JPH0318406Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、たとえば半導体のような塵埃を極端
にきらう荷（物品）の搬送や保管に採用されるク
リーンルーム内の荷取扱い設備に関するものであ
る。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実願昭
59−177707号で見られるように、箱状の本体で囲
まれた荷保管装置をクリーンルーム内に設置し、
そしてレール装置と、このレール装置に案内され
る自走台車とにより構成した荷搬送装置の搬送経
路終端を前記本体内にのぞませて構成している。
前記荷保管装置は棚と搬入出装置とからなり、こ
こで搬入出装置の作業スピードは遅いものであ
る。したがつて搬送経路は通常、主搬送経路から
分岐して形成され、その作業は、主搬送経路上で
走行してきた自走台車を分流し搬送経路に移して
その終端に停止させ、そして搬入出装置によつて
棚と自走台車との間で荷の受け渡しを行なうこと
によつて、作業スピードに支障のないように行な
つている。

考案が解決しようとする問題点 上記のような従来形式によると、荷保管装置の
作業は、自走台車に対して搬入出装置による受け
渡しを終えたのち、この自走台車が主搬送経路に
退出し、かつ次の自走台車が主搬送経路から分流
して搬送経路終端に到達するまでは行なえず、し
たがつて搬入出装置の作業スピードを充分にカバ
ーできるサイクルタイムではあるけれども、全体
の作業能率は悪いものであつた。また両経路間
に、分流、合流のための乗り移し装置が必要であ
り、この乗り移し装置はクリーンルーム内に設け
ることから、それ相応のクリーン対策、すなわち
設備が必要であつた。さらに荷保管装置は種々な
動作を行なうために塵埃が発生し易く、クリーン
度の高いクリーンルーム内に設置したときには、
それ相応のクリーン対策、設備が必要となる。ま
たクリーン度の異なる２つのクリーンルーム間に
亘つて荷の搬送を行なうとき、その連通部を介し
て塵埃が移動することになる。

本考案の目的とするところは、分岐搬送経路を
形成することなく、主搬送経路上の自走台車と荷
保管装置との間で荷の受け渡しを行なえ、しかも
荷保管装置を、仕切壁により区画されたクリーン
度の異なる２つのクリーンルームのうちクリーン
度の低いクリーンルーム内に設置して、荷保管装
置で発生した塵埃がクリーン度の高いクリーンル
ーム内に流出しないようにしたクリーンルーム内
の荷取扱い設備を提供する点にある。

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決すべく本考案のクリーンルー
ム内の荷取扱い設備は、クリーン度の異なる２つ
のクリーンルームを区画する仕切壁を設け、クリ
ーン度の低いクリーンルーム内に、高いクリーン
度に保つためののクリーンユニツトを有する密閉
式の荷保管装置を設け、この荷保管装置ならびに
仕切壁に形成した開口を貫通して両クリーンルー
ム間に移送装置を設け、両クリーンルームに、前
記移送装置の端部に対向し、かつ自走台車を有す
る荷搬送装置と、自走台車と移送装置との間で荷
の移載を行なう移載装置とを設け、前記荷保管装
置は、複数の収納空間を有する棚と、この棚と移
送装置との間で荷の受け渡しを行なう搬入出装置
とを有せしめている。

作 用 かかる本考案構成によると、両クリーンルーム
の荷搬送装置において、それぞれの自走台車を移
送装置の端部に対向して停止させたのち、両移載
装置ならびに移送装置を作動させることにより、
両自走台車間で荷の移しかえを行なえる。そして
搬入出装置を作動させることにより、移しかえ時
にタイミングの合わなかつた荷を移送装置から荷
保管装置に渡して一時保管を行なえ、また逆に荷
保管装置から荷を取り出し、移送装置などを介し
て自走台車に渡せる。このような荷取扱い作業中
に、両クリーンルームのクリーンエアが、移送装
置を配設するために仕切壁に形成された開口を通
つて荷保管装置内に流れ込むことから、この荷保
管装置で発生した塵埃は、クリーン度の高いクリ
ーンルーム内に流入することなく、荷保管装置の
クリーンユニツトで処理されることになる。さら
に、たとえばクリーン度の低いクリーンルームか
ら高いクリーンルームに荷を移すとき、この荷
は、荷保管装置内を移動している間に高いクリー
ン度のクリーンエアで洗浄し得る。また移送装置
の移送範囲を調整することにより、荷搬送装置や
移載装置の配設位置を自由に取れ、かつ任意に調
整し得る。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。

１はクリーン度の高い（たとえばクラス10）高
クリーンルーム、２はクリーン度の低い（たとえ
ばクラス100）低クリーンルームで、これらクリ
ーンルーム１，２は縦方向の仕切壁３によつて区
画されている。そして両クリーンルーム１，２
は、天井側からフイルター４，５を通してクリー
ンエア６，７を下吹きし、下降するクリーンエア
６，７をメツシユ形式の床８，９を通して床下に
吸引するように構成してある。１０は低クリーン
ルーム２内の仕切壁３に接近した位置に配設した
荷保管装置で、矩形箱状で密閉式の本体１１内に
は、上下方向に複数の収納空間を区画形成した棚
１２と、この棚１２の一面側に対向するクリーン
ユニツト６０と、他面側に対向する搬入出装置３
４とが配設される。前記クリーンユニツト６０
は、棚１２の他面を覆うように配設され、かつ本
体１１との間に流路６１を形成するフイルター６
２と、本体１１内の下部から吸引して流路６１内
に送風する送風機６３とからなり、この本体１１
内を高いクリーン度に保つように稼動する。前記
仕切壁３の上部と下部、ならびに本体１１の対向
箇所は開口１３，１４してある。上部の開口１３
を通して、荷保管装置１０の上部を貫通し、かつ
両クリーンルーム１，２間に亘る上部移送装置１
５が配設され、また下部の開口１４を通して、高
クリーンルーム１と荷保管装置１０の下部に亘る
下部移送装置１６を設けている。これら移送装置
１５，１６は同一形状であつて、矩形で長尺箱状
のケース１７，１８と、ケース１７，１８内に敷
設したレール１９，２０と、このレール１９，２
０に摺動体２１，２２を介して案内される可動台
２３，２４と、この可動台２３，２４に連動し、
かつ移送範囲を調整自在な往復動装置２５，２６
と、前記可動台２３，２４から立設され、かつケ
ース１７，１８に形成したスリツト２７，２８を
通る連結杆２９，３０と、この連結杆２９，３０
の突出端に取付けた荷支持台３１，３２とから構
成される。前記搬入出装置３４は、棚１２と両移
送装置１５，１６との間で荷３３の受け渡しを行
なうように構成してある。すなわち搬入出装置３
４は、レール３５に案内される昇降台３６と、こ
の昇降台３６上に前後移動自在に設けた可動体３
７と、この可動体３７から前方に突出し、かつ左
右方向で互に接近離間自在な左右一対の支持腕３
８とから形成される。前記荷３３はケース形状で
あつて、上部の外面には全周に亘つて被係止突条
３３ａが設けてあり、前記支持腕３８は被係止突
条３３ａに対して下方から係合自在となる。前記
両クリーンルーム１，２内に、上部移送装置１５
の両端に対向したステーシヨン３９Ａ，３９Ｂを
有し、かつ一定の搬送経路４０Ａ，４０Ｂを形成
した荷搬送装置４１Ａ，４１Ｂが配設される。こ
れら荷搬送装置４１Ａ，４１Ｂは、上面開放でＣ
の字形のレール装置４２Ａ，４２Ｂと、このレー
ル装置４２Ａ，４２Ｂに車輪４３Ａ，４３Ｂを介
して支持案内される自走台車４４Ａ，４４Ｂと、
これらレール装置４２Ａ，４２Ｂと自走台車４４
Ａ，４４Ｂとを囲み、かつ上部にスリツト４５
Ａ，４５Ｂを有するダクト４６Ａ，４６Ｂと、こ
のダクト４６Ａ，４６Ｂの下部に形成される吸引
路４７Ａ，４７Ｂから構成し、自走台車４４Ａ，
４４Ｂの上面から立設した連結杆４８Ａ，４８Ｂ
を、前記スリツト４５Ａ，４５Ｂを通して両クリ
ーンルーム１，２に突出させるとともに、その突
出端に荷受け台４９Ａ，４９Ｂを設けている。前
記両クリーンルーム１，２には、自走台車４４
Ａ，４４Ｂと上部移送装置１５との間で荷３３の
移載を行なう移載装置５０Ａ，５０Ｂが設けられ
る。移載装置５０Ａ，５０Ｂは、フイルター４，
５を貫通して天井側に取付けた回転動装置５１
Ａ，５１Ｂと、この回転動装置５１Ａ，５１Ｂの
下向き回転軸５２Ａ，５２Ｂに固着されて縦軸心
５３Ａ，５３Ｂの周りに回転自在で、かつ回転軸
５２Ａ，５２Ｂを介して回転自在な支持体５４
Ａ，５４Ｂと、支持体５４Ａ，５４Ｂの180度変
位した二面からそれぞれ前方に突出し、かつ左右
方向で互に接近離間自在な左右一対の支持腕５５
Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂとから構成される。

次に上記実施例の作用を説明する。

先ず荷搬送装置４１Ａで搬送されてきた荷３３
の卸し作業を説明する荷受け台４９Ａ上に荷３３
を載置してなる自走台車４４Ａは、レール装置４
２Ａに案内されて一定の搬送経路４０Ａ上を走行
し、ステーシヨン３９Ａにて停止される。このと
き移載装置５０Ａにおいては、支持体５４Ａは上
昇し、かつ少なくとも荷搬送装置４１Ａの上方に
位置した一組の支持腕５５Ａまたは５６Ａは互い
に離間動して空の状態にある。この状態で支持体
５４Ａを介して支持腕５５Ａ，５６Ａを下降さ
せ、荷３３における被係止突条３３ａの外方下方
に位置させる。そして支持腕５５Ａ，５６Ａの互
いの接近動と支持体５４Ａなどを介しての上昇動
とを行なうことにより、被係止突条３３ａに支持
腕５５Ａ，５６Ａを下方から係合させて、荷受け
台４９Ａから荷３３の持上げを行なう。次いで支
持体５４Ａを、縦軸心５３Ａの周りに180度転さ
せたのちに下降させることによつて、荷搬送装置
４１Ａ側の端部に位置している荷支持台３１上に
荷３３を載置させる。そして支持腕５５Ａ，５６
Ａを離間動させるとともに上昇動させ、さらに荷
支持台３１を可動台２３などを介して荷保管装置
１２内に移動させることにより、荷３３の卸し作
業を終了する。

このようにして卸した荷３３を低クリーンルー
ム２の荷搬送装置４１Ｂに積込む（渡す）場合、
空の自走台車４４Ｂをステーシヨン３９Ｂに停止
させておく。そして上部移送装置１５の作動によ
り、高クリーンルーム１で受け取つた荷３３を、
荷保管装置１０を通したのち低クリーンルーム２
内に移動させる。次いで移載装置５０Ｂを、前述
した高クリーンルーム１側の移載装置５０Ａとは
逆作動させる。これにより、上部移送装置１５の
荷支持台３１上の荷３３を自走台車４４Ｂの荷受
け台４９Ｂ上に積み込め得る。

なお上述とは逆作動させることによつて、低ク
リーンルーム２の荷搬送装置４１Ｂで運んできた
荷３３を、上部移送装置１５などを介して高クリ
ーンルーム１の荷搬送装置４１Ａに渡せ得る。

また二組の支持腕５５Ａ，５６Ａ，５５Ｂ，５
６Ｂを使い分けることによつて、卸し作業や積み
込み作業を短時間で二回連続して行なつたり、あ
るいは空になつた自走台車４４Ａ，４４Ｂに直ぐ
に積込み作業を行なうこともできる。

上部移送装置１５の荷支持台３１上の荷３３
は、搬入出装置３４によつて棚１２内または下部
移送装置１６の荷支持台３２に渡される。すなわ
ち昇降台３６の昇降動と、可動体３７の前後動
と、支持腕３８の接近離間動との組合せ動作によ
つて可能となる。また組合せ動作を逆に行なうこ
とによつて、下部移送装置１６の荷支持台３２上
や棚１２内にある荷３３を上部移送装置１５の荷
支持台３１上に渡すことができる。さらに搬入出
装置３４を使用して、下部移送装置１６の荷支持
台３２と棚１２内との間で荷３３の受け渡しを行
なえる。なお下部移送装置１６の荷支持台３２に
対する高クリーンルーム１内からの荷３３の受け
渡しは、自走式でかつフオーク形式の運搬車輛や
人手作業などによつて行なえる。

上述のような荷取扱い作業中に、荷保管装置１
０内はクリーンユニツト６０の稼動によつて高ク
リーン度が維持されている。すなわち送風機６３
からの送気は流路６１内を上昇し、そしてフイル
ター６２を通つてクリーンエアとなり棚１２や搬
入出装置３４に向けて供給される。このクリーン
エアは本体１１内を下降する間に、本体１１内で
発生した塵埃を流れに乗せ、そして本体１１内の
下部から送風機６３にて吸引除去される。さらに
両クリーンルーム１，２側のクリーンエア６が両
開口１３，１４などを通つて本体１１内に流入
し、そして本体１１内を下降するクリーンエアに
合流する。したがつて棚１２や搬入出装置３４で
発生した塵埃は、開口１３，１４などを通つてク
リーンルーム１，２内に流出することはない。

考案の効果 上記構成の本考案によると、両クリーンルーム
の荷搬送装置において、それぞれの自走台車を上
部移送装置の端部に対向して停止させたのち、両
移載装置ならびに移送装置を作動させることによ
り、両自走台車間で荷の移しかえを行なうことが
できる。そして搬入出装置を作動させることによ
り、移しかえ時にタイミングの合わなかつた荷を
移送装置から棚に渡して一時保管を行なうことが
でき、また逆に棚から荷を取り出し、移送装置や
移載装置を介して自走台車に渡すことができる。
これにより両クリーンルームの荷搬送装置間での
荷の移動は、荷搬送に悪影響を及ぼすことなくス
ムーズに行なうことができる。さらに棚に対する
荷の出し入れは、搬入出装置の所期の作業スピー
ドによつて、移載装置側との間で何んら支障なく
行なうことができ、さらに分岐搬送経路を設ける
ことなく、一方通行形式の搬送経路上の自走台車
と荷保管装置との間で荷の受け渡しを能率的に行
なうことができるとともに、分流、合流のための
乗り移し装置を不要にできる。特に、上述のよう
な荷取扱い作業中に、両クリーンルーム側のクリ
ーンエアが、仕切壁や本体に形成した移送装置配
設用の開口を通つて荷保管装置内に流れ込んだの
ち、この荷保管装置のクリーンユニツトで処理す
ることができ、したがつて搬入出装置などで発生
した塵埃はクリーンエアに乗せて除去できて両ク
リーンルーム内に流出することを阻止できる。さ
らに、たとえばクリーン度の低いクリーンルーム
から高いクリーンルームに荷を移すとき、この荷
は、荷保管装置内を移動している間に高いクリー
ン度のクリーンエアで洗浄することができる。ま
た移送装置の移送範囲を調整することにより、荷
搬送装置や移載装置の配設位置を自由に取ること
ができるとともに、任意に調整することができ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は一部
切欠き斜視図、第２図は縦断側面図、第３図は縦
断正面図、第４図は横断平面図である。 １……高クリーンルーム、２…低クリーンルー
ム、３…仕切壁、６，７……クリーンエア、１０
……荷保管装置、１１……本体、１２……棚、１
３，１４……開口、１５……上部移送装置、３
１，３２……荷支持台、３３……荷、３３ａ……
被係止突条、３４……搬入出装置、３８……支持
腕、４０Ａ，４０Ｂ……搬送経路、４１Ａ，４１
Ｂ……荷搬送装置、４４Ａ，４４Ｂ……自走台
車、４９Ａ，４９Ｂ…荷受け台、５０Ａ，５０Ｂ
……移載装置、５５Ａ，５５Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ
……支持腕、６０……クリーンユニツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. クリーン度の異なる２つのクリーンルームを区
   画する仕切壁を設け、クリーン度の低いクリーン
   ルーム内に、高いクリーン度に保つためのクリー
   ンユニツトを有する密閉式の荷保管装置を設け、
   この荷保管装置ならびに仕切壁に形成した開口を
   貫通して両クリーンルーム間に移送装置を設け、
   両クリーンルームに、前記移送装置の端部に対向
   し、かつ自走台車を有する荷搬送装置と、自走台
   車と移送装置との間で荷の移載を行なう移載装置
   とを設け、前記荷保管装置は、複数の収納空間を
   有する棚と、この棚と移送装置との間で荷の受け
   渡しを行なう搬入出装置とを有することを特徴と
   するクリーンルーム内の荷取扱い設備。