
ンパレータ３０の立下がりは単安定マルチバイブ
レータ３８には伝わらず、単安定マルチバイブレ
ータ３８は出力を発生しない。なお、このコンパ
レータ３０の立下がりによりカウンタ３４がクリ
アされ、デジタルコンパレータ３６の出力は高レ
ベルにもどる。
えたのちにコンパレータ３０の出力が立下がると
（エツジ部）、このときはデジタルコンパレータ３
６の出力が低レベルとなつてトライステートバツ
フア３７が入出力遮断状態となつているため、コ
ンパレータ３０の立下がりは単安定マルチバイブ
レータ３８には伝わらず、単安定マルチバイブレ
ータ３８は出力を発生しない。なお、このコンパ
レータ３０の立下がりによりカウンタ３４がクリ
アされ、デジタルコンパレータ３６の出力は高レ
ベルにもどる。
このように構成した結果、前記実施例と同様の
効果を達成できる。
効果を達成できる。
この発明によれば、簡単な構成でかつリアルタ
イムで表面欠陥を検出することができる。
イムで表面欠陥を検出することができる。
第１図は従来の欠陥検出の説明図、第２図はこ
の発明の一実施例の回路図、第３図はその各部の
波形図、第４図はこの発明の他の実施例の回路
図、第５図はその各部の波形図である。 ２……微分回路、５……コンパレータ、７……
単安定マルチバイブレータ、１０，１１……アナ
ログスイツチ、１２……減算器、２２……微分回
路、２５……遅延回路、２６……加算器、３０…
…コンパレータ、３３……アンドゲート、３４…
…カウンタ、３５……デジタルスイツチ、３６…
…デジタルコンパレータ、３７……トライステー
トバツフア、３８……単安定マルチバイブレー
タ。
の発明の一実施例の回路図、第３図はその各部の
波形図、第４図はこの発明の他の実施例の回路
図、第５図はその各部の波形図である。 ２……微分回路、５……コンパレータ、７……
単安定マルチバイブレータ、１０，１１……アナ
ログスイツチ、１２……減算器、２２……微分回
路、２５……遅延回路、２６……加算器、３０…
…コンパレータ、３３……アンドゲート、３４…
…カウンタ、３５……デジタルスイツチ、３６…
…デジタルコンパレータ、３７……トライステー
トバツフア、３８……単安定マルチバイブレー
タ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 検査物体を撮像して得たビデオ信号を微分す
る微分回路と、この微分回路から出力される正お
よび負の微分パルスのいずれか一方のピークが所
定値を越えたときに出力を発生するコンパレータ
と、このコンパレータの出力でトリガされる単安
定マルチバイブレータと、常時前記微分回路の出
力を通過させ前記単安定マルチバイブレータのパ
ルス出力時に前記微分回路の出力を遮断するアナ
ログスイツチと、このアナログスイツチの出力か
ら前記微分回路の出力を減算する減算器とを備え
た欠陥検出装置。 ２ 検査物体を撮像して得たビデオ信号を微分す
る微分回路と、この微分回路の出力を一定時間遅
延する遅延回路と、前記微分回路の出力と前記遅
延回路の出力とを加算する加算器と、この加算器
の出力パルスの幅に対応した矩形パルスを出力す
るコンパレータと、このコンパレータのパルス出
力期間中一定周期のクロツクパルスを通過させる
第１のゲートと、前記コンパレータの出力パルス
の立下がりでリセツトされて前記第１のゲートを
通過したクロツクパルスをカウントするカウンタ
と、このカウンタのカウント値を一定値と比較す
るデジタルコンパレータと、前記カウント値が前
記一定値より小さいときの前記デジタルコンパレ
ータの出力に応答して前記コンパレータの出力を
通過させ前記カウント値が前記一定値より大きい
ときの前記デジタルコンパレータの出力に応答し
て前記コンパレータの出力を遮断する第２のゲー
トと、この第２のゲートを通過した前記コンパレ
ータの出力パルスの立下がりでトリガされる単安
定マルチバイブレータとを備えた欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9988583A JPS59224546A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9988583A JPS59224546A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224546A JPS59224546A (ja) | 1984-12-17 |
| JPH0317088B2 true JPH0317088B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=14259235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9988583A Granted JPS59224546A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224546A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH067110B2 (ja) * | 1985-11-22 | 1994-01-26 | エーザイ株式会社 | 容器に付着した汚れを検出する方法 |
| JPS62249038A (ja) * | 1986-04-22 | 1987-10-30 | Fuji Electric Co Ltd | 画像２値化処理回路 |
| JP2508662Y2 (ja) * | 1990-11-22 | 1996-08-28 | 三菱電機株式会社 | 疵検出装置 |
-
1983
- 1983-06-03 JP JP9988583A patent/JPS59224546A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59224546A (ja) | 1984-12-17 |
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