JPH03183119A - 基板チャック装置 - Google Patents
基板チャック装置Info
- Publication number
- JPH03183119A JPH03183119A JP1192374A JP19237489A JPH03183119A JP H03183119 A JPH03183119 A JP H03183119A JP 1192374 A JP1192374 A JP 1192374A JP 19237489 A JP19237489 A JP 19237489A JP H03183119 A JPH03183119 A JP H03183119A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- jig
- magnet
- upper jig
- lower jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体集積回路等の製造時に使用される基板へ
の粘性液塗布時に基板を固定するために使用される基板
チャック装置に係わる。スピン回転塗布方法の場合、従
来は１１１図に示すようにスピンナーヘッド３の中心部
に真空吸引用の貫通孔４があり、基板１をゴムＮｏリン
グ２でシールすることにより、真空吸引し固定していた
。このような固定法では以下のような欠点があった。即
ち基板の中心をスピン回転の中心に位置させることが困
難であり、とくに大型基板の場合、回転中心に位置させ
ることができない場合、回転が偏心となりモーターに１
ｊ荷をかけた。
の粘性液塗布時に基板を固定するために使用される基板
チャック装置に係わる。スピン回転塗布方法の場合、従
来は１１１図に示すようにスピンナーヘッド３の中心部
に真空吸引用の貫通孔４があり、基板１をゴムＮｏリン
グ２でシールすることにより、真空吸引し固定していた
。このような固定法では以下のような欠点があった。即
ち基板の中心をスピン回転の中心に位置させることが困
難であり、とくに大型基板の場合、回転中心に位置させ
ることができない場合、回転が偏心となりモーターに１
ｊ荷をかけた。
本発明は上記の欠点を除去することを目的とし１１上に
粘性液を塗布するスピンナーに使用する基板チャック装
置において、本基板チャック装置は上治具と下治具の二
つの部分で構成され、少、なくともそのいずれかに磁石
を備え、他方に磁石又は磁性体を備えることにより、基
板とほぼ同じ高さでかつＩ＆板外周の一部をつりみこむ
肩部を備える下治具と基板を水平方向の締め付ける方向
に磁力が作用する構造及び垂直方向の密着する方向に磁
力が作用する構造を有する上治具とからなる磁力により
基板を保持固定することを特徴とするものである。以下
に図を用いて本発明を説明する。
粘性液を塗布するスピンナーに使用する基板チャック装
置において、本基板チャック装置は上治具と下治具の二
つの部分で構成され、少、なくともそのいずれかに磁石
を備え、他方に磁石又は磁性体を備えることにより、基
板とほぼ同じ高さでかつＩ＆板外周の一部をつりみこむ
肩部を備える下治具と基板を水平方向の締め付ける方向
に磁力が作用する構造及び垂直方向の密着する方向に磁
力が作用する構造を有する上治具とからなる磁力により
基板を保持固定することを特徴とするものである。以下
に図を用いて本発明を説明する。
第２図は本発明の実施例であり、１３は上治具１２は角
型基板、１０は下治具、１１は肩部、１４は貫通孔、１
７は清、１５は基板配！！！）Ｉ＋、１６は上治具配置
部、１９は磁石、１８は鉄板、２０はスピンナーヘッド
である０本実施例においては下治具１０のＷｉｌｌに角
型基板１２を押しあてるように置き、次に上治具Ｉ３を
基板１２が肩部１】へ押しあてるように置く、この装着
された断面を第２図（６）に示す、下治具の中心部には
貫通孔１４ａがあり、この貫通孔１４ａから基板配置部
１５および上治具配置部１６へ満１７を形成しており、
貫通孔１４を弱く真空とすることで、角型基板１２、上
治具１３の飛散を防止する程度に真空吸引することがで
きる。
型基板、１０は下治具、１１は肩部、１４は貫通孔、１
７は清、１５は基板配！！！）Ｉ＋、１６は上治具配置
部、１９は磁石、１８は鉄板、２０はスピンナーヘッド
である０本実施例においては下治具１０のＷｉｌｌに角
型基板１２を押しあてるように置き、次に上治具Ｉ３を
基板１２が肩部１】へ押しあてるように置く、この装着
された断面を第２図（６）に示す、下治具の中心部には
貫通孔１４ａがあり、この貫通孔１４ａから基板配置部
１５および上治具配置部１６へ満１７を形成しており、
貫通孔１４を弱く真空とすることで、角型基板１２、上
治具１３の飛散を防止する程度に真空吸引することがで
きる。
スピン回転が始まると、回転により上治具１３に遠心力
が作用するが、第２図（ｅ）から分かる通り、この上治
具１３に装着されている鉄板１８が下治具１０に装着さ
れている磁石１９に引かれる結果、常に上治具１３が角
型基板１２を肩部ｌｌへ水平方向に締め付ける構造とな
っていることから、角型基板１２を保持固定することが
できる。
が作用するが、第２図（ｅ）から分かる通り、この上治
具１３に装着されている鉄板１８が下治具１０に装着さ
れている磁石１９に引かれる結果、常に上治具１３が角
型基板１２を肩部ｌｌへ水平方向に締め付ける構造とな
っていることから、角型基板１２を保持固定することが
できる。
以上説明したように本発明によれば、上治具が基板を締
め付ける方向に磁力が作用する構造となっていることか
ら、取り扱いがすこぶる容易であり、通常使われる角型
基板は２インチ角または３インチ角等の定型サイズであ
るが、この定型基板の中心をスピン回転の中心に容易に
合わせることができる。なお、第２図の下治具１０とス
ピンナーヘッド２０を一体とすることももちろん可能で
ある。
め付ける方向に磁力が作用する構造となっていることか
ら、取り扱いがすこぶる容易であり、通常使われる角型
基板は２インチ角または３インチ角等の定型サイズであ
るが、この定型基板の中心をスピン回転の中心に容易に
合わせることができる。なお、第２図の下治具１０とス
ピンナーヘッド２０を一体とすることももちろん可能で
ある。
なお、特許請求範囲の第２項は、磁石１９と鉄板１８の
位置をほぼ完全に一致させたことにより。
位置をほぼ完全に一致させたことにより。
上治具１３と下治具１０とを真空の満１７がなくとも密
着するようにしたものであり、同じく特許請求の範囲第
３項は磁石Ｉつと鉄板１８の位置をやや重なるように配
置することにより、水平方向の締め付は力と垂直方向の
密着力を得られるようにしたものである。
着するようにしたものであり、同じく特許請求の範囲第
３項は磁石Ｉつと鉄板１８の位置をやや重なるように配
置することにより、水平方向の締め付は力と垂直方向の
密着力を得られるようにしたものである。
４、図の簡単な説明
第１図は、従来のスピンナーに使用されるスピンナーヘ
ッドによる固定法の例である。
ッドによる固定法の例である。
第２図は、本発明の基板チャック装置の実施例を示す。
第１図 １−ｍ−基板、２−−−０リング、３−−−ス
ピンナーヘッド・４−ｍ−貫通孔 ｌＯ−ｍ−下治具、１１−−−．１１！！ｌ、１２一基
板１３−−一上治具、１４−ｍ−貫通孔、１５−一一基
板配ＩＥＢ、 １６一−−上治具配置部、１７−−〜溝
、１８−置板、１９−ｍ−磁石 ｔ５２図 図面の浄書 図面の浄書 平成３年２月Ｓ日
ピンナーヘッド・４−ｍ−貫通孔 ｌＯ−ｍ−下治具、１１−−−．１１！！ｌ、１２一基
板１３−−一上治具、１４−ｍ−貫通孔、１５−一一基
板配ＩＥＢ、 １６一−−上治具配置部、１７−−〜溝
、１８−置板、１９−ｍ−磁石 ｔ５２図 図面の浄書 図面の浄書 平成３年２月Ｓ日
Claims (3)
- （１）基板上に粘性液を塗布するスピンナーにおいて、
本基板チャック装置は上治具と下治具の二つの部分で構
成され、少なくともそのいずれかに磁石を備え、他方に
磁石又は磁性体を備えることにより、基板とほぼ同じ高
さでかつ基板外周の一部をつつみこむ肩部を備える下治
具と基板を水平方向の締め付ける方向に磁力が作用する
構造を有する上治具とからなる磁力により基板を保持固
定することを特徴とする基板チャック装置。 - （２）少なくとも上治具と下治具のいずれか一方に磁石
を備え、他方に磁石又は磁性体を備えることにより、回
転中も上治具と下治具とが磁力により垂直方向に密着す
ることを特徴とする基板チャック装置。 - （３）少なくとも上治具と下治具の一方に磁石を備え、
他方に磁石又は磁性体を備えることにより回転中も上治
具と下治具とが磁力により基板を水平方向の締め付ける
方向と更に上治具と下治具とを垂直方向に密着すること
を特徴とする基板チャック装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192374A JPH03183119A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 基板チャック装置 |
| US07/557,578 US5042421A (en) | 1989-07-25 | 1990-07-24 | Rotatable vacuum chuck with magnetic means |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1192374A JPH03183119A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 基板チャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03183119A true JPH03183119A (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=16290228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1192374A Pending JPH03183119A (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 基板チャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03183119A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06177107A (ja) * | 1992-12-08 | 1994-06-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 角型基板用回転式洗浄処理装置 |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1192374A patent/JPH03183119A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06177107A (ja) * | 1992-12-08 | 1994-06-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 角型基板用回転式洗浄処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6271215A (ja) | ウエハ接合装置 | |
| JPH0795554B2 (ja) | はんだ球整列装置 | |
| WO2002029856A3 (en) | A testing device for semiconductor components and a method of using the same | |
| JPS56164549A (en) | Mounting method by positioning | |
| JPH03183119A (ja) | 基板チャック装置 | |
| JPH031172Y2 (ja) | ||
| JPH01228574A (ja) | 基板チャック装置 | |
| JPS61222146A (ja) | 半導体ウエハ支持装置 | |
| JPH0639869Y2 (ja) | 真空チャック | |
| JPS6130282Y2 (ja) | ||
| JPH0213288Y2 (ja) | ||
| JPH0715289Y2 (ja) | 配線固定具 | |
| KR19990000356A (ko) | 진공 흡착용 스핀척 | |
| JPS5817732Y2 (ja) | ナツト締めにおけるビス固定治具 | |
| JPS62228344A (ja) | 円板形フエライトコアのフロ−ト位置決め機構 | |
| JPH03123038A (ja) | 半導体素子の吸着治具 | |
| JPH0228282Y2 (ja) | ||
| JP3411230B2 (ja) | 半導体製造治具及びそれを用いた半導体素子の実装方法 | |
| JPH05326Y2 (ja) | ||
| JPS61292927A (ja) | チツプ実装方法 | |
| KR940001291A (ko) | 반도체 웨이퍼의 배면 연마용 왁스 접착장치 | |
| JPH05182901A (ja) | 半導体製造装置のスピンヘッド | |
| JPH0325917A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH01107125A (ja) | バランサー用製品保持装置 | |
| JPS5952855A (ja) | 半導体装置用パツケ−ジ |