JPH0617250Y2 - ディスクの洗浄装置 - Google Patents
ディスクの洗浄装置Info
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- JPH0617250Y2 JPH0617250Y2 JP1988017577U JP1757788U JPH0617250Y2 JP H0617250 Y2 JPH0617250 Y2 JP H0617250Y2 JP 1988017577 U JP1988017577 U JP 1988017577U JP 1757788 U JP1757788 U JP 1757788U JP H0617250 Y2 JPH0617250 Y2 JP H0617250Y2
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 79
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、磁気ディスクや光ディスク等の洗浄を行うた
めのディスクの洗浄装置に関するものである。
めのディスクの洗浄装置に関するものである。
[従来の技術] 磁気ディスクや光ディスク等は記録媒体として広く用い
られているが、例えば、磁気ディスクはアルミニウム等
の円盤状の基板、即ちディスクの表面に磁性体の記録膜
を形成し、この記録膜に情報の書き込み及びそれからの
情報の読み出しを行うことができるようになっている。
そして、この記録膜を形成するに際しては、ディスクの
表面を研摩して鏡面仕上すると共に、表面の汚れや、そ
れに付着する塵埃等の異物を除去する必要がある。この
ために、スポンジ,ブラシ等からなる洗浄具を用い、こ
の洗浄具をディスクの表面に当接させて、洗浄液を供給
しながら当該ディスクの表面に押し当ててブラッシング
することにより、汚れや異物等の除去を行うようにして
いる。
られているが、例えば、磁気ディスクはアルミニウム等
の円盤状の基板、即ちディスクの表面に磁性体の記録膜
を形成し、この記録膜に情報の書き込み及びそれからの
情報の読み出しを行うことができるようになっている。
そして、この記録膜を形成するに際しては、ディスクの
表面を研摩して鏡面仕上すると共に、表面の汚れや、そ
れに付着する塵埃等の異物を除去する必要がある。この
ために、スポンジ,ブラシ等からなる洗浄具を用い、こ
の洗浄具をディスクの表面に当接させて、洗浄液を供給
しながら当該ディスクの表面に押し当ててブラッシング
することにより、汚れや異物等の除去を行うようにして
いる。
而して、ディスクの洗浄作業を自動的に、しかもその全
体を洗浄するために、洗浄中においてこのディスクを回
転させるようにしている。ここで、ディスクの回転を可
能ならしめるために、該ディスクをチャックローラによ
り回転可能な状態に支持しておき、またディスクの表裏
の両面に円形または円環状に形成した洗浄具を回転駆動
手段に連結して、該洗浄具をディスクに当接させた状態
でこの回転駆動手段により回転させることによって、デ
ィスク表面をブラッシングすると共に、ディスクに対し
て回転力を与えるようにしたものは、従来から知られて
いる。
体を洗浄するために、洗浄中においてこのディスクを回
転させるようにしている。ここで、ディスクの回転を可
能ならしめるために、該ディスクをチャックローラによ
り回転可能な状態に支持しておき、またディスクの表裏
の両面に円形または円環状に形成した洗浄具を回転駆動
手段に連結して、該洗浄具をディスクに当接させた状態
でこの回転駆動手段により回転させることによって、デ
ィスク表面をブラッシングすると共に、ディスクに対し
て回転力を与えるようにしたものは、従来から知られて
いる。
[考案が解決しようとする問題点] 前述のように洗浄具を回転させることによってディスク
に回転力を付与するようにすると、ディスクを支持する
機構に駆動手段を持たせる必要がなくなるので、簡単な
構成で、しかもディスクの全体を確実に洗浄することが
できるようになって、洗浄作業の効率を向上させること
ができるようになる。
に回転力を付与するようにすると、ディスクを支持する
機構に駆動手段を持たせる必要がなくなるので、簡単な
構成で、しかもディスクの全体を確実に洗浄することが
できるようになって、洗浄作業の効率を向上させること
ができるようになる。
ところで、ディスクの表面全体を均一にむらなく洗浄す
るためには、洗浄具の全体がほぼ等しい力でディスクの
表面に押し当てられていなければならない。しかしなが
ら、洗浄具はスポンジ等から構成されることから、繰り
返し洗浄作業を行うと偏摩耗したり、変形したりするた
めに、ディスクに対する均一な押し付け力を発揮させる
ことができなくなる。従って、このような洗浄具は速や
かに交換しなければ、洗浄むら等が発生することになっ
て、洗浄精度が悪くなってしまう。
るためには、洗浄具の全体がほぼ等しい力でディスクの
表面に押し当てられていなければならない。しかしなが
ら、洗浄具はスポンジ等から構成されることから、繰り
返し洗浄作業を行うと偏摩耗したり、変形したりするた
めに、ディスクに対する均一な押し付け力を発揮させる
ことができなくなる。従って、このような洗浄具は速や
かに交換しなければ、洗浄むら等が発生することになっ
て、洗浄精度が悪くなってしまう。
ここで、洗浄具の偏摩耗や変形が発生してディスクへの
押し付け力が不均一になると、ディスクを支持するチャ
ックローラに、その回転軸線に対して斜めの方向に力が
作用して、ディスクを円滑に追従回転させることができ
なくなり、ディスクの回転が不規則となったり、甚だし
い場合には回転が不能な状態となって、該ディスクの表
面に洗浄むらが発生するのである。
押し付け力が不均一になると、ディスクを支持するチャ
ックローラに、その回転軸線に対して斜めの方向に力が
作用して、ディスクを円滑に追従回転させることができ
なくなり、ディスクの回転が不規則となったり、甚だし
い場合には回転が不能な状態となって、該ディスクの表
面に洗浄むらが発生するのである。
以上の点から、洗浄具の交換時期を検出するには、ディ
スクの回転を検出すれば良いが、ただしディスクは円盤
状の部材から構成され、しかも表面が鏡面仕上されてい
るために、それが実際に回転しているか否かを直接検出
することは極めて困難であり、このためにディスクに洗
浄むらが発生しているか否かの検出を行うことができな
いという不都合があった。
スクの回転を検出すれば良いが、ただしディスクは円盤
状の部材から構成され、しかも表面が鏡面仕上されてい
るために、それが実際に回転しているか否かを直接検出
することは極めて困難であり、このためにディスクに洗
浄むらが発生しているか否かの検出を行うことができな
いという不都合があった。
本考案は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、簡単な構成で洗浄具の交換時期を
確実かつ正確に検出することができるようにしたディス
クの洗浄装置を提供することにある。
目的とするところは、簡単な構成で洗浄具の交換時期を
確実かつ正確に検出することができるようにしたディス
クの洗浄装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] ここで、洗浄具をディスクに押し当てて、この洗浄具を
回転させると、この洗浄具が適正な形状であれば、ディ
スクがこれに追従して回転する。ただし、このディスク
が回転するか否かを直接検出するのは困難である。然る
に、ディスクが回転すると、このディスクをチャックす
るチャックローラもこれに追従回転する。そこで、本考
案では、このチャックローラの回転を検出することによ
って、間接的にディスクの回転を検出し、このディスク
が正規の状態で回転しているか否かに基づいて洗浄具の
交換時期を的確に検知しようとするものである。而し
て、本考案は、チャックローラのうちの一のチャックロ
ーラの端面部にその回転を検出させるための被検出部材
を取り付け、該被検出部材を回転検出器で検出して、デ
ィスクの回転状態を検出することによって、洗浄具の交
換時期の検出を行うように構成したことをその特徴とす
るものである。
回転させると、この洗浄具が適正な形状であれば、ディ
スクがこれに追従して回転する。ただし、このディスク
が回転するか否かを直接検出するのは困難である。然る
に、ディスクが回転すると、このディスクをチャックす
るチャックローラもこれに追従回転する。そこで、本考
案では、このチャックローラの回転を検出することによ
って、間接的にディスクの回転を検出し、このディスク
が正規の状態で回転しているか否かに基づいて洗浄具の
交換時期を的確に検知しようとするものである。而し
て、本考案は、チャックローラのうちの一のチャックロ
ーラの端面部にその回転を検出させるための被検出部材
を取り付け、該被検出部材を回転検出器で検出して、デ
ィスクの回転状態を検出することによって、洗浄具の交
換時期の検出を行うように構成したことをその特徴とす
るものである。
[作用] 前述のように、チャックローラの回転を検出することに
よって、間接的ではあるが、容易かつ正確にディスクの
回転状態を検出することができるようになる。従って、
回転検出器からの信号に基づいて、ディスクに対する洗
浄がその全体にむらなく行われているか否かの判別を行
うことができ、また洗浄具の交換時期の確認を行うこと
ができるようになる。
よって、間接的ではあるが、容易かつ正確にディスクの
回転状態を検出することができるようになる。従って、
回転検出器からの信号に基づいて、ディスクに対する洗
浄がその全体にむらなく行われているか否かの判別を行
うことができ、また洗浄具の交換時期の確認を行うこと
ができるようになる。
[実施例] 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
まず、第1図及び第2図にディスクの洗浄装置の概略構
成を示す。図中において、1はディスクを示し、該ディ
スク1は磁気ディスクにおけるアルミニウム基板や、光
ディスクにおける透明なプラスチック円盤からなり、こ
のディスク1はその表面に記録膜を形成する前の段階
で、また必要に応じて記録膜の形成後においても、その
表裏の両面が洗浄される。
成を示す。図中において、1はディスクを示し、該ディ
スク1は磁気ディスクにおけるアルミニウム基板や、光
ディスクにおける透明なプラスチック円盤からなり、こ
のディスク1はその表面に記録膜を形成する前の段階
で、また必要に応じて記録膜の形成後においても、その
表裏の両面が洗浄される。
このディスク1の洗浄を行うために、該ディスク1の外
周部には3個のチャックローラ2が接離可能となってい
る。これら核チャックローラ2は、第3図に示した如
く、それぞれ支持杆3の先端に取り付けられており、該
核支持杆3の他側の端部は基台4に枢着されたレバー5
に連結されている。そして、このレバー5にはカムホロ
ワ6が取り付けられており、該カムホロワ6はばね7に
よってカム8に当接している。このカム8を所定角度回
動させることによって、各チャックローラ2を実線で示
したように、ディスク1の外周縁部に当接するチャック
位置と、それから離間するチャック解除位置との間に変
位させることができるようになっている。
周部には3個のチャックローラ2が接離可能となってい
る。これら核チャックローラ2は、第3図に示した如
く、それぞれ支持杆3の先端に取り付けられており、該
核支持杆3の他側の端部は基台4に枢着されたレバー5
に連結されている。そして、このレバー5にはカムホロ
ワ6が取り付けられており、該カムホロワ6はばね7に
よってカム8に当接している。このカム8を所定角度回
動させることによって、各チャックローラ2を実線で示
したように、ディスク1の外周縁部に当接するチャック
位置と、それから離間するチャック解除位置との間に変
位させることができるようになっている。
ディスク1を洗浄するための洗浄機構10は、一対の可動
アーム11,11を有し、該各可動アーム11には、その先端
部に回転軸12が取り付けられている。これら各回転軸12
の相対向する端部には、回転円板13が固定されており、
該回転円板13にはスポンジ、ブラシ等の柔軟な部材から
なる洗浄具14が装着されている。この洗浄具14は、円環
状に形成されて、その外径はディスクの内縁と外縁との
間の幅より大きな寸法を有している。そして、可動アー
ム11,11をディスク1の表面に沿う方向に回動変位させ
ることによって、第1図に実線で示したように、チャッ
クローラ2によって支持させたディスク1を洗浄具14で
挟み込むようにして洗浄を行う作動位置と、同図に一転
鎖線で示したように、該ディスク1から離間した退避位
置との間に変位させることができるようになっている。
アーム11,11を有し、該各可動アーム11には、その先端
部に回転軸12が取り付けられている。これら各回転軸12
の相対向する端部には、回転円板13が固定されており、
該回転円板13にはスポンジ、ブラシ等の柔軟な部材から
なる洗浄具14が装着されている。この洗浄具14は、円環
状に形成されて、その外径はディスクの内縁と外縁との
間の幅より大きな寸法を有している。そして、可動アー
ム11,11をディスク1の表面に沿う方向に回動変位させ
ることによって、第1図に実線で示したように、チャッ
クローラ2によって支持させたディスク1を洗浄具14で
挟み込むようにして洗浄を行う作動位置と、同図に一転
鎖線で示したように、該ディスク1から離間した退避位
置との間に変位させることができるようになっている。
また、回転軸12の他端には、プーリ15が取り付けられて
おり、該プーリ15にはベルト16が巻回して設けられて、
これにより洗浄具14を回転させることができるようにな
っている。従って、洗浄具14を押し当てた状態で、該洗
浄具14を回転させると、ディスク1の表面と擦り付けら
れて、そのブラッシングを行うと共に、第4図に示した
ように、ディスク1に対して回転力を与えることができ
るようになり、その全面の洗浄を行わせることができる
ようになっている。そして、このようにして洗浄具14に
よりディスク1の表面をブラッシングする間において、
可動アーム11及び回転軸12を介して中性洗剤,純水等か
らなる洗浄液が洗浄具14の内部に供給することができる
ようになっているが、この洗浄液供給機構は従来から公
知であるので、その図示及び説明は省略する。
おり、該プーリ15にはベルト16が巻回して設けられて、
これにより洗浄具14を回転させることができるようにな
っている。従って、洗浄具14を押し当てた状態で、該洗
浄具14を回転させると、ディスク1の表面と擦り付けら
れて、そのブラッシングを行うと共に、第4図に示した
ように、ディスク1に対して回転力を与えることができ
るようになり、その全面の洗浄を行わせることができる
ようになっている。そして、このようにして洗浄具14に
よりディスク1の表面をブラッシングする間において、
可動アーム11及び回転軸12を介して中性洗剤,純水等か
らなる洗浄液が洗浄具14の内部に供給することができる
ようになっているが、この洗浄液供給機構は従来から公
知であるので、その図示及び説明は省略する。
而して、前述したように、洗浄具14を回転させることに
よりディスク1に回転力を与えるようになしているの
で、該ディスク1を支持するチャックローラ2は、第5
図に示したように、軸受17を介して回動自在に連結され
るようになっている。従って、ディスク1が回転する
と、これに追従してチャックローラ2も回転せしめられ
ることになるので、このチャックローラ2のうち、一の
チャックローラ2aには、その端面部の一部に被検出部材
18を取り付けておき、該被検出部材18に対面するように
回転検出センサ19を配置している。従って、回転検出セ
ンサ19はチャックローラ2aが1回転する毎に、被検出部
材18を検出することになり、この信号に基づいてチャッ
クローラ2aが回転しているか否か、また適正な速度で回
転しているか否かの検出が行われることになる。ここ
で、チャックローラ2aはディスク1に追従して回転する
ものであり、しかも該ディスク1を回転駆動するのは洗
浄具14であるから、チャックローラ2aの回転を検出する
ことは、洗浄具14によるディスク1の回転が円滑に行わ
れて、該ディスク1がむらなく洗浄されているかどうか
の判定を行うことができる。従って、回転検出センサ19
からの信号に基づいて、ディスク1が回転しないか、ま
たは回転速度にむらがあったり、極端に回転速度が低下
した場合には、洗浄具14の交換時期となったことの警告
を行うことができるように構成されている。
よりディスク1に回転力を与えるようになしているの
で、該ディスク1を支持するチャックローラ2は、第5
図に示したように、軸受17を介して回動自在に連結され
るようになっている。従って、ディスク1が回転する
と、これに追従してチャックローラ2も回転せしめられ
ることになるので、このチャックローラ2のうち、一の
チャックローラ2aには、その端面部の一部に被検出部材
18を取り付けておき、該被検出部材18に対面するように
回転検出センサ19を配置している。従って、回転検出セ
ンサ19はチャックローラ2aが1回転する毎に、被検出部
材18を検出することになり、この信号に基づいてチャッ
クローラ2aが回転しているか否か、また適正な速度で回
転しているか否かの検出が行われることになる。ここ
で、チャックローラ2aはディスク1に追従して回転する
ものであり、しかも該ディスク1を回転駆動するのは洗
浄具14であるから、チャックローラ2aの回転を検出する
ことは、洗浄具14によるディスク1の回転が円滑に行わ
れて、該ディスク1がむらなく洗浄されているかどうか
の判定を行うことができる。従って、回転検出センサ19
からの信号に基づいて、ディスク1が回転しないか、ま
たは回転速度にむらがあったり、極端に回転速度が低下
した場合には、洗浄具14の交換時期となったことの警告
を行うことができるように構成されている。
本実施例は前述のように構成されるものであって、次に
その作用について説明する。
その作用について説明する。
まず、チャックローラ2をチャック解除位置に保持して
おき、ディスク1を適宜のハンドリング手段によって、
該チャックローラ2と対面する位置に搬入する。そこ
で、カム8を作動させることにより、チャックローラ2
がディスク1の外周縁部に当接するチャック位置に変位
させて、前述したハンドリング手段を該ディスク1から
離脱させる。
おき、ディスク1を適宜のハンドリング手段によって、
該チャックローラ2と対面する位置に搬入する。そこ
で、カム8を作動させることにより、チャックローラ2
がディスク1の外周縁部に当接するチャック位置に変位
させて、前述したハンドリング手段を該ディスク1から
離脱させる。
然る後に、洗浄機構10における可動アーム11,11を、第
1図の一点鎖線の位置から実線位置に変位させて、ディ
スク1に洗浄具14を挟み込ませるようにする。この状態
で、洗浄液の供給を行うと共に、ベルト16を作動させる
ことによって、プーリ15を回転駆動する。この結果、該
プーリ15の回転軸12に連結した洗浄具14が回転すること
になり、該洗浄具14によってディスク1の表裏両面を同
時にブラッシングされて、汚れや異物等を除去すること
ができる。また、この洗浄具14の回転によりディスク1
に回転力が与えられることになるので、該ディスク1の
全面の洗浄を行うことができるようになる。
1図の一点鎖線の位置から実線位置に変位させて、ディ
スク1に洗浄具14を挟み込ませるようにする。この状態
で、洗浄液の供給を行うと共に、ベルト16を作動させる
ことによって、プーリ15を回転駆動する。この結果、該
プーリ15の回転軸12に連結した洗浄具14が回転すること
になり、該洗浄具14によってディスク1の表裏両面を同
時にブラッシングされて、汚れや異物等を除去すること
ができる。また、この洗浄具14の回転によりディスク1
に回転力が与えられることになるので、該ディスク1の
全面の洗浄を行うことができるようになる。
このようにしてディスク1の洗浄が行われるが、このデ
ィスク1の全面をむらなく洗浄するためには、その洗浄
中にディスク1が円滑に回転しなければならない。とこ
ろが、繰り返し洗浄が行われて、洗浄具14が部分的に摩
耗したり、変形したりした場合等、ディスク1に対する
洗浄具14の接触圧力が均一でなくなると、該ディスク1
を円滑に回転させることができなくなり、洗浄むらが発
生することになる。従って、かかる洗浄むらの発生を防
止するためには、ディスク1の回転状態を常時監視して
おき、該ディスク1が回転不能となっていたり、不規則
に回転していたりすると、それを検出して速やかに洗浄
具14を交換する等の対処を講じなければならない。
ィスク1の全面をむらなく洗浄するためには、その洗浄
中にディスク1が円滑に回転しなければならない。とこ
ろが、繰り返し洗浄が行われて、洗浄具14が部分的に摩
耗したり、変形したりした場合等、ディスク1に対する
洗浄具14の接触圧力が均一でなくなると、該ディスク1
を円滑に回転させることができなくなり、洗浄むらが発
生することになる。従って、かかる洗浄むらの発生を防
止するためには、ディスク1の回転状態を常時監視して
おき、該ディスク1が回転不能となっていたり、不規則
に回転していたりすると、それを検出して速やかに洗浄
具14を交換する等の対処を講じなければならない。
然るに、ディスク1が回転しているか否かをセンサを用
いて直接検出することは極めて困難である。ところが、
ディスク1が回転すると、該ディスク1を支持するチャ
ックローラ2もこれに追従して回転することになる。従
って、本考案にあっては、これらチャックローラ2のう
ちの一のチャックローラ2aに被検出部材18が取り付けら
れており、ディスク1が回転すると、該チャックローラ
2aがこれに追従回転して、この被検出部材18が回転方向
に変位することになる。そして、この被検出部材18の変
位は回転検出センサ19によって検出されるようになって
いる。そして、チャックローラ2aが1回転する毎に、該
チャックローラ2aに取り付けた被検出部材18を検出して
その都度検出信号を出力することになる。従って、この
検出信号の時間間隔を測定することにより、該チャック
ローラ2aが正規の状態で回転しているか否か、即ちディ
スク1が正規の状態で回転しているか否かを判別するこ
とができるようになる。
いて直接検出することは極めて困難である。ところが、
ディスク1が回転すると、該ディスク1を支持するチャ
ックローラ2もこれに追従して回転することになる。従
って、本考案にあっては、これらチャックローラ2のう
ちの一のチャックローラ2aに被検出部材18が取り付けら
れており、ディスク1が回転すると、該チャックローラ
2aがこれに追従回転して、この被検出部材18が回転方向
に変位することになる。そして、この被検出部材18の変
位は回転検出センサ19によって検出されるようになって
いる。そして、チャックローラ2aが1回転する毎に、該
チャックローラ2aに取り付けた被検出部材18を検出して
その都度検出信号を出力することになる。従って、この
検出信号の時間間隔を測定することにより、該チャック
ローラ2aが正規の状態で回転しているか否か、即ちディ
スク1が正規の状態で回転しているか否かを判別するこ
とができるようになる。
そこで、該ディスク1の回転が停止した状態となってい
たり、また回転速度が低下していたりすると、回転検出
器19からの信号に基づいて装置の作動を停止させたり、
警告を発生させたりすることにより、ディスク1の洗浄
むらが発生していることを的確に認識でき、洗浄具14の
交換時期を作業者に報知できるようになる。ところで、
チャックローラ2aはディスク1に追従回転するが、スリ
ップがある等、必ずしも完全に等速回転する訳ではな
い。しかしながら、このチャックローラ2aの回転検出は
あくまでも洗浄具14が正常な状態で作動しているか否か
を確認するためのものであるから、回転速度の検出をあ
まり厳格に行わなくとも良い。このために、第5図から
明らかなように、回転検出センサ19として反射型の光セ
ンサを用い、チャックローラ2aの端面に、この光センサ
の反射光量を他の部位とは異なる被検出部材18を取り付
けるという簡単な構成のもので、その機能を十分に発揮
するようになる。
たり、また回転速度が低下していたりすると、回転検出
器19からの信号に基づいて装置の作動を停止させたり、
警告を発生させたりすることにより、ディスク1の洗浄
むらが発生していることを的確に認識でき、洗浄具14の
交換時期を作業者に報知できるようになる。ところで、
チャックローラ2aはディスク1に追従回転するが、スリ
ップがある等、必ずしも完全に等速回転する訳ではな
い。しかしながら、このチャックローラ2aの回転検出は
あくまでも洗浄具14が正常な状態で作動しているか否か
を確認するためのものであるから、回転速度の検出をあ
まり厳格に行わなくとも良い。このために、第5図から
明らかなように、回転検出センサ19として反射型の光セ
ンサを用い、チャックローラ2aの端面に、この光センサ
の反射光量を他の部位とは異なる被検出部材18を取り付
けるという簡単な構成のもので、その機能を十分に発揮
するようになる。
[考案の効果] 以上詳述した如く、本考案によれば、ディスクを支持す
るチャックローラの回転を検出することによって、ディ
スクの表面を洗浄するための洗浄具の交換時期を判断で
きるように構成したので、極めて簡単な構成によって、
洗浄中におけるディスクの回転状態を正確に検出するこ
とができ、もって洗浄中にディスクが回転しなかった
り、また回転速度が低下する等による洗浄むらの発生を
早期に発見できて、洗浄具の交換時期を的確に判断でき
る。
るチャックローラの回転を検出することによって、ディ
スクの表面を洗浄するための洗浄具の交換時期を判断で
きるように構成したので、極めて簡単な構成によって、
洗浄中におけるディスクの回転状態を正確に検出するこ
とができ、もって洗浄中にディスクが回転しなかった
り、また回転速度が低下する等による洗浄むらの発生を
早期に発見できて、洗浄具の交換時期を的確に判断でき
る。
図面は本考案の一実施例を示すものであって、第1図は
ディスクの洗浄装置の正面図、第2図は第1図の側面
図、第3図はディスクのチャック機構の構成説明図、第
4図はディスクの回転状態を示す説明図、第5図は回転
検出機構と共に示すチャックローラの断面図である。 1:ディスク、2,2a:チャックローラ、10:洗浄機
構、11:可動アーム、12:回転軸、13:回転円盤、14:
洗浄具、15:プーリ、16:ベルト、17:軸受、18:被検
出部材、19:回転検出センサ。
ディスクの洗浄装置の正面図、第2図は第1図の側面
図、第3図はディスクのチャック機構の構成説明図、第
4図はディスクの回転状態を示す説明図、第5図は回転
検出機構と共に示すチャックローラの断面図である。 1:ディスク、2,2a:チャックローラ、10:洗浄機
構、11:可動アーム、12:回転軸、13:回転円盤、14:
洗浄具、15:プーリ、16:ベルト、17:軸受、18:被検
出部材、19:回転検出センサ。
Claims (1)
- 【請求項1】ディスクを少なくとも3個のチャックロー
ラを備えたチャック部材に回転自在に支持させて、その
表裏の両面に押し当ててその洗浄を行う洗浄具を回転駆
動部材に連結して、それを回転させることにより、ディ
スクを回転させながら、その表面を洗浄するようにした
ものにおいて、前記チャックローラのうちの一のチャッ
クローラの端面部にその回転を検出させるための被検出
部材を取り付け、該被検出部材を回転検出器で検出する
ことにより前記ディスクの回転状態を検出して、前記洗
浄具の交換時期の検出を行うように構成したことを特徴
とするディスクの洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988017577U JPH0617250Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスクの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988017577U JPH0617250Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスクの洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124989U JPH01124989U (ja) | 1989-08-25 |
| JPH0617250Y2 true JPH0617250Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31231484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988017577U Expired - Lifetime JPH0617250Y2 (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 | ディスクの洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617250Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3764228B2 (ja) * | 1996-12-17 | 2006-04-05 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ブラシ洗浄装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51100510U (ja) * | 1975-02-08 | 1976-08-12 | ||
| JPS5532539U (ja) * | 1978-08-19 | 1980-03-01 | ||
| JPH0616325B2 (ja) * | 1985-10-11 | 1994-03-02 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | デイスク部材の洗浄装置 |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP1988017577U patent/JPH0617250Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01124989U (ja) | 1989-08-25 |
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