JPH03180766A - ディスクの回転検出装置 - Google Patents
ディスクの回転検出装置Info
- Publication number
- JPH03180766A JPH03180766A JP31891789A JP31891789A JPH03180766A JP H03180766 A JPH03180766 A JP H03180766A JP 31891789 A JP31891789 A JP 31891789A JP 31891789 A JP31891789 A JP 31891789A JP H03180766 A JPH03180766 A JP H03180766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- rotation
- free roller
- detected
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
【産業上の利用分野1
本発明は、磁気ディスク、光デイスク等円環状記録媒体
として用いられるハードディスクを回転させて、研摩、
洗浄等の加工、処理作業を行う際において、このディス
クの回転を検出するためのディスクの回転検出装置に関
するものである。
として用いられるハードディスクを回転させて、研摩、
洗浄等の加工、処理作業を行う際において、このディス
クの回転を検出するためのディスクの回転検出装置に関
するものである。
[従来の技術]
磁気ディスクはアルくニウム等からなるハードディスク
の表面に磁気記録膜を形成したちのて、この磁気ディス
クの製造工程の中にはディスクの表面を研摩したり、洗
浄したりする必要がある。
の表面に磁気記録膜を形成したちのて、この磁気ディス
クの製造工程の中にはディスクの表面を研摩したり、洗
浄したりする必要がある。
このような加工、処理作業を効率良く、しかもディスク
の表面全体に対してむらなく均一に行うようにするため
に、このディスクを回転させる間に、その表面に研摩テ
ープを摺接させたり、またブラシ等の洗浄用具を摺接さ
せたりするようにしている。そして、ディスクの回転駆
動は、通常、モータ等の回転駆動手段により回転せしめ
られる回転軸の先端に駆動ローラを取り付け、該駆動ロ
ーラをディスクの外周縁または内周縁に当接させて、こ
の駆動ローラを回転させるか、またはスピンドルを用い
てディスクの内周部をクランプした状態て、該スピンド
ルを回転させることにより行うようにしている。
の表面全体に対してむらなく均一に行うようにするため
に、このディスクを回転させる間に、その表面に研摩テ
ープを摺接させたり、またブラシ等の洗浄用具を摺接さ
せたりするようにしている。そして、ディスクの回転駆
動は、通常、モータ等の回転駆動手段により回転せしめ
られる回転軸の先端に駆動ローラを取り付け、該駆動ロ
ーラをディスクの外周縁または内周縁に当接させて、こ
の駆動ローラを回転させるか、またはスピンドルを用い
てディスクの内周部をクランプした状態て、該スピンド
ルを回転させることにより行うようにしている。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、前述したように、駆動ローラまたはスピンド
ルを回転させたときにおいて、伺等かの理由によってデ
ィスクかスリップして追従回転せず、回転むらか生した
り、回転不能となったりすることがある。かかる場合に
は、研摩むら、洗浄むらか生じて、製品としての磁気デ
ィスク等の品質に対して著しく大きな影響を与えること
になる。しかしながら、従来は、製造工程の中間段階で
それぞれの加工、処理作業が完全に行われているか否か
のチエツクは格別行わず、不良品のまま順次後続の諸工
程を経て、製造工程の最終段階で行われる検査工程にお
いて、このような不良品を排除するようにしていた。こ
のために、製品の歩留りか低下する欠点かある。また、
この種の検査は、通常、目視による外観検査であるため
に、作業時におけるディスクの回転むらに起因する研摩
むらや洗浄むら等の作業の不完全性の検出精度に問題が
あり1品質の安定を図ることができないという問題点も
あった。
ルを回転させたときにおいて、伺等かの理由によってデ
ィスクかスリップして追従回転せず、回転むらか生した
り、回転不能となったりすることがある。かかる場合に
は、研摩むら、洗浄むらか生じて、製品としての磁気デ
ィスク等の品質に対して著しく大きな影響を与えること
になる。しかしながら、従来は、製造工程の中間段階で
それぞれの加工、処理作業が完全に行われているか否か
のチエツクは格別行わず、不良品のまま順次後続の諸工
程を経て、製造工程の最終段階で行われる検査工程にお
いて、このような不良品を排除するようにしていた。こ
のために、製品の歩留りか低下する欠点かある。また、
この種の検査は、通常、目視による外観検査であるため
に、作業時におけるディスクの回転むらに起因する研摩
むらや洗浄むら等の作業の不完全性の検出精度に問題が
あり1品質の安定を図ることができないという問題点も
あった。
本発明は、叙上の点に鑑みてなされたものであって、デ
ィスクの回転むらに起因して生じる作業の不完全性を当
該の作業工程中において容易に検出することができるよ
うにすることを目的とするものである。
ィスクの回転むらに起因して生じる作業の不完全性を当
該の作業工程中において容易に検出することができるよ
うにすることを目的とするものである。
[課題を解決するための手段]
前述した目的を遠戚するために、本発明は、円環状記録
媒体として用いられるハードディスクを回転駆動手段に
接続して、該ディスクを回転駆動する間に所定の作業を
行う際に、前記ディスクの回転を検出するものであって
、前記ディスクの外周または内周に接離可能なフリーロ
ーラと、該フリーローラの回転を検出する回転検出手段
とから構成したことをその特徴とするものである。
媒体として用いられるハードディスクを回転駆動手段に
接続して、該ディスクを回転駆動する間に所定の作業を
行う際に、前記ディスクの回転を検出するものであって
、前記ディスクの外周または内周に接離可能なフリーロ
ーラと、該フリーローラの回転を検出する回転検出手段
とから構成したことをその特徴とするものである。
[作用1
このように、フリーローラをディスクの外周または内周
に出接させることによって、ディスクの回転を極めて正
確に検出することができ、該ディスクの回転中に行われ
る作業の完全性を確認することかできるようになる。
に出接させることによって、ディスクの回転を極めて正
確に検出することができ、該ディスクの回転中に行われ
る作業の完全性を確認することかできるようになる。
[実施例]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
まず、第1図にディスクの回転機構及びこの回転を検出
する機構の構成を模式的に示す。
する機構の構成を模式的に示す。
図中において、1はディスクを示し、該ディスク1は、
一対の駆動ローラ2.2とフリーローラ3とによって、
その外周を3点でチャックして、駆動ローラ2,2を回
転駆動することによって、同図に矢印で示した方向に回
転駆動せしめられるようになっている。このために、こ
れら各駆動ローラ2は回転軸4に連結されており、該回
転軸4はベアリングボックス5aを貫通して延び、その
他端にはモータ5に接続されている。
一対の駆動ローラ2.2とフリーローラ3とによって、
その外周を3点でチャックして、駆動ローラ2,2を回
転駆動することによって、同図に矢印で示した方向に回
転駆動せしめられるようになっている。このために、こ
れら各駆動ローラ2は回転軸4に連結されており、該回
転軸4はベアリングボックス5aを貫通して延び、その
他端にはモータ5に接続されている。
一方、フリーローラ3はディスク1を回転自在に支持す
ると共に、該ディスク1の回転検出機構を構成するため
のもので、その具体的な構成は第2図及び第3図に示さ
れている。同図から明らかなように、フリーローラ3に
は支軸6への連結部7が連設されている。該連結部7は
カップ状となっており、その内部に支軸6か挿通されて
、軸受8,8を介して連結されている。
ると共に、該ディスク1の回転検出機構を構成するため
のもので、その具体的な構成は第2図及び第3図に示さ
れている。同図から明らかなように、フリーローラ3に
は支軸6への連結部7が連設されている。該連結部7は
カップ状となっており、その内部に支軸6か挿通されて
、軸受8,8を介して連結されている。
この連結部7の端部には円環状に形成した磁性体からな
る被検出板9が固着して設けられており、該被検出板9
に対向するように磁気センサ10か設けられている。被
検出板9には、第4図に示したように、パルス検出用の
凹部11が円周方向に等しいピッチ間隔をもって複数(
図面においては8箇所)形成されており、磁気センサ1
0がこの凹部11と対面したときに生じる磁界の変化に
基づいて、フリーローラ3の回転速度を検出することが
できるようになっている。
る被検出板9が固着して設けられており、該被検出板9
に対向するように磁気センサ10か設けられている。被
検出板9には、第4図に示したように、パルス検出用の
凹部11が円周方向に等しいピッチ間隔をもって複数(
図面においては8箇所)形成されており、磁気センサ1
0がこの凹部11と対面したときに生じる磁界の変化に
基づいて、フリーローラ3の回転速度を検出することが
できるようになっている。
而して、フリーローラ3のディスク1に対する支持を確
実に行わせ、しかも該ディスク1の回転に正確に追従回
転するのを可能ならしめるために、該フリーローラ3は
ある程度の圧接力によってディスク1に当接し、しかも
このフリーローラ3のディスク1に対して、そのディス
ク1の板面に平行な方向に押し付は力が作用するように
なっていなければならない。このために、支軸6の基端
部には平行板ばね12か連結されており、該平行板ばね
12の撓みによってフリーローラ3のディスクlに対す
る圧接力を得るようにしている。
実に行わせ、しかも該ディスク1の回転に正確に追従回
転するのを可能ならしめるために、該フリーローラ3は
ある程度の圧接力によってディスク1に当接し、しかも
このフリーローラ3のディスク1に対して、そのディス
ク1の板面に平行な方向に押し付は力が作用するように
なっていなければならない。このために、支軸6の基端
部には平行板ばね12か連結されており、該平行板ばね
12の撓みによってフリーローラ3のディスクlに対す
る圧接力を得るようにしている。
さらに、図示しないディスクハンドリング機構によって
、例えばディスク1の内周をチャックした状態で、また
加工、処理が完了した後に該ディスク1が搬出されるよ
うになっている。従って、このディスクlの搬入及び搬
出時に駆動ローラ2゜2及びフリーローラ3が干渉しな
いようにするために、これらはチャック位置とチャック
解除位置との間に変位可能となっている。このために、
対からなる駆動ローラ2,2の回転軸4及びモータ5は
支持ブロック13に支持されて、これらは一体的に上下
するようになっており、またフリーローラ3側の支軸6
に連結した平行板ばね12は上下動可能な支持ブロック
14に取り付けられている。
、例えばディスク1の内周をチャックした状態で、また
加工、処理が完了した後に該ディスク1が搬出されるよ
うになっている。従って、このディスクlの搬入及び搬
出時に駆動ローラ2゜2及びフリーローラ3が干渉しな
いようにするために、これらはチャック位置とチャック
解除位置との間に変位可能となっている。このために、
対からなる駆動ローラ2,2の回転軸4及びモータ5は
支持ブロック13に支持されて、これらは一体的に上下
するようになっており、またフリーローラ3側の支軸6
に連結した平行板ばね12は上下動可能な支持ブロック
14に取り付けられている。
本実施例は前述のように構成されるもので、まず、フリ
ーローラ3は上方に、駆動ローラ2,2は下方に変位し
たチャック解除位置に保持しておき、ディスクlをディ
スクハンドリング機構によって、所定の位置に搬入する
。この状態で、フリーローラ3を下降させると共に、駆
動ローラ2゜2を上昇させて、このディスク1をチャッ
クさせて、ディスクハンドリング機構を離脱させる。こ
こて、フリーローラ3の支軸6と支持ツロック14との
間には平行板ばね12が介装されているので、該平行板
ばね12を所定量撓ませることによって、フリーローラ
3及び駆動ローラ2,2のディスクlに対する圧接力が
得られる。
ーローラ3は上方に、駆動ローラ2,2は下方に変位し
たチャック解除位置に保持しておき、ディスクlをディ
スクハンドリング機構によって、所定の位置に搬入する
。この状態で、フリーローラ3を下降させると共に、駆
動ローラ2゜2を上昇させて、このディスク1をチャッ
クさせて、ディスクハンドリング機構を離脱させる。こ
こて、フリーローラ3の支軸6と支持ツロック14との
間には平行板ばね12が介装されているので、該平行板
ばね12を所定量撓ませることによって、フリーローラ
3及び駆動ローラ2,2のディスクlに対する圧接力が
得られる。
そこで、モータ5を作動させて、駆動ローラ2゜2を回
転駆動することによって、ディスク1を回転させながら
、該ディスク1に対する所定の加工、処理作業か行われ
る。例えば、このディスク1の表面を研摩する場合には
、該ディスク1の表裏両面に研摩テープを押し付けて、
必要に応じて該研摩テープに研摩剤を供給する。また、
ディスク1の洗浄を行うには、その表裏両面にブラシ等
の洗浄部材を当接させて、洗浄液を供給しながらブラッ
シングを行う。
転駆動することによって、ディスク1を回転させながら
、該ディスク1に対する所定の加工、処理作業か行われ
る。例えば、このディスク1の表面を研摩する場合には
、該ディスク1の表裏両面に研摩テープを押し付けて、
必要に応じて該研摩テープに研摩剤を供給する。また、
ディスク1の洗浄を行うには、その表裏両面にブラシ等
の洗浄部材を当接させて、洗浄液を供給しながらブラッ
シングを行う。
而して、前述したディスクlに対する所定の加工、処理
作業が円滑かつ確実に、しかもディスク1の全面にむら
なく行われるようにするためには、該ディスク1が正確
な速度で回転していなければならない。そこで、本発明
においては、フリーローラ3の回転を検出することによ
って、ディスク1が実際に所定の速度で回転しているか
否かの検出が行われる。即ち、フリーローラ3における
連結部7には被検出板9か取り付けられ、また該被検出
板9には磁気センサ1oが対向配設されているので、該
磁気センサ10によって被検出板9の凹部11を検出す
ることによりディスクlの回転速度の検出される。而し
て、このようにして検出したディスク1の回転速度か設
定値と一致する場合にはそのまま作業を継続する。一方
、ディスク1が停止したり、回転むらが生したり、また
は設定値とは異なる速度で回転している場合には、装置
の作動を停止させると共に、警告を発するようにする。
作業が円滑かつ確実に、しかもディスク1の全面にむら
なく行われるようにするためには、該ディスク1が正確
な速度で回転していなければならない。そこで、本発明
においては、フリーローラ3の回転を検出することによ
って、ディスク1が実際に所定の速度で回転しているか
否かの検出が行われる。即ち、フリーローラ3における
連結部7には被検出板9か取り付けられ、また該被検出
板9には磁気センサ1oが対向配設されているので、該
磁気センサ10によって被検出板9の凹部11を検出す
ることによりディスクlの回転速度の検出される。而し
て、このようにして検出したディスク1の回転速度か設
定値と一致する場合にはそのまま作業を継続する。一方
、ディスク1が停止したり、回転むらが生したり、また
は設定値とは異なる速度で回転している場合には、装置
の作動を停止させると共に、警告を発するようにする。
これによって、加工、処理作業が不完全なままのディス
クlか後続の工程に流れるのを防止することかできる。
クlか後続の工程に流れるのを防止することかできる。
而して、フリーローラ3を回転自在に支持する支軸6は
カップ状の連結部7の内部に挿入されて、該連結部7の
内面との間に軸受8が介装されているので、該軸受8の
摩耗粉等がディスク1に付着するおそれはない。また、
このフリーローラ3の回転を検出する手段として磁気セ
ンサ10を用いているから、該磁気センサ10を被検出
板9に対して非接触状態での検出が可能となり、しかも
、この磁気センサ10と被検出板9との間に洗浄液や研
摩剤等が入り込んだとしても、回転検出に支障を来たす
ことはない。なお、このディスク1に対する加工、処理
作業として、液体等を使用しない場合には、光学センサ
を用いることもできる。
カップ状の連結部7の内部に挿入されて、該連結部7の
内面との間に軸受8が介装されているので、該軸受8の
摩耗粉等がディスク1に付着するおそれはない。また、
このフリーローラ3の回転を検出する手段として磁気セ
ンサ10を用いているから、該磁気センサ10を被検出
板9に対して非接触状態での検出が可能となり、しかも
、この磁気センサ10と被検出板9との間に洗浄液や研
摩剤等が入り込んだとしても、回転検出に支障を来たす
ことはない。なお、このディスク1に対する加工、処理
作業として、液体等を使用しない場合には、光学センサ
を用いることもできる。
次に、第5図は本発明の第2の実施例を示し、本実施例
においては、ディスク1を回転させる手段としてスピン
ドル20と、クランプ部材21とを用いて、該ディスク
1の内周をクランプして回転させるように構成したもの
か示されている。この場合には、前述した第1の実施例
と同様のフリーローラ22をディスクlの外周に当接さ
せて、該ディスク1の回転に追従して回転するようにな
し、このフリーローラ22を支持する支軸23に被検出
板24を取り付けて、該被検出板24の回転をセンサ2
5によって検出するように横車する。而して、この場合
には、フリーローラ22にはディスク1を支持する機能
を持たせる必要はない。また、この支軸23を、第6図
に示したように、ディスク1の表面と平行に設けたレバ
ー26に連結して設け、該レバー26を支点27を中心
として回動させるように構成して、ばね28等によって
付勢することにより、のディスク1の板面に平行な方向
に押し付は力な作用させることができる。
においては、ディスク1を回転させる手段としてスピン
ドル20と、クランプ部材21とを用いて、該ディスク
1の内周をクランプして回転させるように構成したもの
か示されている。この場合には、前述した第1の実施例
と同様のフリーローラ22をディスクlの外周に当接さ
せて、該ディスク1の回転に追従して回転するようにな
し、このフリーローラ22を支持する支軸23に被検出
板24を取り付けて、該被検出板24の回転をセンサ2
5によって検出するように横車する。而して、この場合
には、フリーローラ22にはディスク1を支持する機能
を持たせる必要はない。また、この支軸23を、第6図
に示したように、ディスク1の表面と平行に設けたレバ
ー26に連結して設け、該レバー26を支点27を中心
として回動させるように構成して、ばね28等によって
付勢することにより、のディスク1の板面に平行な方向
に押し付は力な作用させることができる。
なお、前述した各実施例においては、フリーローラをデ
ィスクの外周に当接させるように構成したものを示した
が、該ディスクの内周に当接させて、その回転を検出す
るようにしてもよい。
ィスクの外周に当接させるように構成したものを示した
が、該ディスクの内周に当接させて、その回転を検出す
るようにしてもよい。
[発明の効果1
以上説明したように、本発明は、ディスクの外周または
内周に接離可能なフリーローラと、該フリーローラの回
転を検出する回転検出手段とを設けるようにしたので、
ディスクの回転を正確かつ確実に検出することかでき、
当該ディスクに対する加工、処理作業が完全に行われた
か否かの検出が可能となって、加工、処理か不完全なま
ま後続の工程に送り込まれるのを未然に防止することが
できる。
内周に接離可能なフリーローラと、該フリーローラの回
転を検出する回転検出手段とを設けるようにしたので、
ディスクの回転を正確かつ確実に検出することかでき、
当該ディスクに対する加工、処理作業が完全に行われた
か否かの検出が可能となって、加工、処理か不完全なま
ま後続の工程に送り込まれるのを未然に防止することが
できる。
第1図乃至第4図は本発明の第1の実施例を示すもので
、第1図はディスクの回転検出装置を含むディスク回転
装置の全体構成を示す説明図、第2図は回転検出装置の
外観図、第3図は$2図のm−■断面図、第4図は被検
出板の外観図、第5図及び第6図は本発明の第2の実施
例を示すもので、第5図はディスクの回転検出装置を含
むディスク回転装置の全体構成を示す説明図、第6図は
フリーローラの支軸の駆動機構の構成説明図である。 1:ディスク、2:駆動ローラ、3,22:フリーロー
ラ、6.23:支軸、8:軸受、9,24:被検出板、
10:磁気センサ、12:平行板ばね、20ニスピンド
ル、21:クランプ部材、25:センサ、26:レバー
、27:支点。
、第1図はディスクの回転検出装置を含むディスク回転
装置の全体構成を示す説明図、第2図は回転検出装置の
外観図、第3図は$2図のm−■断面図、第4図は被検
出板の外観図、第5図及び第6図は本発明の第2の実施
例を示すもので、第5図はディスクの回転検出装置を含
むディスク回転装置の全体構成を示す説明図、第6図は
フリーローラの支軸の駆動機構の構成説明図である。 1:ディスク、2:駆動ローラ、3,22:フリーロー
ラ、6.23:支軸、8:軸受、9,24:被検出板、
10:磁気センサ、12:平行板ばね、20ニスピンド
ル、21:クランプ部材、25:センサ、26:レバー
、27:支点。
Claims (1)
- 円環状記録媒体として用いられるハードディスクを回転
駆動手段に接続して、該ディスクを回転駆動する間に所
定の作業を行う際に、前記ディスクの回転を検出するも
のにおいて、前記ディスクの外周または内周に接離可能
なフリーローラと、該フリーローラの回転を検出する回
転検出手段とから構成したことを特徴とするディスクの
回転検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31891789A JPH03180766A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | ディスクの回転検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31891789A JPH03180766A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | ディスクの回転検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03180766A true JPH03180766A (ja) | 1991-08-06 |
Family
ID=18104420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31891789A Pending JPH03180766A (ja) | 1989-12-11 | 1989-12-11 | ディスクの回転検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03180766A (ja) |
-
1989
- 1989-12-11 JP JP31891789A patent/JPH03180766A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5538460A (en) | Apparatus for grinding hard disk substrates | |
| JP5639147B2 (ja) | 両面研削機における極薄被加工物の材料除去機械加工方法 | |
| JP2001062718A (ja) | 両頭研削装置及び砥石位置修正方法 | |
| JPH03180766A (ja) | ディスクの回転検出装置 | |
| JP4323828B2 (ja) | ブレーキディスク組立体におけるディスク摺動面の研削方法および研削装置 | |
| JP2002307303A (ja) | 薄板円板状ワークの両面研削方法および装置 | |
| JPS6014669B2 (ja) | 金属円板の仕上加工方法及びその装置 | |
| JPH0617250Y2 (ja) | ディスクの洗浄装置 | |
| JPS6316955A (ja) | 薄板研摩方法 | |
| US4586295A (en) | Workpiece centerless support device for use in internal grinding machine | |
| JPH0767665B2 (ja) | 平面研磨装置 | |
| JPH07276229A (ja) | 半導体ウエハエッジ部研磨装置 | |
| JPH11223504A (ja) | 軸状ワークの検査装置 | |
| JPH0580000A (ja) | ワークの外観検査装置 | |
| JP3157129B2 (ja) | 薄型ワークの回転駆動方法 | |
| JP2874807B2 (ja) | ドラムブレーキシューのライニング研摩方法 | |
| JP2892313B2 (ja) | レンズ芯取機におけるレンズの芯出し方法とその装置 | |
| JPH06246621A (ja) | 両面研磨装置 | |
| JP2678649B2 (ja) | 平面研磨装置におけるブロック位置決め機構 | |
| JPH08309649A (ja) | 両頭平面研削盤における被加工物のキャリヤ方法およびキャリヤ装置 | |
| JP2003094324A (ja) | 研磨盤および研磨方法 | |
| JP2637435B2 (ja) | 芯取機のレンズ芯出し方法と装置 | |
| JPS61230017A (ja) | 工具位置検出装置 | |
| JPH0648397Y2 (ja) | 検査装置 | |
| JPH1177496A (ja) | 薄型ワーク駆動装置及び薄型ワークが適用された研削装置 |