JPH03181863A - 回転ムラ測定装置の精度測定方法 - Google Patents

回転ムラ測定装置の精度測定方法

Info

Publication number
JPH03181863A
JPH03181863A JP32047189A JP32047189A JPH03181863A JP H03181863 A JPH03181863 A JP H03181863A JP 32047189 A JP32047189 A JP 32047189A JP 32047189 A JP32047189 A JP 32047189A JP H03181863 A JPH03181863 A JP H03181863A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
trigger
generators
reflected
polygon mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP32047189A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH077004B2 (ja
Inventor
Hiroshi Nakayoshi
中吉 宏
Iwao Sugizaki
杉崎 巌
Katsu Tashiro
克 田代
Rie Wakashima
若島 理絵
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Copal Electronics Corp
Original Assignee
Copal Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Copal Electronics Co Ltd filed Critical Copal Electronics Co Ltd
Priority to JP32047189A priority Critical patent/JPH077004B2/ja
Publication of JPH03181863A publication Critical patent/JPH03181863A/ja
Publication of JPH077004B2 publication Critical patent/JPH077004B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はレーザビームプリンタに用いられるポリゴンミ
ラを使った光走査装置の回転ムラ測定装置の精度を測定
する装置に関するものである。
(従来の技tlf) 一般にスキャナモータの回転精度の測定方法は第2図に
示すように、ポリゴンミラ1に、レーザ光源2によりビ
ームLllを照射し、走査された反射ビームL12を、
ポリゴンミラ1に対して所定の見込角を持って配置され
た2つのトリガ発生器13.14で受けることにより、
トリガ信号81.82を得る。
この原理を、トリガ発生器13について説明すると、第
3図に示すように走査された反射ビームL12のスポッ
トPが、トリガ発生器13の開口部りを図で左から右へ
通過するので、開口部りへの入射光量に応じてアナログ
信号Saが得られる。
このアナログ信号Saを所定のレベルSLと比較してデ
ジタル化した結果をトリガ信号S1として出力する。
このようにして得られた2つのトリガ信号Sl。
S2を、カウンタ15の入力端子A、Bへ入力すること
により、第4図に示すように反射ビームL12が2つの
トリガ発生器13.14を走査する平均時間t、および
変動量Δtが得られ、これによりポリゴンスキャナの回
転精度Jが(Δt/2)として求められる。
(発明が解決しようとする課題) トリガ発生器13.14からの信号SL、S2は、スキ
ャナの回転変動以外の成分(例えば、トリガを発生する
ための光電変換器や回路のノイズ)を含んでいることが
多い。
よって、このような測定系ではスキャナの回転変動以外
の成分もデータに含まれてしまうが、これまではその成
分の定量的な大きさを把握する手段がなかった。
(課題を解決するための手段) 本発明は前記課題を解決するためになされたもので、実
施例に対応する第1図を用いて説明すると1本発明は1
回転しているポリゴンミラ1にレーザ光源2から出射さ
れたレーザビームL1を入射し、その反射されたビーム
L2がハーフミラ5を通過し、その通過したレーザビー
ムLaがトリガ発生器4へ入射し、同時にハーフミラ5
で反射したレーザビームLbが他のトリガ発生器3へ入
射するようにハーフミラ5.トリガ発生器4,3を近接
して配置構成したものである。
(作用) 本発明によれば、透過ビームLaと反射ビームLbが同
時にトリガ発生器4,3へ入射するように光学系を配置
しているので、トリガ発生器3゜4からの信号に含まれ
る、ポリゴンミラ1の回転変動以外の成分を定量的に評
価することができる。
(実施例) 第1図は、本発明の一実施例を説明する図であって、レ
ーザ光源2から出射されたレーザビームL1をポリゴン
ミラ1へ入射し、その反射したレーザビームL2は、ポ
リゴンミラ1の矢印方向への回転に伴って走査され、所
定の位置においてハーフミラ5へ入射し、透過ビームL
aと反射ビームLbに分けられる。この場合、ビームL
a。
Lbの各々がトリガ発生器4,3へ同時に入射するよう
にハーフミラ5.トリガ発生器4,3を近接して配置す
る。このようにして得られたトリガ発生器4,3よりの
トリガ信号(図示せず)の時間差を第2図で示したカウ
ンタ15と同様のカウンタで測定する。
この時、透過ビームLaと反射ビームLbが同時にトリ
ガ発生器4,3へ入射するように光学系を配置している
ので、実際にビームを走査し1時間差が測定された場合
、その時間差が回転ムラ測定装置の誤差である。なぜな
らば、ハーフミラ5、トリガ発生器4.およびトリガ発
生器3は近接して配置され、それらを固定した光学系の
歪みなどの影響は無視でき、同一のビームからトリガ信
号を得るようになっているため、ポリゴンミラ1の回転
変動は、測定量に入ってこない。
(発明の効果) 以上、詳細に説明したように本発明によればポリゴンミ
ラの回転ムラ測定装置の測定精度を定量的に評価できる
ので、これにより、ポリゴンミラの回転ムラを、より正
確に求めることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は5本発明の一実施例を示す構成図、第2図は、
スキャナモータの回転精度測定装置の構成図で、第3図
はトリガ発生器の原理を説明する図、餉4図はデジタル
化したトリガ信号を示す図である。 1・・・ポリゴンミラ 2・・・レーザ光源 3、4.13.14・・・トリガ発生器5・・・ハーフ
ミラ 15・・・カウンタ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 回転しているポリゴンミラ(1)にレーザ光源(2)か
    ら出射されたレーザビーム(L1)を入射し、その反射
    されたビーム(L2)がハーフミラ(5)を通過し、そ
    の通過したレーザビーム(La)がトリガ発生器(4)
    へ入射し、同時にハーフミラ(5)で反射したレーザビ
    ーム(Lb)が他のトリガ発生器(3)へ入射するよう
    にハーフミラ(5)、トリガ発生器(4)、(3)を近
    接して配置構成したことを特徴とする回転ムラ測定装置
    の精度測定方法。
JP32047189A 1989-12-12 1989-12-12 回転ムラ測定装置の精度測定方法 Expired - Lifetime JPH077004B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32047189A JPH077004B2 (ja) 1989-12-12 1989-12-12 回転ムラ測定装置の精度測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32047189A JPH077004B2 (ja) 1989-12-12 1989-12-12 回転ムラ測定装置の精度測定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03181863A true JPH03181863A (ja) 1991-08-07
JPH077004B2 JPH077004B2 (ja) 1995-01-30

Family

ID=18121822

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP32047189A Expired - Lifetime JPH077004B2 (ja) 1989-12-12 1989-12-12 回転ムラ測定装置の精度測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH077004B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH077004B2 (ja) 1995-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2744131B2 (ja) 波面センサ
US4490608A (en) Position sensor
CA1295039C (en) Galvanometric optical scanning system
JPH03175390A (ja) レーザレーダ走査装置
JPS5829489B2 (ja) ヒカリソウサキノ ドウキコウサイシユホウホウ
GB1370908A (en) Optical position-sensing apparatus
EP0112374B1 (en) Beam scanning apparatus
GB2085580A (en) A Flying Spot Scanner
JPH03181863A (ja) 回転ムラ測定装置の精度測定方法
US4973152A (en) Method and device for the noncontact optical measurement of paths, especially in the triangulation method
US4048492A (en) Method and apparatus for automatic focusing an optical system with a scanning grating
RU2084822C1 (ru) Устройство для динамического контроля геометрических размеров коллектора и колебаний ротора электродвигателя
JPH0690111B2 (ja) 動的面出入り測定装置
JPH0256520A (ja) 光ビーム走査装置
JPH0453288B2 (ja)
JPS6053853B2 (ja) レ−ザ−記録装置
JPH07243820A (ja) 表面形状測定装置
US5074660A (en) Method and apparatus for measuring rotating movements
JPS6395642A (ja) 半導体装置のリ−ド検査装置
JPH03135738A (ja) 走査用光スポットのスポット径測定装置
JPH0450643A (ja) 傷検査装置
JPH07120217A (ja) 距離測定方法および装置
JPS5819542A (ja) 表面検査装置
JPH02136814A (ja) 光ビーム検出装置
JPH0682081B2 (ja) 動的面出入り測定装置