JPH03177319A

JPH03177319A - 光学素子製造装置

Info

Publication number: JPH03177319A
Application number: JP31545089A
Authority: JP
Inventors: Isamu Shigyo; 勇執行; Nobuyuki Nakagawa; 中川　伸行; Fumitaka Yoshimura; 文孝吉村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1989-12-06
Filing date: 1989-12-06
Publication date: 1991-08-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は光学素子製造装置に関し、特に光学機能面を有
する光学素子を成形用素材から直接プレス成形により連
続的に得るための装置に関する。

［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］近年、
所定の表面精度を有する成形用型内に光学素子成形用の
素材たとえばある程度の形状及び表面精度に予備成形さ
れたガラスブランクを収容して加熱下でプレス成形する
ことにより、研削及び研摩等の後加工を不要とした、高
精度光学機能面を有する光学素子を製造する方法が開発
されている。

この様なプレス成形法では、一般に成形用上型部材と成
形用下型部材とをそれぞれ成形用下型部材内に摺動可能
に対向配置し、これら上型部材、下型部材及び組型部材
により形成されるキャビティ内に成形用素材を導入し、
型部材の酸化防止のため雰囲気を非酸化性雰囲気たとえ
ば窒素雰囲気として、成形可能温度たとえば成形用素材
が１０’〜ＩＱ１２ポアズとなる温度まで型部材を加熱
し、型を閉じ適宜の時間プレスして型部材表面形状を成
形用素材表面に転写し、そして型部材温度を成形用素材
のガラス転移温度より十分低い温度まで冷却し、プレス
圧力を除去し、型を開いて成形済光学素子を取出す。

尚、型部材内に導入する前に成形用素材を適宜の温度ま
で予備加熱したり、あるいは成形用素材を成形可能温度
まで加熱してから型部材内に導入することもできる。更
に、型部材とともに成形用素材を搬送しながら、それぞ
れ所定の場所で加熱、プレス及び冷却を行い、連続化及
び高速化をはかることもできる。

以上の様な光学素子プレス成形法及びその装置は、たと
えば特開昭５８−８４１３４号公報、特開昭４９−９７
００９号公報、イギリス国特許第３７８１９９号公報、
特開昭６３−１１５２９号公報、特開昭５９−１５０７
２８号公報及び特開昭６１−２６５２８号公報等に開示
されている。

ところで、上記プレスを連続して行う装置においては、
成形用素材を成形用型の方へと送給し該成形用型での成
形により得られた成形済光学素子を取出す操作が必要で
あり、この操作のために搬送手段が用いられる。一方、
上記搬送手段による搬送に際しては、成形用素材を型内
へと導入する際に予備加熱したり、成形済光学素子を取
出す際に熱ショックを与えることなく徐冷したりする温
度制御を行うことが望ましい。

従来、この様な温度制御のための手段としては搬送手段
による搬送経路の周囲に配置した発熱体が用いられ、該
発熱体の発熱量を適宜制御することにより温度制御を行
っていた。しかしながら、この従来法では成形用素材や
成形済光学素子の精密な温度制御が困難であり、また熱
エネルギー消費も大きい。

そこで、本発明は、光学素子製造における上記成形用素
材や成形済光学素子の搬送時における予備加熱や徐冷等
の温度制御を精密且つ効率的に行うことのできる装置を
提供することを目的とするものである。

Ｃ課題を解決するための手段］本発明によれば、上記目的を達成するものとして、成形用素材を成形用型内に収容して加熱下でプレス成形
することにより光学素子を製造する装置において、成形
用素材及び／または上記成形用型での成形により得られ
た成形済光学素子を保持して移動させるための搬送手段
が発熱体を備えていることを特徴とする、光学素子製造
装置、が提供される。

本発明においては、上記搬送手段が、成形用素材を第１
の位置及び第２の位置をこの順に経由して成形用型へと
移動させ、成形済光学素子を上記第２の位置及び第１の
位置をこの順に経由して移動させるものである形態があ
る。

本発明においては、上記搬送手段が回動軸をもち、該回
動軸を含む平面の一方の側に成形用素材保持のための第
１の保持部が設けられており他方の側に成形済光学素子
保持のための第２の保持部が設けられている形態がある
。

本発明においては、上記搬送手段が回動軸方向に往復移
動可能である形態がある。

本発明においては、上記第１の保持部による成形用素材
の保持及び上記第２の保持部による成形済光学素子の保
持がいずれも減圧吸着によりなされる形態がある。

本発明においては、上記発熱体による発熱で上記第１の
保持部が上記第２の保持部より高温に維持される様に設
定されている形態がある。

本発明においては、上記発熱体が上記第２の保持部より
も上記第１の保持部の方に近く配置されている形態があ
る。

本発明においてｉよ、上記第１の保持部と上記第２の保
持部とから等距離の位置に測温手段を備えている形態が
ある。

本発明においては、成形用型を備えたプレス部を含んで
なる成形室内に上記第２の位置があり、該成形室に密閉
可能ゲートを介して連通可能に接続された置換室内に上
記第１の位置がある形態がある。

本発明においては、上記成形室内に非酸化性ガスを導入
する手段を有する形態がある。

本発明においては、上記置換室内に非酸化性ガスを導入
する手段を有する形態がある。

本発明においては、上記置換室内を減圧する手段を有す
る形態がある。

［実施例］以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の概
略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−Ｂ
−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。

図において、２はケーシングであり、４ａ１４ｂはその
支持脚である。上記ケーシングにより外気と遮断可能に
成形室６及び置換室８が形成されている。成形室６と置
換室８とはその間に設けられた密閉可能なゲートバルブ
１０により区画されており、ちょうど成形室６の側方に
置換室８が付設された形態とされている。該置換室８の
下部には外部との間に密閉可能なゲートバルブ１２が設
けられている。

該ゲートバルブ１２の下方には、外部から置換室８内へ
と成形用素材を送入し更に該置換室８内から外部へと成
形済光学素子を取出すための送入取出し手段２０が配置
されている。

上記置換室８の近傍には、該置換室８内の成形用素材を
上記成形室６内へと搬送し更に該成形室６内から置換室
８内へと成形済光学素子を搬送する搬送手段２２が配置
されている。

上記成形室６内には、加熱部２４．移送部２６及びプレ
ス部２８が配設されている。

尚、本実施例では、第２図に示されている様に、２つの
同等なプレス部Ｐ＋、Ｐａが設けられている。

上記加熱部２４は、上、記搬送手段２２により成形室６
内に搬送される成形用素材を受取り該素材を適宜の温度
に加熱し、更に上記移送部２６から成形済光学素子を受
取る。

上記移送部２６は、上記加熱部２４にある成形用素材を
上記プレス部２８へと移送し、更に該プレス部にある成
形済光学素子を上記加熱部２４へと移送する。

上記プレス部２８は、上記移送部２６により移送されて
きた成形用素材を適宜の温度にまで加熱した上で成形用
型部材によりプレスする。

以下、各部の詳細につき説明する。

上記送入取出し手段２０において、シリンダ３２が支持
脚３４ａ、３４ｂにより支持されて上下方向に配置され
ている。３６はシリンダ３６により上下移動せしめられ
るピストンロッドであり、その上端には成形用素材また
は成形済光学素子を載置するための載置台３８が取付け
られている。

該載置台３８は、上記成形室６内に２つのプレス部２８
　（Ｐ＋　、Ｐｇ　）が設けられてていることに対応し
て、成形用素材または成形済光学素子が２つ載置される
様に第１図の紙面に垂直の方向に２つの載置部が併設さ
れている。

上記載置台３８は、その上下移動ストロークの上下両端
位置が上記置換室８内及び該置換室外となる様に設定さ
れている。もちろん、載置台３８の上下移動の際には、
置換室８に付設されたゲートバルブ１２が開状態とされ
る。

上記搬送手段２２において、ロッドレスシリンダ４２が
ロッドレスシリンダ支持脚４４ａ、４４ｂにより支持さ
れて上記置換室８の方を向いて水平方向に配置されてい
る。４６は上記ロッドレスシリンダ４２により水平往復
移動せしめられる軸受は部材であり、該軸受は部祠には
その移動方向と平行な水平方向の搬送軸４８の一端部が
該軸方向のまわりに回動可能に取付けられている。該搬
送軸の他端部は上記置換室８内まで延びており、その先
端には成形用素材または成形済光学素子を吸着するため
の吸着手段５０が取付けられている。一方、上記軸受は
部材４６には回転シリンダ５２が取付けられており、５
４はその出力ギヤである。また、上記搬送軸４８の先端
部には、上記ギヤ５４と噛み合うギヤ５６が固定されて
おり、従って上記回転シリンダ５２により搬送軸４８を
回動させることができる。

上記吸着手段５０には上下両面にそれぞれ２つづつ吸着
部が設けられており、その配置は上記載置台３８の２つ
の載置部の配置と対応している（第２図参照）。該上下
各面の吸着部は、上記搬送軸４８の１８０°回動により
、上下反転せしめられる。尚、吸着手段５０にはヒータ
が内蔵されている。

上記搬送軸４８に取付けられた吸着手段５０の水平方向
移動は、上記載置台３８の上方の置換室８内の位置（第
１図に示される位置）から上記成形室６内の加熱部２４
の位置まで行う。もちろん、吸着手段５０の水平移動の
際には、置換室８と成形室６との間のゲートバルブ１０
が開状態とされる。

第５図は上記搬送軸４８の先端に取付けられている吸着
手段５０の詳細を示す図であり、ここで（ｂ）は一部断
面の平面図であり、（ａ）（ｃ）はそれぞれそのＡ−Ａ
断面及びＣ−Ｃ断面にほぼ相当する図である。

第５図において、１５２は上記搬送軸４８に設けられた
取付は部材であり、該取付は部材に２つのプレート１５
４，１５６が同一水平面内において突合わせられて取付
けられている。これら２つのプレートはほぼ対称的な形
状を有し、突合せにより形成される穴部には２つの吸着
部１５８，１６０が上記プレートのエツジにより係止さ
れて保持されている。１６２はこれら２つの吸着部の仕
切り板であり上記２つのプレートに取付けられている。

尚、上記吸着部１５８，１６０は上記プレート１５４，
１５６に対し水平方向に少し相対移動可能とされている
。

上記吸着部１５８の上下両端面にはそれぞれ吸着部１５
９ａ、１５９ｂが形成されている。これら吸着部は皿形
状であり、その底部には吸引口１６４が設けられており
、該吸引口はパイプ１６６を介して不図示の減圧吸引手
段に接続されている。

同様に、上記吸着部１６０の上下両端面にはそれぞれ吸
着部１６１　ａ、　　１６　ｌ　ｂが形成されている。

これら吸着部は皿形状であり、その底部には吸引口１６
４が設けられており、該吸引口は不図示のバイブを介し
て不図示の減圧吸引手段に接続されている。

尚、上記各吸着部１５９ａ、１５９ｂ、１６１ａ、１６
１ｂに関する減圧吸引は、それぞれ独立に制御される。

上記吸着部１５８には２つのヒータ１６８及び温度測定
のための熱電対１７０が内蔵されており、上記吸着部１
６０には２つのヒータ１７２及び温度測定のための熱電
対１７４が内蔵されている。

上記加熱部２４において、シリンダ６２が成形室６外に
てケーシング２に取付けられており、上下方向に配置さ
れている。６４はシリンダ６２により上下移動せしめら
れるピストンロッドであり、ケーシング２を貫通して成
形室６内まで延びており、その上端には成形用素材また
は成形済光学素子を載置するための載置台６６が取付け
られている。該載置台６６は成形用素材または成形済光
学素子が２つ載置される様に第１図の紙面に垂直の方向
に２つの載置部が併設されている（第２図参照）。

上記載置台６６の上方には加熱筒体６８が支持部材７０
により吊されて配置されている。該筒体６８は下方が開
放されており、その内面にはヒータ７２が取付けられて
いる。

上記載置台６６の上下移動は、上記吸着手段５０が到来
する位置より下方の位置（第１図に示される位置）から
上記加熱筒体６８内の位置まで行う。

上記移送部２６において、シリンダ８２が成形室６外に
てケーシング２に取付けられており、上下方向に配置さ
れている。８４はシリンダ８２により上下移動せしめら
れるピストンロッドであり、ケーシング２を貫通して成
形室６内まで延びており、その外面には上下方向のまわ
りに相対回動自在に回転スリーブ８６が取付けられてい
る。

該スリーブはケーシング２を貫通しており、その上端に
は水平方向に延びた２股のアーム８８ａ。

８８ｂが付設されている。これらアームの先端には、そ
れぞれ吸着手段９０ａ、９０ｂが取付けられている。一
方の吸着手段９０ａはプレス部Ｐ。

に対応しており、他方の吸着手段９０ｂはプレス部Ｐ２
に対応している。各吸着手段の下面には吸着部が設けら
れている。また、９２は上記スリーブ８６をピストンロ
ッド８４に対し回動させるための駆動手段である。

該スリー　ブ８６の回動に基づく上記吸着手段９０ａの
回動は上記加熱部２４の載置台６６上方の位置から第２
図に示される中間位置を含む上記プレス部２８　（Ｐ、
）の位置まで行うことが必要であり、上記吸着手段９０
ｂの回動は上記加熱部２４の載置台６６上方の位置から
第２図に示される中間位置を含む上記プレス部２８　（
Ｐ、）の位置まで行うことが必要である。

上記プレス部２８には、上下方向の固定筒１０２がケー
シング２に固定されている。シリンダ１０４が成形室６
外において上記固定筒１０２の下端部に取付けられてお
り、上下方向に配置されている。１０６はシリンダ１０
４のピストンロッドに接続され上下移動せしめられる下
軸であり、該下軸は上記固定筒１０２内に上下方向に摺
動可能な様に収容されている。

上記固定筒１０２の上端上にはリング状のヒータプレー
ト１０８を介して筒状の調型部材１１０の下端が載置さ
れており、該下端が押えリング１１２により上記固定筒
１０２に対し固定されている。また、上記下軸１０６の
上端上には下型部材１１４が配置されている。該下型部
材は銅製部材１１０内に収容されており、該調型部材に
対し上下方向に摺動可寵である。

また、シリンダ１２２が成形室６外においてケーシング
２に対し取付けられており、上下方向に配置されている
。１２４はシリンダ１２２のピストンロッドに接続され
上下移動せしめられる上軸であり、該上軸は上記下軸１
０２の上方において該下軸と同軸状に配置されている。

上軸１２４の下端面は凸球面形状とされており、１２６
は該凸球面形状に対応する凹球面形状の上面を有する球
面座である。該球面座１２６はプレスの際の自動調心の
機能を発揮する。該球面座１２６の下側には上型部材１
２８の上端フランジ部が配置されており、該上端フラン
ジ部が上軸固定の押えリング１３０により係止されてい
る。上型部材１２８は潤製部材１１０内に収容されてお
り、該調型部材に対し上下方向に摺動可能である。

尚、上記下型部材１１４の上端面及び上記上型部材１２
８の下端面は成形すべき光学素子の光学機能面形成のた
めの転写面であり、所望の表面精度に仕上げられている
。

上記下軸１０６及び上軸１２４内にはそれぞれ冷媒流通
経路Ｃ１，Ｃｍが設けられている。また、上記ヒータプ
レート１０８、調型部材１１０及び上軸１２４下部には
それぞれヒータＨ１＋Ｈ２，Ｈｓが内蔵されている。

次に、上記本発明実施例装置の動作について説明する。

第３図は各部の動作タイミングを示す図である。

不図示の窒素ガス供給系により成形室６内を窒素雰囲気
で満たしておく。当初、ゲートバルブ１０．１２は閉じ
ている。

先ず、ゲートバルブ１２を開き（Ｔｏ）、第１図に示さ
れる下方位置にある載置台３８上に２つの成形用素材を
載置して、該載置台３８をシリンダ３２により上昇させ
、ゲートバルブ１２を通って置換室８内へと導入する（
Ｔ１）。該置換室内において、上記成形用素材は吸着手
段５０の下面側吸着部により吸着される。

この吸着の際には、上記吸着駒１５８，１６０がプレー
ト１５４，１５６に対し適宜水平方向に移動可能である
ので、載置台３８に対し同心状配置とすることができる
。

尚、この時の吸着手段５０の回動位置を基準状態とし、
これから１８０°回動した状態を反転状態とする。

次に、載置台３８を少し下降させ、回転シリンダ５２に
より搬送軸４８を１８０°回転させ、置換室８内におい
て吸着手段５０を上下反転させる（Ｔ２）。これにより
、成形用素材は吸着手段５０の上面側に位置することに
なる。

次いで、上記載置台３８を置換室８内の位置から該置換
室外の下方位置まで下降させる（Ｔｓ）。

次に、ゲートバルブ１２を閉じ（Ｔ、）　、不図示の減
圧手段により置換室８内を減圧し、吸着手段５０に内蔵
されているヒータにより成形用素材を予備加熱する。

次いで、置換室８内に不図示の窒素ガス供給系により窒
素ガスを供給し、該置換室８内を窒素雰囲気で満たした
後、ゲートバルブ１０を開く（’ｒｓ）。

そして、シリンダ４２により搬送軸４８を成形室６の方
へと移動させ、吸着手段５０を成形室６内の加熱部２４
の下限位置の載置台６６の上方に位置させる（Ｔ、）。

次に、この位置で、回転シリンダ５２により搬送軸４８
を１８０’回転させ、吸着手段５０を上下反転させる（
Ｔ、）。

そして、加熱部のシリンダ６２により載置台６６を少し
上昇させ、上記吸着手段５０の下面側に吸着されている
成形用素材を吸着解除により載置台６６上に置く。

この吸着解除の際にも、上記吸着駒１５８，１６０がプ
レート１５４，１５６に対し適宜水平方向に移動可能で
あるので、載置台６６に対し同心状配置とすることがで
きる。

尚、該載置台６６は上記吸着手段５０の到来に先立って
、シリンダ６２により上限位置まで上昇せしめられ（Ｔ
、）、加熱筒体６８内に適宜の時間配置されることによ
り、適宜の温度まで加熱され、しかる後に第１図で示さ
れる下方位置まで下降せしめられ（Ｔ、）でいる。従っ
て、該載置台６６上に成形用素材が置かれた時に、該素
材が温度ショックで割れる様なことがない。

次に、載置台６６を下限位置まで少し下降させて搬送軸
４８を水平方向に移動させることにより吸着手段５０を
置換室８まで後退させ（Ｔ６）、ゲートバルブ１０を閉
じる（Ｔ、）。

尚、成形用素材の載置された載置台６６は上記Ｔ、より
後且つＴ、より前において、シリンダ６２により上限位
置まで上昇せしめられ（Ｔｃ）、加熱筒体６８内に適宜
の時間配置されることにより、適宜の温度まで加熱され
、Ｔ、より後において第１図で示される下方位置まで下
降せしめられる（Ｔ４）。

次いで、回動駆動手段９２によりアーム８８ａ、８８ｂ
を回動させて、先ず吸着手段９０ａを上記載置台６６の
上方に位置させ（Ｔ、、）、加熱部のシリンダ６２によ
り載置台６６を少し上昇させ、該載置台６６上の第１の
成形用素材を上記吸着手段９０ａに吸着させ、再び載置
台６６を少し下降させる。該吸着は不図示のエアー吸引
手段によりなされる。

次に、回動駆動手段９２によりアーム８８ａ。

８８ｂを回動させて、吸着手段９０ａを第１のプレス部
Ｐ１へと移動させる（Ｔ１１）。ここで、吸着手段９０
ａにより吸着されている成形用素材Ｇ１は調型部材１１
０の側部に設けられた開口１１１を通って調型部材内部
へと導入され（第４図（ａ））　、ここで移送部のシリ
ンダ８２により吸着手段９０ａが少し下降せしめられ（
第４図（ｂ））、下型部材１１４上に成形用素材が置が
れる（第４図（Ｃ））。

尚、上記Ｔ、。において吸着手段９０ｂは上記第２のプ
レス部Ｐ２へと移動せしめられ、上記Ｔ。

において吸着手段９０ｂは上記載置台６６の上方に位置
せしめられる。そして、Ｔ　ｒ＋において加熱部のシリ
ンダ６２により載置台６６を少し上昇させ、該載置台６
６上の第２の成形用素材を上記吸着手段９０ｂに吸着さ
せ、再び載置台６６を少し下降させる。

続いて、上記アーム８８ａ、８８ｂを回動させて、吸着
手段９０ｂを第２のプレス部Ｐ２へと移動させる（Ｔ、
、）。ここで、上記第１のプレス部Ｐ１の場合と同様に
、吸着手段９０ｂにより吸着されている成形用素材は調
型部材１１０の側面に設けられた開口を通って調型部材
内部へと導入され、ここでシリンダ８２により吸着手段
９０ｂが少し下降せしめられ、下型部材１１４上に成形
用素材が置かれる。

次に、アーム８８ａ、８８ｂを回動させて、吸着手段９
０ｂを第２のプレス部から中間位置に戻す（ＴＩ４）−
尚、上記Ｔ１ｍにおいて吸着手段９０ａは上記載置台６
６の上方に位置せしめられ、上記Ｔ　Ｉ４において吸着
手段９０ａは中間位置に戻る。

かくして第２図に示される状態とする。

次に、２つのプレス部２８　（Ｐ＋　、Ｐ２　）におい
て、プレス成形が実行される。

尚、上記潤製部材１１０内への成形用素材Ｇ。

の導入時には、上軸１２４はシリンダ１２２により上方
へと引き上げられており、これにより、上記第４図（ａ
）〜（ｃ）に示される様に、上型部材１２８が潤製部材
１１０内で上方位置へと移動しており、これにより上記
胴壁部材側部の開口１１１が型部材内のキャビティと連
通していて、ここからキャビティ内に成形用素材Ｇ１が
導入される。

プレス時には、上記シリンダ１２２により上軸１２４が
下方へと移動せしめられ、上型部材１２８が上記調型部
材１１０の開口１１１をふさぎ、キャビティが閉塞され
、更に上型部材１２８が下方へと押圧されることにより
キャビティ内の成形用素材がプレス成形され、光学素子
Ｇ２が形成される（第４図（ｄ））。尚、上型部材１２
８は押えリング１３０の下端が調型部材１１０の上端に
当接するまで下方に移動する。

該プレス成形は、ヒータＨ，，Ｈ２，Ｈ，により成形用
素材を成形可能な粘度となるまで加熱した上で適宜の時
間行い、キャビティ形状に成形した後に、冷媒流通経路
ＣＩ、Ｃｔに冷媒を通して、成形済光学素子を冷却する
。該冷却過程では、シリンダ１０４により下型部材１１
４を上方ヘと適度の圧力（但し、シリンダ１２２による
上型部材１２８の下方への押圧力より小さい圧力）で押
圧して、光学素子の収縮に伴うヒケの発生を防止する。

しかる後に、上軸１２４を上昇させ、潤製部材側部の開
口１１１を開く。

そして、上記プレス部２８への成形用素材の導入時とほ
ぼ逆の順序で、移送部２６の吸着手段９０ａ、９０ｂを
移動させ、第１のプレス部Ｐ１及び第２のプレス部Ｐ２
の成形済光学素子をそれぞれ吸着して取出し、順次加熱
部２４の載置台６６上に置き、最後に吸着手段９０ａ、
９０ｂを第２図に示される中間位置に置く（Ｔ、〜Ｔ１
．）。

尚、上記Ｔ、より後且つＴ＋ｓより前において、シリン
ダ６２により載置台６６を上昇させ（Ｔ、）で加熱筒体
６８内に移動させ、適宜の温度に加熱を行った後に、第
１図に示される下方位置へと移動させ（Ｔ、）ておく。

これは、上記Ｔ、〜Ｔｔｌと同様の工程である。

他方、上記Ｔ０〜Ｔ６と同様にして、ゲートバルブ１２
を開き、載置台３８上の新たな成形用素材を置換室８内
にて吸着手段５０により吸着し、予備加熱して、成形室
６内の加熱部２４へと搬送する（Ｔ２゜〜Ｔ２６）。

尚、上記Ｔａａは上記Ｔ、９より後となる様にタイミン
グが調整されている。

そして、上記載置台６６を少し上昇させ、該載置台上に
ある成形済光学素子を吸着手段５０の下側吸着部により
吸着し、上記載置台６６を少し下降させた後に、上記吸
着手段５０を反転させ（Ｔａ、）、次いで上記載置台６
６を少し上昇させ、新たに下側となった吸着部に吸着さ
れている成形用素材な載置台６６上に置く。

これら吸着及び吸着解除の際にも、上記吸着部１５８．
１６０がプレート１５４，１５６に対し適宜水平方向に
移動可能であるので、載置台６６に対し同心状配置とす
ることができる。

そして、上記Ｔ８〜Ｔ、と同様にして、吸着手段５０を
加熱部２４から置換室８内へと移動させ（’ｒｉｓ）た
後に、ゲートバルブ１０を閉じる（”ｒ＊ｉ）。

尚、上記Ｔ、−Ｔ、と同様にして、成形用素材の載置さ
れた載置台６６は上記Ｔｅａより後且つＴｏより前にお
いて、シリンダ６２により上限位置まで上昇せしめられ
（Ｔ、）　、加熱筒体６８内に適宜の時間配置されるこ
とにより、適宜の温度まで加熱され、Ｔｈより後におい
て第１図で示される下方位置まで下降せしめられる（Ｔ
ｈ　）。

以下、移送部２６及びプレス部２８において、上記Ｔ１
゜〜Ｔ＋ｓと同様の工程が実行される。

一方、ゲートバルブ１２を開き（Ｔ８゜）、更なる新た
な成形用素材を載置した載置台３８を上昇させ（’ｒｍ
、）　、置換室８内にて吸着手段５０の下側吸着部によ
り吸着した後に、該載置台３８を少し下降させ、次に回
転シリンダ５２により搬送軸４８を１８０”回転させ、
吸着手段５０を上下反転させ（’ｒｓ、）　、載置台３
８を少し上昇させ、新たに下側となった吸着部に吸着さ
れている成形済光学素子を載置台３８上に置く。

これら吸着及び吸着解除の際にも、上記吸着部１５８．
１６０がプレート１５４，１５６に対し適宜水平方向に
移動可能であるので、載置台３８に対し同心状配置とす
ることができる。

次に、該載置台３８を置換室８外まで下降させ（Ｔｓｓ
）　、ゲートバルブ１２を閉じる（Ｔａ４）。

以上により、載置台３８上に置いた成形用素材がプレス
成形されて、該載置台上に回収される。

以下、同様に繰り返すことにより、連続的にプレス成形
を行うことができる。

上記本発明実施例においては、吸着手段５０の吸着部は
、片面側の吸着部１５９ａ、１６１ａが常に成形用素材
の吸着に用いられ、他面側の吸着部１５９ｂ、１６１ｂ
が常に成形済光学素子の吸着に用いられる。

第５図に示されている様に、吸着部１５８においてヒー
タ１６８は吸着部１５９ｂよりも吸着部１５９ａの方に
近い配置とされている。同様に吸着部１６０においてヒ
ータ１７２は吸着部１６１ｂよりも吸着部１６１ａの方
に近い配置とされている。

上記ヒータ１６８，１７２の温度制御は、それぞれ上記
熱電対１７０，１７４で測定される温度を制御すること
によりなされる。該熱電対１７０．１７４により測定さ
れる温度が（Ｔｅｍｐ−１）となる様に制御することに
より、成形用素材を吸着せる吸着部１５９ａ、１６１ａ
の温度が（Ｔｅｍｐ−２）とされ、成形済光学素子を吸
着せる吸着部１５９ｂ、１６１ｂの温度が（Ｔｅｍｐ−
３）とされる。ここで、ヒータから吸着部までの距離の
差に基づき、（Ｔｅｍｐ−２）　”＞　（Ｔｅｍｐ−３
）である。

吸着部１５９ａ、１６１ａに吸着された成形用素材及び
吸着部１５９ｂ、１６１ｂに吸着された成形済光学素子
は、それぞれ吸着部により直接的に伝導熱及び輻射熱に
より効率よく加熱される。

ここで、上記（Ｔｅｍｐ−１）をたとえば３３０℃に制
御すると、上記（Ｔｅｍｐ−２）はたとえば３００℃で
あり、上記（Ｔｅｍｐ−３）はたとえば２８０℃である
。これにより、置換室８内で成形用素材を３００℃に予
備加熱でき、一方、上記加熱部２４において吸着手段５
０に吸着される成形済光学素子（はぼ２８０℃）が吸着
の際に熱ショックにより破損する様なことがない。

尚、置換室８から加熱部２４へと成形用素材を搬送する
際には徐々に設定温度（Ｔｅｍｐ−１）を高める様に制
御して予備加熱温度を上昇させ、逆に加熱部２４から置
換室８へと成形済光学素子を搬送する際には徐々に設定
温度（Ｔｅｍｐ−１）を低下させる様に制御して徐冷を
行うこともできる。

以上の様に、吸着手段５０の両面の吸着部を別々に温度
制御することなく、１つの測温手段により両面の吸着部
の温度を適正に制御して、搬送のために保持した成形用
素材や成形済光学素子の温度制御を良好に行うことがで
きる。これにより、装置の簡素化及び制御の簡易化が達
成されるとともに、少ない熱エネルギー消費での効率的
な温度制御が可能となる。

尚、上記実施例では、置換室８内が本発明でいう第１の
位置であり、成形室６内の加熱部２４が本発明でいう第
２の位置である。尚、本発明では、成形用型の位置を第
２位置とすることも可能である。

また、上記実施例では成形用素材の保持及び成形済光学
素子の保持をいずれも減圧吸着により行っているが、該
保持の機構として適宜の把持機構を用いることもできる
。

［発明の効果］以上説明した様に、本発明装置によれば、搬送手段に発
熱体を備えることにより、搬送のために保持した成形用
素材や成形済光学素子の温度制御を良好に行うことがで
き、装置の簡素化及び制御の容易化が達成されるととも
に、少ない熱エネルギー消費で効率的に温度制御を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の概
略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−Ｂ
−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。第３図は本発明実施例装置の各部の動作タイミングを示
す図である。第４図（ａ）〜（ｄ）はいずれも本発明実施例装置のプ
レス部の断面概略図である。第５図は吸着手段の詳細を示す図である。６：成形室、　　８：置換室、１０．１２：ゲートバルブ、２０：送入取出し手段、２２：搬送手段、　　２４：加熱部、２６；移送部、　　２８ニブレス部、３８：載置台、　　４８：搬送軸、５０：吸着手段、　　６６：載置台、６８：加熱筒体、９０ａ、９０ｂ：吸着手段、１０６：下軸、　　　１１０：潤製部材、１１４：下型
部材、　　　１２４：上軸、１２８：上型部材、１５８．１６０：吸着部、１５９ａ、１５９ｂ、１６１ａ、１６１ｂ：吸着部、１６４：吸引口、　　　１６６：パイプ、１６８．１７
２：ヒータ、１７０．１７４：熱電対、Ｈ１〜Ｈ３：ヒータ、Ｃ１，Ｃ２：冷媒流通経路、ＰＩ、Ｐｇニブレス部。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）成形用素材を成形用型内に収容して加熱下でプレ
ス成形することにより光学素子を製造する装置において
、成形用素材及び／または上記成形用型での成形により
得られた成形済光学素子を保持して移動させるための搬
送手段が発熱体を備えていることを特徴とする、光学素
子製造装置。
（２）上記搬送手段が、成形用素材を第１の位置及び第
２の位置をこの順に経由して成形用型へと移動させ、成
形済光学素子を上記第２の位置及び第１の位置をこの順
に経由して移動させるものである、請求項１に記載の光
学素子製造装置。
（３）上記搬送手段が回動軸をもち、該回動軸を含む平
面の一方の側に成形用素材保持のための第１の保持部が
設けられており他方の側に成形済光学素子保持のための
第２の保持部が設けられている、請求項２に記載の光学
素子製造装置。
（４）上記搬送手段が回動軸方向に往復移動可能である
、請求項３に記載の光学素子製造装置。
（５）上記第１の保持部による成形用素材の保持及び上
記第２の保持部による成形済光学素子の保持がいずれも
減圧吸着によりなされる、請求項３に記載の光学素子製
造装置。
（６）上記発熱体による発熱で上記第１の保持部が上記
第２の保持部より高温に維持される様に設定されている
、請求項３に記載の光学素子製造装置。
（７）上記発熱体が上記第２の保持部よりも上記第１の
保持部の方に近く配置されている、請求項６に記載の光
学素子製造装置。
（８）上記第１の保持部と上記第２の保持部とから等距
離の位置に測温手段を備えている、請求項６に記載の光
学素子製造装置。
（９）成形用型を備えたプレス部を含んでなる成形室内
に上記第２の位置があり、該成形室に密閉可能ゲートを
介して連通可能に接続された置換室内に上記第１の位置
がある、請求項２に記載の光学素子製造装置。
（１０）上記成形室内に非酸化性ガスを導入する手段を
有する、請求項９に記載の光学素子製造装置。
（１１）上記置換室内に非酸化性ガスを導入する手段を
有する、請求項９に記載の光学素子製造装置。
（１２）上記置換室内を減圧する手段を有する、請求項
９に記載の光学素子製造装置。