JPH0318407Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば半導体のような塵埃を極端
にきらう荷（物品）の搬送や保管に採用されるク
リーンルーム内の荷取扱い設備に関するものであ
る。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実願昭
59−177707号で見られるように、箱状の本体で囲
まれた荷保管装置をクリーンルーム内に設置し、
そしてレール装置と、このレール装置に案内され
る自走台車とにより構成した荷搬送装置の搬送経
路終端を前記本体内にのぞませて構成している。
前記荷保管装置は棚と搬入出装置とからなり、こ
こで搬入出装置の作業スピードは遅いものであ
る。したがつて搬送経路は通常、主搬送経路から
分岐して形成され、その作業は、主搬送経路上で
走行してきた自走台車を分流し搬送経路に移して
その終端に停止させ、そして搬入出装置によつて
棚と自走台車との間で荷の受け渡しを行なうこと
によつて、作業スピードに支障のないように行な
つている。

考案が解決しようとする問題点 上記のような従来形式によると、荷保管装置の
作業は、自走台車に対して搬入出装置による受け
渡しを終えたのち、この自走台車が主搬送経路に
退出し、かつ次の自走台車が主搬送経路から分流
して搬送経路終端に到達するまでは行なえず、し
たがつて搬入出装置の作業スピードを充分にカバ
ーできるサイクルタイムではあるけれども、全体
の作業能率は悪いものであつた。また両経路間
に、分流、合流のための乗り移し装置が必要であ
り、この乗り移し装置はクリーンルーム内に設け
ることから、それ相応のクリーン対策、すなわち
設備が必要であつた。さらに荷保管装置は種々な
動作を行なうために塵埃が発生し易く、クリーン
度の高いクリーンルーム内に設置したときには、
それ相応のクリーン対策、設備が必要となる。

本考案の目的とするところは、分岐搬送経路を
形成することなく、主搬送経路上の自走台車と荷
保管装置との間で荷の受け渡しを行なえ、しかも
荷保管装置を、仕切壁により区画されたクリーン
度の異なる２つのクリーンルームのうちクリーン
度の低いクリーンルーム内に設置して、荷保管装
置で発生した塵埃がクリーン度の高いクリーンル
ーム内に流出しないようにしたクリーンルーム内
の荷取扱い設備を提供する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案のクリーンルー
ム内の荷取扱い設備は、クリーン度の異なる２つ
のクリーンルームを区画する仕切壁を設け、クリ
ーン度の低いクリーンルーム内に、高いクリーン
度に保つためのクリーンユニツトを有する密閉式
の荷保管装置を設け、前記仕切壁の上部に形成し
た開口を貫通して、クリーン度の高いクリーンル
ームと荷保管装置とに亘る上部移送装を設けるこ
とともに、いずれか一方のクリーンルームにのぞ
む下部移送装置を設け、クリーン度の高いクリー
ンルームに、上部移送装置の端部に対向し、かつ
自走台車を有する荷搬送装置と、自走台車と上部
移送装置との間で荷の移載を行なう移載装置とを
設け、前記荷保管装置は、複数の収納空間を有す
る棚と、この棚と両移送装置との間で荷の受け渡
しを行なう搬入出装置とを有せしめている。

作 用 かかる本考案構成によると、自走台車を上部移
送装置の端部に対向して停止させたのち、移載装
置を作動させることにより、これら自走台車と上
部移送装置との間で荷の積み卸しを行なえる。そ
して搬入出装置を作動させることにより、上部移
送装置と荷保管装置との間、下部移送装置と荷保
管装置との間、両移送装置の間で、それぞれ荷の
移動を行なえる。また下部移送装置に対しては、
いずれかのクリーンルーム側からの人手作業や荷
取扱い台車により荷の積み卸しを行なえる。この
ような荷取扱い作業中に、クリーン度の高いクリ
ーンルーム側のクリーンエアが、仕切壁に形成し
た移送装置配設用の開口を通つて荷保管装置側に
流れることから、この荷保管装置で発生した塵埃
は、クリーン度の高いクリーンルーム内に流入す
ることはなく、荷保管装置のクリーンユニツトで
処理されることになる。また上部移送装置の移送
範囲を調整することにより、荷搬送装置や移載装
置の配設位置を自由に取れ、かつ任意に調整し得
る。

実施例 以下に本考案の一実施例を第１図〜第４図に基
づいて説明する。

１はクリーン度の高い（たとえばクラス10）高
クリーンルーム、２はクリーン度の低い（たとえ
ばクラス100）低クリーンルームで、これらクリ
ーンルーム１，２は縦方向の仕切壁３によつて区
画されている。そして両クリーンルーム１（２）
は、天井側からフイルター４，５を通してクリー
ンエア６，７を下吹きし、下降するクリーンエア
６，７をメツシユ形式の床８，９を通して床下に
吸引するように構成してある。１０は低クリーン
ルーム２内の仕切壁３に接近した位置に配設した
荷保管装置で、矩形箱状で密閉式の本体１１内に
は、上下方向に複数の収納空間を区画形成した棚
１２と、この棚１２の一面側に対向するクリーン
ユニツト６０と、他面側に対向する搬入出装置３
４とが配設される。前記クリーンユニツト６０
は、棚１２の他面を覆うように配設され、かつ本
体１１との間に流路６１を形成するフイルター６
２と、本体１１内の下部から吸引して流路６１内
に送風する送風機６３とからなり、この本体１１
内を高いクリーン度に保つように稼動する。前記
仕切壁３の上部と下部、ならびに本体１１の対向
箇所は開口１３，１４してあり、これら開口１
３，１４を貫通して、高クリーンルーム１と荷保
管装置１０とに亘る上部移送装置１５と下部移送
装置１６とを設けている。これら移送装置１５，
１６は同一形状であつて、矩形の長尺箱状のケー
ス１７，１８と、ケース１７，１８内に敷設した
レール１９，２０と、このレール１９，２０に摺
動体２１，２２を介して案内される可動台２３，
２４と、この可動台２３，２４に連動し、かつ移
送範囲を調整自在な往復動装置２５，２６と、前
記可動台２３，２４から立設され、かつケース１
７，１８に形成したスリツト２７，２８を通る連
結杆２９，３０と、この連結杆２９，３０の突出
端に取付けた荷支持台３１，３２とから構成され
る。前記搬入出装置３４は、棚１２と両移送装置
１５，１６との間で荷３３の受け渡しを行なうよ
うに構成してある。すなわち搬入出装置３４は、
レール３５に案内される昇降台３６と、この昇降
台３６上に前後移動自在に設けた可動台３７と、
この可動台３７から前方に突出し、かつ左右方向
で互に接近離間自在な左右一対の支持腕３８とか
ら形成される。前記荷３３はケース形状であつ
て、上部の外面には全周に亘つて被係止突条３３
ａが設けてあり、前記支持腕３８は被係止突条３
３ａに対して下方から係合自在となる。前記高ク
リーンルーム１内に、上部移送装置１５の両端に
対向したステーシヨン３９を有し、かつ一定の搬
送経路４０を形成した荷搬送装置４１が配設され
る。この荷搬送装置４１は、上面開放でＣの字形
のレール装置４２と、このレール装置４２に車輪
４３などを介して支持案内される自走台車４４
と、これらレール装置４２と自走台車４４とを囲
み、かつ上部にスリツト４５を有するダクト４６
と、このダクト４６の下部に形成される吸引路４
７などから構成し、自走台車４４の上面から立設
した連結杆４８を、前記スリツト４５を通して高
クリーンルーム１内に突出させるとともに、その
突出端に荷受け台４９を設けている。前記高クリ
ーンルーム１内には、自走台車４４と上部移送装
置１５との間で荷３３の移載を行なう移載装置５
０が設けられる。移載装置５０は、フイルター４
を貫通し、かつ天井側に取付けた回転動装置５１
と、この回転動装置５１の下向き回転軸５２に固
着されて縦軸心５３の周りに回転自在で、かつ回
転軸５２を介して昇降自在な支持体５４と、この
支持体５４の180度変位した二面からそれぞれ前
方に突出し、かつ左右方向で互に接近離間自在な
左右一対の支持腕５５，５６とから構成される。

次に上記実施例の作用を説明する。

先ず荷搬送装置４１で搬送されてきた荷３３の
卸し作業を説明する。荷受け台４９上に荷３３を
載置してなる自走台車４４は、レール装置４２に
案内されて一定の搬送経路４０上を走行し、ステ
ーシヨン３９にて停止される。このとき移載装置
５０においては、支持体５４は上昇し、かつ少な
くとも荷搬送装置４１の上方に位置した一組の支
持腕５５または５６は互いに離間動して空の状態
にある。この状態で支持体５４を介して支持腕５
５，５６を下降させ、荷３３における被係止突条
３３ａの外方下方に位置させる。そして支持腕５
５，５６の互いの接近動と支持体５４などを介し
ての上昇動とを行なうことにより、被係止突条３
３ａに支持腕５５，５６を下方から係合させて、
荷受け台４９から荷３３の持上げを行なう。次い
で支持体５４を、縦軸心５３の周りに180度回転
させたのち下降させることによつて、荷搬送装置
４１側の端部に位置している荷支持台３１上に荷
３３を載置させる。そして支持腕５５，５６を離
間動させるとともに上昇動させ、さらに荷支持台
３１を可動台２３などを介して荷保管装置１２内
に移動させることにより、荷３３の卸し作業を終
了する。

なお前述とは逆作動することによつて、上部移
送装置１５側の荷３３を自走台車４４側に積込み
得る。また二組の支持腕５５，５６を使い分ける
ことによつて、卸し作業や積込み作業を短時間で
二回連続して行なつたり、あるいは卸し作業で空
になつた自走台車４４に直ぐに積込み作業を行な
うこともできる。

上部移送装置１５の荷支持台３１上の荷３３
は、搬入出装置３４によつて棚１２内または下部
移送装置１６の荷支持台３２に渡される。すなわ
ち昇降台３６の昇降動と、可動体３７の前後動
と、支持腕３８の接近離間動との組合せ動作によ
つて可能となる。また組合せ動作を逆に行なうこ
とによつて、下部移送装置１６の荷支持台３２上
や棚１２内にある荷３３を上部移送装置１５の荷
支持台３１上に渡すことができる。さらに搬入出
装置３４を使用して、下部移送装置１６の荷支持
台３２と棚１２内との間で荷３３の受け渡しを行
なえる。なお下部移送装置１６の荷支持台３２に
対する高クリーンルーム１内からの荷３３の受け
渡しは、自走式でかつフオーク形式の運搬車輛や
人手作業などによつて行なえる。

上述のような荷取扱い作業中に、荷保管装置１
０内はクリーンユニツト６０の稼動によつて高ク
リーン度が維持されている。すなわち送風機６３
からの送気は流路６１内を上昇し、そしてフイル
ター６２を通つてクリーンエアとなり棚１２や搬
入出装置３４に向けて供給される。このクリーン
エアは本体１内を下降する間に、本体１１内で発
生した塵埃を流れに乗せ、そして本体１１内の下
部から送風機６３にて吸引除去される。さらに高
クリーンルーム１側のクリーンエア６が両開口１
３，１４を通つて本体１１内に流入し、そして本
体１１内を下降するクリーンエアに合流する。し
たがつて棚１２や搬入出装置３４で発生した塵埃
は、開口１３，１４を通つてクリーンルーム１内
に流出することはない。

第５図は別の実施例を示す。すなわち、前実施
例が両移送装置１５，１６の移送方向を同方向と
したのに対して、この別の実施例では移送方向を
90度変位させており、そして下部移送装置１６を
低クリーンルーム２にのぞませている。したがつ
て仕切壁３には上部の開口１３のみ形成される。

考案の効果 上記構成の本考案によると、自走台車を上部移
送装置の端部に対向して停止させたのち、移載装
置を作動させることにより、これら自走台車と上
部移送装置との間で荷の積み卸しを行なうことが
でき、そして搬入出装置を作動させることによ
り、上部移送装置と荷保管装置との間、下部移送
装置と荷保管装置との間、両移送装置の間で、そ
れぞれ荷の移動を行なうことができる。これによ
り、荷保管装置に対する荷の出し入れは、搬入出
装置の所期の作業スピードによつて、移載装置側
との間で何んら支障なく行なうことができ、さら
に分岐搬送経路を設けることなく、一方通行形式
の搬送経路上の自走台車と荷保管装置との間で荷
の受け渡しを能率的に行なうことができるととも
に、分流、合流のための乗り移し装置を不要にで
きる。また下部移送装置に対しては、いずれかの
クリーンルーム側からの人手作業や荷取扱い台車
により荷の積み卸しを行なうことができる。特
に、上述のような荷取扱い作業中に、クリーン度
の高いクリーンルーム側のクリーンエアが、仕切
壁に形成した移送装置配設用の開口を通つて荷保
管装置側に流れたのち、この荷保管装置のクリー
ンユニツトで処理されることから、荷保管装置や
搬入出装置で発生した塵埃もクリーンエアに乗せ
て除去できて、クリーン度の高いクリーンルーム
内に流入することを阻止できる。また上部移送装
置の移送範囲を調整することにより、荷搬送装置
や移載装置の配設位置を自由に取ることができる
ともに、任意に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本考案の一実施例を示し、第
１図は一部切欠き斜視図、第２図は縦断側面図、
第３図は縦断正面図、第４図は横断平面図、第５
図は別の実施例を示す一部切欠き斜視図である。 １……高クリーンルーム、２……低クリーンル
ーム、３……仕切壁、６，７……クリーンエア、
１０……荷保管装置、１１……本体、１２……
棚、１３，１４……開口、１５……上部移送装
置、１６……下部移送装置、３１，３２……荷支
持台、３３……荷、３３ａ……被係止突条、３４
……搬入出装置、３８……支持腕、３９……ステ
ーシヨン、４０……搬送経路、４１……荷搬送装
置、４４…自走台車、４９……荷受け台、５０…
…移載装置、５１……回転動装置、５５，５６…
…支持腕、６０……クリーンユニツト、６２……
フイルター。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 クリーン度の異なる２つのクリーンルームを区
   画する仕切壁を設け、クリーン度の低いクリーン
   ルーム内に、高いクリーン度に保つためのクリー
   ンユニツトを有する密閉式の荷保管装置を設け、
   前記仕切壁の上部に形成した開口を貫通して、ク
   リーンルーム度の高いクリーンルームと荷保管装
   置とに亘る上部移送装置を設けるとともに、いず
   れか一方のクリーンルームにのぞむ下部移送装置
   を設け、クリーン度の高いクリーンルームに、上
   部移送装置の端部に対向し、かつ自走台車を有す
   る荷搬送装置と、自走台車と上部移送装置との間
   で荷の移載を行なう移載装置とを設け、前記荷保
   管装置は、複数の収納空間を有する棚と、この棚
   と両移送装置との間で荷の受け渡しを行なう搬入
   出装置とを有することを特徴とするクリーンルー
   ム内の荷取扱い設備。 扱い設備。