JPH03186601A - 電気油圧サーボ機構 - Google Patents

電気油圧サーボ機構

Info

Publication number
JPH03186601A
JPH03186601A JP1324216A JP32421689A JPH03186601A JP H03186601 A JPH03186601 A JP H03186601A JP 1324216 A JP1324216 A JP 1324216A JP 32421689 A JP32421689 A JP 32421689A JP H03186601 A JPH03186601 A JP H03186601A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydraulic
differential transformer
output
differential
piston
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1324216A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidenobu Akaho
赤穂 秀信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nabtesco Corp
Original Assignee
Teijin Seiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Teijin Seiki Co Ltd filed Critical Teijin Seiki Co Ltd
Priority to JP1324216A priority Critical patent/JPH03186601A/ja
Priority to US07/623,179 priority patent/US5121042A/en
Publication of JPH03186601A publication Critical patent/JPH03186601A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/16Special measures for feedback, e.g. by a follow-up device
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B9/00Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member
    • F15B9/02Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type
    • F15B9/03Servomotors with follow-up action, e.g. obtained by feed-back control, i.e. in which the position of the actuated member conforms with that of the controlling member with servomotors of the reciprocatable or oscillatable type with electrical control means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Servomotors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、電気油圧サーボ機構に関し、特に単一の操作
対象に対して複数の油圧アクチュエータをパラレルに作
動させる場合に効果的な電気油圧サーボ機構に関する。
(従来の技術) 従来、電気油圧サーボ機構、例えば、航空機の舵面制御
等を行う電気油圧サーボ機構においては、同一の操作対
象に対して複数の油圧アクチュエータ(以下、単にアク
チュエータともいう)が並列に設けられ、これら複数の
アクチュエータが指令信号(サーボコマンド)により同
時にパラレルに作動するようになっており、アクチュエ
ータのいずれかが失陥した場合でも舵面制御が可能なよ
うに安全設計がなされている。そして、この種の電気油
圧サーボ機構においては、例えば、第5図のダイアグラ
ムに示すような制御が行われている。
なお、同図はアクチュエータが静止した(定常)状態に
おけるサーボエラーとアクチュエータ出力の関係を示し
ている。
第5図において、外力を受けたアクチュエータ(例えば
油圧シリンダ)1のサーボ目標位置と実際の位置の差を
ΔX、増幅器2の増幅ゲインをに1、位置検出器3の変
換ゲインをに2、アクチュエータ1のピストン受圧面積
をAとすると、サーボエラーe=に、  ・ΔXであり
、サーボバルブ4のバルブ圧力ゲインに、が飽和してい
ない範囲において、アクチュエータ1は外力Fに対抗す
る反作用力Fを出力して力の釣り合いを保つから、次式
〇が成立する。
F=F =e −K、−K3− A  ・−・−・■したがって
、このときの外力Fに対するアクチュエータ1の剛性を
KAとすると、この剛性KAを次式〇で表すことができ
る。
K、=F/ΔX e−に、  ・K、・A e / K。
=に、−に、  ・K、・A ・・・・・・@すなわち
、アクチュエータ1の外力に対する剛性は一定である。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような従来の電気油圧サーボ機構に
あっては、操作対象をアクチュエータlで把持するよう
な場合、操作対象に過度の応力が生じたりするという問
題があった。また、航空機の舵面制御においては、同一
の操作対象(舵面)を一定期性の複数のアクチュエータ
1でパラレルに操作する構成であるため、各アクチュエ
ータ1の位置精度の誤差により同等の剛性を有する複数
のアクチュエータ1の間に力の対抗(フォースファイト
)が生じたり操作力がばらついたりして、操作対象に好
ましくない応力が加わってしまうという問題があった。
そこで本発明は、アクチュエータの剛性を適宜調整する
ことにより、アクチュエータ同士の力の対抗や操作力の
ばらつきを緩和して、操作対象に不必要な応力が加わる
のを防止したり、必要な場合には操作対象に大きな力を
働かせることができるようにすることを目的としている
(課題を解決するための手段) 本発明は、上記の目的を達成するために、操作対象に連
結される出力部材を一対の油圧室の間の差圧により変位
させる油圧アクチュエータと、電気信号を入力して一対
の油圧室の差圧を変化させる電気油圧変換手段と、出力
部材の変位に対応する誘導起電力を出力する第1の差動
変圧器と、第1の差動変圧器の出力および外部からの指
令信号入力に応じて電気信号を生成し、該電気信号を電
気油圧変換手段に出力する制御回路と、を備えた電気油
圧サーボ機構において、前記一対の油圧室の油圧を受圧
して両地圧室の差圧に応じて変位する受圧部材と、受圧
部材の変位に対応する誘導起電力を出力するとともに該
出力を第1の差動変圧器の出力にバイアスさせる第2の
差動変圧器と、を設けたことを特徴とするものである。
(作用) 本発明では、出力部材を変位させる油圧アクチュエータ
の一対の油圧室間の差圧に応じて受圧部材が変位し、該
受圧部材の変位に対応する第2の差動変圧器の出力が、
出力部材の変位に対応する第1の差動変圧器の出力にバ
イアスされる。
したがって、例えば静止状態における油圧アクチュエー
タ同士の力の対抗によって出力部材に力が加わり、一対
の油圧室間に差圧が生じると、該差圧を受圧した受圧部
材が変位して第2の差動変圧器の出力が第1の差動変圧
器の出力にバイアスされ、油圧アクチュエータ同士の対
抗力が減少するようにサーボループの定常偏差が増大さ
れ、油圧アクチュエータ同士の力の対抗を緩和するよう
に剛性が調整される。また、第1の差動変圧器に対する
第2の差動変圧器のバイアスのかけ方によっては、フォ
ースファイト(力の対抗)の緩和でなく、外力による定
常偏差を減少させる位置制御が可能となる。
(実施例) 以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1〜4図は本発明の一実施例を示す図である。
まず、槽底を説明する。第1図において、11は例えば
直動型の油圧アクチュエータ、12は電気油圧変換手段
例えば電磁比例制御形のサーボ弁であり、油圧アクチュ
エータ11は両端部にポート11a。
11bが形成されたシリンダ13と、シリンダ13内に
摺動自在に収納されてシリンダ13との間に一対の油圧
室14A、14Bを両底するピストン15(出力部材)
とを有している。サーボ弁12は詳細を図示しないが、
図外の油圧ポンプおよび油タンクに接続された圧力ポー
トおよびドレンポートを有しており、例えば内部のスプ
ールを電磁コイル16を含むソレノイドにより後述する
電気信号入力に応じて駆動し、両ボートlla、llb
のうち任意の一方を圧力ポートに連通させるとともに他
方をドレンポートに連通させて油圧室14A、14Bの
差圧を変化させることができる。そして、油圧アクチュ
エータ11はこのサーボ弁12の作動に基づく油圧室1
4A。
14Bの間の差圧によりピストン15をその軸方向に変
位(ストローク)させ、ピストン15の一端部15aに
連結された連結部材17を介して図外の航空機の制御舵
面を操舵する。
また、ピストン15は他端部15b側で第1の差動変圧
器18により位置(変位)を検出されるようになってい
る。第1の差動変圧器18は、ピストン15の他端部1
5bに連結されてピストン15に連動するコア19と、
交流電源20により一定周波数・一定電圧で励磁される
1次コイル21と、コア19の位置に対応した誘導起電
力を生ずる一対のコイル22a。
22bからなる2次コイル22とを有しており、2次コ
イル22はコア19の基準位置(図示位置)における出
力電圧が零となるようコイル22a、22bを逆極性に
接続し、コア19の変位に対応するこれらの差電圧によ
る交流出力を整流回路23に出力する。
整流回路23はコイル22a、22bに対応する一対の
ダイオード24A、24Bおよび抵抗25A、25Bを
有しており、これらにより2次コイル22の出力を整流
してオペアンプ26の入力端子間電圧として与える。こ
のオペアンプ26の出力端子は平滑フィルタ27および
抵抗28を介してサミングアンプ29の一入力端に接続
されており、オペアンプ26側からの電流と抵抗31を
介して外部から入力されるサーボコマンド入力とがすξ
フグアンプ29の反転力として与えられ、サミングアン
プ29の出力電流がトランジスタ等からなる電流アンプ
32により増幅されてサーボ弁12の電磁コイル16へ
の入力電流となるようになっている。すなわち、これら
の整流回路23、オペアンプ26、平滑フィルタ27、
抵抗2B、 31.サミングアンプ29および電流アン
プ32は、第10差動変圧器18の出力および外部から
の指令信号入力に応じて電磁コイル16への入力電流で
ある電気信号を生成し、該電気信号をサーボ弁12に出
力する制御回路33を構成している。
一方、シリンダ13の周壁の一部にはピストン15と平
行なモジュレーティングピストン(受圧部材)41が摺
動自在に収納されており、モジュレーティングピストン
41はシリンダ13との間に油圧室14A。
14Bに連通ずる一対の受圧室42A、42Bを!ji
威している。受圧室42A、42B内にはスプリング4
3A。
43Bが縮設されており、モジュレーティングピストン
41はスプリング43A、43Bによって両者の反力が
釣り合う位置に保持され、油圧室14A、 14Bの間
に差圧が生じるとき、油圧室14A、14Bの差圧であ
る受圧室42A、42Bの差圧(油圧)を受圧して変位
する。このモジュレーティングピストン41の変位は第
2の差動変圧器44によって検出されるようになってお
り、第2の差動変圧器44は、モジュレーティングピス
トン41に連結されてモジュレーティングピストン41
に連動するコア45と、1次コイル21と直列に接続さ
れて交流電源20により一定周波数・一定電圧で励磁さ
れる1次コイル46と、コア45の位置に対応した誘導
起電力を生じる一対のコイル47a、47bからなる2
次コイル47とを有している。2次コイル47はコイル
47a、47bをコイル22a、22bに直列に接続し
て2次コイル22と整流回路23の間に挿入されており
、コア45の変位に対応する2次コイル47の出力(起
電圧)が第1の差動変圧器18の出力にバイアスとして
与えられるようになっている。
この電気的バイアスは、簡単なダイアダラムと状態方程
式を用いて第2図のように表すことができる。なお、同
図において、i、は1次コイル21゜46を流れる1次
側電流、yはピストン15の変位(ストローク)、xは
モジュレーティングピストン41の変位、M、はy=0
における第1の差動変圧器18の相互インダクタンス、
MllはX=Oにおける第2の差動変圧器44の相互イ
ンダクタンス、Ms’yはピストン15の変位yに伴う
相互インダクタンスM、の変化量、M、’xはモジュレ
ーティングピストン41の変位Xに伴う相互インダクタ
ンスM、の変化量、L、は第1の差動変圧器18のコイ
ル22a、22bの自己インダクタンス、Lmは第2の
差動変圧器44のコイル47a、47bの自己インダク
タンス、11はダイオード24Aおよび抵抗25Aを含
む2次側ループAを流れる電流、12はダイオード24
Bおよび抵抗25Bを含む2次側ループBを流れる電流
、Zは整流回路23におけるループA、B各々のインピ
ーダンス、elは2次側ループAの出力電圧、e2は2
次側ループBの出力電圧である。
ここで、1次側電21!LiPが2次側電流IA + 
 j8の電流変化の影響を受けないで制御されているも
のとすると、第1゜ 第2の差動変圧器18゜ 44の出 力と変位X。
yの関係について次式ので表すこと ができる。
+Ziz=O・・・・・・■ これをラプラス変換することにより次式■が得られ、 ・・・・・・■ ez=Ziz (LS +L。
) jω(Zが条件で あるから、 次式■が成立する。
x (M S +M。
+M。
十Mll X) SI。
・・・・・・■ 但し、ここで変数の大文字はラプラス変換を意味してお
り、Sは微分演算子、jは虚数単位、ωは1次側電流周
波数である。
同様に次式■が成立し、 E+ = (Ms  Ms ’ V * MB  MB ’ X ) S I p −−■整
流回路23の出力をE、−E、とすれば、となり、ピス
トン15の変位に比例した第1の差動変圧器18の出力
にモジュレーティングピストン41の変位に比例した第
2の差動変圧器44の出力がバイアスされていることが
わかる。
次に、作用を説明する。
いま、油圧アクチュエータ11のピストン15が静止し
て外力Fと油圧アクチュエータ11の反作用力Fが釣り
合っているとすると、この状態は第3図に示すダイアグ
ラムで表され、第4図のように変形することができる。
なお、両図において、eはサーボエラー、K1はオペア
ンプ26の増幅ゲイン、Kzはピストン15の変位yを
第1の差動変圧器18の出力に変換するゲイン(2Ms
’に相当)、K3はサーボ弁12のバルブ圧力ゲイン、
K4は油圧室14A、 14Bの差圧を第2の差動変圧
器44の出力(第1の差動変圧器18のバイアス出力)
に変換するゲイン、Aはピストン15の受圧面積である
サーボ目標値と実際のピストン15の位置の差(定常偏
差)をΔXとすると、サーボエラーe=に2 ・ΔXと
なり、外力丁に対する油圧アクチュエータ11の反作用
力Fは、次式■で表すことができる。
(本頁、以下余白) そして、外力Fに対する油圧アクチュエータ11の剛性
Kaは、 e/K。
となる。したがって、第1.第2の差動変圧器1844
のコイル巻線方向やモジレーティングピストン41への
油路をに1〜に4がすべて正となるように設定しておけ
ば、第5図および第0式により説明した従来のアクチュ
エータ剛性に対して、油圧アクチュエータ11の剛性K
Aは、1/(1+に、K。
K4)に弱められる。
このように、本実施例においては、モジュレーティング
ピストン41に連結した第2の差動変圧器44によって
第1の差動変圧器18の出力にバイアスが与えられ、外
力Fに対する油圧アクチュエータ11の剛性KAが調整
される。したがって、連結部材17に連結する複数の油
圧アクチュエータ11により航空機の制御舵面等を操舵
および保舵する場合、制御ループ間の位置精度誤差によ
って生じる油圧アクチュエータ11同士の力の対抗(フ
ォースファイト)が緩和され、制御舵面や油圧アクチュ
エータ11および連結部材17の各連結部位等に不必要
な応力が生じるのを防止することができる。また、第■
式においてに4が負となるように第2の差動変圧器44
の巻線方向を変えれば、油圧アクチュエータ11による
位置制御において外力による定常偏差を減少させること
ができ、例えばサーボループに使用する電池パルプの圧
力ゲインが低すぎて外力による定常偏差が問題となる場
合にこれを軽減することができる。
なお、本実施例においては、油圧アクチュエータが航空
機の舵面を操舵するものとしたが、本発明による電気油
圧サーボ機構はサーボの定常偏差を大きくしたい各方面
の制御に有効であり、例えば、複数の油圧アクチュエー
タを用いるロボフトで部品類や柔らかい物体を把持する
場合に各把持部材の制御のばらつきによる過大荷重の発
生を防止することができる。
(効果) 本発明によれば、出力部材に加わる外力によって一対の
油圧室の間に生した差圧を受圧部材の変位として第2の
差動変圧により検出し、該第2の差動変圧器の出力を出
力部材の変位を検出する第1の差動変圧器の出力にバイ
アスさせているので、サーボループの定常偏差を変化さ
せて油圧アクチュエータの剛性を調整することができ、
アクチュエータ同士の位置精度の誤差による力の対抗や
操作力のばらつきを緩和して操作対象に不必要な応力が
加わるのを防止したり、必要な場合は操作対象に大きな
力を働かせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】 第1〜4図は本発明に係る電気油圧サーボ機構の一実施
例を示す図であり、第1図はその電気油圧サーボ機構の
全体構成図、第2図はその第2の差動変圧器による電気
的バイアスを表すダイヤグラム、第3.4図はそれぞれ
そのブロックダイヤグラム、第5図は従来の電気油圧サ
ーボ機構を示すそのブロックダイヤグラムである。 11・・・・・・油圧アクチュエータ、12・・・・・
・サーボ弁(電気油圧変換手段)、15・・・・・・ピ
ストン、 18・・・・・・第1の差動変圧器、 33・・・・・・制御回路、 41・・・・・・モジュレーティングピストン(受圧部
材)、 44・・・・・・第2の差動変圧器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 操作対象に連結される出力部材を一対の油圧室の間の差
    圧により変位させる油圧アクチュエータと、電気信号を
    入力して一対の油圧室の差圧を変化させる電気油圧変換
    手段と、出力部材の変位に対応する誘導起電力を出力す
    る第1の差動変圧器と、第1の差動変圧器の出力および
    外部からの指令信号入力に応じて電気信号を生成し、該
    電気信号を電気油圧変換手段に出力する制御回路と、を
    備えた電気油圧サーボ機構において、前記一対の油圧室
    の油圧を受圧して両油圧室の差圧に応じて変位する受圧
    部材と、受圧部材の変位に対応する誘導起電力を出力す
    るとともに該出力を第1の差動変圧器の出力にバイアス
    させる第2の差動変圧器と、を設けたことを特徴とする
    電気油圧サーボ機構。
JP1324216A 1989-12-14 1989-12-14 電気油圧サーボ機構 Pending JPH03186601A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1324216A JPH03186601A (ja) 1989-12-14 1989-12-14 電気油圧サーボ機構
US07/623,179 US5121042A (en) 1989-12-14 1990-12-06 Electro-hydraulic servo mechanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1324216A JPH03186601A (ja) 1989-12-14 1989-12-14 電気油圧サーボ機構

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03186601A true JPH03186601A (ja) 1991-08-14

Family

ID=18163342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1324216A Pending JPH03186601A (ja) 1989-12-14 1989-12-14 電気油圧サーボ機構

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5121042A (ja)
JP (1) JPH03186601A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011143747A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Nabtesco Corp 飛行制御システム

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5844390A (en) * 1997-01-27 1998-12-01 Cameron; Robert Method and apparatus for regulating a fluid operated machine
IT1303968B1 (it) * 1998-10-26 2001-03-01 Marposs Spa Trasduttori lineari induttivi .
DE19916986C2 (de) * 1999-04-15 2001-12-06 Sauer Danfoss Nordborg As Nord Steuereinrichtung für die Lage eines Ventilschiebers
CA2435517A1 (en) * 2001-01-26 2002-08-08 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
US20060126682A1 (en) * 2001-10-08 2006-06-15 Geola Technologies Ltd. Pulsed multiple colour laser system
WO2005067674A2 (en) * 2004-01-08 2005-07-28 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
DE602008002611D1 (de) * 2007-02-21 2010-11-04 Mold Masters 2007 Ltd Heißkanalregler
US7786684B2 (en) * 2007-10-22 2010-08-31 Honeywell International Inc. Electromechanical flight control system and method for rotorcraft
US8196484B2 (en) * 2008-04-18 2012-06-12 Tol-O-Matic, Inc. Electric actuator
US8245967B2 (en) 2008-11-25 2012-08-21 The Boeing Company Actuator force equalization controller
US9431868B2 (en) * 2010-01-19 2016-08-30 Tolomatic, Inc. Manual override device for an electric actuator and method for use
US8701513B2 (en) 2010-07-14 2014-04-22 Tol-O-Matic, Inc. Screw driven linear actuator and housing assembly
DE102012018649A1 (de) * 2012-09-20 2014-03-20 Liebherr-Aerospace Lindenberg Gmbh Klappenaktuator
US10422659B2 (en) * 2014-03-31 2019-09-24 Bombardier Inc. System for detecting mechanical disconnect of a sensor from a controlled element
EP4029776A1 (en) * 2021-01-18 2022-07-20 Goodrich Actuation Systems SAS Actuator control for force fight mitigation

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3752420A (en) * 1971-01-04 1973-08-14 Sperry Rand Corp Augmented washout circuit for use in automatic pilots
US4089494A (en) * 1976-12-16 1978-05-16 Mcdonnell Douglas Corporation Reduced servo noise control for a hydraulic actuator
FR2411510A1 (fr) * 1977-12-07 1979-07-06 Aerospatiale Interface numerique-analogique a inserer entre un emetteur de signaux numeriques de commande et un organe mobile commande
US4251762A (en) * 1979-03-16 1981-02-17 Moog Inc. Armature position detector
DE3140301A1 (de) * 1981-10-10 1983-04-28 Bosch und Pierburg System oHG, 4040 Neuss Regelvorrichtung fuer ein druckgesteuertes stellglied
FI72025C (fi) * 1982-11-04 1987-04-13 Valmet Oy Regleringssystem foer en traktor.
JPS60122413A (ja) * 1983-12-07 1985-06-29 Hitachi Ltd ステツプ送りアクチユエ−タ装置
US4594537A (en) * 1983-12-27 1986-06-10 United Technologies Corporation Redundant control system for X-wing valve actuators
US4628499A (en) * 1984-06-01 1986-12-09 Scientific-Atlanta, Inc. Linear servoactuator with integrated transformer position sensor
US4667158A (en) * 1985-04-01 1987-05-19 Redlich Robert W Linear position transducer and signal processor
DE3600364A1 (de) * 1986-01-09 1987-07-16 Rexroth Mannesmann Gmbh Verfahren und vorrichtung zum ausgleich des auf einen hydraulischen antrieb wirkenden veraenderlichen gewichtes einer masse, insbesondere fuer den senkrecht stehenden antriebszylinder einer laeppmaschine
US4817498A (en) * 1986-12-06 1989-04-04 Teijin Seiki Co., Ltd. Dynamic characteristic compensating device for electrical hydraulic servo actuator
US4807516A (en) * 1987-04-23 1989-02-28 The Boeing Company Flight control system employing three controllers operating a dual actuator
JPS6457136A (en) * 1987-05-12 1989-03-03 Nippon Denso Co Torque detecting apparatus
US4920305A (en) * 1987-06-12 1990-04-24 The Babcock & Wilcox Company Auto calibrating electro hydraulic servo driver
DE3726605A1 (de) * 1987-08-10 1989-02-23 Rexroth Mannesmann Gmbh Anordnung zum regeln des hubes zweier hubzylinder
JPH01185709A (ja) * 1988-01-20 1989-07-25 Teijin Seiki Co Ltd 故障検出機構付きサーボ回路
JPH01247802A (ja) * 1988-03-28 1989-10-03 Teijin Seiki Co Ltd 剛性調整機能を有する電油サーボアクチュエータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011143747A (ja) * 2010-01-12 2011-07-28 Nabtesco Corp 飛行制御システム

Also Published As

Publication number Publication date
US5121042A (en) 1992-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03186601A (ja) 電気油圧サーボ機構
CA2124429C (en) Pilot-operated servo valve
US4437385A (en) Electrohydraulic valve system
Habibi et al. Design of a new high performance electrohydraulic actuator
US20180281544A1 (en) Suspension device
US4598626A (en) Feedback controlled hydraulic valve system
US10662979B1 (en) Proportional valve for fluid flow control and generation of load-sense signal
EP2440792B1 (en) Proportional position feedback hydraulic servo system
US3892260A (en) Electro-hydraulic servo-distributor
CN106837911B (zh) 小功率伺服电机驱动先导式伺服插装阀及其闭环控制方法
US4947732A (en) Electro-hydraulic servo actuator with function for adjusting rigidity
ITMI970862A1 (it) Dispositivo elettroidraulico per il pilotaggio ed il controllo a distanza di un distributore idraulico
CN216554689U (zh) 一种电液比例伺服驱动器及多路换向阀
CN100348873C (zh) 一种数字输入式电液伺服阀
USRE33846E (en) Electrohydraulic valve system
Aschemann et al. Model based trajectory control of a flexible turntable ladder
Zhou et al. Control of a new type of direct drive piezoelectric servo valve
JP2585339Y2 (ja) 差圧制御バルブ
JPS6259444B2 (ja)
JPH0510802U (ja) サーボ弁
SU1423425A1 (ru) След ща система управлени валом главного гидрораспределител гидравлического пресса
EP0000445A1 (en) Servo valve
JP2025112988A (ja) アクチュエータシステムの制御装置、制御方法、および、アクチュエータ制御システム
JP2005063205A (ja) 位置決めサーボコントローラ
JP2837173B2 (ja) 制御弁装置