JPH0366186B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体製造工場や医療用設備等にお
けるクリーンルーム内での物品運搬を行なうため
の運搬車に関し、詳しくは、ルーム内空気の排出
用口部を床壁面部あるいはそれの上方近くに設け
たクリーンルーム内の前記床壁面部を走行させる
クリーンルーム用運搬車に関する。

かかるクリーンルーム用運搬車においては、ク
リーンルーム内の汚染を可及的に抑制させる必要
上、車体自体からの微粒子飛散を抑制させる必要
があるが、従来では、それを回避する手段を講じ
ていないため、運搬車のためにクリーンルーム内
が汚染される不利があり、改善の余地があつた。

さらに詳述すれば、運搬車には、走行用電動モ
ータ等の走行用駆動装置、あるいは、荷役用ロボ
ツトの駆動装置等の各種駆動部が装備されること
になり、その結果、駆動部において発生する摩耗
粉等の微粒子が運搬車から飛散される虞れがあ
る。もちろん、運搬車においては一般に、上述の
駆動部を覆う車体ケーシングを設けているのであ
るが、車軸挿通孔や走行制御のための各種のセン
サーに対する露出あるいは挿通のための孔等をケ
ーシングに形成する点に起因して、車体からの微
粒子飛散を無くすことはできないものであつた。
そして、特に、走行制御のコントロールボツクス
を上記ケーシング内に装備する場合においては、
コントロールボツクス冷却用のフアンをケーシン
グ内に設ける点に起因して、上述の微粒子飛散の
不都合が顕著となるものであつた。

尚、ダウンフロー型式のクリーンルームにおい
ては、車体から飛散される微粒子を下方側に流動
させながら排出する機能を有するものであるが、
上記排出を適確に行なわせるには、クリーンルー
ムに対する浄化設備そのものを浄化性能の優れた
大掛りな設備に改造しなければならない不利があ
り、実用できないものであつた。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであ
つて、その目的は、クリーンルームの本来構成を
有効利用した簡単な改造によつて、運搬車に起因
するクリーンルーム内の汚染を抑制する点にあ
る。

本発明によるクリーンルーム用運搬車の特徴構
成は、前記運搬車内空気を前記排出用口部に向け
て排出する送風装置を、前記運搬車の底部に設け
た点にあり、その作用効果は次の通りである。

すなわち、送風装置によつて、運搬車内の空気
を吸引させながらその空気を排出用口部に向けて
排出させることによつて、車体内に発生する摩耗
粉等の微粒子を上記の如く排出される空気と一諸
に排出用口部に確実に排出させて、車体内に発生
する微粒子がクリーンルーム内を汚染することを
抑制させるようにしてある。

従つて、クリーンルームにおける床壁面部ある
いはそれの上方近くに位置する排出用口部を有効
利用しながら、送風装置を運搬車底部に設けるだ
けの実施製作面において有利な構成で、運搬車に
よるクリーンルームの汚染を抑制できるようにな
つた。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図に示すように、天井部側に設けたフイル
タＦを通して浄化空気をルーム内に送風させると
共に、床壁面部１をグレーチングにて形成して、
ルーム内空気の排出口部Ｈを床壁面部１に設け、
もつて、天井部側から送風する浄化空気を床壁面
部１を通して流動させる、いわゆる、ダウンフロ
ー形式のクリーンルームＡを構成してある。

運搬車走行用路面を形成する帯状体２の３枚
を、前記床壁面部に設け、荷役用ステーシヨン３
の複数個を、帯状体２の長手方向に間隔を隔てる
状態で帯状体２の横側方に設けると共に、荷役用
ロボツト４を備えた運搬車Ｂを、前記帯状体２に
沿つて走行自在に設け、もつて、例えば半導体製
造工場においてウエハ収納カプセルＸを運搬させ
る等、各種の物品運搬を行なえるように構成して
ある。

前記荷役用ロボツト４を構成すると、物品支持
具４ａを、基端側枠体４ｂに対して出退駆動自在
なアーム４ｃの先端に、縦軸芯周りで駆動回転自
在に取付けると共に、前記基端側枠体４ｂを、昇
降駆動及び旋回駆動自在に運搬車Ｂの上部に取付
けてある。

前記運搬車Ｂについて詳述すれば、左右一対の
推進車輪５を、変速自在な電動モータにて各別に
駆動させるように設けると共に、前後一対の遊転
輪６を、縦軸芯周りで自由回動自在に設けて、左
右推進車輪５の回転速度を異ならせることにより
操向できるように構成してある。

そして、走行のための各種駆動装置、荷役用ロ
ボツト４に対する各種駆動装置、自動走行や荷役
用ロボツト４の自動運転を行なわせるためのコン
トロールボツクス７、及び、それに対する冷却フ
アン８等の各種機器を覆う車体ケーシング９を設
けると共に、車体ケーシング９の上部に、物品収
納部Ｃを設けてある。

前記車体ケーシング９の上部壁及び下部壁の
夫々に、スリツト状等の通気孔１０ａ，１０ｂを
多数形成すると共に、運搬車内空気を排出用口部
に向けて排出する送風装置としての電動フアン１
１の複数個を、運搬車Ｂの底部に設け、もつて、
運搬車Ｂ内において発生する摩耗粉等の微粒子が
クリーンルーム内に飛散することを抑制させるよ
うにしてある。

前記運搬車Ｂを自動走行させる制御構成につい
て説明すれば、縦長スリツト状のレーザー光線Ｋ
を運搬車走行径路に沿つて投射するレーザー発生
装置１２を、運搬車走行径路の端部に設けると共
に、フオトダイオード等のレーザー光線受光素子
の複数個を車体横巾方向に並べた追従用センサー
１３を、レーザー発生装置１２に対向するケーシ
ング壁面部に設け、そして、前記追従用センサー
１３における受光素子のうちの中央側のものが受
光する状態を維持するように、左右推進車輪５，
５の回転速度を自動変速させて、運搬車Ｂを走行
径路に沿つて自動走行させるように構成してあ
る。

但し、例示はしないが、行先データ等の各種情
報を出力するコントローラを固定設置し、運搬車
Ｂの停止位置を表示するマークを走行路面に設け
ると共に、前記コントローラからの情報を前記コ
ントロールボツクス７に伝達する受信器、及び、
運搬車停止位置を前記コントロールボツクス７に
伝達するマーク読取用センサーの夫々を、車体側
に設けて、運搬車Ｂを荷役のために所望のステー
シヨンで停止すること、及び、荷役後の運搬車Ｂ
を次のステーシヨン側に向けて発進することを、
コントローラの情報に基づいて自動的に行なわせ
るようにしてある。

ステーシヨン側に突出移動自在な杆状部材１４
の３本を、車体前後方向に並べる状態で、且つ、
車体ケーシング９を貫通させる状態で設けると共
に、ステーシヨン３の運搬車側壁面部に、杆状部
材１４が接触作用する基準面形成用部材１５を設
け、そして、前記杆状部材１４の夫々を各別に突
出操作する電磁ソレノイド等の駆動装置１６を設
けると共に、前記杆状部材１４の突出量を各別に
検出するポテンショメータ１７を、ラツクピニオ
ン式伝動機構により杆状部材１４に連動連結させ
る状態で設け、もつて、運搬車Ｂをステーシヨン
脇に停止させた状態において突出作動させる杆状
部材１４の突出量の検出情報に基づいて、ステー
シヨン３に対する運搬車Ｂの前後位置、横間隔、
及び、水平面内での傾斜確度夫々を前記コントロ
ールボツクス７によつて演算判別させるように構
成してある。そして、その演算判別結果に基づい
て、予め記憶させた荷役用ロボツト作動情報を自
動修正させて、運搬車Ｂのステーシヨン３に対す
る停止状態の変動に拘らず、適正通りの荷役作業
を行なわせるように構成してある。

前記運搬車Ｂの横外側部を囲む状態で空気を下
方に排出する管状体１８を設けると共に、クリー
ンルームＡ内の空気を前記管状体１８に供給する
ブロア１９を、車体ケーシング９内に設け、もつ
て、推進車輪５及び遊転輪６の装着部をエアカー
テンによつて覆つて、走行に伴い発生する微粒子
がクリーンルームＡ内に飛散することを抑制させ
るように構成してある。但し、図中２０は、ブロ
ア１９に連通接続させた吸引用ダクトである。

次に、別の実施例を説明する。

床壁面上に通気孔付管状体を設けて、ルーム内
空気の排出用口部Ｈを床壁面部１の上方に設ける
ようにする等、排出用口部Ｈの具体構成は各種変
更できる。

運搬車Ｂを構成するに、走行用駆動構成は各種
変更でき、そして、運搬車Ｂを自動走行制御する
具体構成も各種変更できる。

又、本発明の運搬車Ｂは、車体そのものに物品
収納部Ｃを備える形式の他、物品収納用台車部分
を牽引する形式のもの等、各種形式のものを対象
とするものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るクリーンルーム用運搬車の
実施の態様を例示し、第１図はクリーンルーム内
を走行する運搬車の側面図、第２図はステーシヨ
ン脇に停止させた運搬車の一部切欠正面図、第３
図は運搬車の一部切欠側面図、第４図はステーシ
ヨンに対する運搬車停止状態を検出するための構
成を示す概略平面図である。 １……床壁面部、１１……送風装置、Ａ……ク
リーンルーム、Ｂ……運搬車、Ｈ……排出用口
部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ルーム内空気の排出用口部Ｈを床壁面部１あ
   るいはそれの上方近くに設けたクリーンルームＡ
   内の前記床壁面部１を走行させるクリーンルーム
   用運搬車であつて、 前記運搬車Ｂ内空気を前記排出用口部Ｈに向け
   て排出する送風装置１１を、前記運搬車Ｂの底部
   に設けてあるクリーンルーム用運搬車。