JPH0317528A - アクチユエータ用試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はアクチュエータ用試験装置、例えば光学望遠
鏡における薄形反射鏡を裏面から（多数位置で）支持す
るミラーサポートアクチュエータ用の性能試験装置に関
するものである。

〔従来の技術〕

第３図はミラーサポートアクチュエータが薄形ミラーを
支持する様子を示す断面図であり、図において（１）は
ミラーサポートアクチュエータ、（２）はアクチュエー
タ（１）が支持する薄形ミラー（３）はアクチュエータ
（１）を取付ける架台である。

ミラーサポートアクチュエータ（１）は複数点で薄形ミ
ラー（２）を支持する。薄形ミラー（２）の裏面側には
円筒形の穴があいており、ここにミラーサポートアクチ
ュエータ（ｌ）の先端部が差し込まれる。薄形ミラー（
２）の重心部（０）に７キシャ〜方向（ａ）及びトラン
スバース方向（ｂｌに薄形ミラー（２）の自重（Ｃｌに
相当する力を加えることにより、薄形ミラー（２）ｔ−
擬無重力状態で支持することができる。その結果、薄形
ミラー（２）の姿勢の変化によって生じる自重によるた
わみを非常に小さくおさえることができる。薄形ミラー
（２）が薄いために支持する力に誤差が生じると、上記
のたわみ量が大きくなるためアキシャノレ方向（ａ）に
は負荷する力の大きさを検出しながら力を負荷する機構
になっている。なお、この機構の詳細については例えば
特願昭６３−１）６９９９号などに述べられているとお
りである。

第４図はミラーサポートアクチュエータ用試験装置を示
す断面図であり、図において（４）はミラーサポートア
クチュエータ（１）の一部であってこれに作用するアキ
シャｐ方向（ａ）の荷重を測定するためのロードセル、
（５）はミラーサポートアクチュエータ（１）の一部で
あってロードセノレ（４）及び薄形ミラー（２）とを結
合するための結合部、（６）はロードセ／ｌ／　（４）
に荷重を加えるためのおもり、（７）はおもり（６）を
結合部（５）に吊るための治具である。

或る重量のおもり（６）を治具（７）を用いて結合部（
５）に吊るす。結合部（５）を介してロードセル（４）
に荷重が加わり、ロードセノレ（４）にて荷重を測定す
る。

この測定値と吊るしたおもり（６）の重量との差を算出
する。この差がミラーサポートアクチュエータ（１＋の
荷重読み取り誤差に相当する。おもり（６）の量を変え
ることにより例えばＯ　（Ｋｇｆ　）からＷ（Ｋｇｆ）
　（ミラーサポートアクチュエータ（１）が支持する力
の最大値）までの７キシャノレ方向（ａ）の荷重読み取
り誤差を段階的に測定することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のミラーサポートアクチュエータ用試験装置は以上
のように構成されているので、様々な重量のおもり（６
）を用意しなければならず、それら個々のおもり（６）
についてそれぞれ試験をすることが必要で、連続した測
定データを得ることができなかった。また、ミラーサポ
ートアクチュエータ（１）と結合部（５）とを結合した
まま試験を行うことができないなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、１種類のおもりで試験を行うことができると
ともに、段階的ではなく連続した測定データを得ること
ができ、さらにアクチュエータと結合部とを結合したま
ますなわちアクチュエータを組立てた状態のままで試験
することができるアクチュエータ用試験装置を得ること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るアクチュエータ用試験装置は、アクチュ
エータを組立てた状態で架台に取付け、このアクチュエ
ータにアクチュエータが支持するぺ．？ミラーと同等の
重徂のダミーウェイトを取付け、このダミーウェイトと
アクチュエータにアキシャル方向の荷重検出誤差を測定
するロードセノレを取付け、さらに上記装置全体を回転
台の上に載せて装置全体を傾けることができるようにし
たものである。

〔作用〕

この発明においては、回転台によって装６ｔ全体を傾け
ることにより、傾斜角に対応したダミーウェイトのアキ
シャル方向の自重をアクチュエータに加えることができ
、またダミーウェイトに取付けたロードセルは傾斜角に
対応するア午シャノレ方向の支持力の誤差量を連続して
測定することができる。さらに、アクチュエータを組立
てた状態のまま試験できるようにしたことによって、実
機に近い状態で精度の高い試験ができる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は一部縦断正面図であり、前記従来装置と同一または
相当部分には同一符号を付して説明を省略する。図にお
いて、（５Ａ）はミラーサポートアクチュエータ（１）
と７クチュエータ用ロードセル（４）とを結合しかつ薄
形ミラー（２）にはめ込まれ試験時には後記するダミー
ウェイトにはめ込まれる結合部、（８）はミラーサポー
トアクチュエータ（１）によって支えられかつ薄形ミラ
ー（２）と同等の重量を有するダミーウェイト、（９）
はダミーウェイト（８）に作用するミラーサポートアク
チュエータ（１）の７キシャノレ方向（ａ）の荷重の誤
差量を測定するためのダミーウェイト用ロードセル、（
１０）は試験装置を設詮するための架台、（１））は架
台（１０）の角度を測定するためのクリノメータ等の傾
斜計、（１２）は架台（１０）とダミーウェイト（８）
との相対角度を測定するための非接触変位計，（１３）
は上記試験装置（試験装置を設定した架台）を傾けるた
めの回転台である。

次に動作について説明する。

まず、架台（１０）が傾斜角ゼロの状態において、ミラ
ーサポートアクチュエータ（１）にダミーウェイト（８
）を取付けてアクチュエータ支持部（１ａ）の回転中心
のまわりに平衡をとる。こうすることにより、ダミーウ
ェイト（８）の重燗のうちミラーサポートアクチュエー
タ（１）のトランスバース方向（ｂ）の成分は架台（１
０）の傾斜角がいかなる場合にも釣り合い回転しない。

この平衡がとれた状態において、ダミーウェイト用ロー
ドセル（９）をダミーウェイト（８）に取付ける。

次に、回転台（．１３）を用いて架台（１０）、すなわ
ち装置全体を傾ける。すると、上記の通りダミーウェイ
ト（８）の重ｆｉｔのうちミラーサポートアクチュエー
タ（１）のトランスバース方向（ｂ）の成分は釣り合っ
ているため、ミラーサポートアクチュエータ（１）には
ダミーウェイト（８）の重伍のうちミラーサポートアク
チュエータ（１）の７キシャル方向（ａ）の成分のみが
加わることになる。この時、ダミーウェイト（８）のＴ
Ｌ量のうちのミラーサポートアクチュエータ（１）の７
キシャノレ方向（ａ）の大きさをミラーサポートアクチ
ュエータ（１）によりダミーウェイト（８）に加える。

この時、ダミーウェイト用ロードセル（９）にて検出さ
れる力の大きさを１０“にするようにミラーサポートア
クチュエータ（ｉ）を動作させる。ダミーウェイト（８
）の姿勢角は傾斜計（　１　１　）ｓ非接触変位計（１
２）により測定され、一方ダミーウェイト（８）の７キ
シャノレ方向（ａｌの荷重は姿勢角によって決まる（　
Ｗ　Ｘ　ｓｉｎθ；θは姿勢角）。この量とミラーサポ
ートアクチュエータ（１）に付属のロードセノレ（４）
の読み値との差が７キシャル方向（ａ）の支持力誤差に
なる。

以上のように、本試験装置ではおもり（ダミーウェイト
（８））を取り変える必要がなく、四転台（１３）によ
って試験装置を傾けることにより、装置の傾斜角に応じ
た任意の荷重をミラーサポートアクチュエータ（１）に
負荷することができるため、従来の方法と比較して手間
がかからず、かつ連続した試験を行うことができる。ま
た、ミラーサポートアクチュエータ（１）を絹立てた状
タ１）で使用するため、非常に実機に近い状態で試ｐが
でき、さらに試験の間装福に触れる必要がないため従来
の方法と比較して非常に精度の高い試験ができる。

第２図は第１閣の変形例の変形部分を示す図であり、こ
の変形例は上記実施例にトランスバース方向（ｂ）に作
用する荷重の誤差量を訓定する第３のロードセノレ（１
４）を加えたものである。

本試験装置では試験を行う前にアクチュエータ支持部（
１ａ）の（ｉ′ｉ′１転中心回りに平衡をとる。

しかし、架台（１０）の角度を変えて試験を行っていく
とアクチュエータ自身の変形等によりこの平衡が崩れて
トランスバース方向（ｂ）に誤差が生じる。この誤差を
第３のロードセル（１４）によって測定できる。尚、ダ
ミーウェイト用ロードセル（９）及び第３のロードセル
（１４）は弾性平行リンクを使用したロードセノレであ
り、そのうちロードセル（９）は図中左右方向（アキシ
ャノレ方向）の荷重のみ、ロードセＡ／（　１　４　）
は図中上下方向（トランスバース方向）の荷重のみを測
定できるものである。

なお、以上の実施例の動作においてはその操作方法を順
を追って説明したが、各ロードセノレ（４）　．　（９
１　，　（　１　４　）・傾斜計（１））・非接触変位
形（１２）の出力及び回転台（１３）の制御信号ケープ
ノレ等を１台のコンピュータに接続して試験を行えば一
連の動作を同時に行うことができ、さらに試験時間を短
縮そして連続した試験が可能となる。

また、以上の実施例ではミラーサポートアクチュエータ
（１）の場合について説明したが、測定対象物は他のア
クチュエータ、他のロードセルであってもよく、上記実
施例と同様の効墨を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば回転台によって試験装
置を傾けることにより装置の傾斜角に応じた任意の荷重
を７クチュエー夕に負荷できかつアクチュエータの検出
誤差をＦ：ＩＪ定できるようにすると共に、アクチュエ
ータを組立てたまま試験ができるように装置を実機に近
い状態に構成して装置に触れることなく連続した試験を
行うことができるようにしたので非常に精度の高い試験
を行うことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるミラーサポートアク
チュエータ用試験装置を示す一部縦断正面図、第２図は
この発明の他の実施例を示す部分図、第３図はミラーサ
ポートアクチュエータの役割りを示す断面図、第４図は
従来装置を示す断面図で・ある。 図において、（１）はミラーサポート７クチュエー夕、
（４）はミラーサポートアクチュエータ用ロードセＡ／
，（５Ａ）は結合部、（８）はダミーウェイト、（９）
はダミーウェイト用ロードセ／１／，（１０）は架台、
（１））は傾斜計、（１２）は非接触変位計、（１３）
は回転台を示す。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。 第 ２ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転台、この回転台に取付けられた架台、この架
   台に取付けられたアクチュエータ、このアクチュエータ
   の一部でその先端に取付けられた結合部、前記アクチュ
   エータの一部で結合部に取付けられたアクチュエータ用
   ロードセル、前記結合部にはめ込まれたダミーウェイト
   、このダミーウェイトに取付けられかつ他端を前記架台
   に取付けられたダミーウェイト用ロードセル、前記ダミ
   ーウェイト付近で前記架台に取付けられた傾斜計、およ
   び前記ダミーウェイトの下方にて前記架台に取付けられ
   た非接触変位計を備えたことを特徴とするアクチュエー
   タ用試験装置。