JPH0318138B2 - - Google Patents
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- JPH0318138B2 JPH0318138B2 JP56055835A JP5583581A JPH0318138B2 JP H0318138 B2 JPH0318138 B2 JP H0318138B2 JP 56055835 A JP56055835 A JP 56055835A JP 5583581 A JP5583581 A JP 5583581A JP H0318138 B2 JPH0318138 B2 JP H0318138B2
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- JP
- Japan
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- case
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- pressure sensor
- line
- output line
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/069—Protection against electromagnetic or electrostatic interferences
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S73/00—Measuring and testing
- Y10S73/04—Piezoelectric
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は車載に好適で吸気負圧等の計測に利用
できる半導体式圧力センサに関し、特に電磁障害
の影響を軽減する構造に関する。
できる半導体式圧力センサに関し、特に電磁障害
の影響を軽減する構造に関する。
今日、エンジンの電子制御が盛んに取り入れら
れており、一手法としてエンジンの吸気負圧を圧
力センサにより検出してエンジンに供給する混合
気の空燃比を制御することが行われている。一
方、車載無線、ラジオ、テレビ等の電磁波妨害の
増大により社会全体の電磁環境が悪化しており、
これに対処し上記したような電子制御機器の安定
動作の達成は必須の要件であり、電子制御ユニツ
トやセンサ自体の電磁障害（一般にElectro−
magnetic Interferents、つまりEMIと略してい
る）の対策が重要な課題となつている。
れており、一手法としてエンジンの吸気負圧を圧
力センサにより検出してエンジンに供給する混合
気の空燃比を制御することが行われている。一
方、車載無線、ラジオ、テレビ等の電磁波妨害の
増大により社会全体の電磁環境が悪化しており、
これに対処し上記したような電子制御機器の安定
動作の達成は必須の要件であり、電子制御ユニツ
トやセンサ自体の電磁障害（一般にElectro−
magnetic Interferents、つまりEMIと略してい
る）の対策が重要な課題となつている。
本発明は上記課題に鑑み、車両に搭載される電
子制御機器、とりわけ半導体式圧力センサの電磁
波による誤動作を確実に防止することを目的とす
るものである。
子制御機器、とりわけ半導体式圧力センサの電磁
波による誤動作を確実に防止することを目的とす
るものである。
即ち、本発明の半導体式圧力センサでは、被測
定圧力の導入部分を備え、電気導体からなるケー
スと、前記ケースにより囲われ、前記導入部分を
介して導入される圧力を検出するための圧力セン
サユニツトと、前記ケースにより囲われ、前記圧
力センサユニツトからの出力を増幅するための回
路ユニツトと、前記ケースに固定されるとともに
該ケースに電気接続した貫通型コンデンサと、前
記回路ユニツトに対する電源入力線、接地線及び
出力線を含み、各々が前記貫通コンデンサを介し
て外部に導出される入出力線と、を備えこの入出
力線に乗る高周波ノイズをコンデンサを介してケ
ース部分にバイパス吸収する構成としてある。
定圧力の導入部分を備え、電気導体からなるケー
スと、前記ケースにより囲われ、前記導入部分を
介して導入される圧力を検出するための圧力セン
サユニツトと、前記ケースにより囲われ、前記圧
力センサユニツトからの出力を増幅するための回
路ユニツトと、前記ケースに固定されるとともに
該ケースに電気接続した貫通型コンデンサと、前
記回路ユニツトに対する電源入力線、接地線及び
出力線を含み、各々が前記貫通コンデンサを介し
て外部に導出される入出力線と、を備えこの入出
力線に乗る高周波ノイズをコンデンサを介してケ
ース部分にバイパス吸収する構成としてある。
以下本発明を図面に示す一実施例により説明す
る。第１図は半導体式圧力センサの断面図で、第
２図中のＸ−X′線に沿つた断面図である。第１，
２図において、１は電気導体からなるケースで、
この場合アルミダイカスト製である。２は、半導
体式の圧力センサユニツトで、この場合絶対圧力
検出用である。３は回路ユニツトで、圧力センサ
ユニツトからの出力を増幅するものである。４は
プリント板で、圧力センサユニツト２及び回路ユ
ニツト３を搭載している。５は電源入力線、接地
線及び出力線を含む入出力線、６は貫通型のセラ
ミツクコンデンサで、金属製のケース１の貫通穴
部分に挿入固定されており、その両極は回路ユニ
ツト３側及び入出力線５に半田付けしてある。そ
れにより、第３図の如く入出力線５とケース１と
の間にコンデンサ６を接続した形となり、外部よ
り進入する高周波電流（高周波ノイズ）をすべて
ケース１側へバイパスさせ、回路ユニツト３側に
与えないようにしてある。７は封止用の樹脂、８
は各ユニツト２，３を密封固定するポツテイング
樹脂、９は絶縁性部材からなるＯリングで、ケー
ス１の凹部に配置され、圧力センサユニツト２か
ら延びるパイプ２ａとケース１との間に気密に固
定されている。１０は金属製のふたで、ケース１
の上部にねじ１１にて固定されている。１２は取
付用穴、１３は被測定圧力（例えばエンジンの吸
気負圧など）の導入部で、電磁波の進入に対する
その減すい率を考慮して所定の長さおよび穴径が
選択されている。なお、貫通型のセラミツクコン
デンサ６は公知のものであり、その中心部分に入
出力線が貫通し、コンデンサの一方の電極はその
入出力線と接続され、その外周側面がコンデンサ
の他方の電極を構成する構造のものである。
る。第１図は半導体式圧力センサの断面図で、第
２図中のＸ−X′線に沿つた断面図である。第１，
２図において、１は電気導体からなるケースで、
この場合アルミダイカスト製である。２は、半導
体式の圧力センサユニツトで、この場合絶対圧力
検出用である。３は回路ユニツトで、圧力センサ
ユニツトからの出力を増幅するものである。４は
プリント板で、圧力センサユニツト２及び回路ユ
ニツト３を搭載している。５は電源入力線、接地
線及び出力線を含む入出力線、６は貫通型のセラ
ミツクコンデンサで、金属製のケース１の貫通穴
部分に挿入固定されており、その両極は回路ユニ
ツト３側及び入出力線５に半田付けしてある。そ
れにより、第３図の如く入出力線５とケース１と
の間にコンデンサ６を接続した形となり、外部よ
り進入する高周波電流（高周波ノイズ）をすべて
ケース１側へバイパスさせ、回路ユニツト３側に
与えないようにしてある。７は封止用の樹脂、８
は各ユニツト２，３を密封固定するポツテイング
樹脂、９は絶縁性部材からなるＯリングで、ケー
ス１の凹部に配置され、圧力センサユニツト２か
ら延びるパイプ２ａとケース１との間に気密に固
定されている。１０は金属製のふたで、ケース１
の上部にねじ１１にて固定されている。１２は取
付用穴、１３は被測定圧力（例えばエンジンの吸
気負圧など）の導入部で、電磁波の進入に対する
その減すい率を考慮して所定の長さおよび穴径が
選択されている。なお、貫通型のセラミツクコン
デンサ６は公知のものであり、その中心部分に入
出力線が貫通し、コンデンサの一方の電極はその
入出力線と接続され、その外周側面がコンデンサ
の他方の電極を構成する構造のものである。
以下、上記構成によるその作用を説明する。
EMIは直接ケース内に侵入して回路部分に影
響を与えるものと、さらに入出力線に乗つて侵入
するものとの２種類が考えられる。前者に対する
対策としては、センサユニツト２，３を導電性部
材つまりケース１及びふた１０でもつて完全に囲
うことにより電磁シールドし、これにより電磁障
害を軽減できる。ただ、圧力導入部分については
電磁シールドできないため、導入部１３の形状選
定による電磁波の減すい効果を利用している。他
方、後者に対する対策としては、入出力線５のそ
れぞれにバイパス用コンデンサ６を接続して高周
波ノイズをケース１へバイパスさせ、センサユニ
ツト側へ与える高周波ノイズをカツトしている。
その場合、ケース１において入出力線５の貫通、
導入部分は貫通型コンデンサ６によつて直接気密
に固定されており、しかもケース１に入る直前に
おいて高周波ノイズをケース１側へバイパスさせ
ることができる。
響を与えるものと、さらに入出力線に乗つて侵入
するものとの２種類が考えられる。前者に対する
対策としては、センサユニツト２，３を導電性部
材つまりケース１及びふた１０でもつて完全に囲
うことにより電磁シールドし、これにより電磁障
害を軽減できる。ただ、圧力導入部分については
電磁シールドできないため、導入部１３の形状選
定による電磁波の減すい効果を利用している。他
方、後者に対する対策としては、入出力線５のそ
れぞれにバイパス用コンデンサ６を接続して高周
波ノイズをケース１へバイパスさせ、センサユニ
ツト側へ与える高周波ノイズをカツトしている。
その場合、ケース１において入出力線５の貫通、
導入部分は貫通型コンデンサ６によつて直接気密
に固定されており、しかもケース１に入る直前に
おいて高周波ノイズをケース１側へバイパスさせ
ることができる。
しかも、本実施例によると、電源入力線、接地
線及び出力線を含む入出力線５は貫通型コンデン
サ６を介して外部に導出されているので、その入
出力線５の電位レベルをより安定的にすることが
できる。
線及び出力線を含む入出力線５は貫通型コンデン
サ６を介して外部に導出されているので、その入
出力線５の電位レベルをより安定的にすることが
できる。
上記説明の如く、直接的及び間接的に侵入する
高周波ノイズを少なくともケース入口部分にてカ
ツトできるため、回路ユニツト３が誤動作するこ
とを防止できる。
高周波ノイズを少なくともケース入口部分にてカ
ツトできるため、回路ユニツト３が誤動作するこ
とを防止できる。
以上述べた如く本発明では、圧力センサユニツ
ト及び回路ユニツトを、電気導体からなるケース
でもつて囲うことにより、直接ユニツト内に侵入
する電磁波を遮断でき、しかも入出力線に乗つて
間接的に回路ユニツト内に侵入する高周波ノイズ
に対しては、貫通型コンデンサによるバイパス作
用によつてその侵入を防止でき、さらに、電源入
力線、接地線及び出力線を含む入出力線は貫通型
コンデンサを介して外部に導出されているので、
入出力線の電位レベルをより安定的にすることが
できる。そしてそれら作用によつて回路ユニツト
の電磁波による誤動作を確実に防止できるという
優れた効果が得られる。
ト及び回路ユニツトを、電気導体からなるケース
でもつて囲うことにより、直接ユニツト内に侵入
する電磁波を遮断でき、しかも入出力線に乗つて
間接的に回路ユニツト内に侵入する高周波ノイズ
に対しては、貫通型コンデンサによるバイパス作
用によつてその侵入を防止でき、さらに、電源入
力線、接地線及び出力線を含む入出力線は貫通型
コンデンサを介して外部に導出されているので、
入出力線の電位レベルをより安定的にすることが
できる。そしてそれら作用によつて回路ユニツト
の電磁波による誤動作を確実に防止できるという
優れた効果が得られる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示す断
面図及び平面図、第３図は貫通型コンデンサの接
続関係を示す模式図である。 １……導電性部材からなるケース、２……圧力
センサユニツト、３……回路ユニツト、４……プ
リント板、５……入出力線、６……貫通型コンデ
ンサ、１０……ふた、１３……圧力導入部。
面図及び平面図、第３図は貫通型コンデンサの接
続関係を示す模式図である。 １……導電性部材からなるケース、２……圧力
センサユニツト、３……回路ユニツト、４……プ
リント板、５……入出力線、６……貫通型コンデ
ンサ、１０……ふた、１３……圧力導入部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定圧力の導入部分を備え、電気導体から
なるケースと、 前記ケースにより囲われ、前記導入部分を介し
て導入される圧力を検出するための圧力センサユ
ニツトと、 前記ケースにより囲われ、前記圧力センサユニ
ツトからの出力を増幅するための回路ユニツト
と、 前記ケースに固定されるとともに該ケースに電
気接続した貫通型コンデンサと、 前記回路ユニツトに対する電源入力線、接地線
及び出力線を含み、各々が前記貫通コンデンサを
介して外部に導出される入出力線と、 を備えることを特徴とする半導体式圧力センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56055835A JPS57169644A (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Semiconductor type pressure sensor |
| US06/366,087 US4413527A (en) | 1981-04-14 | 1982-04-06 | Semiconductor pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56055835A JPS57169644A (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Semiconductor type pressure sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57169644A JPS57169644A (en) | 1982-10-19 |
| JPH0318138B2 true JPH0318138B2 (ja) | 1991-03-11 |
Family
ID=13010034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56055835A Granted JPS57169644A (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Semiconductor type pressure sensor |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4413527A (ja) |
| JP (1) | JPS57169644A (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0541591Y2 (ja) * | 1984-10-02 | 1993-10-20 | ||
| US4698197A (en) * | 1985-02-12 | 1987-10-06 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Magnetic shielding |
| DE3680127D1 (de) * | 1985-03-19 | 1991-08-14 | Citizen Watch Co Ltd | Armbanduhr mit druckmessfuehler. |
| JPH061226B2 (ja) * | 1986-05-07 | 1994-01-05 | 日本電装株式会社 | 半導体圧力センサ |
| JPH0810158B2 (ja) * | 1986-09-26 | 1996-01-31 | 株式会社テック | 電子機器 |
| US5224059A (en) * | 1988-06-07 | 1993-06-29 | Citizen Watch Co., Ltd. | Device for measuring altitude and barometric pressure |
| FR2667395B1 (fr) * | 1990-09-28 | 1992-12-31 | Jaeger | Dispositif de mesure de la pression d'admission du melange air/carburant dans un moteur de vehicule automobile. |
| US5386730A (en) * | 1992-06-25 | 1995-02-07 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor having a sealed water-resistant construction |
| EP0586093A1 (en) * | 1992-08-04 | 1994-03-09 | Moore Business Forms, Inc. | A toner composition including a fluorescent pigment |
| JPH08105808A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力センサ |
| JP3427594B2 (ja) | 1994-11-04 | 2003-07-22 | 株式会社デンソー | センサ装置 |
| JPH08233848A (ja) * | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体センサ |
| DE59507194D1 (de) * | 1995-12-22 | 1999-12-09 | Envec Mess Und Regeltechn Gmbh | Druckmessanordnung mit Schirmelektrode |
| EP1050202B1 (de) * | 1998-11-24 | 2005-06-22 | Continental Teves AG & Co. oHG | Anordnung zum schutz von elektronischen funktionseinheiten und/oder funktionsgruppen |
| JP4892781B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2012-03-07 | 富士電機株式会社 | 半導体物理量センサ |
| JP4815120B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2011-11-16 | 株式会社オーディオテクニカ | コンデンサマイクロホン |
| ES2349696T3 (es) * | 2006-11-11 | 2011-01-10 | Mettler-Toledo Ag | Procedimiento para la supervisión y/o determinación del estado de un dispositivo de medición de fuerza, y dispositivo de medición de fuerza. |
| JP2009010014A (ja) * | 2007-06-26 | 2009-01-15 | Yanmar Co Ltd | 電子制御装置の取り付け構成 |
| DE102008005153A1 (de) * | 2008-01-18 | 2009-07-23 | Robert Bosch Gmbh | Druckmessmodul |
| DE102008000786A1 (de) * | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Sensorvorrichtung |
| US8100018B2 (en) * | 2009-02-06 | 2012-01-24 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Pressure transducers employing radiation hardened electronics |
| JP5761126B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2015-08-12 | 日本精機株式会社 | 圧力検出装置 |
| IN2013MU02207A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-06-12 | Ashish Bhimrao Kharkar |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1229183B (de) * | 1960-06-11 | 1966-11-24 | Philips Patentverwaltung | Schutzvorrichtung gegen symmetrische und asymmetrische Stoerspannungen bei elektronischen Anzeige- bzw. Registriergeraeten nach dem Kompensationsprinzip |
| JPS55103438A (en) * | 1979-02-05 | 1980-08-07 | Hitachi Ltd | Pressure converter |
| US4348331A (en) * | 1980-09-19 | 1982-09-07 | Bayer Aktiengesellschaft | Process for the preparation of N-substituted imido-dicarboxylic acid diaryl esters |
| JPS57128824A (en) * | 1981-02-03 | 1982-08-10 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure transducer |
-
1981
- 1981-04-14 JP JP56055835A patent/JPS57169644A/ja active Granted
-
1982
- 1982-04-06 US US06/366,087 patent/US4413527A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4413527A (en) | 1983-11-08 |
| JPS57169644A (en) | 1982-10-19 |
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