JPH03185504A - プロセスデータの設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、プロセス設備の運転条件となるプロセスデー
タの設定方法に係り、特にプロセスデータが複雑な場合
に有効なプロセスデータの設定方法に関するものである
。

従来の技術 従来においては、プロセス設備の能力と加工対象品種及
び他の設定データをオペレータが考慮しながら、又はプ
ロセスデータをオペレータが設定する際、プロセスデー
タが設定された後に、前記データを装置使用条件に応じ
て各々チエツクし、その適合結果をオペレータに通知す
る方法がとられている。尚、この技術として関連するも
のには、例えば特開昭５８−２０１１０７号公報、特開
平１−１０９４１１号公報が挙げられる。

発明が解決しようとする課題 上記従来技術では設定データの最大値、最小値のチエツ
ク、或はプロセスデータの使用条件への適合チエツクし
か配慮されておらず、プロセスデータが複雑なものでか
つその量が多い場合、適合するプロセスデータを設定す
るのに、オペレータに対してプロセス設備への熟練度が
要求され、また設定に長時間を要することが考えられる
。

本発明の目的は、プロセス設備において、複雑化し、多
くなるプロセスデータの設定ガイダンスをオペレータに
表示装置上に通知すること、また、プロセス設備での生
産中の不具合いへの対策として変更すべきプロセスデー
タの項目と内容をオペレータに通知することにより、プ
ロセス設備への熟練度の要求を無くし、データ設定のた
めの時間短縮を実現できるプロセスデータの設定方法を
提供することにある。

課題を解決するための手段 第１の説明は、同一のプロセス設備において、品種の切
換により変化するプロセスデータを設定する前に、入力
したプロセス品種名をインデックスとして、補助記憶装
置から過去に生産された実績のある複数のプロセスデー
タを検索してそのプロセスデータを表示し、必要なパラ
メータ項目だけ変更することを特徴とする。

第２の発明は生産中にプロセスに不具合を生じた時、入
力された不具合の項目と度合から変更すべきパラメータ
とその変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策テ
ーブルから検索して表示することを特徴とする。

第３の発明は第２の発明において、不具合の項目は一致
しても、度合いが一致しない場合、パラメータの変更内
容を、前後の値から判断し、決定された変更内容を表示
することを特徴とする。

第４の発明は第２の発明において、複数の不具合とその
度合が入力された場合、各々の不具合と変更内容を決定
する際、単一の不具合とその度合から単一の変更項目と
その内容を判断するのではなく、複数の不具合とその度
合から、ひとつひとつの変更内容とその内容を決定して
表示することを特徴とする。

作　　　用 第１の発明によれば、品種毎に興なるプロセスデータを
、品種毎にデータベース化し、それを入出力できる制御
機構を設け、そのデータベースから、プログラムにより
入力された品種名をインデックスとして検索し、表示装
置に表示する。この表示されたプロセスデータを意図的
に変えることが可能な制御機構を設け、変更したプロセ
スデータを、プログラムにより別の品種のプロセスデー
タとしてデータベースに格納する。

第２の発明によれば、プロセスの不具合とその度合から
、それを解決するために変更が必要なプロセスデータの
項目とその内容を導くための不具合対策テーブルをデー
タベースに作成し、そのテーブルを基にプログラムで不
具合に応じて変更すべきプロセスデータの項目と内容を
導く。すなわち、入力されたプロセスの不具合とその度
合に応じてデータベース内の前記テーブルを検索する。

検索した結果、該当する項目があれば、表示装置に表示
する。

第３の発明によれば、第２の発明のテーブルに該当する
不具合に対し、その度合が一致しない場合、プログラム
によりその変更内容を計算により求め決定する。

第４の発明によれば、複数の不具合とそれぞれの度合が
入力された場合において、一つのプロセスデータが複数
の不具合から、興なる内容の変更をすべき結果が出た場
合、プログラムにより、その変更内容を計算により求め
決定する。

実施例 以下、本発明の一実施例を説明する。本実施例は、ガス
流量・真空度・ＲＦパワー・温度・時間等の条件を管理
することにより、薄膜をエツチングする機能を有する装
置（第１図（ａ）　、　（ｂ）　）における、プロセス
データを設定・変更する４つの場合について示している
。

（１）プロセス条件は対象となる製品により異なり、そ
の名称を英数字６文字で表わし、前半３文字をプロセス
条件のグルービングに使用する。新たな製品に対するプ
ロセス条件を作成する場合、オペレータは装置に対して
入力装置１でもってプロセス条件名を入力する。装置は
第３図のプロセスデータ設定フローチャートに従い、入
力された条件名の前半３文字をキーワードとしてプロセ
スデータのデータベース（第２図）を検索し類似データ
を表示装置２でもって表示する。一方、キーワードに対
するプロセスデータが無い場合は、補助記憶３にあらか
じめ登録されている固定のプロセスデータを表示する。

オペレータは表示されたプロセスデータに対し、入力装
置１でもって変更したいパラメータのみを変更すること
により、新しいプロセスデータを登録することができる
。

（２）　　装置運転時に製品のエツチング速度、均一性
に再現がなくなった場合のプロセスデータ変更について
の不見合対策フローチャート第４図に基き説明する。製
品に対する不具合とその原因と考えられるプロセスデー
タのパラメータおよびその度合いが、不具合一対策テー
ブル（第５図）に登録されている。オペレータは不具合
発生時に、装置に対して入力装置１でもって不具合対策
を選択すると、第６図に示すように、不具合項目ガイダ
ンスが表示装置２によって表示される。次に、不具合項
目と不具合度合を入力すると不具合一対策テーブルが検
索され、プロセスデータの変更すべきパラメータと内容
を表示（第７図）する。オペレータは、表示されたパラ
メータと内容をもとにプロセスデータを変更する。

（３）　　（２’）の場合において、不具合項目は一致
したが度合が一致しない場合（第８図〉は、不具合一対
策テーブルにおいて入力された度合の前後の度合とその
変更すべきパラメータ内容から補間計算し、入力された
度合に対する適したパラメータと内容を表示（第９図）
する。

（４）　　（２）の場合において２種類の不具合とその
度合が入力された場合、複数種類の不具合一対策テーブ
ル（第１０図）を、フローチャート（第１１図）に従い
検索し、不具合に対する変更パラメータを決定する。先
ず、不具合の種類数から種類毎のテーブル４を決定し、
その第１不具合を検索することにより最終段の不具合対
策テーブル４を決定する。このテーブル４において不具
合項目と不具合度合を検索し変更バロメータ５を決定す
る。この変更すべきパラメータ５と内容を表示（第１２
図〉する。オペレータは表示されたパラメータ５と内容
をもとにプロセスデータを変更する。

発明の効果 以上のように本発明によれば、プロセスデータが複雑化
し多量になっても、異なる品種と不具合に応じたプロセ
スデータを容易にしかも短時間に決定することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）は本発明の一実施例に用いた装
置の概略図匍とブロック図中、第２図はプロセスデータ
ベースの概念図、第３図は、プロセスデータ設定のフロ
ーチャート、第４図は不具合対策の類不具合対策フロー
チャート、第１２図は複数種類不具合発生時の変更パラ
メータ決定画面の説明図である。 １・・・・・・入力装置、２・・・・・・表示装置、３
・・・・・・補助記憶、４・・・・・・不具合対策テー
ブル、５・・・・・・変更パラメータ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）同一のプロセス設備において、品種の切換により
   変化するプロセスデータを設定する前に、品種名入力し
   たプロセス品種名をインデックスとして、補助記憶装置
   から過去に生産された実績のある複数のプロセスデータ
   を検索してそのプロセスデータを表示し、必要なパラメ
   ータ項目だけ変更することを特徴とするプロセスデータ
   の設定方法。
2. （２）生産中にプロセスに不具合を生じた時、入力され
   た不具合の項目と度合から変更すべきパラメータとその
   変更内容を、あらかじめ設定された不具合対策テーブル
   から検索して表示することを特徴とするプロセスデータ
   の設定方法。
3. （３）不具合の項目は一致しても、度合いが一致しない
   場合、パラメータの変更内容を、前後の値から判断し、
   決定された変更内容を表示することを特徴とする請求項
   ２記載のプロセスデータの設定方法。
4. （４）複数の不具合とその度合が入力された場合、各々
   の不具合と変更内容を決定する際、単一の不具合とその
   度合から単一の変更項目とその内容を判断するのではな
   く、複数の不具合とその度合から、ひとつひとつの変更
   内容とその内容を決定して表示することを特徴とする請
   求項２記載のプロセスデータの設定方法。