JPH077004B2 - 回転ムラ測定装置の精度測定方法 - Google Patents
回転ムラ測定装置の精度測定方法Info
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- JPH077004B2 JPH077004B2 JP32047189A JP32047189A JPH077004B2 JP H077004 B2 JPH077004 B2 JP H077004B2 JP 32047189 A JP32047189 A JP 32047189A JP 32047189 A JP32047189 A JP 32047189A JP H077004 B2 JPH077004 B2 JP H077004B2
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- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、レーザビームプリンタに用いられるポリゴン
ミラを使った光走査装置の回転ムラ測定装置の精度測定
方法に関するものである。
ミラを使った光走査装置の回転ムラ測定装置の精度測定
方法に関するものである。
(従来の技術) 一般にスキャナモータの回転精度の測定方法は、第2図
に示すように、ポリゴンミラ1に、レーザ光源2により
レーザビームL11を照射し、走査された反射ビームL12
を、ポリゴンミラ1に対して所定の見込角を持って配置
された2つのトリガ発生器13,14で受けることにより、
トリガ信号S1,S2を得る。
に示すように、ポリゴンミラ1に、レーザ光源2により
レーザビームL11を照射し、走査された反射ビームL12
を、ポリゴンミラ1に対して所定の見込角を持って配置
された2つのトリガ発生器13,14で受けることにより、
トリガ信号S1,S2を得る。
この原理を、トリガ発生器13について説明すると、第3
図に示すように、走査された反射ビームL12のスポット
Pが、トリガ発生器13の開口部Dを、図の左から右へ通
過するので、開口部Dへの入射光量に応じてアナログ信
号Saが得られる。このアナログ信号Saを所定のレベルSL
と比較して、デジタル化した結果をトリガ信号S1として
出力する。
図に示すように、走査された反射ビームL12のスポット
Pが、トリガ発生器13の開口部Dを、図の左から右へ通
過するので、開口部Dへの入射光量に応じてアナログ信
号Saが得られる。このアナログ信号Saを所定のレベルSL
と比較して、デジタル化した結果をトリガ信号S1として
出力する。
このようにして得られた2つのトリガ信号S1,S2を時間
差測定手段(例えば、カウンタ)15の入力端子A,Bへ入
力することにより、第4図に示すように反射ビームL12
が2つのトリガ発生器13,14を走査する平均走査時間
t、および変動量Δtが得られ、これにより、ポリゴン
スキャナの回転精度Jが(Δt/t)として求められる。
差測定手段(例えば、カウンタ)15の入力端子A,Bへ入
力することにより、第4図に示すように反射ビームL12
が2つのトリガ発生器13,14を走査する平均走査時間
t、および変動量Δtが得られ、これにより、ポリゴン
スキャナの回転精度Jが(Δt/t)として求められる。
(発明が解決しようとする課題) トリガ発生器13,14からの信号S1,S2は、スキャナの回転
変動以外の成分(例えば、トリガを発生するための光電
変換器や回路のノイズ等)を含んでいることが多い。
変動以外の成分(例えば、トリガを発生するための光電
変換器や回路のノイズ等)を含んでいることが多い。
よって、このような測定系では、スキャナの回転変動以
外の成分もデータに含まれてしまうが、これまでは、そ
の成分の定量的な大きさを把握する手段がなかった。
外の成分もデータに含まれてしまうが、これまでは、そ
の成分の定量的な大きさを把握する手段がなかった。
(課題を解決するための手段) 本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、 回転しているポリゴンミラにレーザ光源によりレーザビ
ームを照射し、走査された反射ビームをポリゴンミラに
対して所定の見込角を持って配置された2つのトリガ発
生器で受けることにより各々トリガ信号を発生させ、前
記トリガ信号をデジタル信号に変換して時間差測定手段
に入力し、2つのトリガ信号間の平均走査時間及び変動
量から、ポリゴンスキャナの回転精度を測定する回転ム
ラ測定装置において、 回転しているポリゴンミラ1にレーザ光源2から出射さ
れたレーザビームL1を入射し、その反射されたレーザビ
ームL2がハーフミラ5を通過し、その通過したレーザビ
ームLaがトリガ発生器4へ入射してトリガ信号を発生さ
せ、同時にハーフミラ5で反射したレーザビームLbがも
う一つのトリガ発生器3へ入射してトリガ信号を発生さ
せるように、ハーフミラ5、トリガ発生器4,3を近接さ
せて配置し、前記トリガ発生器4,3のトリガ信号を各々
デジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2つ
のトリガ信号間の時間差及び変動量を測定するようにし
たものである。
ームを照射し、走査された反射ビームをポリゴンミラに
対して所定の見込角を持って配置された2つのトリガ発
生器で受けることにより各々トリガ信号を発生させ、前
記トリガ信号をデジタル信号に変換して時間差測定手段
に入力し、2つのトリガ信号間の平均走査時間及び変動
量から、ポリゴンスキャナの回転精度を測定する回転ム
ラ測定装置において、 回転しているポリゴンミラ1にレーザ光源2から出射さ
れたレーザビームL1を入射し、その反射されたレーザビ
ームL2がハーフミラ5を通過し、その通過したレーザビ
ームLaがトリガ発生器4へ入射してトリガ信号を発生さ
せ、同時にハーフミラ5で反射したレーザビームLbがも
う一つのトリガ発生器3へ入射してトリガ信号を発生さ
せるように、ハーフミラ5、トリガ発生器4,3を近接さ
せて配置し、前記トリガ発生器4,3のトリガ信号を各々
デジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2つ
のトリガ信号間の時間差及び変動量を測定するようにし
たものである。
(作用) 本発明によれば、通過したレーザビームLaと反射したレ
ーザビームLbが同時にトリガ発生器4,3へ入射するよう
に光学系を配置し、トリガ発生器4,3からのトリガ信号
をデジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2
つのトリガ信号間の時間差及び変動量を測定することに
より、回転ムラ測定装置の測定データに含まれる、ポリ
ゴンミラ1の回転変動以外の成分を定量的に評価するこ
とができる。
ーザビームLbが同時にトリガ発生器4,3へ入射するよう
に光学系を配置し、トリガ発生器4,3からのトリガ信号
をデジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2
つのトリガ信号間の時間差及び変動量を測定することに
より、回転ムラ測定装置の測定データに含まれる、ポリ
ゴンミラ1の回転変動以外の成分を定量的に評価するこ
とができる。
(実施例) 第1図は、本発明の一実施例を説明する図であって、レ
ーザ光源2から出射されたレーザビームL1をポリゴンミ
ラ1へ入射し、その反射したレーザビームL2は、ポリゴ
ンミラ1の矢印方向への回転に伴って走査され、所定の
位置においてハーフミラ5へ入射し、通過したレーザビ
ームLaと反射したレーザビームLbに分けられる。この場
合、レーザビームLa,Lbの各々がトリガ発生器4,3へ同時
に入射するようにハーフミラ5と、トリガ発生器4,3を
近接して配置する。このようにして得られたトリガ発生
器4,3よりのトリガ信号(図示せず)の時間差及び変動
量を、第2図で示した時間差測定手段(例えば、カウン
タ)15で測定する。
ーザ光源2から出射されたレーザビームL1をポリゴンミ
ラ1へ入射し、その反射したレーザビームL2は、ポリゴ
ンミラ1の矢印方向への回転に伴って走査され、所定の
位置においてハーフミラ5へ入射し、通過したレーザビ
ームLaと反射したレーザビームLbに分けられる。この場
合、レーザビームLa,Lbの各々がトリガ発生器4,3へ同時
に入射するようにハーフミラ5と、トリガ発生器4,3を
近接して配置する。このようにして得られたトリガ発生
器4,3よりのトリガ信号(図示せず)の時間差及び変動
量を、第2図で示した時間差測定手段(例えば、カウン
タ)15で測定する。
この時、通過したレーザビームLaと反射したレーザビー
ムLbが同時にトリガ発生器4,3へ入射するように光学系
を配置しているので、実際にレーザビームを走査して測
定された、2つのトリガ信号間の時間差及び変動量は、
すなわち、回転ムラ測定装置の誤差(例えば、トリガを
発生するための光電変換器や回路のノイズ等によるも
の)である。
ムLbが同時にトリガ発生器4,3へ入射するように光学系
を配置しているので、実際にレーザビームを走査して測
定された、2つのトリガ信号間の時間差及び変動量は、
すなわち、回転ムラ測定装置の誤差(例えば、トリガを
発生するための光電変換器や回路のノイズ等によるも
の)である。
なぜならば、ハーフミラ5、トリガ発生器4、およびト
リガ発生器3は近接して配置されているため、それらを
固定した光学系の歪などの影響は無視でき、同一のレー
ザビームが同時にトリガ発生器に照射され、このレーザ
ビームによりトリガ信号を得るように構成されているた
め、ポリゴンミラ1の回転変動は測定量に入ってこない
ためである。
リガ発生器3は近接して配置されているため、それらを
固定した光学系の歪などの影響は無視でき、同一のレー
ザビームが同時にトリガ発生器に照射され、このレーザ
ビームによりトリガ信号を得るように構成されているた
め、ポリゴンミラ1の回転変動は測定量に入ってこない
ためである。
(発明の効果) 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ポリゴ
ンミラの回転変動以外の測定系の誤差を定量的に評価す
ることができる、すなわち、ポリゴンミラの回転ムラ測
定装置に含まれる、トリガ発生器周辺の誤差を定量的に
評価することにより、回転ムラ測定装置の精度を測定す
ることが可能となる。このため、ポリゴンミラの回転ム
ラを、より正確に求めることができる。
ンミラの回転変動以外の測定系の誤差を定量的に評価す
ることができる、すなわち、ポリゴンミラの回転ムラ測
定装置に含まれる、トリガ発生器周辺の誤差を定量的に
評価することにより、回転ムラ測定装置の精度を測定す
ることが可能となる。このため、ポリゴンミラの回転ム
ラを、より正確に求めることができる。
第1図は、本発明の一実施例を示す構成図、第2図は、
スキャナモータの回転精度測定装置の構成図、第3図
は、トリガ発生器の原理を説明する図、第4図は、デジ
タル化したトリガ信号を示す図である。 1……ポリゴンミラ 2……レーザ光源 3,4,13,14……トリガ発生器 5……ハーフミラ 15……時間差測定手段
スキャナモータの回転精度測定装置の構成図、第3図
は、トリガ発生器の原理を説明する図、第4図は、デジ
タル化したトリガ信号を示す図である。 1……ポリゴンミラ 2……レーザ光源 3,4,13,14……トリガ発生器 5……ハーフミラ 15……時間差測定手段
Claims (1)
- 【請求項1】回転しているポリゴンミラにレーザ光源に
よりレーザビームを照射し、走査された反射ビームをポ
リゴンミラに対して所定の見込角を持って配置された2
つのトリガ発生器で受けることにより各々トリガ信号を
発生させ、前記トリガ信号をデジタル信号に変換して時
間差測定手段に入力し、2つのトリガ信号間の平均走査
時間及び変動量から、ポリゴンスキャナの回転精度を測
定する回転ムラ測定装置において、 回転しているポリゴンミラ(1)にレーザ光源(2)か
ら出射されたレーザビーム(L1)を入射し、その反射さ
れたレーザビーム(L2)がハーフミラ(5)を通過し、
その通過したレーザビーム(La)がトリガ発生器(4)
へ入射してトリガ信号を発生させ、同時にハーフミラ
(5)で反射したレーザビーム(Lb)がもう一つのトリ
ガ発生器(3)へ入射してトリガ信号を発生させるよう
に、ハーフミラ(5)、トリガ発生器(4),(3)を
近接させて配置し、前記トリガ発生器(4),(3)の
トリガ信号を各々デジタル信号に変換して時間差測定手
段に入力し、2つのトリガ信号間の時間差及び変動量を
測定することを特徴とする回転ムラ測定装置の精度測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32047189A JPH077004B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 回転ムラ測定装置の精度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32047189A JPH077004B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 回転ムラ測定装置の精度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03181863A JPH03181863A (ja) | 1991-08-07 |
| JPH077004B2 true JPH077004B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=18121822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32047189A Expired - Lifetime JPH077004B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 回転ムラ測定装置の精度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077004B2 (ja) |
-
1989
- 1989-12-12 JP JP32047189A patent/JPH077004B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03181863A (ja) | 1991-08-07 |
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