JPH0318707A - 光切断法による物体の立体形状検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光切断法を用いて物体の立体形状を検知す
る装置に関する。

〔従来の技術〕

第５図は光切断法により物体の立体形状を計ｆｆｌｌ＋
する従来の装置を模式的に示したものである。レーザ光
源（１）の前方にシリンドリ力ルレンズ（２）を介して
回転ミラー（３）が配置され、回転ミラー（３）の前方
に計測の対象となる物体（４）が配置されている。この
物体（４）に対向するようにイメージセンサ（５〉が配
置されており、イメージセンサ（５）に判定部（６）が
接続され、さらに判定部（６）にメモリ部（７）が接続
されている。尚、物体（４）とイメージセンサ（５）と
の間には、物体（４）の像をイメージセンサ（５）上に
結像するための光学レンズ（８〉が配置されている． 一方、回転ミラー〈３〉の近傍には、回転ミラー（３）
の基準角度を検知するための光検出器〈９）が配置され
ており、この光検出器（９）にカウンタ（１ｏ）が接続
され、カウンタ（１０〉の出力がデータパス（１１）に
よりメモリ部（７）に接続されている．また、メモリ部
（７）にはデータバス（１２）を介してデータプロセッ
サ（１３〉が接続されている．イメージセンサ（５〉は
、このイメージセンサ（５〉と物体（４）とを結ぶ軸を
２軸としてＸ−Ｙ平面上に配列された複数の画素（５ａ
〉を有している．判定部（６〉及びメモリ部（７）はそ
れぞれイメージセンサ（５）の各画素（５ａ）に一対一
に対応して配列された複数の比較器（６ａ〉及び複数の
メモリ（７ａ）を有している． このような楕戒の装置において、レーザ光源（１）から
レーザ光を出射させると共に回転ミラー（３）を角速度
ωでＹ軸の回りに回転させる．レーザ光源（１）から出
射されたレーザ光は、シリンドリヵルレンズ（２〉によ
りＹ軸方向に拡開された後、回転ミラー（３〉により反
射され、スリット状の照射光（１４）を形戒する．この
照射光（ｌ４）は回転ミラー（３）の回転に伴って角速
度ωで回転することとなるが、この照射光（１４）が光
検出器（９〉を通過したときに光検出器（９〉から検出
信号がカウンタ（１０）に出力され、これによりカウン
タ（１０）が計時を開始する．以後カウンタ（１０）か
ら経過時刻ｔを示す時刻データが時々刻々データバス（
１１）を介してメモリ部（７）に出力される． 回転ミラー（３）がさらに回転してスリット状の照射光
（１４）が物体（４）を照射するようになると、照射光
（１４）は物体（４）の表面上に光切断線（１５）を形
成しつつこの表面上を走査することとなる。このとき、
光切断線（１５）の像（１６〉が、光学レンズ（８）を
介してイメージセンサ（５）上に投影され、判定部（６
）の各比較器（６ａ）は対応するイメージセンサ（５）
の画素（５ａ）からの出力信号に基づいてそれぞれ対応
する画素（５ａ〉における光切断線（１５）の像（１６
）の通過を判定する．各比較器〈６ａ〉は光切断線（１
５）の像（１６〉が対応する画素（５＆）を通過したと
判定すると、メモリ部（７）の対応するメモリ（７ａ）
にトリガ信号を出力し、これによりこのときのデータバ
ス（１１〉上の時刻データがメモリ（７ａ〉に記憶され
る。

このようにして、各画素（５ａ）における光切断線（１
５）の像（１６）の通過時刻ｔがそれぞれ対応するメモ
リ（７ａ）に記憶された後、これら通過時刻ｔはデータ
パス（１２）を介してデータプロセッサ（１３）に読み
出される．ところで、経過時刻ｔにおけるスリット状の
照射光（１４）の基準角度からの偏向角度αは、α＝ω
ｔで表されるので、照射光《１４）は経過時刻ｔを用い
た面方程式で表される．また、イメージセンサ（５）に
投影された像（１６）上の１点は物体（４）上の１点に
対応し、これらの点は光学レンズ（８）の中心を通る一
直線上に位置する．従って、この直線の方程式と照射光
（１４）を示す面方程式とから、イメージセンサ（５）
上の像（１６）の１点に対応する物体（４）の点の空間
座標が算出される．このような方法により、データプロ
セッサ（１３）において物体（４）の形状及び位置の算
出が行われる．〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、突発的に明暗が変化するノイズや閃光等
が各画素（５ａ）に入射したり、物体（４）の背景が極
端に明るい場合には、各画素（５ａ）で検出される光切
断線（１５）の像（１６〉のＳ／Ｎ比が低下し、このた
め立体形状の測定精度が低下するという問題があった． この発明はこのような問題点を解消するためになされた
もので、突発的な明暗の変化や背景の明るさに拘わらず
に高精度で物体の立体形状を検知することのできる光切
断法による物体の立体形状検知装置を提供することを目
的とする．〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る光切断法による物体の立体形状検知装置
は、スリット状の光をパルス点灯させると共にこれを対
象物体に所定の速度で走査させる光投射手段と、対象物
体に対向して配置されると共に複数の画素を有するイメ
ージセンサと、スリット状の光により対象物体表面に形
成された光切断線をイメージセンサ上に結像させる光学
系と、イメージセンサの各画素で検出された光切断線の
像のパルス毎にそのパルスのオン／オフの差分を検出す
る差分検出手段と、この差分検出手段で検出されたイメ
ージセンサの各画素における光切断線の像のパルスの差
分から光切断線の像が各画素を通過した時刻を演算する
時刻演算手段と、この時刻演算手段で演算された各画素
における光切断線の像の通過時刻とスリット状の光の走
査速度とから対象物体の立体形状を演算する形状演算手
段とを備えたものである。

〔作用〕

この発明においては、対象物体に照射するスリット状の
光をパルス点灯させ、差分検出手段がイメージセンサの
各画素で検出した光切断線の像のパルス毎にそのパルス
のオン／オフの差分を検出し、その差分から時刻演算手
段が各画素における光切断線の像の通過時刻を演算する
．光切断線の像のパルスのオン／オフの差分をとるため
に、対象物体の背景や閃光等のパルス以外の光信号は除
去される。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図は本発明の一実施例に係る光切断法による物体の
立体形状検知装置を示すブロック図である。光投射手段
（２１〉は、スリット状の光をパルス点灯させてこれを
対象物体（２２）に照射させると共にこの照射光で対象
物体（２２）の表面を走査させるものである。具体的に
は、第５図に示した従来の装置におけるレーザ光源（１
）、シリンドリ力ルレンズ（２）及び回転ミラー（３）
と、レーザ光源（１）をパルス発振させるための制御回
路（図示せず）から構戒される。

対象物体（２２）に対向するように結像光学系（２３）
を介してイメージセンサ（２４）が配置されている。

結像光学系〈２３）は、光学レンズ等がら形或され、ス
リット状の照射光により対象物体（２２〉の表面に形威
された光切断線の像をイメージセンサ（２４）上に結像
させる。イメージセンサ（２４〉は、第５図におけるイ
メージセンサ（５〉と同様に、このイメージセンサ（２
４）と対象物体（２２〉とを結ぶＹ軸に垂直なＸ−Ｚ平
面上に二次元的に配列された複数の画素を有しており、
結像光学系（２３）によって形或された光切断線の像を
検出する． イメージセンサ（２４〉には、このイメージセンサ（２
４〉の各画素で検出された光切断線の像のパルス毎にそ
のパルスのオン／オフの差分をそれぞれとる差分検出手
段（２５）が接続されている。

この差分検出手段（２５）で検出された差分信号から光
切断線の像が各画素を通過した時刻を演算する時刻演算
手段（２６）が差分検出手段（２５）に接続されている
。さらに、時刻演算手段（２６）には、この時刻演算手
段（２６）で演算された各画素毎の光切断線の像の通過
時刻を用いて対象物体（２２）の立体形状を演算する形
状演算手段（２７）が接続されている。

次に、動作について説明する。

まず、光投射手段（２１）によりスリット状の照射光が
所定の周波数でパルス点灯されると共に所定の角速度ω
で回転され、対象物体（２２）の表面上を走査する。こ
のスリット状の照射光により対象物体（２２）の表面に
は光切断線が形或され、結像光学系（２３）により光切
断線の像がイメージセンサ（２４）上に結像される。こ
のとき、照射光はパルス点灯されているので、イメージ
センサ（２４）上に結像された光切断線の像もパルス状
に点灯することになり、この光切断線の像を検出したイ
メージセンサ（２４〉の各画素からはパルス状の検出信
号が出力される。ただし、照射光の走査に伴ってイメー
ジセンナ（２４）上に結像された光切断線の像も移動す
るので、イメージセンサ（２４）の一画素を光切断線の
像が通過する時間だけその画素からパルス状の検出信号
が出力されることとなる。

イメージセンサ（２４〉の各画素から出力されたパルス
状の検出信号は、差分検出手段（２５）においてそのパ
ルス毎にオン時のレベルとオフ時のレベルとの差分がと
られ、時刻演算手段（２６）に送られる。

このとき、光切断線の像のパルスのオン／オフの差分を
とるために、対象物体の背景や閃光等のパルス以外の光
信号は除去され、Ｓ／Ｎ比の高い差分信号が得られる。

時刻演算手段（２６）では、差分検出手段（２５）から
送られた差分信号から光切断線の像が各画素を通過した
時刻の演算が行われる。

このようにしてスリット状の照射光による対象物体（２
２）の走査が終了し、イメージセンサ（２４）の各画素
における光切断線の像の通過時刻が演算された後、形状
演算手段（２７）において、スリット状の照射光を示す
面方程式及びイメージセンサ（２４）の各画素と結像光
学系（２３）の中心とを結ぶ直線の方程式から対象物体
（２２）表面の各点の空間座標が演算され、これにより
対象物体（２２）の形状が検知される。この形状演算手
段（２７）はマイクロプロセッサ等のコンピュータによ
り構戒される。

以上のようにこの実施例では、イメージセンサ（２４）
の各画素で検出されるパルスのオン／オフの差分信号に
基づいて各画素を光切断線の像が通過する時刻を演算す
るので、対象物体の背景や閃光等のパルス以外の光信号
は除去され、精度の高い形状検知が行われる。

第２図にイメージセンサ（２４）、差分検出手段（２５
）及び時刻演算手段（２６）の具体的な回路構成例を示
す。フ才トセンサ等からなるＮ個の画素（３１１）〜（
３１．）がイメージセンサ（２４）のＸ軸方向の一画素
列を構戒している。これら各画素（３１．）〜（３１．
）はそれぞれ第１のサンプルホルダ（３２．）〜（３２
．）及び第１の差分増幅器（−３３，）〜（３３ハの第
１人力端に接続されており、第１の差分増幅器（３３，
）〜（３３．）の第２人力端にはそれぞれ第１のサンプ
ルホルダ（３２．）〜（３２イ〉の出力端が接続されて
いる。各第１の差分増幅器（３３．’）〜（３３．）の
出力端はそれぞれ第２のサンプルホルダ（３４．）〜（
３４．）及び第２の差分増幅器（３５．）〜（３５．）
の第１人力端に接続され、第２の差分増幅器（３５．）
〜（３５．）の第２人力端にはそれぞれ第２のサンプル
ホルダ（３４．）〜（３４．）の出力端が接続されてい
る。第２の差分増幅器（３５．）〜（３５．）の出力端
はそれぞれトリガ入力として第２のサンプルホルダ（３
４　ｌ）〜（３４．）に接続されると共にラッチ回路（
３８．）〜（３６．）に接続されている。各ラッチ回路
（３６１）〜（３６．）はそれぞれデコーダ（３７＋）
〜（３７．）に接続されている。

また、第１のサンプルホルダ（３２，）〜（３２．）に
はトリガ入力として共通にクロック回路（３８）が接続
されており、第２のサンプルホルダ（３４，）〜（３４
．）にはこれらに保持されたデータをリセッｌ・するた
めのリセット回路（３９〉が接続されている。各ラッチ
回路（３６＋）〜（３６−）にはデータパス（４０ａ）
を介してタイマ〈４０〉が接続され、このタイマ（４０
）にクロック回路（３８）及びリセット回路（３９）が
接続されている。

そして、第１のサンプルホルダ（３２．）〜（３２あ）
、第１の差分増幅器（’３３＋）〜（３３．）及びクロ
ック回路（３８〉により差分検出手段（２５）が形或さ
れ、第２のサンプルホルダ（３４＋）〜（３４．）、第
２の差分増幅器（３５，）〜（３５．）、ラッチ回路（
３Ｂ，）〜（３６．）、デコーダ（３７１）〜（３７エ
）、リセット回路（３９〉及びタイマ（４０）により時
刻演算千段（２６）が形戊されている。

尚、第２図にはＸ軸方向の一画素列、例えばｊ番目の画
素列に対応する回路のみが示されており、実際にはこの
ような回路がＹ軸方向に複数列配列される。ただし、ク
ロック回路（３８）．リセット回路（３９）及びタイマ
（４０）はそれぞれ二次元的に配列された全ての画素に
共通のものである。

次に、第３図のタイミングチャートを参照してこの具体
例の動作を述べる。

スリット状の照射光の走査開始時にリセット回路（３９
）から第２のサンプルホルダ（３４　＋　）〜（３４．
）及びタイマ（４０）にリセット信号が出力され、各サ
ンプルホルダ（３４　＋　）〜（３４．）の保持値が初
期値Ｏにリセットされると共にタイマ（４０）が計時を
開始する。

スリット状の照射光は、クロック回路（３８）から出力
されるクロック信号のハイレベル／ローレベルに対応し
てオン／オフするパルス点灯を行う。この照射光により
対象物体の表面に形或される光切断線の像がイメージセ
ンサ（２４）上に結像されるが、照射光の走査に伴って
光切断線の像はイメージセンサ（２４〉上を画素（３１
．）から画素（３１．）に向かってＸ軸方向に移動する
ものとする。

ところで、対象物体の周辺が明るい場合には、光投射手
段による照射光の照射に拘わらず、結像光学系によって
対象物体の像が常時イメージセンサ（２４）上に形威さ
れ、各画素（３１．）〜（３１．）で検出される。第３
図において、波形（４１）は、Ｘ軸方向に配列された画
素（３１．）〜（３１．）のうち、中央部付近の複数の
画素により検出された対象物体の像を示し、波形（４２
）及び（４３）は対象物体の背景や突発的な明暗の変化
に起因して形成された対象物体周辺の像を示している。

そして、クロック回路（３８）から出力されるクロック
信号がハイレベルになると、各画素（３１＋）〜（３１
．）の検出信号はそれぞれ第１のサンプルホルダ（３２
　．　）〜（３２．）に保持される。次いで、クロック
信号がローレベルになると、第１のサンプルホルダ（３
２，）〜（３２．）に保持されていた検出信号が第ｌの
差分増幅器（３３，）〜（３３．）に出力され、ここで
画素（３１１）〜（３１．）から直接リアルタイムで入
力された検出信号との比較が行われてこれら検出信号の
差分信号が第１の差分増幅器（３３　．　）〜（３３．
）から出力される。

従って、例えば第３図のクロツクパルスＰ，からＰ２ま
での１周期の間に画素＜３１ｉ）でスリット状の照射光
が検出されず且つ対象物体に変化がないために、クロッ
ク信号のハイレベル時の検出信号Ｓｈ，とこれに続くロ
ーレベル時の検出信号ＳＮ，が同一レベルである場合に
は、第１の差分増幅器（３３ｉ）から出力される差分信
号Ｄ１は０レベルとなる。その後、光切断線の像がＸ軸
方向に移動してクロックバルスＰ，の時点で画素（３１
ｉ）上に位置すると、クロックバルスＰ，のハイレベル
時には画素（３１ｉ）で対象物体の像と共に光切断線の
像が検出され、高いレベルの検出信号Ｓｈ，が出力され
る。

ところが、対象物体を照射するスリット状の照射光はク
ロック信号のハイレベル／ローレベルに対応してオン／
オフ点滅しているので、クロックパルスＰ，のローレベ
ル時には照射光がオフとなって画素（３１ｉ）で光切断
線の像が検出されなくなり、対象物体の像のみに対応す
るレベルの検出信号ＳＲ，が出力される。このため、第
１の差分増幅器（３３　ｉ　）において対象物体の像の
検出信号レベルが相殺され、ここから光切断線の像のみ
に対応したレベルの差分信号Ｄ３が出力される。

対象物体の像と同様に、対象物体の背景や突発的な明暗
の変化に起因してイメージセンサ（２４）で検出される
波形（４２）及び（４３）等も相殺され、これらの波形
に惑わされずに光切断線の像が差分信号として第１の差
分増幅器（３３ｉ）から出力される。

このようにして、光切断線の像のＸ軸方向への移動に伴
い、各差分増幅器（３３．）〜（３３．）から順次光切
断線の像の通過を示す差分信号が第２の差分増幅器（３
５　＋　）〜（３５．）に出力される。

第１の差分増幅器（３３ｉ）から第２の差分増幅器（３
５　ｉ　）に出力された差分信号は、ここで第２のサン
プルホルダ（３４ｉ）に保持されている信号レベルと比
較され、差分信号が保持レベルより大きいときには第２
の差分増幅器（３５　ｉ　）からハイレベルの信号が第
２のサンプルホルダ（３４ｉ）及びラッチ回路（３６ｉ
）に出力される。このハイレベルの信号により、第１の
差分増幅器（３３　ｉ　）から出力されてきた差分信号
が第２のサンプルホルダ（３４　ｉ　）に新たに保持さ
れると共にこのときの時刻がデータバス＜４０ａ）を介
してタイマ（４０）からラッチ回路（３６　ｉ　）に取
り込まれ保持される。一方、第１の差分増幅器（３３　
ｉ　）から出力された差分信号が第２のサンプルホルダ
（３４ｉ）の保持レベル以下の場合には、第２の差分増
幅器（３５　ｉ　）からは信号が出力されない。

すなわち、第２のサンプルホルダ（３４ｉ）及び第２の
差分増幅器（３５　ｉ　）によって、第１の差分増幅器
（３３ｉ）から出力される差分信号のピーク検出回路が
構成され、差分信号がピークに達したときの時刻がラッ
チ回路（３８ｉ）に保持されることとなる。

以上の動作がスリット状の照射光の走査終了まで続けら
れることにより、画素（３１，）〜（３１．）を光切断
線の像が通過した時刻がそれぞれ対応ずるラッチ回路（
３６，）〜（３６．）に保持される。

その後、各ラッチ回路（３６，）〜（３６Ｎ）に保持さ
れた通過時刻はそれぞれデコーダ（３７１）〜（３７．
）を介して形状演算手段へ伝送される。このとき、各デ
コーダ（３７，）〜（３７．）はｊ番目の画素列である
ことを示すアドレス線ＸｊとそれぞれのＹ方向のアドレ
ス線Ｙ１〜Ｙ，ｌとにより順次指定され、通過時刻がデ
ータパス（４４）を介して伝送される。

このような構或とすることにより、対象物体の背景や閃
光等の照射光以外の光信号が除去されるので、精度の高
い立体形状検知が可能となる。また、対象物体の背景が
移動している場合でも、その移動速度に対してクロック
信号の周期を十分小さく設定すれば、背景の影響を除去
することができる． 尚、第２図の回路では、第１の差分増幅器（３３ｉ）か
ら出力される差分信号のピークがクロック信号の１周期
毎に判定されるが、クロック信号の数周期分の平均をと
ってそのピークを検出するようにしてもよい。このよう
にすれば、閃光等の光信号が照射光のパルス点灯に同期
した場合でも、その影響を除去することができる。ただ
し、クロック信号の数周期分の平均をとるために、照射
光の走査速度に対してクロック信号の周期を十分に小さ
く設定することが望ましい． また、イメージセンサ（２４）、差分検出手段（２５）
及び時刻演算手段（２６〉を互いに積層形成することも
できる．この場合、時刻演算処理（２６）は、さらに第
２のサンプルホルダ（３４１）〜（３４．）及び第２の
差分増幅器（３５１）〜（３５ゎ）からなるピーク検出
回路、ラッチ回路（３６．）〜（３６．）及びデコーダ
（３７．）〜（３７．）に分けて積層化してもよい。

第２図の具体例では、第１の差分増幅器（３３．）〜（
３３．）から出力される差分信号のピークを検出するこ
とにより光切断線の像の通過時刻を求めたが、各画素（
３１１）〜（３１．）で検出した光切断線の像のパルス
数をカウントすることにより通過時刻を求めることもで
きる．この場合の回路構成を第４図に示す．差分検出手
段（２５〉の第１の差分増幅器（３３１）〜（３３．）
の出力端にそれぞれカウンタ（４５１）〜（４５．）が
接続され、各カウンタ（４５，）〜（４５．）にそれぞ
れデコーダ（４６．）〜（４６．）が接続されている，
第１の差分増幅器（３３ｉ）からは、対応する画素（３
１ｉ）上に光切断線の像が位置する間だけ、その像の点
滅に同期したパルス状の差分信号が出力されるが、この
差分信号のパルス数がカウンタ（４５ｉ）でカウントさ
れる．従って、各カウンタ（４５，）〜（４５．　）の
カウント数を累積することにより、各画素（３１１）〜
（３１．）を光切断線の像が通過した時刻を演算するこ
とができる。各カウンタ（４５＋）〜（４５や）のカウ
ント数はそれぞれデコーダ（４６１）〜（４６．）を介
して図示しないコンピュータに伝送され、コンピュータ
により通過時刻の演算が行われる．この具体例によれば
、第２図の回路のようにタイマ（４０）から各画素（３
１１）〜（３１．）に対応したラッチ回路（３６．）〜
（３６．）に時刻データを入力するためのデータパス（
４０ａ）が不要になる．一般に、実用的な時刻データを
伝送するためには例えば１６ビット程度のデータパス（
４０ａ）が必要となるので、このデータパス（４０ａ）
を不要とすることにより回路の配線構戒が簡単化される
． 〔発明の効果〕 以上説明したように、この発明に係る光切断法による物
体の立体形状検知装置は、スリット状の光をパルス点灯
させると共にこれを対象物体に所定の速度で走査させる
光投射手段と、対象物体に対向して配置されると共に複
数の画素を有するイメージセンサと、スリット状の光に
より対象物体表面に形成された光切断線をイメージセン
サ上に結像させる光学系と、イメージセンサの各画素で
検出された光切断線の像のパルス毎にそのパルスのオン
／オフの差分を検出する差分検出手段と、この差分検出
手段で検出されたイメージセンサの各画素における光切
断線の像のパルスの差分から光切断線の像が各画素を通
過した時刻を演算する時刻演算手段と、この時刻演算手
段で演算された各画素における光切断線の像の通過時刻
とスリット状の光の走査速度とから対象物体の立体形状
を演算する形状演算手段とを備えているので、突発的な
明暗の変化や背景の明るさに拘わらずに高精度で物体の
立体形状を検知することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る光切断法による物体の
立体形状検知装置を示すブロック図、第２図は第１図の
要部の具体例を示す回路図、第３図は具体例の動作を示
すタイミングチャート図、第４図は第１図の要部の他の
具体例を示す回路図、第５図は従来例に係る立体形状検
知装置を示す斜視図である。 図において、（２１）は光投射手段、（２２）は対象物
体、（２３〉は結像光学系、（２４〉はイメージセンサ
、（２５）は差分検出手段、（２６）は時刻演算手段、
（２７）は形状演算手段である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 第 ２ 図 第 ５ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 スリット状の光をパルス点灯させると共にこれを対象物
   体に所定の速度で走査させる光投射手段と、 前記対象物体に対向して配置されると共に複数の画素を
   有するイメージセンサと、 前記スリット状の光により前記対象物体表面に形成され
   た光切断線を前記イメージセンサ上に結像させる光学系
   と、 前記イメージセンサの各画素で検出された前記光切断線
   の像のパルス毎にそのパルスのオン／オフの差分を検出
   する差分検出手段と、 前記差分検出手段で検出された前記イメージセンサの各
   画素における前記光切断線の像のパルスの差分から前記
   光切断線の像が各画素を通過した時刻を演算する時刻演
   算手段と、前記時刻演算手段で演算された各画素におけ
   る前記光切断線の像の通過時刻と前記スリット状の光の
   走査速度とから前記対象物体の立体形状を演算する形状
   演算手段と を備えたことを特徴とする光切断法による物体の立体形
   状検知装置。