JPH03184765A - 両面ラッピング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、金属、ガラス、セラミック等からなる機械部
品や光学部品及び電気部品等のワークの両面を同時にラ
ッピング加工する両面ラッピンク方法に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来より一般に、上述したようなワークの両面ラッピン
グ加工は４ウエイラツピングマシンにより行われている
。このラッピングマシンは、上下の定盤と、これらの定
盤間に配設されたキャリヤと、該キャリヤを遊星運動さ
せる太陽歯車及び内歯歯車とからなるもので、上下の定
盤を互いに逆方向に回転させながら、これらの定盤間を
遊星連動する上記キャリヤに保持させたワークの両面を
ラッピング加工するようになっており、上記太陽歯車、
内歯歯車１、上下の定盤の回転比を適切に設定すること
によってワークの上下面を等量研磨することかできる。

しかしながら、このような４ウ工イ方式によるラッピン
グ加工においては、ワークの上下面がそれぞれ定盤の回
転方向に引っ張られるため、上下の定盤を互いに逆方向
に回転させると、該ワークの上面側と下面側とに互いに
逆方向の引張力か作用してワークか傾き、傾いたまま加
工されることになる。そのため、研磨面の平行度及びワ
ーク軸線に対する直角度か悪くなるという欠点があった
。この傾向はワークの厚さ（高さ）か大きいほど顕著に
現れる。

上下の定盤を固定した２ウ工イ方式によりラッピング加
工すればワークの傾斜を防ぐことがてきるか、この２ウ
工イ方式の場合は定盤を回転させる４ウ工イ方式に比べ
てワークと定盤との相対速度か小さいため、研磨レート
か小さく、研磨効率か悪いという欠点がある。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の課題は、上下の定盤を回転させる４ウ工イ方式
のラッピング加工において、加工時のワークの傾きを防
止して加工精度を高めることにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の方法は、キャリヤに
保持させたワークを上下の定盤間に挾持し、該キャリヤ
を太陽歯車と内歯歯車とで遊星運動させながら、上下の
定盤を同一方向に等速て回転させてワークの両面をラッ
ピング加工することを特徴とするものである。

［発明の具体例コ 以下、本発明の方法について図面を参照しながら更に具
体的に説明する。

第１図は本発明の方法の実施に使用される４ウ工イ方式
の両面ラッピングマシンを概略的に示すもので、この両
面ラッピングマシンは、上下の定盤１，２．これらの定
盤１．２間に配設された複数のキャリヤ３、該キャリヤ
３と噛合する太陽歯車４及び内歯歯車５を備え、両歯車
４，５てキャリヤ３を遊星歯車状に駆動しながら、該キ
ャリヤ３に保持させたワーク６を上下の定＠１．２間に
挾んでその両面をラッピング加工するように構成されて
おり、この点は公知のラッピングマシンと同しである。

上下の定盤１．２と太陽歯車４及び内歯歯車５を駆動す
るため、トライハフを介して上定盤１に係脱自在の上定
盤軸８と、下定盤２と一体の下定盤軸８と、太陽歯車４
と一体の太陽歯車軸ｌＯと、内歯歯車５と一体の内歯歯
車軸１１とが互いに同軸状に配設され、各軸の下端部に
は従動歯車１２，１３゜１４．１５がそれぞれ取り付け
られ、これらの軸８．８゜１０、ＩＩ　と平行に配設さ
れた駆動軸１６には、上記各従動歯車＋２．１３，１４
．１５に対応する複数の駆動歯車＋７．１８．１９．２
０が取り付けられ、駆動歯車１７と従動歯車１２とがア
イドル歯車２５を介して、駆動歯車１８と従動歯車１３
とがアイドル歯車２６を介してそれぞれ噛合し、駆動歯
車１９．２０と従動歯車１４　、１５が直接噛合してお
り、駆動軸１６の下端に取り付けられた伝達歯車２１が
モータ２３の回転軸に固定された伝達歯車２２と噛合し
ている。

上記上定盤軸８に取り付けられた従動歯車１２と下定盤
軸９に取り付けられた従動歯車１３の歯数。

アイドル歯車２５．２８の歯数、及び２つの駆動歯車１
７．１８の歯数は、それぞれ同数に形成され、これによ
り、上下の定盤１．２が同一方向に等速度で回転するよ
うになっている。一方、太陽歯車４と内歯歯車５に関し
ては、従動歯車１４．１５及び駆動歯車Ｉｓ、２０の歯
数に差を持たせ、これによってキャリヤ３を遊星歯車状
に駆動できるようになっている。

上記構成を有するラッピングマシンは、各キャリヤ３に
保持させたワーク６を上下の定５１ｊｌ、２の間に挾み
、該キャリヤ３を太陽歯車４と内歯歯車５とで遊星運動
させながら、上下の定盤１，２を同一方向に等速で回転
させてワーク６の両面をラッピング加工するものである
。

このとき、上下の定盤１．２が同一方向に等速で回転し
ているから、ワーク６の上下面に作用する引張力は同方
向且つ同大となり、該ワーク６の上下面に逆向きの引張
力が作用しないため、該ワーク６は傾斜して研磨される
ことがない。

Ｗｇ１図に示すラッピングマシンは、単一のモータ２３
で上下の定ｆｉｔ、２　、太陽歯車４及び内歯歯車５を
駆動する１モ一タ方式を採っているが、第２図に示すよ
うに、太陽歯車４を別モータ２７で駆動する２モ一タ方
式や、太陽歯車４と内歯歯車５をそれぞれ独立のモータ
で駆動すると共に、上下の定１１．２を共通のモータで
駆動する３モ一タ方式、太陽歯車４と内歯歯車５及び上
下の定盤１．２を何れも独立のモータで駆動する４モ一
タ方式とすることもできる。

［発明の効果］ このように本発明によれば、上下の定盤を同一方向に等
速で回転させてワークをラッピング加工するようにした
ので、ワークの上下面に作用する力は同方向且つ同大と
なり、画定盤を逆向きに回転させる場合のようにワーク
の上下面に逆向きの力が作用してワークが傾斜するよう
なことがないため、研磨面の平行度及びワーク軸線に対
する直角度を正確に出すことができ、高精度の加工を行
うことができる。しかも、画定盤を固定する２ウ工イ方
式の場合に比べ、上下の定盤が回転しているため、定盤
とワークとの相対速度を大きくすることができて研磨効
率の低下を来すことがないだけでなく、定盤の修正を速
やかに行うことができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の方法の実施に好適に用いら
れる両面ラッピングマシンの概略図である。 ｌ◆・上定盤、　　　　２・・下定盤、３・・キャリヤ
、　　　４・・太陽歯車、５・・内歯歯車、　　　Ｓ・
・ワーク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、キャリヤに保持させたワークを上下の定盤の間に挾
   持し、該キャリヤを太陽歯車と内歯歯車とで遊星運動さ
   せながら、上下の定盤を同一方向に等速で回転させてワ
   ークをラッピング加工することを特徴とする両面ラッピ
   ング方法。