JPH03178792A - 板状体の把持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体のウェハやガラス基板などにパターン
を焼付けるために用いられるホトマスクが形成された、
いわゆるレチクルと称される板状体を把持するために好
適に用いられる板状体の把持装置に関する。

従来の技術 第７図は、典型的な従来技術の把持装置１の斜視図であ
る。この把持装置１（よ、操作者によって保持される把
持部２に対して、ビン３によってアーム４が揺動変位自
在に取ｆ寸けられており、そのアーム４の脚部５に取付
けられたクランプヘッド１５と、把持部２に取付けられ
た支持脚６のクランプヘッド１６とによってレチクル７
を保持するように構成されている。

クランプヘッド１．５．１６には、レチクル７に形成さ
れた鍔８が嵌り込むＶｊ１９．１０がそれぞれ形成され
ている。把持部２に一体的に形成される支持脚６と、ア
ーム４との間には、引張ばね１１が取付けられており、
この引張ばね１１のばね力によって、支持脚６とアーム
４とは相互に近接する方向にばね付勢されている。

またアーム４の基端部には、押釦１２が取付けられてい
る。この押！］１２を矢符Ａ方向に押圧変位することに
よって、アーム４がばね１１のばね力に抗して、矢符Ｂ
方向に揺動変位する。これによってクランプヘッド１５
．１６が相互に離反する方向に変位し、この状態でＶ溝
９，１ｏにレチクル７の鍔８が嵌り込むように、該把持
装置１が配置される。

前記押釦１２への押圧力が解除されると、ばね１１のば
ね力によって、アーム４が前記矢符Ｂ方向とは反対方向
に揺動変位し、クランプヘッド１５．１６によってレチ
クル７が把持される。

このようにしてレチクル７が保持されると、把持部２の
押釦１２近清の外周面に取付けられている締ｆ寸リング
１３が締付けられ、アーム４が固定される。これによっ
てクランプヘッド１５．１６間の間隔がさちに小さくな
り、こうしてレチクル７が把持される。

レチクル７は、上述のように把持装置１によって保持さ
れた状態で第８図に示される容器２１に着脱される。容
器２１は、収納空間２２を有する容器本体２３と、開閉
自在の蓋２４とから構成されている。容器本体２３には
、レチクル７の前記鍔８が乗載される一対の架台２５．
２６と、レチクル７を、該レチクル７の着脱時には案内
し、収納時には、がたつきなく保持するための案内壁２
７．２８と、位置決め用の突起２９〜３２とが形成され
ている。

操作者は、前記容器２１内に収納されているレチクル７
を、前述のようにして把持装置１で把持して取出し、ま
た洗浄や焼１寸けなどの工程が給了した降には、レチク
ル７を把持装置１で把持して容器２１内に収納する。

発明が解決しようとする課題 上述のような従来技術の把持装置１では、レチクル７は
クランプヘッド１５．１６によって２点で支持されるた
め、安定して把持することができない。また、前記洗浄
工程などのレチクル７の取扱い中に、レチクル７が滑り
落ちるおそれがある。

さらにまた、アーム４がレチクル７の中央部付近を覆う
ため、アーム４に付着している埃などが落下して付着す
るおそれがある。

また、レチクル７を確実に把持するためには、！ｔ１　
ｆ′−ｔリング１３を回転する必要があり、作業性が悪
い。さらにまた、この締付はリング１３の締付は具合が
緩いときにはレチクル７が落下しやすく、一方、過度に
締付は過ぎると、レチクル７に歪みが生じたり、破損す
るおそれがある。したがって、談把持装置１の取扱いに
は熟練を要する。

本発明の目的は、簡単な操作で板状体を確実に保持する
ことができる板状体の把持装置を提供することである。

課題を解決するための手段 本発明は、操作者の手先に配置され、板状体の一方の端
部が嵌り込む講が形成された保持部材と、操作者の手元
に配置され、板状体の他方の端部の一方表面に当接する
当接片と、 前記当接片と対を成し、当接片に対して近接・離反可能
に揺動支持され、前記板状体の他方の端部を他方表面側
から挟み、その挟んだ状態で前記当接片に平行となる当
接面を有する可動片と、前記保持部材および当接片が固
定されるとともに、可動片を揺動支持する枠体とを含み
、前記当接片と保持部材とは、少なくとも合計３詩所設
けたことを特徴とする板状体の把持装置である。

作　　用 本発明に従えば、枠体の手先側には保持部材を固定し、
手元側には、当接片を固定するとともに、その当接片と
対を成す可動片を、当接片に対して近接・離反可能に揺
動支持する。保持部材には板状体の一方の端部が嵌り込
む溝が形成されており、また可動片には、当接片との間
で板状体を挟んだ状態で、当接片に平行となる当接面が
形成されている。

板状体は、一方の端部が前記保持部材の溝に嵌り込み、
他方の端部は、当接片と可動片の当接面とによって挟持
される。これら当接片と保持部材とは、少なくともき計
３箇所設けられている。

このようにして、板状体は少なくとも３点で安定して把
持される。

実施例 第１図は本発明の一実施例の把持装置４１の斜視図であ
り、第２図はその側面図であり、第３図はその平面図で
ある。この把持装置４１は、大略的に、操作者によって
把持される把持部４２と、把持部４２に一体的に形成さ
れる枠体４３と、この枠体４３から垂下して形成され、
操作者の手先制に配置される一対の脚部４３ａ、４３ｂ
と、枠体４３から垂下して形成され、操作者の手元側に
配置される当接片４６，４７と、当接片４６，４７と対
を成し、当接片４６，４７に近接・離反変位可能となる
ように枠体４３に取付けられている可動片４８．４９と
を含んで構成されている。

前記把持部４２、枠体４３、脚部４３ａ、４３ｂ、当接
片４６，４７および可動片４８．４９は、ステンレスや
アルミ合金などの材料から成り、このため脚部４３ａ、
４３ｂ、当接片４６，４７、可動片４８．４９のレチク
ル７の鍔８に当接する部分には、テフロンなどの樹脂材
料から成るクランプヘッド５１〜５６がそれぞれ取付け
られている。クランプヘッド５１と脚部４３ａとは保持
部材４４を構成し、クランアヘッド５２と脚部４３ｂと
は保持部材４５を構成する。

前記クランプヘッド５１．５２には、レチクル７の一方
の端部の鍔８ａが嵌め込まれるＶ　溝５７　。

５８が形成されている。また、当接片４６，４７の枠体
４３からの長さＷｌは、前記保持部材４４４５の前記Ｖ
１５７，５８までの長さＷ２とほぼ等しくなるように選
ばれ、クランプヘッド５３５４は、その底面５３ａ、５
４ａがレチクル７に対して平行となるように取ｆ寸けら
れている。

第４図は、可動片４８．４９付近を拡大して示す斜視図
である。第１図〜第４図を参照して、可動片４８．４９
は、枠体４３の操作者側において、軸６０によって揺動
変位自在に支持され、この可動片４８．４９は、引張ば
ね６１，６２によって、矢符Ｃ方向にばね付勢されてい
る。このばね力によって可動片４８．４９が変位した状
態では、クランプヘッド５５．５６の当接面５５　ａ　
、５６　ＥＬと、前記クランプヘッド５３．５４の前記
底面５３ａ、５４ａとは、相互に平行となってレチクル
７の他方の端部の鍔８ｂを挟持する。

前記２つの可動片４８．４９は、軸６０によって揺動自
在に支持されるとともに、連結軸６３によって連結され
ており、連動して変位する。この連結軸６３は、Ｌ字状
に形成されたレバー６４の一方の端部に形成された挿通
孔６５内を挿通している。レバー６４の中央部分は、前
記軸６０によって揺動自在に支持されている。また、こ
のレバー６４の他方の端部には係合片６６が形成されて
おり、この係合片６６は、レバー６４の揺動変位によっ
て、把持部４２に形成された遊通孔６７内を出入りする
。

第５図は、把持部４２の遊通孔６７の断面図である。把
持部４２内には、前記遊通孔６７に連通して釦孔７１が
形成されており、この釦孔７１には、前記係合片６６を
ロックする押釦７２が嵌め込まれている。押釦７２は、
操作者の手指によって操作され、一方の開ロア１ａに臨
む押圧操作部７３と、この押圧操作部７３よりも小径の
連結部７４と、帽状のばね受は部７５とから構成されて
いる。ばね受は部７５には圧縮ばね７６の一端が当接し
、この圧縮ばわ７６の他端は釦孔７１の１也方の開ロア
１ｂを塞ぐカバー７７に当接している。

圧縮ばね７６によって、押釦７２は矢符りで示される押
圧操作方向とは反対方向にばわ付勢されている。

第６図は第５図の切断面線■−ＶＩから見た断面図であ
り、前記第５図とこの第６図とを参照して、前記レチク
ル７を把持した状態で、押ＫＪ７２が押圧操作されてい
ないときには、第５図（１）および第６図（１〉で示さ
れるように、遊通孔６７から釦孔７１内に進入した係合
片６６は、大径のばね受は部７５に当接し、これによっ
てレバー６４は第２図で示されるようにレチクル７を把
持した状態でロックされる。

これに対して押ｊ［］７２が矢符り方向に押込まれると
、第５図（２）および第６１′２！（２）で示されるよ
うに、係合片６６は前記ばね受は部７５に当接すること
はなく、したがってレバー６４が遊通孔６７に嵌入する
まで、係合片６６は鎖孔７１内に進入することができる
。

またこの進入した状態で押釦７２の押圧操作を解除する
と、第６図（３）で示されるように、係合片６６はばね
受は部７５に当接し、こうしてレバー６４がロックされ
る。

上述のように構成された把持装置４１は、以下のように
して使用される。操作者は、レバー６４を沢り、ばｂ６
１，６２のばね力に抗して、矢符Ｃ方向とは反対方向に
変位して、第６図（３〉で示されるように、係ぎ片６６
がばね受は部７５に当接した状態とする。この状態で、
前記第８図で示される容器２１内に収納されているレチ
クル７の一方の端部の鍔８ａを保持部材４４．４５のＶ
ｉ背５７，５８に嵌め込む。

その後、当接片４６，４７をレチクル７の他方の端部の
鍔８ｂの一方側表面に当接し、この状態で押釦７１を押
込んで、レバー６４の係合状態を解除する。これによっ
てレバー６４は、ばね６１゜６２のばね力によって矢符
Ｃ方向に変位し、当接片４６．４７は前記鍔８ｂの他方
醐表面に当接し、こうしてレチクル７が固定・把持され
る。

この状態で押釦７１の押圧操作を解除すると、レバー６
４の係合片６６は第６図（１）で示されるようにばね受
は部７５に当接し、レバー６４が矢符Ｃ方向とは反対方
向へ変位することが阻止される。こうしてレチクル７が
確実に把持されると、操作者は前記容器２１かち取り出
し、レチクル７に他の工程の作業を行う。

このように本発明に従う把持装置４１では、レチクル７
を４点で支持するようにしたので、安定して把持するこ
とができる。また、従来技術の項で述べたように枠体４
３がレチクル７上を覆うことはなく、したがってレチク
ル７に埃などが付着するおそれがなくなるとともに、洗
浄作業などの作業性を向上することができる。さらにま
た、レチクル７にはクランプヘッド５１〜５６が当接し
、このクランプヘッド５１〜５６は前述のようにテフロ
ンなどの樹脂材料から成り、したがってレチクル７を大
きい摩擦力で確実に保持することができ、取り扱い中の
脱落などを防止できる。

また、レチクル７の固定は従来技術の項で述べたような
締付はリングではなく、押釦操作によって簡単に行うこ
とができ、作業性を格段に向上することができるととも
に、取り扱い作業が簡単であり、特に熟練を要しない。

さらにまた、レチクル７に無理な力が加わることはなく
、したがって従来技術の項で述べたようなレチクル７の
損傷を防止することができる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、板状体の一方の端部を保
持部材の溝に嵌め込み、他方の端部を当接片と可動片と
によって挟持し、これら当接片と保持部材とを少なくと
も合計３箇所設けるようにしたので、板状体は少なくと
も３点で安定して把持され、取扱い時の作業性を向上す
ることができろとともに、脱落などの不所望な事態を防
止する二とができる。

また、操作者は、先ず保持部材の溝に板状体の一方の端
部を嵌め込んだ後、板状体の他方の端部を当接片と可動
片とによって挟み込むだけであり、良好な作業性で板状
体を着脱することができる。

さらにまた、板状体に無理な力が加わることはなく、板
状体の損傷を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の把持装置４１の斜視図、第
２図は把持装置４１の側面図、第３図は把持装置４１の
平面図、第４図は可動片４８，４つ付近を拡大して示す
斜視図、第５図は遊通孔６７の断面図、第６図は第５図
の切断面線■−■から見た断面図、第７図は従来技術の
把持装置１の斜視図、第８図はレチクル７とその容器２
１とを示す斜視図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 操作者の手先に配置され、板状体の一方の端部が嵌り込
   む溝が形成された保持部材と、 操作者の手元に配置され、板状体の他方の端部の一方表
   面に当接する当接片と、 前記当接片と対を成し、当接片に対して近接・離反可能
   に揺動支持され、前記板状体の他方の端部を他方表面側
   から挟み、その挟んだ状態で前記当接片に平行となる当
   接面を有する可動片と、前記保持部材および当接片が固
   定されるとともに、可動片を揺動支持する枠体とを含み
   、 前記当接片と保持部材とは、少なくとも合計３箇所設け
   たことを特徴とする板状体の把持装置。