JPH03186742A - 放射線像撮像装置 - Google Patents
放射線像撮像装置Info
- Publication number
- JPH03186742A JPH03186742A JP1326692A JP32669289A JPH03186742A JP H03186742 A JPH03186742 A JP H03186742A JP 1326692 A JP1326692 A JP 1326692A JP 32669289 A JP32669289 A JP 32669289A JP H03186742 A JPH03186742 A JP H03186742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- array sensor
- unit
- resolution
- array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は単位放射線検出素子をアレイ状に配列した放射
線検出器を備えた放射線像撮像装置に関する。
線検出器を備えた放射線像撮像装置に関する。
（従来の技術〉
放射線像を撮像する場合−次元的なアレイセンサを用い
て放射線像をアレイセンサの単位素子配列方向と直角の
方向に走査する方法が用いられている。この場合得られ
る放射線像の分解能はアレイ上の個々の単位素子の受線
面の縦横のサイズにより決まる。アレイ上の個々の単位
素子は基板との間の接続を行うためのボンディング用電
極を設けておく必要があり、単位素子自体を小さくする
のには限界があって、放射線像の分解能を上げることが
できなかった。
て放射線像をアレイセンサの単位素子配列方向と直角の
方向に走査する方法が用いられている。この場合得られ
る放射線像の分解能はアレイ上の個々の単位素子の受線
面の縦横のサイズにより決まる。アレイ上の個々の単位
素子は基板との間の接続を行うためのボンディング用電
極を設けておく必要があり、単位素子自体を小さくする
のには限界があって、放射線像の分解能を上げることが
できなかった。
（発明が解決しようとする課題〉
本発明はアレイ型放射線検出器を用いた撮像装置におい
て高分解、能の放射線像撮像を可能にしようとするもの
である。
て高分解、能の放射線像撮像を可能にしようとするもの
である。
（課題を解決するための手段）
各単位素子を細長な形として、その短手方向に配列して
アレイ状センサを構成し、このアレイ状センサと平行し
て配置されるスリットの上記アレイセフサ上への投影幅
を上記アレイ状センサの単位素子配列ピッチと同程度と
し、同スリットと上記アレイセンサとを一体的に或は上
記スリットのアレイセンサ上への投影が同アレイセンサ
上を移動するようにした。
アレイ状センサを構成し、このアレイ状センサと平行し
て配置されるスリットの上記アレイセフサ上への投影幅
を上記アレイ状センサの単位素子配列ピッチと同程度と
し、同スリットと上記アレイセンサとを一体的に或は上
記スリットのアレイセンサ上への投影が同アレイセンサ
上を移動するようにした。
（作用）
各単位素子は細長い形であるから、撮像装置の単位素子
配列方向の分解能は単位素子の短手方向の幅で決まる。
配列方向の分解能は単位素子の短手方向の幅で決まる。
他方単位素子配列方向と直交する方向の分解能はスリッ
トの幅で決められ、スリット幅は任意に小さく設定でき
るから、スリットの幅方向の分解能は各単位素子の長さ
に関せず、容易に高分解能が得られ、各単位素子は長さ
方向の長さに対して制限を受けないから、ボンディング
用電極の配設が自由になり、単位素子の配列方向の分解
能も容易に高められる。
トの幅で決められ、スリット幅は任意に小さく設定でき
るから、スリットの幅方向の分解能は各単位素子の長さ
に関せず、容易に高分解能が得られ、各単位素子は長さ
方向の長さに対して制限を受けないから、ボンディング
用電極の配設が自由になり、単位素子の配列方向の分解
能も容易に高められる。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例を示す。図でｌａ。
ｌｂ、ｌｃが夫々単位素子で、単位素子が３個集まって
二次的単位Ｃを構成し、この二次的単位Ｃが多数並んで
、一つのアレイセンサを構成している。各単位素子１ａ
、ｌｂ、ｌｃは細長い形で、その後端に側方に突出させ
てボンディング用電極部２を形成してあり、これらのボ
ンディング用電極部２は互いに組合さって単位素子を３
個幅方向に密接して並べた二次単位Ｃの幅内に納めであ
る。
二次的単位Ｃを構成し、この二次的単位Ｃが多数並んで
、一つのアレイセンサを構成している。各単位素子１ａ
、ｌｂ、ｌｃは細長い形で、その後端に側方に突出させ
てボンディング用電極部２を形成してあり、これらのボ
ンディング用電極部２は互いに組合さって単位素子を３
個幅方向に密接して並べた二次単位Ｃの幅内に納めであ
る。
第２図は本発明の他の実施例で、単位素子３個で一つの
二次的単位を構成しているが、ボンディング用電極部２
の相互組合わせ方が異って三角状に配置されている。第
３図は更に他の実施例であって、この例では４個の単位
素子で二次的単位Ｃを構成しており、ボンディング用電
極部は４個が山字形をなすように組合わされている。
二次的単位を構成しているが、ボンディング用電極部２
の相互組合わせ方が異って三角状に配置されている。第
３図は更に他の実施例であって、この例では４個の単位
素子で二次的単位Ｃを構成しており、ボンディング用電
極部は４個が山字形をなすように組合わされている。
第１乃至第３図で３はスリット〈図外）の放射線による
アレイセンサ上への投影であって、放射線像のＸ線方向
の分解能は単位センサｌａ、ｂ。
アレイセンサ上への投影であって、放射線像のＸ線方向
の分解能は単位センサｌａ、ｂ。
Ｃ等の配列ピッチｐで決まり、Ｙ方向の分解能はスリッ
トのアレイセンサ上の投影の幅Ｗで決まる。アレイセン
サ上でこのスリットの投影を各単位素子の長さ方向に移
動させることで、二次元的な解像を行うことができる。
トのアレイセンサ上の投影の幅Ｗで決まる。アレイセン
サ上でこのスリットの投影を各単位素子の長さ方向に移
動させることで、二次元的な解像を行うことができる。
第４図は上述アレイセンサを用いた放射線像撮像装置−
例の全体を示す。この例はスリットとアレイセンサを一
体的に移動させて被写体の走査を行うものである。Ｘは
点状Ｘ線源でＢが被写体である。被写体ＢをはさんでＸ
線源側に縦長のスリットＳ、後ろ側にアレイセンサＰが
配置され、スリットＳとアレイセンサＰは一体的に矢印
方向に駆動されて被写体を走査する。被写体が人間でな
く工業製品の場合無用な放射線爆射量を低減させる必要
がないから、スリットとアレイセンサを被写体後ろ側で
互いに重ねて配置してもよい。
例の全体を示す。この例はスリットとアレイセンサを一
体的に移動させて被写体の走査を行うものである。Ｘは
点状Ｘ線源でＢが被写体である。被写体ＢをはさんでＸ
線源側に縦長のスリットＳ、後ろ側にアレイセンサＰが
配置され、スリットＳとアレイセンサＰは一体的に矢印
方向に駆動されて被写体を走査する。被写体が人間でな
く工業製品の場合無用な放射線爆射量を低減させる必要
がないから、スリットとアレイセンサを被写体後ろ側で
互いに重ねて配置してもよい。
（発明の効果）
本発明アレイセンサは上述したような構成で画像分解能
が各単位素子のザイズだけで決められるのではなく、ア
レイ状センサの単位素子配列方向と直交する方向の分解
能は単位素子のその方向の長さには関係なくスリットの
幅で決められるので、容易に高分解能を１ηることかで
き、各単位素子はその配列方向と直角の方向の長さを分
解能と関係なしに決められるので、ボンディング電極の
配置等が自由にでき、単位素子配列方向の分解能も容易
に高くすることができる。また単位素子の放射線の入射
面積が小さくなるため単位時間当りの入射放射線量が従
来より少くなり、同じ放射線強度でも、信号処理回路の
出力が飽和する迄の時間が従来より長くなるため、信号
処理回路のダイナミックレンジが広くなると云う効果も
得られる。
が各単位素子のザイズだけで決められるのではなく、ア
レイ状センサの単位素子配列方向と直交する方向の分解
能は単位素子のその方向の長さには関係なくスリットの
幅で決められるので、容易に高分解能を１ηることかで
き、各単位素子はその配列方向と直角の方向の長さを分
解能と関係なしに決められるので、ボンディング電極の
配置等が自由にでき、単位素子配列方向の分解能も容易
に高くすることができる。また単位素子の放射線の入射
面積が小さくなるため単位時間当りの入射放射線量が従
来より少くなり、同じ放射線強度でも、信号処理回路の
出力が飽和する迄の時間が従来より長くなるため、信号
処理回路のダイナミックレンジが広くなると云う効果も
得られる。
第１図は本発明の一実施例の一部拡大平面図、第２図は
他の一実施例の一部拡大平面図、第３図は更に他の実施
例の一部拡大平面図、第４図は本発明アレイセンサを用
いた装置の全体斜視図である。 ｌａ、ｌｂ、ｌｃ・・・単位素子、２・・・ボンディン
グ用電極部、Ｃ・・・二次的単位、Ｘ・・・点状Ｘ線源
、Ｓ・・・スリット、Ｂ・・・被写体、Ｐ・・・本発明
アレイセンサ。
他の一実施例の一部拡大平面図、第３図は更に他の実施
例の一部拡大平面図、第４図は本発明アレイセンサを用
いた装置の全体斜視図である。 ｌａ、ｌｂ、ｌｃ・・・単位素子、２・・・ボンディン
グ用電極部、Ｃ・・・二次的単位、Ｘ・・・点状Ｘ線源
、Ｓ・・・スリット、Ｂ・・・被写体、Ｐ・・・本発明
アレイセンサ。
Claims (1)
- 放射線検出のための各単位素子を細長な形として、その
短手方向に並べたアレイ状センサと、長手方向を上記ア
レイ状センサの単位素子配列方向としたスリットと、上
記アレイ状センサと上記スリットとを一体的にスリット
の長さ方向と直交する方向に移動させる手段或は、スリ
ットのアレイセンサ上への投影を同アレイセンサ上でス
リットの長さ方向と直交する方向に移動させる手段とを
備え、上記スリットの上記アレイ状センサへの投影にお
けるスリット幅を上記アレイ状センサの単位素子配列ピ
ッチ程度としたことを特徴とする放射線像撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326692A JPH03186742A (ja) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | 放射線像撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326692A JPH03186742A (ja) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | 放射線像撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03186742A true JPH03186742A (ja) | 1991-08-14 |
Family
ID=18190597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1326692A Pending JPH03186742A (ja) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | 放射線像撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03186742A (ja) |
-
1989
- 1989-12-16 JP JP1326692A patent/JPH03186742A/ja active Pending
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