JPH03186849A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH03186849A
JPH03186849A JP32615989A JP32615989A JPH03186849A JP H03186849 A JPH03186849 A JP H03186849A JP 32615989 A JP32615989 A JP 32615989A JP 32615989 A JP32615989 A JP 32615989A JP H03186849 A JPH03186849 A JP H03186849A
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JP
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formulas
tables
formula
chemical formulas
mathematical
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Application number
JP32615989A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Toko
都甲 明
Nobuyuki Sashita
暢幸 指田
Etsu Takeuchi
江津 竹内
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Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain the heat resistant photosensitive polyimide resin compsn. with which the production process is simple and which is free from the fluctuation in products, allows spray development and has a high sensitivity by incorporating a specific polymer, styryl compd. and oxazolone compd. which are respective specific into the compsn. CONSTITUTION:This compsn. consists essentially of the polymer (A) essentially consisting of the constitutional unit expressed by formula I, the styryl compd. (B) expressed by formula II and the oxazolone compd. (C) expressed by formula III and is compounded with 1 to 10pts.wt. (B) and 1 to 20pts.wt. (C) per 100pts. wt. (A). In the formulas I to III, R1, R2 denote an arom. cyclic group; R3 denote -H, -CH3, etc., R4 denotes -H, -CH3, etc.; n denotes 1 to 2; m denotes 0 to 2; R5 denotes -H, -CH3, etc.; R6 is formula IV, etc.; R7 is formula V, etc.; R8 is -H, -CH3, etc. The compsn. with which the production process is simple and which is free from the fluctuation in the products, allows the spray development and has the high photosensitivity is obtd. in this way.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、高感度で高耐熱の感光性ボリイミ樹脂組成物
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a photosensitive polyimide resin composition with high sensitivity and high heat resistance.

ド 明細書の浄書(内容に変更なし) [従来の技術] 従来、半導体素子の表面保諺膜、114間絶縁膜などに
は、耐熱性が帰れ、また卓越した電気的特性、機械的特
性などをイjするポリイミド樹脂が用いられているが、
近年半導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケー
ジの薄型化、小型化、半田1ノフローによる表面実装方
式などへの移行により耐熱サイクル性、銅熱ショック性
弯の萬しいl;+] 1−の要求があり、これまでのポ
リイミド樹脂では、対応が困難となってきた。
[Conventional technology] Conventionally, surface protective films and interlayer insulating films for semiconductor devices have been known to have heat resistance, excellent electrical properties, mechanical properties, etc. Polyimide resin is used, but
In recent years, as semiconductor devices have become more highly integrated and larger, sealing resin packages have become thinner and smaller, and there has been a shift to surface mounting methods with one flow of solder, the heat cycle resistance and thermal shock resistance of copper have increased. 1-, which has been difficult to meet with conventional polyimide resins.

一方、ポリイミド樹脂自身に感光性を付与する技術が最
近注目を集めてきた。
On the other hand, technology that imparts photosensitivity to polyimide resin itself has recently attracted attention.

これらの感光性を付′了したポリイミド樹脂を使用する
と、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン
作成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエ
ツチング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優
れており、ポリイミド樹脂の感光性化は今後−M重要な
技術となることが期待されている。
Using polyimide resins that have been added with these photosensitizers not only simplifies the pattern creation process compared to polyimide resins that have not been added with photosensitivity, but also eliminates the need to use highly toxic etching liquids. It is also superior in terms of safety and pollution, and photosensitization of polyimide resin is expected to become an important technology in the future.

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式CIV)明
細書の浄書(内容に変更なし) で示されるような構造のエステル基で感光性基を付与し
たポリイミド前駆体組成物 (特公昭55−414 22号公報) あるいは下式(V) で示されるような構造のポリアミック酸に化学線により
2量化、または重合可能な炭素−炭素二重結合およびア
ミノ基または、その四級化塩を含む化合物を添加した組
成物(例えば特公昭59−52822号公報)などが知
られている。
As the photosensitive polyimide resin, for example, a polyimide precursor composition to which a photosensitive group is added with an ester group having a structure as shown in the following formula (CIV) specification (no change in content) (Japanese Patent Publication No. 55-414-22) is used. Alternatively, a compound containing a carbon-carbon double bond and an amino group that can be dimerized or polymerized by actinic radiation or a quaternized salt thereof is added to a polyamic acid having a structure as shown in the following formula (V). Compositions (for example, Japanese Patent Publication No. 59-52822) are known.

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としでいる。
All of these are dissolved in a suitable organic solvent, applied as a varnish, dried, exposed to ultraviolet light through a photomask, developed and rinsed to obtain the desired pattern, and then heat-treated to form a polyimide. It appears as a film.

しかし、かかる従来の組成物は、次の欠点をイボしてい
る。すなわち、(IV)式に示す組成物においては、ま
ずテトラカルボン酸二無水物と感光基を有するアルコー
ルをエステル化反応させ、次にジアミンと・アミド化反
応を行ない製造するという著しく複雑な工程を経るため
、製品の安定化が困難であった。(V)式に示す組成物
においては、ポリアミック酸に感光剤を添加混合するだ
けでよいため、製造工程は著しく簡単であるが、ポリア
ミック酸と感光剤とのイオン結合力が著しく弱いため、
(TV)式に示す組成物で′可能なスプレー現像(現像
液をスプレーで噴きつけて急速に短時間で現像する方法
)が不可能であった。
However, such conventional compositions have the following drawbacks. That is, in the composition shown by formula (IV), the extremely complicated process of first esterifying a tetracarboxylic dianhydride and an alcohol having a photosensitive group and then performing an amidation reaction with a diamine is performed. This made it difficult to stabilize the product. In the composition shown by formula (V), the manufacturing process is extremely simple because it is only necessary to add and mix the photosensitizer to the polyamic acid, but the ionic bonding force between the polyamic acid and the photosensitizer is extremely weak.
Spray development (a method of rapidly developing in a short period of time by spraying a developing solution), which is possible with the composition shown in formula (TV), was not possible.

[発明が解決しようとする課題] 本発明の目的とするところは、製造工程が簡単で、製品
のバラツキがなく、かつスプレー現像可能な、しかも高
感度な耐熱性感光性ポリイミド樹脂組成物を提供するに
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] An object of the present invention is to provide a highly sensitive heat-resistant photosensitive polyimide resin composition that has a simple manufacturing process, is consistent in product quality, can be spray developed, and is highly sensitive. There is something to do.

[課題を解決するための手段] 本発明は下記の一般式〔I〕 R4R3 (式中R1゜ R3: R4: R2:芳香族環状基。[Means to solve the problem] The present invention is based on the following general formula [I] R4R3 (In the formula R1゜ R3: R4: R2: aromatic cyclic group.

H、CH3、C2H5 H,CH3,C2H5゜ CH20H、C6H5 明細書の浄書(内容に変更なし) n :1〜2.ml−2) で表される構造単位を主成分とするポリマー(A) と、 下記の一般式〔I丁〕 (式中R5: R9 CH3゜ −C2H5゜ C6H5゜ で示されるスチリル化合el(B) と、 下記の一般 明細書の浄書(内容に変更なし) Re : −H、−CR3,−C2H5,−C3H7,
−C4H9゜CaH2,−0I−I、−OCH3,−O
C2H5゜OC3H,、−OC4H,、、−OC5H5
゜−ClT2C6115,−CH2CH2C6H5゜C
I(20H、−CI 2CI■20 H。
H, CH3, C2H5 H, CH3, C2H5°CH20H, C6H5 Copying of specification (no change in content) n: 1-2. ml-2) and a styryl compound el(B ) and the engraving of the following general specification (no change in content) Re: -H, -CR3, -C2H5, -C3H7,
-C4H9゜CaH2, -0I-I, -OCH3, -O
C2H5゜OC3H,, -OC4H,, -OC5H5
゜-ClT2C6115,-CH2CH2C6H5゜C
I (20H, -CI 2CI■20H.

−CH2CH3,−CTJ (CI 3)2.−C(C
H3)3゜−COCl(s、−COC,d(5,−0C
OCH3゜−OCOC2H,、−c H2NH2゜−C
H2CH2N R3,−CON R2゜−CONHCI
(3,−CON(CH3)2゜−CONHC2H5,−
CON(C2H5)2゜−N HCH3,−N (CH
3)2.−N (C2H5)2)で示されるオキサシロ
ン化合物(C) を必須成分とし、(A)100重量部に対して(B)1
〜10重量部及び(C)1〜20重量部を配してなる感
光性樹脂組成物である。
-CH2CH3, -CTJ (CI 3)2. -C(C
H3) 3゜-COCl(s, -COC,d(5,-0C
OCH3゜-OCOC2H,, -c H2NH2゜-C
H2CH2N R3, -CON R2゜-CONHCI
(3,-CON(CH3)2゜-CONHC2H5,-
CON(C2H5)2゜-N HCH3,-N (CH
3)2. The oxacylone compound (C) represented by -N (C2H5)2) is an essential component, and (B) is 1 part by weight per 100 parts by weight of (A).
-10 parts by weight and (C) 1 to 20 parts by weight.

[作用] 本発明において用いるポリマー(A) は、 例え ば下記の方法によって合成される。[Effect] Polymer (A) used in the present invention teeth, example It can be synthesized by the following method.

すなわち、 下記−形式(Vl) (n=1の場合) (n=2の場合) 〔■〕 で示される酸と、 下記−形式〔■〕 (COOH)□ H2N  R2 H2 〔■〕 で示されるアミンと、 下記−形式〔■〕 0H2C \ 0 で示されるN−メチロールアクリルアミド類とを、(V
T)と〔■〕を反応させたあと〔■〕を加えて更に反応
させることによって合成される。(VDと〔■〕の反応
は、通常、常温で数時間で完了し、〔■〕との反応は5
0〜100°Cで半時間ないし数時間で完了する。触媒
を使用すれば反応はより早く完結するが、無触媒でも充
分に進行する。このように、反応は著しく簡単に、バラ
ツキもなく完了させることができる。
That is, the acid shown in the following format (Vl) (when n = 1) (when n = 2) [■] and the acid shown in the following format [■] (COOH)□ H2N R2 H2 [■] An amine and an N-methylolacrylamide represented by the following format [■] 0H2C\0, (V
It is synthesized by reacting T) and [■], then adding [■] and further reacting. (The reaction between VD and [■] is usually completed in several hours at room temperature, and the reaction with [■]
The process is completed in half an hour to several hours at 0 to 100°C. The reaction will complete more quickly if a catalyst is used, but it will proceed satisfactorily even without a catalyst. In this way, the reaction can be completed extremely easily and consistently.

一般式(Vl )において、ft、の芳香族環状基を有
する酸としては、n=1のトリカルボン酸無水物やn=
2のテトラカルボン酸二無水物などが用いられ、酸無水
物成分は1種類でも、2種類以上の混合物でもかまわな
い。用いられる酸無水物の種類としては、例えば、トリ
メリット酸無水物、ピロメリット酸二無水物、ベンゼン
−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3.3
’ 、4.4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、2.2’ 、3.3’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物、2,3.3’。
In the general formula (Vl), as the acid having an aromatic cyclic group ft, tricarboxylic acid anhydride where n=1 or n=
Tetracarboxylic dianhydride of No. 2 is used, and the acid anhydride component may be one type or a mixture of two or more types. The types of acid anhydrides used include, for example, trimellitic anhydride, pyromellitic dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3.3
', 4.4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2.2', 3.3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3.3'.

4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフ
タレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、
ナフタレン−1,2,5,6−テトラカルボン酸二無水
物、ナフタレン−1,、2、4、5−テトラカルボン酸
二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボ
ン酸二無水物、ナフタレン−1,2,6,7−テトラカ
ルボン酸二無水物、4.8−ジメチル−1,、2、3、
5、6、7−へキサヒドロナフタレン−1,2,5,6
−テトラカルボン酸二無水物、4,8ジメチル−1,2
,3,5,6,7−へキサヒドロナフタレン−2、:I
、6.7−テトラカルボン酸二無水物、2,6−シクロ
ロナフタレンー1. 、4 、5 、8−テトラカルボ
ン酸二無水物、2,7−シクロロナフタレンー1..4
,5.8−テトラカルボン酸二無水物、2,3,6.7
−チトラクロロナフタレンー1.4,5.8−テトラカ
ルボン酸二無水物、]、、4,5゜8−テトラクロロナ
フタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物
、3.3’ 、4.4’−ジフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2.2’ 、3.3’−ジフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、2,3.3’ 、4’−ジフェニル
テトラカルボン酸二無水物、3.3”、4.4″−p−
テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2.2”、3
.3”−P−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、
2,3゜3”、4”−p−テルフェニルテトラカルボン
酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェ
ニル)−プロパンニ無水物、2,2−ビス(3,4−ジ
カルボキシフェニル)−プロパンニ無水物、ビス(2,
3−ジカルボキシフェニル)エーテルニ無水物、ビス(
3,4−ジカルボキシフェニル)エーテルニ無水物、ビ
ス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタンニ無水物、
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタンニ無水物
、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)スルホンニ無
水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン
ニ無水物、1、L−ビス(2,3−ジカルボキシフェニ
ル)エタンニ無水物、1.1−ビス(3,4−ジカルボ
キシフェニル)エタンニ無水物、ペリレン−2,3,8
,9−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−3,4,
9,10−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−4,
5,1,0,11−テトラカルボン酸二無水物、ペリレ
ン−5,6,11,12−テトラカルボン酸二無水物、
フェナンスレン−1,2,7,8−テトラカルボン酸二
無水物、フェナンスレン−1,2,6,7−テトラカル
ボン酸二無水物、フェナンスレン−1,2゜9、lO−
テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−13− 1,2,3,4−テ1へラカルボン酸二無水物、ピラジ
ン−2゜3.5.6−テトラカルボン酸二無水物、ピロ
リジン−2゜3.4.5−テトラカルボン酸二無水物、
チオフェン−2゜3.4.5−テトラカルボン酸二無水
物などがあげられるが、これらに限定されるものではな
い。
4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride,
Naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, Naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride Naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,,2,3,
5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6
-tetracarboxylic dianhydride, 4,8 dimethyl-1,2
,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-2, :I
, 6.7-tetracarboxylic dianhydride, 2,6-cyclonaphthalene-1. , 4, 5, 8-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-cyclonaphthalene-1. .. 4
, 5.8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6.7
-Titrachloronaphthalene-1.4,5.8-tetracarboxylic dianhydride, ], 4,5°8-Tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 3. 3',4.4'-diphenyltetracarboxylic dianhydride, 2.2',3.3'-diphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3.3',4'-diphenyltetracarboxylic dianhydride thing, 3.3", 4.4"-p-
Terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2.2”, 3
.. 3”-P-terphenyltetracarboxylic dianhydride,
2,3゜3'',4''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(2,3-dicarboxyphenyl)-propanihydride, 2,2-bis(3,4- dicarboxyphenyl)-propanihydride, bis(2,
3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, bis(
3,4-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)methane dianhydride,
Bis(3,4-dicarboxyphenyl)methanihydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)sulfonic anhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfonic anhydride, 1, L-bis(2, 3-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,1-bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, perylene-2,3,8
, 9-tetracarboxylic dianhydride, perylene-3,4,
9,10-tetracarboxylic dianhydride, perylene-4,
5,1,0,11-tetracarboxylic dianhydride, perylene-5,6,11,12-tetracarboxylic dianhydride,
Phenanthrene-1,2,7,8-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,6,7-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2゜9, lO-
Tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-13-1,2,3,4-te1helacarboxylic dianhydride, pyrazine-2゜3.5.6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2゜3.4.5-tetracarboxylic dianhydride,
Examples include, but are not limited to, thiophene-2°3.4.5-tetracarboxylic dianhydride.

−形式〔■〕において、R2の芳香族環状基を有するア
ミンとしては、m=00ジアミンやm=1のジアミノカ
ルボン酸、m=2のジアミノジカルボン酸などが用いら
れ、アミン成分は1種類でも、2種類以上の混合物でも
かまわない。用いられるアミンの種類としては例えばm
−フェニレン−ジアミン、l−イソプロピル−2,4−
フェニレン−ジアミン、p−フェニレン−ジアミン、4
,4′−ジアミノ−ジフェニルプロパン、3,3゛−ジ
アミノ−ジフェニルプロパン、4,4′−ジアミノ−ジ
フェニルエタン、3,3′−ジアミノ−ジフェニルエタ
ン、4.4′−ジアミノ−ジフェニルメタン、3,3′
−ジアミノ−ジフェニルメタン、4.4′−ジアミノ−
ジフェニルスルフィド、3,3′−ジアミノ−ジフェニ
ルスルフィド、4,4′−ジアミノ−ジフェニルスルホ
ン、3,3′−ジアミノ−ジフェニル4− スルホン、4.4′−ジアミノ−ジフェニルエーテル、
3,3′−ジアミノ−ジフェニルエーテル、ベンジジン
、3.3′−ジアミノ−ビフェニル、3,3′−ジメチ
ル−4,4′ジアミノ−ビフェニル、3,3′−ジメト
キシ−ベンジジン、4.4”−ジアミノ−p−テルフェ
ニル、3.3″ジアミノ−p−テルフェニル、ビス(p
−アミノ−シクロヘキシル)メタン、ビス(p−β−ア
ミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−
メチル−δ−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス(2
−メチル−4−アミノ−ペンチル)ベンゼン、p−ビス
(1,1−ジメチル−5−アミノ−ペンチル)ベンゼン
、1.5−ジアミノ−ナフタレン、2,6−シアミツー
ナフタレン、2,4−ビス(βアミノ−t−ブチル)ト
ルエン、2.4−ジアミノ−トルエン、m−キシレン−
2,5−ジアミン、p−キシレン−2゜5−ジアミン、
m−キシリレン−ジアミン、p−キシリレン−ジアミン
、2,6−シアミツーピリジン、2,5−ジアミノ−ピ
リジン、2,5−ジアミノ−]、 、 3 、4−オキ
サジアゾール、1.4−ジアミノ−シクロヘキサン、ピ
ペラジン、メチレン−ジアミン、エチレン−ジアミン、
プロピレン−ジアミン、2.2−ジメチル−プロピレン
ジアミン、テトラメチレン−ジアミン、ペンタメチレン
−ジアミン、ヘキサメチレン−ジアミン、2゜5−ジメ
チル−へキサメチレン−ジアミン、3−メトキシ−へキ
サメチレン−ジアミン、ヘプタメチレンジアミン、2,
5−ジメチル−へブタメチレン−ジアミン、3−メチル
−ヘプタメチレン−ジアミン、4,4−ジメチル−へブ
タメチレン−ジアミン、オクタメチレン−ジアミン、ノ
ナメチレン−ジアミン、5−メチル−ノナメチレン−ジ
アミン、2,5−ジメチル−ノナメチレン−ジアミン、
デカメチレン−ジアミン、1 、10−ジアミノ−1,
10−ジメチル−デカン、2,11−ジアミノ−ドデカ
ン、1.12−ジアミノ−オクタデカン、2,12ジア
ミノ−オクタデカン、2,17−ジアミノシロキサン、
ジアミノシロキサン、2,6−ジアミツー4−カルボキ
シリックベンゼン、3,3′−ジアミノ−4,4’−ジ
カルボキシリックベンジジンなどがあげられるが、これ
らに限定されるものではない。
- In the format [■], as the amine having an aromatic cyclic group for R2, m=00 diamine, m=1 diaminocarboxylic acid, m=2 diaminodicarboxylic acid, etc. are used, and even one type of amine component is used. , a mixture of two or more types may be used. Examples of the types of amines used include m
-phenylene-diamine, l-isopropyl-2,4-
Phenylene diamine, p-phenylene diamine, 4
, 4'-diamino-diphenylpropane, 3,3'-diamino-diphenylpropane, 4,4'-diamino-diphenylethane, 3,3'-diamino-diphenylethane, 4,4'-diamino-diphenylmethane, 3, 3'
-diamino-diphenylmethane, 4,4'-diamino-
diphenyl sulfide, 3,3'-diamino-diphenyl sulfide, 4,4'-diamino-diphenyl sulfone, 3,3'-diamino-diphenyl 4-sulfone, 4,4'-diamino-diphenyl ether,
3,3'-diamino-diphenyl ether, benzidine, 3,3'-diamino-biphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'diamino-biphenyl, 3,3'-dimethoxy-benzidine, 4,4''-diamino -p-terphenyl, 3.3″diamino-p-terphenyl, bis(p-terphenyl
-amino-cyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-
Methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2
-Methyl-4-amino-pentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-amino-pentyl)benzene, 1,5-diamino-naphthalene, 2,6-cyamitunaphthalene, 2,4-bis (βamino-t-butyl)toluene, 2,4-diamino-toluene, m-xylene-
2,5-diamine, p-xylene-2゜5-diamine,
m-xylylene-diamine, p-xylylene-diamine, 2,6-cyamitopyridine, 2,5-diamino-pyridine, 2,5-diamino-], 3,4-oxadiazole, 1,4-diamino -cyclohexane, piperazine, methylene-diamine, ethylene-diamine,
Propylene-diamine, 2,2-dimethyl-propylene-diamine, tetramethylene-diamine, pentamethylene-diamine, hexamethylene-diamine, 2゜5-dimethyl-hexamethylene-diamine, 3-methoxy-hexamethylene-diamine, heptamethylene diamine, 2,
5-Dimethyl-heptamethylene-diamine, 3-methyl-heptamethylene-diamine, 4,4-dimethyl-heptamethylene-diamine, octamethylene-diamine, nonamethylene-diamine, 5-methyl-nonamethylene-diamine, 2,5- dimethyl-nonamethylene-diamine,
decamethylene-diamine, 1,10-diamino-1,
10-dimethyl-decane, 2,11-diamino-dodecane, 1,12-diamino-octadecane, 2,12-diamino-octadecane, 2,17-diaminosiloxane,
Examples include, but are not limited to, diaminosiloxane, 2,6-diamino-4-carboxylic benzene, and 3,3'-diamino-4,4'-dicarboxylic benzidine.

−形式〔■〕で示されるN−メチロールアクリルアミド
類としては、N−メチロールアクリルアミド、N−メチ
ロールメタクリルアミド、N、N−ジ明細書の浄書(内
容に変更なし) メチロールアクリルアミド、N、N−ジメチロールメタ
クリルアミド、N−メチロール−N−メチルアクリルア
ミド、N−メチロール−N−メチルメタクリルアミド、
N−メチロール−N−エチルアクリルアミド、N−メチ
ロール−N=エチルメタクリルアミドなどがあげられる
が、これらに限定されるものではない。
- N-methylol acrylamides represented by the format [■] include N-methylol acrylamide, N-methylol methacrylamide, N, N-di Methylol methacrylamide, N-methylol-N-methylacrylamide, N-methylol-N-methylmethacrylamide,
Examples include, but are not limited to, N-methylol-N-ethyl acrylamide and N-methylol-N=ethyl methacrylamide.

本発明における(B)成分の増感剤は下記式(式中R5
;−i(、−CH3,−C2H5,−C6H5。
The sensitizer of component (B) in the present invention has the following formula (in the formula R5
;-i(, -CH3, -C2H5, -C6H5.

7 る。7 Ru.

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはベンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、p、p’−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、
フェナントレン、2−ニトロフルオレン、5−ニトロア
セナフテン、ベンゾキノン、N−アセチル−p−ニトロ
アニリン、p−二[・ロアニリン、2−エチルアントラ
キノン、2−ターシャリ−ブチルアントラキノン、N−
アセチル−4−ニトロ−1−ナフチルアミン、ピクラミ
ド、1,2−ベンズアンスラキノン、3−メチル−1,
3−ジアザ−1,9−ベンズアンスロン、p、ρ′−テ
トラエチルジアミノベンゾフェノン、2−クロロ−4−
ニトロアニリン、ジベンザルアセトン、1.2−ナフト
キノン、2,5−ビス=(4′−ジエチルアミノベンザ
ル)−シクロペンタン、2,6−ビス−(4′−ジエチ
ルアミノベンザル)−シクロヘキサノン、2.6−ビス
−(4′−ジメチルアミノベンザル)−4−メチル−シ
クロへキサノン、2,6−ビス−(4′−ジエチルアミ
ノベンザル)−4−メチル−シクロヘキサノン、4.4
′−ビス−(ジメチルアミノ)−カルコン、4,4′−
ビ 18− スー(ジエチルアミノ)−カルコン、p−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、1,3−ビス−(4′−ジ
メチルアミノベンザル)−アセトン、1,3−ビス−(
4′−ジエチルアミノベンザル)−アセトン、N−フェ
ニ/L−ジェタノールアミン、N−p−)−リルージエ
チルアミンなどがあげられるが、本発明において見いだ
されたスチリル化合物は、本発明において開始剤として
用いるオキサシロン化合物との組み合わせで用いること
によってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚
くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、その理由
は今のところ明確ではない。
Sensitizers used in the photosensitive resin composition include benzophenone, acetophenone, anthrone, p,p'-tetramethyldiaminobenzophenone (Michler ketone),
Phenanthrene, 2-nitrofluorene, 5-nitroacenaphthene, benzoquinone, N-acetyl-p-nitroaniline, p-di[・roaniline, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, N-
Acetyl-4-nitro-1-naphthylamine, picramide, 1,2-benzanthraquinone, 3-methyl-1,
3-Diaza-1,9-benzanthrone, p,ρ'-tetraethyldiaminobenzophenone, 2-chloro-4-
Nitroaniline, dibenzalacetone, 1,2-naphthoquinone, 2,5-bis=(4'-diethylaminobenzal)-cyclopentane, 2,6-bis-(4'-diethylaminobenzal)-cyclohexanone, 2 .6-bis-(4'-dimethylaminobenzal)-4-methyl-cyclohexanone, 2,6-bis-(4'-diethylaminobenzal)-4-methyl-cyclohexanone, 4.4
'-Bis-(dimethylamino)-chalcone, 4,4'-
Bi-18-su(diethylamino)-chalcone, p-dimethylaminobenzylideneindanone, 1,3-bis-(4'-dimethylaminobenzal)-acetone, 1,3-bis-(
Examples include 4'-diethylaminobenzal)-acetone, N-phenylene/L-jetanolamine, N-p-)-lyludiethylamine, and the styryl compound discovered in the present invention can be used as an initiator in the present invention. It shows a surprisingly excellent sensitizing effect only when used in combination with the oxacylone compound used. The reason for this surprising synergistic effect is not yet clear.

なお、スチリル化合物の配合量はポリアミック酸100
重量部に対して1重量部以上、10重量部以下が最も好
ましく、スチリル化合物以外の増感剤もこれに併用して
も差し支えがない。
In addition, the blending amount of the styryl compound is polyamic acid 100
It is most preferably 1 part by weight or more and 10 parts by weight or less based on the weight part, and sensitizers other than styryl compounds may also be used in combination.

スチリル化合物の配合量が1噴量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不充分となり、また、
10重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進ま明細書の浄書(内容に変更
なし) ず好ましくない。
If the amount of the styryl compound is less than 1 part, the absorption of light energy will be insufficient and crosslinking will be insufficient.
If the amount exceeds 10 parts by weight, the amount of light energy transmitted is insufficient, and deep photocuring proceeds rapidly, which is not preferable.

本発明における(C)成分の開始剤は下記式%式% ) ) ) )) で示されるフェニル基を持ったオキサシロン化合物であ
る。
The initiator of component (C) in the present invention is an oxacylone compound having a phenyl group represented by the following formula: %))))).

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては2.2−
ジメトキシ−2−フェニル−アセトフェノン、1−ヒド
ロキシ−シクロへキシル−フェニルケトン、2−メチル
−14−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ
−1−プロパン、3.3’ 、4.4′−テトラ−(t
−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、ベン
ジル、ベンゾイン−イソプロピルエーテル、ベンゾイン
−イソブチルエーテル、4,4′−ジメトキシベンジル
、1.4−ジベンゾイルベンゼン、4−ベンゾイルビフ
ェニル、2−ベンゾイルナフタレン、メチル−〇−ベン
ゾイルベンゾエート、2,2′−ビス(0−クロロフェ
ニル)−4,4’ 、5.5’−テトラフェニル−1,
2′−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアク
リドン、エチ/l、−4−ジメチルアミノベンゾエート
、ジベンゾイルメタン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、3.3−ジメチル−4−メトキシ−ベンゾフェノン
、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン
−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−
ヒドロキシ−2−メチルプロ1 パン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−
ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−フェ
ニル−】、2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカル
ボニル)オキシム、1−フェニル−プロパンブタンジオ
ン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,2−ジフェ
ニル−エタンジオン−1−(O−ベンゾイル)オキシム
、1.3−シフエニンl−プロパントリオン−2−(0
−ベンゾイル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ
−プロパントリオン−2−(Qベンザル)オキシムなど
が使用されているが、本発明において見いだされたオキ
サシロン化合物は、増感剤としてのスチリル化合物との
組み合わせによって、他の開始剤にくらべて格段の光反
応開始効果を示した。
As an initiator used in the photosensitive resin composition, 2.2-
Dimethoxy-2-phenyl-acetophenone, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenylketone, 2-methyl-14-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propane, 3.3', 4.4'-tetra −(t
-butylperoxycarbonyl)benzophenone, benzyl, benzoin-isopropyl ether, benzoin-isobutyl ether, 4,4'-dimethoxybenzyl, 1,4-dibenzoylbenzene, 4-benzoylbiphenyl, 2-benzoylnaphthalene, methyl-〇- Benzoylbenzoate, 2,2'-bis(0-chlorophenyl)-4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,
2'-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, ethyl/l, -4-dimethylaminobenzoate, dibenzoylmethane, 2,4-diethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxy-benzophenone, 2-Hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-(4-isopropylphenyl)-2-
Hydroxy-2-methylpro1 pan-1-one, 1-(4-dodecylphenyl)-2-
Hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-phenyl-], 2-butanedione-2-(O-methoxycarbonyl)oxime, 1-phenyl-propanebutanedione-2-(O-benzoyl)oxime, 1, 2-diphenyl-ethanedione-1-(O-benzoyl)oxime, 1,3-siphenin l-propanetrione-2-(0
-benzoyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2-(Qbenzal) oxime, etc., but the oxacylone compound discovered in the present invention is a combination with styryl compound as a sensitizer. Depending on the combination, the photoreaction initiation effect was significantly greater than that of other initiators.

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。
The reason for how this surprising effect is expressed is currently not clear.

なお、オキサシロン化合物の配合量は、ポリアミック酸
100重量部に対して1〜20重量部を必須とし、オキ
サシロン化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支
えない。
The amount of the oxacylone compound to be blended is essentially 1 to 20 parts by weight per 100 parts by weight of the polyamic acid, and initiators other than the oxacylone compound may also be used in combination.

開始剤としてのオキサシロン化合物が1重量部2− 未満であると光感度が充分でなく、好ましくない。1 part by weight of an oxacylone compound as an initiator If it is less than that, the photosensitivity will not be sufficient, which is not preferable.

また、20重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。
Moreover, if it exceeds 20 parts by weight, the film properties after heat treatment and curing will deteriorate.

本発明による耐熱性、感光性樹脂組成物には、接着助剤
やレベリング剤その他各種充填剤を添加してもよい。
An adhesion aid, a leveling agent, and various other fillers may be added to the heat-resistant, photosensitive resin composition of the present invention.

本発明による感光性樹脂組成物の使用方法は、まず、該
組成物を適当な支持体、例えばシリコンウェハーやセラ
ミック基板などに塗布する。塗布方法は、スピンナーを
用いた回転塗布、スプレーコーターを用いた噴霧塗布、
浸漬、印刷、ロールコーティングなどで行なう。次に、
60〜80℃の低温でプリベークして塗膜を乾燥後、所
望のパターン形状に化学線を照射する。化学線としては
、X線、電子線、紫外線、可視光線などが使用できるが
、200〜500r+[11の波長のものが好ましい。
The method for using the photosensitive resin composition according to the present invention is to first apply the composition to a suitable support such as a silicon wafer or a ceramic substrate. Application methods include rotation application using a spinner, spray application using a spray coater,
This can be done by dipping, printing, roll coating, etc. next,
After drying the coating film by prebaking at a low temperature of 60 to 80°C, the desired pattern shape is irradiated with actinic radiation. As the actinic radiation, X-rays, electron beams, ultraviolet rays, visible light, etc. can be used, but those having a wavelength of 200 to 500r+[11] are preferable.

次に、未照射部を現像液で溶解除去することによりレリ
ーフパターンを得る。現像液としては、N−メチル−2
−ピロリドン、N、N−ジメチルアセトアミド、N、N
−ジメチルホルムアミドなどや、メタノール、イソプロ
ピルアルコール、水、トルエン、キシレンなどを単独ま
たは混合して使用する。現像方法としては、スプレー、
パドル、浸漬、超音波などの方式が可能であるが、中で
も現像11.J゛間が最も短く、工程にインラインで組
込むことができて、しかも仕上りパターンが最も続泥な
スプレー現像が最も好ましい。スプレー現像は、かなり
の圧力をかけて現像液を噴霧するため、照射部の溶解度
がゼロないしは限りなく小さい塗膜でなければ、未照射
部と一緒に溶解してしまい、レリーフパターンを残さな
くなってしまう。従来の組成物にはスプレー現像できな
いものがかなり多かったが、本発明による組成物はこれ
が可能で、インライン工程にそのまま組込むことができ
る。
Next, a relief pattern is obtained by dissolving and removing the unirradiated areas with a developer. As a developer, N-methyl-2
-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N
-Dimethylformamide, methanol, isopropyl alcohol, water, toluene, xylene, etc. are used alone or in combination. Development methods include spray,
Methods such as paddle, immersion, and ultrasonic waves are possible, among which development 11. Spray development is most preferable because it has the shortest time interval, can be incorporated in-line into the process, and has the most consistent finished pattern. In spray development, the developer is sprayed under considerable pressure, so unless the coating film has zero or extremely low solubility in the irradiated areas, it will dissolve together with the unirradiated areas, leaving no relief pattern. Put it away. Although many conventional compositions cannot be spray developed, the composition according to the present invention can be developed and can be directly incorporated into an in-line process.

次に、現像にJ:って形成したレリーフパターンをリン
スする。リンス液としては、メタノール、エタノール、
イソプロピルアルコール、酢酸ブチルなどを使用する。
Next, the relief pattern formed during development is rinsed. As a rinsing liquid, methanol, ethanol,
Use isopropyl alcohol, butyl acetate, etc.

次に加熱処理を行ない、イミド環を形成し、耐熱性に富
む最終パターンを得る。
Next, heat treatment is performed to form imide rings and obtain a final pattern with high heat resistance.

本発明による感光性樹脂組成物は、半導体用途のみなら
ず、多層回路の層間絶縁膜やフレキシブル銅張板のカバ
ーコート、ソルダーレジスト膜や液晶配向膜などとして
も有用である。
The photosensitive resin composition according to the present invention is useful not only for semiconductor applications but also as an interlayer insulating film for multilayer circuits, a cover coat for flexible copper clad boards, a solder resist film, a liquid crystal alignment film, and the like.

以下実施例により本発明を具体的に説明する。The present invention will be specifically explained below using Examples.

実施例] 3.3’ 、4.4’−ベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水物57gと、アミンとして4,4′−ジアミノ
ジフェニルエーテル33gと下記式 %式% をN−メチルピロリドンに投入し、20℃で6時間反応
させた。
Example] 57 g of 3.3',4.4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 33 g of 4,4'-diaminodiphenyl ether as an amine, and the following formula % were added to N-methylpyrrolidone, and the mixture was heated at 20°C. The mixture was allowed to react for 6 hours.

得られたポリアミック酸にN−メチロールアクリルアミ
ド60gを投入し、80°Cで1時間反応させた。得ら
れたポリマーの分子量は23000で期待通りのもので
あった。
60 g of N-methylolacrylamide was added to the obtained polyamic acid and reacted at 80°C for 1 hour. The molecular weight of the obtained polymer was 23,000, which was as expected.

5− 次に、増感剤として2−(p−ジメチルアミノスチリル
)ペンゾオキザゾール3gと、開始剤として3−フェニ
ル−5−イソオキサシロン6gを添加し、室温で混合溶
解し、感光性樹脂組成物を得た。
5- Next, 3 g of 2-(p-dimethylaminostyryl)penzoxazole as a sensitizer and 6 g of 3-phenyl-5-isoxacilone as an initiator were added and mixed and dissolved at room temperature to form a photosensitive resin composition. I got something.

(すられた組成物をアルミ板」二にスピンナーで塗布し
、乾燥機により65°Cで1時間乾燥した。
(The smoothed composition was applied to an aluminum plate using a spinner and dried at 65°C for 1 hour using a dryer.

このフィルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレッ1−No2.2]ステツプ(本グレースケー
ルでは、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の1
/f2に減少するので現像後の残存段階が大きいものほ
ど感度が良い)を重ね、500mj/cm2の紫外線を
照射した。
This film is coated with Kodak Photographic Step Tablet 1-No.2.
/f2, so the larger the residual stage after development, the better the sensitivity).

次に、これをスプレー現像機にセットシ、N−メチルピ
ロリドン60重量%、キシレン40重量%の現像液を用
い現像、さらにイソプロピルアルコールでリンスをした
ところ13段までパターンが残存し、高感度であること
が判った。
Next, this was set in a spray developing machine, developed using a developer containing 60% by weight of N-methylpyrrolidone and 40% by weight of xylene, and further rinsed with isopropyl alcohol. When the pattern remained up to 13 steps, it showed high sensitivity. It turned out that.

現像時間は、わずか30秒であった。Development time was only 30 seconds.

次に、前述と同様な方法でシリコンウェハー上に塗布し
全面露光し、現像、リンスの各工程を行 26− い、さらに150.250.350 ’Cで各々30分
間加熱硬化した。
Next, the solution was coated on a silicon wafer in the same manner as described above, exposed to light over the entire surface, developed and rinsed, and further heat-cured at 150.250.350'C for 30 minutes each.

密着力試験のため1n+m角に100個カットし、セロ
テープで引き剥がそうとしたが、1−個も剥がれず、高
密着性であることが判った。
For the adhesion test, 100 pieces were cut into 1n+m square pieces and an attempt was made to peel them off using cellophane tape, but not a single piece was peeled off, indicating that the pieces had high adhesion.

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエツチングで除去し、フ
ィルムを得た。
Separately, it was coated on an aluminum plate, exposed to light over the entire surface, developed, rinsed, and cured with heat, and then the aluminum plate was removed by etching to obtain a film.

得られたフィルムの引張強度(JIS K−6760)
は14Kg/mm2と大きく(大きい方が良い)、熱分
解開始温度は430°Cと高がった(高い方が良い)。
Tensile strength of the obtained film (JIS K-6760)
was as large as 14 Kg/mm2 (the higher the better), and the thermal decomposition initiation temperature was as high as 430°C (the higher the better).

得られたフィルムの体積抵抗率(JISC−6481)
は3X10”Ω・cmと大きく(大きい方が良い)、誘
電率も3.2(LMHz)と低がった(低い方が良い)
Volume resistivity of the obtained film (JISC-6481)
is as large as 3X10"Ω・cm (the larger the better), and the dielectric constant is as low as 3.2 (LMHz) (the lower the better)
.

比較例1〜6 実施例1における増感剤、開始剤の種類と添加量をそれ
ぞれかえ、同様の実験を行い第1表の結果を得た。
Comparative Examples 1 to 6 The same experiments as in Example 1 were carried out by changing the types and amounts of the sensitizer and initiator, and the results shown in Table 1 were obtained.

比較例1は、開始剤の添加量を0.6重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。
In Comparative Example 1, the amount of initiator added was 0.6 parts by weight, and the photosensitivity was extremely low.

比較例2は、比較例1とは逆に36重量部にしたもので
、この場合フィルム中に開始剤が残留し、このため熱分
解開始温度が低くなってしまった。
In Comparative Example 2, the amount was 36 parts by weight, contrary to Comparative Example 1, and in this case, the initiator remained in the film, resulting in a low thermal decomposition initiation temperature.

比較例3は、本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかった。
Comparative Example 3 used an initiator other than the one according to the invention, had low photosensitivity, and was not practical.

比較例4は、増感剤の添加量を0.3重量部にしたもの
で、この場合光感度が著しく低く、架橋も不充分であっ
た。
In Comparative Example 4, the amount of sensitizer added was 0.3 parts by weight, and in this case, the photosensitivity was extremely low and the crosslinking was insufficient.

比較例5は、増感剤量を33重量部としたもので、この
場合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不充分で
ボイドを発生し、均一なフィルムにはならなかった。
In Comparative Example 5, the amount of sensitizer was 33 parts by weight, and in this case, the amount of light transmitted to deep parts was insufficient, curing in deep parts was insufficient, voids were generated, and a uniform film was not obtained. .

比較例6は、本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。
Comparative Example 6 used a sensitizer other than the one of the present invention and had low photosensitivity, making it impractical.

比較例7 3.3’ 、4.4’−ベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水物57gと、2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート48gをγ−ブチロラクトンに溶解後、触媒として
ピリジンを30 g 76加し、20°Cで24時間反
応させ、エステル化物を得た。次にアミド化触媒として
ジシクロへキシルカルボジイミド73gを添加後、4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル33gと実施例1に
記載のシリコーンジアミン10gを添加し、20°Cで
8時間反応させた。次に、このスラリー状物を濾別し、
濾液を70リツトルのエタノールに激しく撹拌しながら
滴下して重合物を析出させた後、12時間静置した。沈
澱物を濾別し、乾燥し、粉砕した。得られたポリマー(
式(IV)の感光性樹脂)の分子量は6500で予想よ
りかなり小さなものであった。そこで再度同様の方法で
ポリマーを合成したが、この場合も分子量は11000
にとどまった。この方法は、工程が長時間で煩雑である
だけでなく、バラツキの大きなものであることがわかっ
た。
Comparative Example 7 After dissolving 57 g of 3.3', 4.4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 48 g of 2-hydroxyethyl methacrylate in γ-butyrolactone, 30 g of pyridine was added as a catalyst, and the mixture was heated at 20°C. The mixture was reacted for 24 hours to obtain an esterified product. Next, after adding 73 g of dicyclohexylcarbodiimide as an amidation catalyst, 4,
33 g of 4'-diaminodiphenyl ether and 10 g of the silicone diamine described in Example 1 were added and reacted at 20°C for 8 hours. Next, this slurry is filtered and
The filtrate was added dropwise to 70 liters of ethanol with vigorous stirring to precipitate a polymer, and then allowed to stand for 12 hours. The precipitate was filtered off, dried and ground. The obtained polymer (
The molecular weight of the photosensitive resin of formula (IV) was 6,500, which was much smaller than expected. Therefore, a polymer was synthesized again using the same method, but in this case too, the molecular weight was 11,000.
I stayed there. It was found that this method not only requires a long and complicated process, but also has large variations.

次に、このポリマーをN−メチル−2−ピロリドンに溶
解し、実施例1と同様の増感剤、開始剤を添加し、感光
性樹脂組成物を得た後、同様に塗布、露光、現像した。
Next, this polymer was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone, and the same sensitizer and initiator as in Example 1 were added to obtain a photosensitive resin composition, which was then coated, exposed, and developed in the same manner. did.

この場合、スプレー現像が可能 29− で、現像時間は30秒、感度はIO段と高かった。In this case, spray development is possible 29- The developing time was 30 seconds, and the sensitivity was as high as IO steps.

しかし、実施例1と同様に熱処理し、フィルムの評価を
行なおうとしたが、フィルムの引張強度はいずれも3k
g/mm2以下しかなく、信性性の評価はできなかった
However, when an attempt was made to heat-treat and evaluate the film in the same manner as in Example 1, the tensile strength of the film was 3K.
g/mm2 or less, and reliability could not be evaluated.

比較例8 実施例1におけるポリアミック酸にジエチルアミノメタ
クリレート60gを投入し、室温で混合した(式〔v〕
の感光性樹脂となる)。次に、実施例1と同様の増感剤
、開始剤を同量添加し、感光性樹脂組成物を得た。この
組成物をシリコンウェハーに塗布し、露光し、現像しよ
うとしたが、スプレー現像の際未露光部だけではなく露
光部までも溶解し、レリーフパターンは得られなかった
Comparative Example 8 60 g of diethylamino methacrylate was added to the polyamic acid in Example 1 and mixed at room temperature (formula [v]
photosensitive resin). Next, the same amounts of the same sensitizer and initiator as in Example 1 were added to obtain a photosensitive resin composition. An attempt was made to apply this composition to a silicon wafer, expose it to light, and develop it, but during spray development, not only the unexposed areas but also the exposed areas were dissolved, and no relief pattern could be obtained.

0 [発明の効果コ 本発明により、耐熱性に富むポリイミド樹脂本来の帰れ
た緒特性をそのまま発揮させうる感光性化された組成物
を得ることができるようになった。
0 [Effects of the Invention] According to the present invention, it has become possible to obtain a photosensitized composition that can exhibit the inherent properties of a polyimide resin rich in heat resistance.

しかもその方法は簡単であるため、バラツキがなく、加
工工程においてもスプレー現像が可能なため4ンライン
で流せるという優れた加工性を備えたものであった。
Moreover, since the method is simple, there is no variation, and since spray development is possible in the processing process, it has excellent processability and can be flowed in a 4-line process.

さらには、極めて光感度の高い特殊な増感剤と開始剤の
組合せを見出したので、少ない照射量(工程のスピード
アップになる)で良好なパターンが得られるようになっ
た。
Furthermore, they discovered a special combination of sensitizer and initiator that has extremely high photosensitivity, making it possible to obtain good patterns with a small irradiation dose (which speeds up the process).

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)下記式〔 I 〕で示される構造単位を主成分とす
るポリマー(A) ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 (式中R_1、R_2:芳香族環状基、 R_3:−H、−CH_3、−C_2H_5R_4:−
H、−CH_3、−C_2H_5、−CH_2OH、−
C_6H_5 n:1〜2、m:0〜2) 下記式〔II〕で示されるスチリル化合物(B)▲数式、
化学式、表等があります▼‐‐‐‐‐〔II〕 (式中R_5:−H、−CH_3、−C_2H_5、−
C_6H_5、R6: ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼(R:H、CH_3、C_2H_5)
下記式〔III〕で示されるオキサゾロン化合物(C)▲
数式、化学式、表等があります▼‐‐‐‐‐〔III〕 (式中R7:▲数式、化学式、表等があります▼、▲数
式、化学式、表等があります▼ R_8:−H、−CH_3、−C_2H_5、−C_3
H_7、−C_4H_9、−C_6H_5、−OH、−
OCH_3、−OC_2H_6、−OC_3H_7、−
OC_4H_9、−OC_6H_5、−CH_2C_6
H_5、−CH_2CH_2C_6H_5、−CH_2
OH、−CH_2CH_2OH、−CH_2CH_3、
−CH(CH_3)_2、−C(CH_3)_3、−C
OCH_3、−COC_2H_5、−OCOCH_3、
−OCOC_2H_5、−CH_2NH_2、−CH_
2CH_2NH_2、−CONH_2、−CONHCH
_3、−CON(CH_3)_2、−CONHC_2H
_5、−CON(C_2H_5)_2、−NHCH_3
、−N(CH_3)_2、−N(C_2H_5)_2)
を必須成分とし、(A)100重量部に対して(B)1
〜10重量部及び(C)1〜20重量部を配してなる感
光性樹脂組成物。
(1) Polymer (A) whose main component is a structural unit represented by the following formula [I] ▲ Numerical formulas, chemical formulas, tables, etc. are available▼ [I] (In the formula, R_1, R_2: aromatic cyclic group, R_3: - H, -CH_3, -C_2H_5R_4:-
H, -CH_3, -C_2H_5, -CH_2OH, -
C_6H_5 n: 1-2, m: 0-2) Styryl compound (B) represented by the following formula [II] ▲ Formula,
There are chemical formulas, tables, etc.▼‐‐‐‐‐[II] (In the formula, R_5: -H, -CH_3, -C_2H_5, -
C_6H_5, R6: ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼, ▲Mathematical formulas, chemical formulas,
There are tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ Mathematical formulas, chemical formulas,
There are tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼
, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ , ▲ Mathematical formulas, chemical formulas,
There are tables etc.▼(R:H, CH_3, C_2H_5)
Oxazolone compound (C) represented by the following formula [III]▲
There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼‐‐‐‐‐[III] (R7 in the formula: ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.) , -C_2H_5, -C_3
H_7, -C_4H_9, -C_6H_5, -OH, -
OCH_3, -OC_2H_6, -OC_3H_7, -
OC_4H_9, -OC_6H_5, -CH_2C_6
H_5, -CH_2CH_2C_6H_5, -CH_2
OH, -CH_2CH_2OH, -CH_2CH_3,
-CH(CH_3)_2, -C(CH_3)_3, -C
OCH_3, -COC_2H_5, -OCOCH_3,
-OCOC_2H_5, -CH_2NH_2, -CH_
2CH_2NH_2, -CONH_2, -CONHCH
_3, -CON(CH_3)_2, -CONHC_2H
_5, -CON(C_2H_5)_2, -NHCH_3
, -N(CH_3)_2, -N(C_2H_5)_2)
is an essential component, and (B) 1 per 100 parts by weight of (A)
~10 parts by weight and (C) 1 to 20 parts by weight.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5385808A (en) * 1989-11-30 1995-01-31 Sumitomo Bakelite Company Limited Photosensitive resin composition and semiconductor apparatus using it
EP0743857A4 (en) * 1994-01-05 1998-07-15 Arqule Inc PROCESS FOR THE PREPARATION OF POLYMERS HAVING SPECIFIC PROPERTIES
JP2006126298A (en) * 2004-10-26 2006-05-18 Jsr Corp Liquid crystal aligning agent, liquid crystal aligning film, liquid crystal display element and optical member

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