JPH03192606A - マイクロ波誘電体セラミックス - Google Patents

マイクロ波誘電体セラミックス

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JPH03192606A
JPH03192606A JP33067789A JP33067789A JPH03192606A JP H03192606 A JPH03192606 A JP H03192606A JP 33067789 A JP33067789 A JP 33067789A JP 33067789 A JP33067789 A JP 33067789A JP H03192606 A JPH03192606 A JP H03192606A
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佐藤 豊作
Kazutoshi Ayusawa
鮎沢 一年
Toru Arai
徹 荒井
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、マイクロ波誘電体セラミックス、特にその
比誘電率(ε1)および無負荷Q(Qu)か大きくかつ
組成を変化させることにより零を中心にして正または負
の任意の温度係数(Tf)が得られるマイクロ波誘電体
セラミックス組成物に関するものである。
(従来の技術) 一般に、温度保慣用セラミックス(磁器)コンデンサや
マイクロ波回路用の誘電体共振器等では誘電体セラミ・
ンクス(磁器)組成物として比誘電率ε、および無負荷
Q:Qu (=1/1an5)が大きく、共振周波数の
温度係数τ、としでは、0を中心にして正または負の任
意の温度係数が得られることが必要とされている。従来
、かかる誘電体セラミックス組成物としてBaO・Ti
O2系、Mg T i 03 ・Cao系、ZrO2・
3r10□・TiO□系、Bad−Ti12−8m2O
3・LazO3系などの組成物を使用していた(例えば
特公昭61−14606号公報参照)。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、これら従来の誘電体セラミックス組成物
を用いて誘電体共振器やコンデンサを製造した場合、そ
の温度係数τ、がO(ppm/℃)付近では比誘電率ε
、が60〜80であり、このような比誘電率の値は、誘
電体共振器等の小形化を図る上で小ざくて不十分である
という問題点があった。
ところで、この出願に係る発明者等は、既に特願平1−
2O6566号において、酸化バリウム(Bad)、二
酸化チタン(TiO2)、酸化サマリウム(Sm2O3
)、酸化ランタン(La2O3)、酸化ネオジウム(N
d2O3 ”)および酸化どスマス(Bi2O3)から
なる組成物においで、 その組成式を X BaO・Y  TiO2 −TiO2−7((S+−wq −w2(La2O3)
w l(Nd2O3)wd ’VBi2O3と表わした
とき、X、Y、Z、Vtそれぞれモル%て 11、5≦X≦21.0 60、 0≦Y≦76.0 6、5≦Z≦26.0 0、 1≦V≦  5.0 X+Y+Z+V= 1 00 (但し、W、 、W、、(1−W、 −W2 )をモル
比としたとき、o<wq <1.0.0〈W2〈1.0
、O< (I  WI  W2 ) < 1 、0であ
る)の組成範囲とした場合に、このマイクロ波誘電体セ
ラミックスは、マイクロ波領域において、比誘電率(ε
、、)および無負荷Q(Qu)が大きく、さらに組成を
変化させることによって広範囲に共振周波数の温度係数
T、を変化させることができることを報告しでいる。
従って、この発明の目的は、Bad、TiO2、Sm2
O3、L a2O3 、Nd2O3および8i2O3か
らなる組成物を主成分とする場合、これら主成分を構成
する各組成のモル%(X、Y、ZおよびV)と所要のモ
ル比(W1、W2および(I  WI  W2))とを
それぞれ一定とした場合でも、比誘電率(ε1)或いは
無負荷Q(Qu)を向上させるとともに、必要に応じて
温度係数(τf)をO(p p m/”C)付近で広範
囲に変化させることができるマイクロ波誘電体セラミッ
クスを提供するものである。
(課題を解決するための手段) この発明の達成を図るため、この発明のマイクロ波誘電
体セラミックスによれば、酸化バリウム(Bad)、二
酸化チタン(TiO2)、酸化サマリウム(Smz 0
3 ) 、酸化ランクン(L a 2O3)、酸化ネオ
ジウム(N d2 a3)および酸化ビスマス(8i2
O3)からなる組成物の組成式を X  Ba(IY  TiO□ ・Z{(Sm2O3)+−wq−w2(La2O3)w
q(Nd2O3)wz)’/ Bi2O3と表わしたと
き、X、Y、Z、Vtそれぞれモル%て 11.5≦×≦21.0 60.0≦Y≦76.0 6.5≦Z≦26.O 0、1≦V≦  5. 0 X+Y+Z+V=100 (但し、WI 、W2、(1WI  W2.)をモル比
としたときO<W、<1、O<W2<1、Oく(I  
WI −W2 )< 1である)の組成範囲とし、さら
に、前記組成物を主成分とすると、該主成分に対し、副
成分として、酸化セリウム(Ce 02 ) ’j!:
 5重量%以下(但し、0重量%を除く)添加してなる
ことを特徴とする。尚、このCeO2の5重量%は、8
aO1Ti○2、Smz 03 、La2O3、Nd2
O3およびBi2O3からなる上述した組成物(主成分
)の1モルに対し、0.0606モルに相当する。
さらに、この発明のマイクロ波誘電体セラミックスによ
れば、上述した副成分として、酸化セリウム(CeO2
)を用いる代わりに酸化鉛(PbO)を用い、その酸化
鉛(PbO)を5重量%以下(但し、0重量%を除く)
添加してなることを特徴とする。尚、このPbOの5重
責%は、BaO1T102、Sm2O3、La2O3、
Nd2O3およびBi2O3からなる上述した組成物(
主成分)の1モルに対し、0.0463モルに相当する
。
また、この発明のマイクロ波誘電体セラミックスによれ
ば、上述した副成分として、酸化セリウム(CeO2)
または酸化鉛(PbO)を用いる代わりに酸化アルミニ
ウム(AβZO3)!用い、その酸化アルミニウム(A
l2O2)ヲ3重■%以下(但し、0重量%を除く)添
加してなることを特徴とする。尚、このAl2O2の3
重量%は、Bad、TiO2,5m2o3、La2O3
、Nd2O3およびB 12O3からなる上述した組成
物(主成分)の1モルに対し、0.0609モルに相当
する。
(作用) この発明の上述した構成によれば、マイクロ波誘電体セ
ラミックス組成物の各組成成分の組成範囲を、いずれも
、上述した所定範囲内に特定しであるので、後述する実
験結果からも明らかなように、上述した温度係数τfが
O(ppm/”C)付近でも比誘電率ε1および無負荷
Qが大きく、しかも、組成を変化させることにより零を
中心にして正または負の任意の温度係数てfを得ること
が出来る。
(実施例) 以下、この発明のマイクロ波誘電体セラミックスの実施
例につき説明する。
[実施例I]二酸化セリウム(G:eOz)を副成分と
する例 出発原料として化学的に高純度の8aG○3、TlO2
、Sm2O3、La2O3、Nd2O3、Bi2O3お
よびCeO21Fr別表1に示す所定の組成比率になる
ようにそれぞれ秤量し、純水とともにボールミルを用い
て混合した。尚、この実施例では、BaCO2、TiO
2、Sm2O3、La2O3、Nd2O3およびBi2
O3の組成物(主成分)の組成比率の組み合わせは、一
種類とし、それぞれの組成比率の組の主成分に対し副成
分としてのCeO2の添加tを種々に変えた。この混合
物を空気中で1060°Cの温度で2時間仮焼した。得
られた仮焼物をボールミルで純水とともに粉砕し、脱水
乾燥後、バインダを添加して造粒した後、32メツシユ
のふるいを通して整粒(分級)した。
得られた造粒粉体を、金型を用いて油圧プレスで、成形
圧力1〜3tOn/Cm2で、成形して直径16mm、
厚さ9mmの円板状の成形体を得た0次に、得られた成
形体を高純度のアルミナ匣に入れ、1250℃〜140
0℃の温度範囲の適切な温度で2時間、空気中で焼成し
、誘電体セラミックスを得た。
得られた誘電体セラミックスについてハッキ・コールマ
ン法により比誘電率(ε1)および無負荷Q (Q、 
)を測定し、その結果を別表1に示した。また、共振周
波数の温度係数T、を、下記(1)式に従って2O℃の
共振周波数を基準にして一40″Cと+85℃の温度に
おけるそれぞれの共振周波数から求め、これらの実験結
果を別表1に示した。尚、これらの測定における共振周
波数は3〜4GH2であった。
(ppm/ ”C,) (1) 但し、 f(2O”C)=2O℃における共振周波数f(85℃
)=85℃における共振周波数f (−40℃)=−4
0℃における共振周波数へT:測定温度差、 ここでは85− (−40)=125℃別表1において
*印を付した試料番号のものは、この発明の範囲外の比
較例であり、それ以外の試料がこの発明の範囲内の実施
例である。尚、別表1中、重量%をwt%として示しで
ある。
別表1の測定結果によれば、主成分に対しで、CeO2
の添加量を増加させていくと、比誘電率(ε1)および
無負荷Q (Q、 )は、最大値を示したのち減少し、
温度係数(rf)は、最小値を示したのち増大する。す
なわち、比誘電率(ε1)は、CeO2の添加310.
2重量%、無負荷Q (Q、 )は、CeO2の添加量
3重量%のとき最大値ε、=89.5およびQ、=23
10となり、その後、比誘電率(ε1)および無負荷Q
 (Qu)がともに減少し、CeO2の添加量5重量%
を超えるもの、すなわち、試料番号6.12のものは比
誘電率がε1=40前後と非常に小さくなり、この発明
の目的に合わず、不適当であることかわかる。
以上の結果から実用的に見て主成分の組成式をX  8
aO・Y  TiO□ ・Z{(Sm2O3) I −1# +−wz(La2
O3)w 1(Nd2O3)w2)・VB !z[hと
表わしたとき、 X、Y、ZおよびVをそれぞれ モル%て 11、5≦X≦21.Q 6C).0≦Y≦76、0 6、5≦Z≦26.0 0、 1 ≦V≦  5.0 X+Y+Z+V= 100 とし、さらに、W、およびW2をモル比で表わしたとき 0<W、 <1.0 0<W2<1.0 0 < 1  W+  W2 < 1 、0の範囲とし
、この主成分に対して副成分のCeO2を5重量%以下
(但し、Oを除く):l′!A加してなる誘電体セラミ
ック組成物がマイクロ波誘電体組成物としで適している
ことがゎがった。尚、このCeO2の5重量%は、主成
分1モルに対しCe O2の0.0606モルに相当す
る量である。また、この誘電体セラミック組成物の焼結
性も向上した。
[実施例■コニ酸化鉛(PbO)@副成分とする例 出発原料として化学的に高純度のB a CO3、Ti
0z 、Sm2O3、Laz O3、Ndz○3、B1
2O3およびpbov別表2に示す所定の組成比率にな
るようにそれぞれ秤量し、純水とともにボールミルを用
いて混合した。尚、この実施例では、BaCO3、Ti
O2、Sm2O3、La2O3、Nd2O3およびBi
□03の組成物(主成分)の組成比率の組み合わせは、
二種類とし、それぞれの組成比率の組の主成分に対し副
成分としてのPbOの添加量を種々に変えた。この混合
物を空気中で1060 ”Cの温度で2時間仮焼した。
得られた仮焼物をボールミルで純水とともに粉砕し、脱
水乾燥後、バインダを添加して造粒した後、32メツシ
ユのふるいを通しで整粒(分級)した。
得られた造粒粉体を、金型を用いて油圧プレスで、成形
圧力1〜3ton/cm2で、成形して直径16mm、
厚さ9mmの円板状の成形体を得た。次に、得られた成
形体を高純度のアルミナ匣に入れ、1250℃〜140
0℃の温度範囲の適切な温度で2時間、空気中で焼成し
、誘電体セラミックスを得た。
得られた誘電体セラミックスについてハッキ・コールマ
ン法により比誘電率(ε1)および無負荷Q (Qu)
を測定し、その結果を別表2に示した。また、このとき
の測定条件を実施例工の場合と同一の条件として測定を
行なった。
別表2において*印を付した試料番号のものは、この発
明の範囲外の比較例であり、それ以外の試料がこの発明
の範囲内の実施例である。尚、別表2中、重量%をwt
%として示しである。
別表2の測定結果によれば、主成分に対しで、PbOの
添加量を増加させていくと、比誘電率(ε1)は、添加
M 5 w t%までは増大し、最大ε、=95.2を
示したのち減少する。一方、無負荷Q (Q、J)は、
添加量の増大とともに小ざくなり、5wt%を超えると
急激に小さくなる。さらに、温度係数(τf)は、添加
量3wt%で最小値を示した後、増大に転じ添加j15
 w t%を超えると急激に大きくなる。このように試
料番号6.12のものは無負荷Q (Qu)が1000
以下と小さく、温度係数が■に大きいため、この発明の
目的に合わず、不適当であることがわかる。
以上の結果から実用的に見て主成分の組成式をX Ba
O・Y  TiO□ ・Z((Sm2O3) I −1# I −w2(La
2O3)w I (Nd2O3)w2) ’ VB 1
2O3と表わしたとき、 ×1 1 ZおよびVをそれぞれ モル%で 11、5≦X≦21.0 60.0≦Y≦76.0 6.5≦Z≦26.0 0、1≦V≦  5.0 X+Y+Z+V= 100 とし、さらに、W、およびW2%モル比で表わしたとき 0<W+ <1.0 0 < W 2 < 1 、0 0< 1−W、−W2 < 1.0 の配回とし、この主成分に対して副成分のPbOを5重
量%以下(但し、01除く)添加してなる誘電体セラミ
ック組成物がマイクロ波誘電体組成物として適している
ことがわかった。尚、このPbOの5重量%は、主成分
1モルに対しPbOの0.0463モルに相当する量で
ある。また、この誘電体セラミック組成物の焼結性も向
上した。
[実施例■] :酸化アルミニウム(Au2O3)を副
成分とする例 出発原料として化学的に高純度のBaCO2、T io
2.Sm2o3、La2O3、Nd2O3、Bi2O3
およびAl2O2を別表3に示す所定の組成比率になる
ようにそれぞれ秤量し、純水とともにボールミルを用い
て混合した。尚、この実施例では、BaCO3、TiO
□、Sm2O3、La2o:4 、Nd2O3およびB
iz○3の組成物(主成分)の組成比率の組み合わせは
、二ti類とし、それぞれの組成比率の組の主成分に対
し副成分としてのAl2O3の添加量を種々に変えた。
この混合物を空気中で1060℃の温度で2時間仮焼し
た。得られた仮焼物をボールミルで純水とともに粉砕し
、脱水乾燥後、バインダを添加しで造粒した後、32メ
ツシユのふるいを通しで整粒(分級)した。
得られた顆粒状の造粒粉体を、金型を用いて油圧プレス
で、成形圧力1〜3ton/cm2で、成形して直径1
6mm、厚さ9mmの円板状の成形体を得た。次に、得
られた成形体を高純度のアルミナ匣に入れ、1250℃
〜1450℃の温度節回の適切な温度で2時間、空気中
で焼成し、誘電体セラミックスを得た。
得られた誘電体セラミックスについてハッキ・コールマ
ン法により比誘電率(ε1)および無負荷Q (Qu)
を測定し、その結果を別表3に示した。また、このとき
の測定条件を実施例■の場合と同一の条件として測定を
行なった。
別表3において*印を付した試料番号のものは、この発
明の範囲外の比較例であり、それ以外の試料がこの発明
の範囲内の実施例である。尚、別表3中、重量%をwt
%として示しである。
別表3の測定結果によれば、主成分に対する、Al2O
2の添加量が3重量%以下の場合、誘電率(ε、)はや
や小さくなるか、その低下量は大きくない、また、無負
荷Q (Qu)は、添加量が1重量%以下で増大する。
さらに、Al2O2の添加量の増大に伴ない、温度係数
(τf)が負の方向に大きく減少するので、添加量に応
じて温度係数を正から負に変化させることができる。
一方、Al2O2の添加量が3重量%より多い場合、す
なわち試料番号6、]2の試料では、比誘電率(εr)
が50以下であり、また、無負荷Q(Qu)が1000
以下と小さくなるとともに温度係数(τf)か負に著し
く大きくなり、この発明の目的に合わす、不適当である
ことかわかる。
以上の結果から実用的に見て主成分の組成式をX 8a
O・Y  TiO2 ・2((sm2O3) I −1# l −wz(La
2O3)w 1(Nd2O3)wz) ’ VB L0
3と表わしたとき、 X、  Y、 ZおよびVをそれぞれ モル%で 1 1、 5≦)≦21. 0 60、 ○≦Y≦76.0 6、5≦Z≦26.O Oo 1≦V≦  5.O X+Y+Z+V=100 とし、さらに、WIおよびW2aモル比で表わしたとき ○< W +  < 1 、 0 0<W2<1.0 0<1−W、−W2 <1.0 の範囲とし、この主成分に対して副成分のAl2O2を
3重量%以下(但し、0を除く)添加しでなる誘電体セ
ラミック組成物かマイクロ波誘電体組成物として適して
いることがわがった。尚、このAl2O2の3重量%は
、主成分1モルに対しAl2O2の0.0609モルに
相当する量である。
尚、この発明は上述した別表1〜3で挙げたそれぞれの
実施例にのみ限定されるものではなく、各実施例におい
て、上述した主成分の組成虻囲内での他の組み合わせか
らなる主成分に対しで、それぞれの副成分の添加j1%
上述した節回内で種々変えで得られる各誘電体セラミッ
クスも、上述したそれぞれの実施例と同等の効果が得ら
れる。
(発明の効果) 上述した説明からも明らかなように、この発明のマイク
ロ波誘電体セラミックスは、マイクロ波領域において比
誘電率(ε1)および無負荷Q(Q、)が大きく、ざら
に組成を変化させることによって広範囲に共振周波数の
温度係数τfを変化きせることができる。
従ってマイクロ波誘電体共振器あるいは温度保慣用コン
デンサ等の誘電体セラミックス(磁器)として利用する
ことができるので、工業的利用価値か大きい。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)酸化バリウム(BaO)、二酸化チタン(TiO
    _2)、酸化サマリウム(Sm_2O_3)、酸化ラン
    タン(La_2O_3)、酸化ネオジウム(Nd_2O
    _3)および酸化ビスマス(Bi_2O_3)からなる
    組成物の組成式を X BaO・YTiO_2 ・Z{(Sm_2O_3)_1_−_w_q_−_w_
    2(La_2O_3)_w_1(Nd_2O_3)_w
    _2)・V Bi_2と表わしたとき、X、Y、Z、V
    をそれぞれモル%で 11.5≦X≦21.0 60.0≦Y≦76.0 6.5≦Z≦26.0 0.1≦V≦5.0 X+Y+Z+V=100 (但し、W_1、W_2および(1−W_1−W_2)
    はそれぞれモル比を表わし、かつ、0<W_1<1.0
    、0<W_2<1.0、0<(1−W_1−W_2)<
    1.0である)の組成範囲とし、さらに、前記組成物を
    主成分とすると、該主成分に対し、副成分として、酸化
    セリウム(CeO_2)を5重量%(この5重量%は主
    成分1モルに対し0.0606モルに相当する)以下(
    但し、0重量%を除く)添加してなることを特徴とする
    マイクロ波誘電体セラミックス。 (2)酸化バリウム(BaO)、二酸化チタン(TiO
    _2)、酸化サマリウム(Sm_2O_3)、酸化ラン
    タン(La_2O_3)、酸化ネオジウム(Nd_2O
    _3)および酸化ビスマス(Bi_2O_3)からなる
    組成物の組成式を X BaO・YTiO_2 ・Z{(Sm_2O_3)_1_−_w_1_−_w_
    2(La_2O_3)_w_1(Nd_2O_3)_w
    _2}・V Bi_2O_3と表わしたとき、X、Y、
    Z、Vをそれぞれモル%で 11.5≦X≦21.0 60.0≦Y≦76.0 6.5≦Z≦26.0 0.1≦V≦5.0 X+Y+Z+V=100 (但し、W_1、W_2および(1−W_1−W_2)
    はそれぞれモル比を表わし、かつ、0<W_1<1.0
    、0<W_2<1.0、0<(1−W_1−W_2)<
    1.0である)の組成範囲とし、さらに、前記組成物を
    主成分とすると、該主成分に対し、副成分として、酸化
    鉛(PbO)を5重量%(この5重量%は主成分1モル
    に対し0.0463モルに相当する)以下(但し、0重
    量%を除く)添加してなることを特徴とするマイクロ波
    誘電体セラミックス。 (3)酸化バリウム(BaO)、二酸化チタン(TiO
    _2)、酸化サマリウム(Sm_2O_3)、酸化ラン
    タン(La_2O_3)、酸化ネオジウム(Nd_2O
    _3)および酸化ビスマス(Bi_2O_3)からなる
    組成物の組成式を XBaO・Y TiO_2 ・Z{(Sm_2O_3)_1_−_w_1_−_w_
    2(La_2O_3)_w_1(Nd_2O_3)_w
    _2}・V Bi_2O_3と表わしたとき、X、Y、
    Z、Vをそれぞれモル%で 11.5≦X≦21.0 60.0≦Y≦76.0 6.5≦Z≦26.0 0.1≦V≦5.0 X+Y+Z+V=100 (但し、W_1、W_2および(1−W_1−W_2)
    はそれぞれモル比を表わし、かつ、0<W_1<1.0
    、0<W_2<1.0、0<(1−W_1−W_2)<
    1.0である)の組成範囲とし、さらに、前記組成物を
    主成分とすると、該主成分に対し、副成分として、酸化
    アルミニウム(Al_2O_3)を3重量%(この3重
    量%は主成分1モルに対し0.0609モルに相当する
    )以下(但し、0重量%を除く)添加してなることを 特徴とするマイクロ波誘電体セラミックス。
JP1330677A 1989-08-09 1989-12-20 マイクロ波誘電体セラミックス Expired - Fee Related JP2501649B2 (ja)

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