JPH03185417A

JPH03185417A - 走査光学装置

Info

Publication number: JPH03185417A
Application number: JP32518889A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Takanashi; 健一高梨
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1989-12-15
Filing date: 1989-12-15
Publication date: 1991-08-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、デジタル複写機、レーザプリンタ、レーザプ
ロッタ、レーザファクシミリ、レーザ製版機等に用いら
れる走査光学装置に関し、特に、面倒れ補正機能を有し
、且つ像面湾曲を低減し得る走査光学装置に関する。

〔従来の技術〕

光源からの光を種々の偏向器によって偏向走査し、被走
査媒体を走査する走査光学装置が従来から良く知られて
おり、デジタル複写機、レーザプリンタ、レーザプロッ
タ、レーザファクシミリ、レーザ製版機等の走査光学系
として利用されている。

ところで、上記走査光学装置において、光束を偏向させ
るのに反射面を用いると、偏向の際の反射面の面倒れの
ため主走査線のピッチにむらが生じることが良く知られ
ており、この面倒れの補正を行なうことが必要となる。

また、偏向走査時の偏向角を大きくとると、結像レンズ
系による像面湾曲が生じ、高密度なスポット径を得るに
は、結像レンズ系による像面湾曲を、主走査方向、副走
査方向ともに補正しなければならない。

一方、走査光学装置としては、走査の高速化から、光偏
向器に回転多面鏡を用いる走査光学系が主流となってい
るが、この回転多面鏡を用いた場合には、前述したよう
に各偏向反射面の面倒れがあり、被走査面の走査位置が
ばらつく現象が発生する。

そこで、偏向器として回転多面鏡を用いた場合の面倒れ
を補正するため、ｆθレンズ系等の補正光学系を用いた
走査光学装置が提案されている（特開昭６３−１０６６
１８号公報、特開昭６２−１４７４２１号公報等）。

また、走査光学装置における像面湾曲を補正するものと
しては１例えば、結像レンズ系（主として球面レンズを
使用）が偏向器の前に設置されたポストオブジェクティ
ブ型の走査光学装置においては、偏向走査に伴い、光源
を光軸方向に移動することにより、主・副走査方向の像
面湾曲を補正する技術が提案されており（特開昭５７−
１４８２０号公報等）、また、結像レンズ系（主として
球面レンズを使用）が偏向器の前後に設置されたポスト
及びプレオブジェクティブ両型の走査光学装置において
は、コリメートレンズ、集光レンズを偏向走査に伴って
光軸方向へ移動することにより主・副走査方向の像面湾
曲を同様に補正する技術が提案されている（特開昭５８
−５７１０８号、特開昭５８−５７１０９号公報等）。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前述した像面湾曲を補正する機構を有する走
査光学系の結像レンズ系が球面レンズの場合、球面レン
ズには非点隔差があるため、一般的に主・副の走査方向
での像面湾曲が異なる。また、前述した面倒れ補正光学
系においては、主・副走査方向に異なるパワー（レンズ
の屈折力）を持つレンズが光路中にある為、主・副走査
方向の像面湾曲が異なる。従って、光路中の球面レンズ
、または、光源を単に移動しても主・副両走査方向の像
面湾曲の補正はしきれず、このような補正機構を前述し
た面倒れ補正光学系に適用したとしても、主・劇画走査
の像面湾曲の補正はしきれないという問題が生じる。

また、従来技術により像面湾曲を補正する際の光源やレ
ンズの移動の制御については、′正弦振動を行なう”等
の動作は述べられているが、制御装置や制御方法につい
ては具体的に述べられていない。

ところが、回転多ａｆｆｆｉを用いた走査光学系におい
ては、像面湾曲の補正を行なうには、数１００〜数１０
００Ｈｚの振動移動制御を行なう必要があり、このため
、通常の開ループの制御では、ｉｘ御に遅れが生じ像面
湾曲に制御が追従しきれないという問題が生じ、このた
め補正の効果が得られないという問題が生じる。

また、像面湾曲の機械的な補正機構が設けられていない
一般の面倒れ補正光学系においては、光学系にｆθレン
ズ等を用い、複数のレンズを組合せたレンズ構成によっ
てのみ像面湾曲を補正しており、このため、主・副両走
査方向の像面湾曲、ｆθ特性（倍率誤差１等速度走査性
）、球面収差、正弦条件等が光学系の設計条件として必
要となるが、これらは互いにトレードオツの関係になっ
ており、全ての設計条件を同時に良好にすることは困難
である。従って、前述した像面湾曲が補正できれば他の
条件を良好にする数計自由度が大きくなり、走査光学系
の設計が容易となることが予想される。このため１面倒
れ補正光学系を有する走査光学装置においては、像面湾
曲を補正する必要から、走査光学系の高密度化が進み、
さらに、使用されるｆθレンズ等の要求精度も高くなっ
ており、且つ、レンズの枚数も増加しているため、組立
や調整が困難となっており且つ部品点数の増大から走査
光学装置のコストが高くなるという問題が生じている。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、従来
の面倒れ補正光学系に新たな像面湾曲補正機構系を組込
み、ｆθレンズ、コリメートレンズ、シリンドリカルレ
ンズ等のレンズ系の設計を容易とし、且つ、高性能な走
査光学装置を提供することを目的とし、特に、近年の走
査光学装置の光学系の高密度化に対して、複雑で枚数の
多いコスト高のレンズ系を使用しなくとも像面湾曲を補
正することができる。安価で高性能な走査光学装置を提
供することを目的とする。

また、本発明では、走査光学装置において、像面湾曲を
偏向走査に伴うシリンドリカルレンズの移動や振動によ
り補正する場合に、レンズの移動や振動を正確に検知し
、この検知信号を制御系にフィードバックすることによ
って像面湾曲の補正の高精度化を実現し、ｆθレンズ系
の低コスト化。

印字品質の高品質化を図ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明では、光源と、該光源
から出射された光束を略平行化するコリメート光学系と
、その略平行化された光束を線状に結像する第１の結像
光学系と、この第１の結像光学系より出射した光束を偏
向走査する偏向反射面と、該偏向反射面により偏向され
た光束によって走査される被走査媒体と、該被走査媒体
と上記偏向反射面との間に配置され上記偏向された光束
を被走査媒体上に結像すると共に上記偏向反射面で偏向
される光束の偏向走査面と垂直な面内（副走査方向）に
おいて上記偏向反射面と被走査媒体とを幾何光学的に共
役な関係に保つ第２の結像光学系とを有する走査光学装
置において、上記偏向反射面による光束の偏向走査に伴
い上記第１の結像光学系をその光軸方向に移動若しくは
振動するように設けると共に、上記第１の結像光学系の
移動位置を検知するための検知用光源と、その光源から
の光束を受光する受光部からなる検知手段とを設け、且
つ、上記検知用光源からの光束を規制する規制反射部材
を上記第１の結像光学系に設けたことを特徴とし、上記
検知用光源からの光束を規制反射部材により規制するこ
とにより余分な光を受光部に与えないようにして、検知
エラー等を防止するものである。

また、上記走査光学装置において、検知用光源からの光
束を規制する規制反射部材の反射部の大きさを、第１の
結像光学系の移動方向若しくは振動方向に対し変化させ
て設ける。このように反射部の大きさを変化させること
により、移動若しくは振動に対する光量の変化を拡大さ
せることができ、検知精度を向上することができる。

尚、上記検知用光源の配置としては、走査光に影響を与
えないように、光源の光軸を走査光の光軸に対して傾け
て配置するとよい。

〔作　　　用〕

本発明による走査光学装置においては、光源から出射し
た光束はコリメート光学系で略平行光束となり、シリン
ドリカル光学系等からなる第１の結像光学系に入射され
る。第１の結像光学系を通った光束は線状に結像された
後、回転多面鏡の偏向反射面により反射され、偏向走査
される０回転多面鏡により偏向走査された光束はｆθレ
ンズ等からなる第２の結像光学系により、感光体等の被
走査媒体上に結像され、被走査媒体上を微小なスポット
を結びながら走査する。

ここで、被走査媒体と回転多面鏡の偏向反射面との間に
配置されたｆθレンズ等からなる第２の結像光学系は、
上記偏向された光束を被走査媒体上に結像すると共に上
記回転多面鏡で偏向される光束の偏向走査面と垂直な面
内において上記偏向反射面と被走査媒体とを幾何光学的
に共役な関係に保ち、偏向反射面の面倒れを補正するよ
うに作用し、また、上記第１の結像光学系による線状結
像位置は上記回転多面鏡の偏向走査に同期して光軸方向
に移動若しくは振動され、像面湾曲を補正するように作
用する。

また、上記第１の結像光学系の移動位置を検知するため
の検知用光源を有し、その光源からの光束を受光する受
光部で第１の結像光学系の移動による光量変化を検出し
、その検知信号を第１の結像光学系の移動若しくは振動
を制御する制御系にフィードバックすることにより偏向
走査に正確に対応した第１の結像光学系の移動若しくは
振動の制御が可能となる。

〔実　施　例〕

以下、本発明を図面を参照して詳細に説明する。

先ず、本発明が適用される走査光学装置の基本的な構成
例について説明する。

第１２図は本発明が適用される走査光学装置の概略構成
図であって、この走査光学装置は、半導体レーザ（ＬＤ
）等からなるレーザ光源１と、この光源１から出射され
た光束を略平行化するコリメートレンズ２と、このコリ
メートレンズ２によって略平行化された光束の周辺不要
部分をカットするための７パーチヤ３と、このアパーチ
ャ３を通過した光束を線状に結像する第１シリンドリカ
ルレンズ４と、この第１シリンドリカルレンズ４より出
射した光束を偏向走査する偏向反射面を有する回転多面
鏡（ポリゴンミラー）５と、該回転多面鏡５で偏向され
た光束によって走査される被走査媒体たる感光体７と、
該感光体７と回転多面鏡５の偏向反射面との間に配置さ
れ上記偏向された光束を感光体７上に結像すると共に上
記回転多面ｔｌＬ５で偏向される光束の偏向走査面と垂
直な面内において上記偏向反射面と感光体７とを幾何光
学的に共役な関係に保つｆθレンズ系６とを有し。

上記回転多面′Ｒ５の光束の走査に伴い上記第１シリン
ドリカルレンズ４を光軸方向に移動させるようにすると
共に上記回転多面鏡５の偏向反射面を上記第１シリンド
リカルレンズ４による線状結像位置近傍に配置したこと
を特徴とするものである。

尚、図中符号８は第２シリンドリカルレンズ、符号９は
回転多面鏡５により偏向走査される光束の走査端部に配
置され光束の一部を反射するミラー符号１０はそのミラ
ー９によって反射された光束を検知する同期検知器であ
る。

さて、第１２図に示す構成の走査光学装置においては、
レーザ光源１から出射された光束は、コリメートレンズ
２を通って略平行光束となり、アパーチャ３で周辺不要
部分をカットされた後、第１シリンドリカルレンズ４に
入射される。そして、第１シリンドリカルレンズ４を通
った光束は、回転多面＃１５によって偏向走査され、ｆ
θレンズや第２シリンドリカルレンズ８を含むｆθレン
ズ系を通って感光体７上に結像され、感光体７上を微小
なスポットを結びながら走査する。

また、走査時の走査端部の光束は、ミラー９により同期
検知器１０へと導かれ、この同期検知器ｌＯからの信号
に基づいてデータの書き込みの同期をとっている。

また、この同期検知器１０からの信号を基にして、第１
シリンドリカルレンズ４を光軸方向に移動することによ
り、光学系の像面湾曲が補正される。

また、感光体７と回転多面鏡５の偏向反射面との間に配
置されたｆθレンズ系６は、上記偏向された光束を感光
体７上に結像すると共に上記回転多面＃！５で偏向され
る光束の偏向走査面と垂直な面内において上記偏向反射
面と６光体７とを幾何光学的に共役な関係に保ち、偏向
反射面の面倒れを補正するように作用する。

次に、第１３図は第１２図に示す走査光学装置の光学系
の概念図を示し、第１３図（ａ）が偏向走査面（主走査
方向）上における光学系の概念図であり、第１３図（ｂ
）が偏向走査面に垂直で且つ光軸を含む面（副走査方向
）上における光学系の概念図である。

ここで、この光学系においては、前述したように１面倒
れ補正は、ｆθレンズ系６がアナモフィックな光学系で
、副走査で回転多面ｔｌｔ５の偏向反射面５ａと像面Ｚ
を幾何光学的に共役な関係に配置することにより行なっ
ている。

尚１図中符号１１は回転多面鏡５の外周を覆う防音ガラ
スを示している。

次に、第１３図に示す光学系において第１シリンドリカ
ルレンズ４を光軸方向に移動した時の結像位置の移動を
第１４図に示す。

ここで、第１４図において、第１シリンドリカルレンズ
４の移動前のレンズ位置及び光束を実線で、移動後を破
線で表し、第１シリンドリカルレンズ４の移動量をΔｃ
ｙとした時の結像位置の移動量をΔＩＳとする。

また、移動前の第１シリンドリカルレンズ４の結像位置
と、ｆθレンズ系６の主点位置の距離をＳ、ｆθレンズ
系６の結像位置をＳ’、ｆθレンズ系６の焦点距離をｆ
とすると、この時。

Ｓ’−ｆと表せ、同様に、と表せる。

したがって、となる。

ここで。

Δｌ５（Ｓ’−ｆとすると、（Ｓ’−ｆ）“ （ただし、ｍ　＝　Ｓ　’　／　Ｓ　）と表せる。

すなわち、像面湾曲がΔＩＳあった場合、第１シリンド
リカルレンズをΔｃｙ＝ΔＩＳ／ｍ”移動してその線状
結像位置を移動すると副走査像面湾曲の補正ができる。

また、この時、主走査に関しては第１３＠（ａ　）に示
すように第１シリンドリカルレンズ４はノンパワーなの
で像面湾曲の変化はない。

第１５図（ａ）、（ｂ）は、上述の走査光学装置による
像面湾曲の補正前と補正後の収差図を夫々示し、第１５
図（ａ）に示す補正前の像面湾曲は、主走査ａは像面湾
曲が小さくなるように設定されているが。

副走査すは像面湾曲が小さくなるような考慮がなされて
いないため、副走査側の像面湾曲すは円弧状又は放物線
状のようになっている。また、その湾曲量は、走査半角
で±３０＠（ポリゴンは±１５＠回転する）の位置で約
１０ａｍとなっている６、そして、この曲線は、正弦波
又は余弦波の一部で近似することができ、その補正量と
像面湾曲量をプロットすると第１６図の線図のようにな
る。

また、第１５図（ａ）の±３０°の像面湾曲量をΔＩＳ
とすると、像面湾曲の補正量は、 ΔＩＳ（θ）＝Δｌ５（−ｃｏｓ（６８）＋１）とする
と良い、ただし、上式において、θはポリゴン回転角で
、θ＝０で像高比はＯとなる。

さて、先の第１２図に示す走査光学装置においては、回
転多面＠５の反射鏡面数が６面のものを用いているため
、−面のポリゴン回転角θは±３０＠とおける。このた
め、この±３０°の間に第１シリンドリカルレンズ４が
ｎ（ｎは１以上の整数）周期移動すると１次の反射鏡面
が回ってきたときの第１シリンドリカルレンズ４の移動
を滑らかに行なうことができる。すなわち回転多面鏡５
の鏡面数がＮ面の時は、±１８０＠／Ｎでｎ周期第１シ
リンドリカルレンズ４が移動することになる。したがっ
て、この第１シリンドリカルレンズ４の移動により、第
１５図（ｂ）のように副走査像面湾曲が補正できる。ま
た、この時、主走査の体面湾曲は動かない、尚、先の第
１４図は、ｎ＝１の場合を示している。

尚、上述した第１シリンドリカルレンズの移動機構とし
ては、光デイスク用光ピツクアップ光学系等に用いられ
ている対物レンズ移動用のアクチュエータを利用するこ
とができる。

さて１以上説明したように、本発明に係る走査光学装置
においては、第１シリンドリカルレンズによる線状結像
位置を光軸方向に移動可能に設け、回転多面鏡の回転走
査に同期して第１シリンドリカルレンズを光軸方向に周
期的に移動してその線状結像位置を光軸方向に移動し、
像面湾曲の補正を行なう補正機構を有するため、像面湾
曲の低減を高精度で行なうことが可能となる。

ところで、複数の偏向反射面を有する回転多面鏡を用い
た走査光学系においては、像面湾曲を補正するために、
第１シリンドリカルレンズ等の第１の結像光学系による
線状結像位置を、回転多面鏡による偏向走査に同期して
数１００”１ＯＯＧＨｚで振動や移動する制御が必要で
ある。ところが、この制御を単に偏向走査に合わせて周
期的に移動するだけの開ループ制御で行なう場合、アク
チュエータの動作に遅れが生じ追従しきれないという問
題があり、像面湾曲補正の効果が上がらないという問題
が生じる。

そこで、本発明では、回転多面鏡の偏向反射面の偏向走
査に伴い、第１の結像光学系がその光軸方向に移動され
るように構成された走査光学系において、第１の結像光
学系の移動位置を検知するための検知用光源と、その光
源からの光束を受光する受光部を設け、且つ、その光源
の光軸を走査光の光軸に対し直交しないように傾けて設
定する。

すなわち、本発明による走査光学装置では、上記検知用
光源と受光部による検知手段を設けることにより、この
検知手段によって第１の結像光学系の移動位置を正確に
検出し、その検出位置が偏向走査に正確に追従するよう
にフィードバック制御（閉ループ制御）を行ない、像面
湾曲補正の高精度化を図ろうというものである。

以下、具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図は本発明による走査光学装置の一実施例を示す走
査光学系の概略的要部構成を示す斜視図であって１図中
符号５は複数の偏向反射面を有する回転多面鏡（ポリゴ
ンミラー）である。

また、符号２２は第１の結像光学系であるシリンドリカ
ルレンズであり、光軸Ｒに沿って前述の如く移動若しく
は振動するようになっている。符号２０は第１の結像光
学系たるシリンドリカルレンズ２２の光軸Ｒに対し、α
（＜９０＠’）傾けた方向に光軸を有するＬＥＤ等の検
知用光源であり、第１図の場合シリンドリカルレンズ２
２の上方に設けられている。符号２３は本発明の特徴で
ある検知用光源２０からの光束を規制する規制反射部材
である。符号２１は上記検知用光源２０からの光束を上
記規制反射部材２３で反射した後、受光するＰＩＮフォ
トダイオードなどからなる受光部である。尚、規制反射
部材２３はシリンドリカルレンズ２２と一体的に設けら
れており、シリンドリカルレンズ２２と同時に動くよう
になっている。

第２８！！Ｉ（ａ）は第１図に示す走査光学系の第１の
結像光学系部分を側方からみた平面図であって、同図に
示すように、検知用光源２０からの光束は規制反射部材
２３によって一部反射し、その反射光束ａが受光部２１
に到達する。尚１図中すは反射されなかった光束を示す
、また、受光部２１上での光束の様子を第２図（ｂ）に
示す、この第２図（ｂ）に示すように、受光部２１上で
の光束の面積は、反射光部ａ′と、反射光の来ない部分
１′とになる。

ここで、受光部２１での受光光量と時間、すなわちシリ
ンドリカルレンズ２２の移動との対応を第３図に示す。

第３図に示すように、光量の変動式は、光量の最大値を
工■ａｘ、光量の最小値をｌｍ１ｎとすると、シリンド
リカルレンズ２２の移動式（前述の像面湾曲の補正量の
式）より。

として表される。

したがって、光量によりシリンドリカルレンズ２２の移
動量がわかり、これをシリンドリカルレンズ２２を移動
若しくは振動する制御系（図示せず）にフィードバック
すれば、偏向走査に対応した正確な制御が可能となる。

次に、第４図は検知用光源と規制反射部材及び受光部の
配置位置の別の例を示す図であって、光源２０′及び受
光部２１１　をシリンドリカルレンズ２２の右方に配置
し、規制反射部材２３″をその光源２０′及び受光部２
１′　と対向するシリンドリカルレンズ２２の側面部に
配置した例である。この第４図の配置と、先の第１図に
示す配置とを合わせて考えると、検出用光源と規制反射
部材及び受光部の配置位置は、シリンドリカルレンズ２
２の上下、左右どの方向にも設定しうろことは明らかで
ある。

尚、第１図、第４図においては、何れも規制反射部材２
３（２３’　）をシリンドリカルレンズ２２に取り付け
た例であるが、第５図に示すように、シリンドリカルレ
ンズ２２の側面あるいは上下面に反射面２２ａあるいは
２２ｂを設けても同様の効果を持たせることも可能であ
る。

次に、第６図は本発明の別の実施例を示す走査光学系の
概略的要部構成を示す斜視図であって、第１図と同様に
１図中符号５は複数の偏向反射面を有する回転多面１１
１（ポリゴンミラー）であり、符号２２は第１の結像光
学系であるシリンドリカルレンズであり、光軸Ｒに沿っ
て前述の如く移動若しくは振動するようになっている。

また、符号２０はシリンドリカルレンズ２２の光軸Ｒに
対し、α（＜９０”　）傾けた方向に光軸を有するＬＥ
Ｄ等の検知用光源であり、第６図の場合シリンドリカル
レンズ２２の上方に設けられている。符号２３は検知用
光源２０からの光束を反射する規制反射部材であり、本
実施例においては、規制反射部材２３は略中央部に三角
形状の反射部（反射面）２３ａを有し、この反射部２３
ａは、シリンドリカルレンズ２２の移動若しくは振動方
向に大きさが変化していることを特徴とする。符号２１
は光源２０からの光束を規制反射部材２３で反射した後
受光するＰＩＮフォトダイオードなどの受光部である。

第７′図は検知用光源２０からの光束が規制反射部材２
３の反射部２３ａで制限されている様子を示す図であり
、図中ａ１．ａ工′が光束の反射される部分、ｂ、、ｂ
□′が光束の反射されない部分である。従って第７図（
ａ）は反射光量が最小（Ｉ、５ｉｎ）の時、第７図（ｂ
）は反射光量が最大（ＩＸｗａｘ）の時を夫々示してい
る。尚、図中ａは反射部２３ａの最大長さを示している
。

また、第８図は、単に、大きさが変化しない方形状の反
射部を設けた場合の例を示しており、第８図（ａ）が反
射光量が最小（工、ｗｉｎ）のとき、第８図（ｂ）が反
射光景が最大（Ｉ、ｗａｘ）のときを夫々示している。

尚、図中Ｑは第７図に示す反射部２３ａの最大長ａと同
じ長さとする。

ここで、第７図と第８図とを比較すると、１１ｗ１ｎ（
Ｉ、ｗｉｎ　　　　Ｉ、ｗａｘ＜Ｉ、ｗａｘであるが、（１１ｗａｘ−１１ｗ＋ｉｎ）　＞　（１，ｍａｘ−Ｉ
、ｗｉｎ）である。

したがって、第７図に示すような反射部形状の方が光量
差を大きくすることができる。

第９図は、第７図に示す反射部形状を有する規制反射部
材と、第８図に示す反射部形状を示す規制反射部材とを
夫々用いた場合の受光部２１での光量と時間、すなわち
光量とシリンドリカルレンズ２２の移動量との対応を示
す図である。

第９図での光量Ｉ、、Ｉ、の変動式は、として表される
が、工、の変動幅の方が大きいため、第７図に示す反射
部形状のほうが検知精度が向上する。

したがって、工、を用いて、シリンドリカルレンズ２２
の移動若しくは振動を制御する制御系にフィードバック
をかければ、偏向走査に対応した正確な制御が可能とな
る。

次に、第１θ図、第１１図は、規制反射部材の夫々別の
例を示しており、第１０図に示す例では、規制反射部材
２４の中央の三角形状部分２４ａを反射面とせずに、中
央の三角形状部分２４ａの周囲を反射面とした例であり
、また、第１１図に示す例では、規制反射部材２６の端
面と三角形状の反射部２５ａの端辺とを揃えたものであ
る。尚、第１１図において、三角形状部分２５ａを反射
面とせずに１周りの部分を反射面としてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明による走査光学装置におい
ては、第１の結像光学系による線状結像位置を偏向反射
面による偏向走査に対応して光軸方向に移動若しくは振
動して像面湾曲を補正する構成のため、複雑でコスト高
の特別なレンズ系を使用しなくとも、像面湾曲を補正す
ることができるため、比較的安価な走査光学装置を提供
することができる。

また１本発明では、第１の結像光学系の移動位置を検知
するようにしたことにより、この結像状態検知手段から
の検知信号を第１の結像光学系の移動制御系にフィード
バックして閉ループ制御を行なうことができ、したがっ
て、偏向走査に追従した第１の結像光学系の移動制御が
容易に可能となり、像面湾曲の補正精度を向上すること
ができる、また、本発明によれば、従来、線状結像位置
の変化の検知には用いることのできなかった高精度の位
置検知手段を用いることができるため、高精度の移動制
御を行なうことが可能となる。

また、上記検知手段を、光源と、構造が簡単な規制反射
部材、及び受光部とを組合せて構成したため、低コスト
で検知手段を作ることができる。

また、上記検知手段を反射式に構成したことにより、光
源と受光部とを第１の結像光学系に対して同じ方向に設
置できるため、装置が小型化でき、且つ、低コスト化を
図れる。

まｈ、上記規制反射部材として、大きさが第１の結像光
学系の移動若しくは振動方向に対し変化している反射部
を有する反射部材を用いた場合には、第１の結像光学系
の移動若しくは振動に対して受光部での受光光量の変化
を大きくすることができ、検出精度を向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す走査光学系の概略的要
部構成図、第２図（ａ）は第１図に示す走査光学系の第
１の結像光学系部分を側方からみた平面図、第２図（ｂ
）は第１図及び第２図（ａ）に示す受光部での光束の受
光状態の説明図、第３図は第１図及び第２図（ａ）に示
す受光部での受光光量とシリンドリカルレンズ移動時の
時間との対応を示す図、第４＠は検知用光源と規制反射
部材及び受光部の配置位置を変えた場合の走査光学系の
概略的要部構成図、第５図はシリンドリカルレンズの側
面若しくは上下面に規制反射部を設けた場合の例を示す
図、第６図は本発明の別の実施例を示し三角形状の反射
部（反射面）を有する規制反射部材を用いた場合の走査
光学系の概略的要部構成図、第７図（ａ）、（ｂ）は第
６図に示す検知用光源からの光束が規制反射部材の反射
部で制限されている様子を示す図、第８図（ａ）、（ｂ
）は反射部形状を方形状とした場合の検知用光源からの
光束が規制反射部材の反射部で制限されている様子を示
す図、第９図は第７図、第８図に示す反射部形状の規制
反射部材を用いた場合の受光部での受光光量とシリンド
リカルレンズ移動時の時間との対応を示す図、第１０図
及び第１１図は規制反射部材の夫々別の例を示す図、第
１２図は本発明が適用される走査光学装置の一例を示す
概略的要部構成図、第１３図は第１２図に示す走査光学
装置の走査光学系の概念図を示し、同図（ａ）が偏向走
査面上における光学系配置を示す概念図、同図（ｂ）が
偏向走査面に垂直で且つ光軸を含む面上における光学系
配置を示す概念図である。第１４図は第１３図に示す光
学系における像面湾曲の補正方法を説明するための説明
図、第１５図は収差図であって、同＠（ａ）が第１３図
に示す光学系による像面湾曲の補正前の収差図、同図（
ｂ）が同上補正後の収差図、第１６図は第１３図に示す
光学系における像面湾曲補正時の走査角に対する像面湾
曲量と補正量との関係を示す線図である。１・・・・レーザ光源、２・・・・コリメートレンズ、
３・・・・アパーチャ、４・・・・第１シリンドリカル
レンズ、５・・・・回転多面鏡、５ａ・・・・偏向反射
面、６・・・・・ｆθレンズ系、７・・・・感光体、８
・・・・第２シリンドリカルレンズ、９・・・・反射ミ
ラー、１０・・・・同期検知器、２０．２０″・・・・
検知用光源、２１．２１’・・・・・受光部、２２・・
・・第１シリンドリカルレンズ、２２ａ、　２２ｂ・・
・・規制反射部、２３．２３’　、　２４．２５−−−
−ｉ制反射部材、Ｒ・・・・走査光の光軸。形δ 口形４のあ昂形Ｃ目う９幻＊　７０図形４−／幻ｖ）−／ｆ日め１６口弗１ｄ口 ηｆシ　４５　　優コ（ｄ）ｔφン

Claims

【特許請求の範囲】１、光源から出射された光束を略平行化するコリメート
光学系と、その略平行化された光束を線状に結像する第
１の結像光学系と、この第１の結像光学系より出射した
光束を偏向走査する偏向反射面と、該偏向反射面により
偏向された光束によって走査される被走査媒体と、該被
走査媒体と上記偏向反射面との間に配置され上記偏向さ
れた光束を被走査媒体上に結像すると共に上記偏向反射
面で偏向される光束の偏向走査面と垂直な面内（副走査
方向）において上記偏向反射面と被走査媒体とを幾何光
学的に共役な関係に保つ第２の結像光学系とを有する走
査光学装置において、上記偏向反射面による光束の偏向
走査に伴い上記第１の結像光学系をその光軸方向に移動
若しくは振動するように設けると共に、上記第１の結像
光学系の移動位置を検知するための検知用光源と、その
光源からの光束を受光する受光部からなる検知手段とを
設け、且つ、上記検知用光源からの光束を規制する規制
反射部材を上記第１の結像光学系に設けたことを特徴と
する走査光学装置。２、請求項１記載の走査光学装置において、検知用光源
からの光束を規制する規制反射部材の反射部の大きさが
、第１の結像光学系の移動方向若しくは振動方向に対し
変化していることを特徴とする走査光学装置。