JPH031962U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH031962U JPH031962U JP6095689U JP6095689U JPH031962U JP H031962 U JPH031962 U JP H031962U JP 6095689 U JP6095689 U JP 6095689U JP 6095689 U JP6095689 U JP 6095689U JP H031962 U JPH031962 U JP H031962U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- cooling roll
- atmosphere
- sealing device
- seal bars
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す縦断概念図、
第２図は本考案の他の実施例を示す縦断概念図、
第３図は、従来の連続真空蒸着装置の一例を示す
縦断概念図である。 １，１′……走行基板、２……蒸着室、３……
ガイドロール、４……冷却ロール、５……巻取リ
ール、６……払出リール、７……蒸着装置、８…
…真空シール装置、９……シールロール、１０…
…シールバー、１１……減圧室、１２……ケーシ
ング、１３……真空配管、１４……真空排気装置
、１５……冷却ロール。
第２図は本考案の他の実施例を示す縦断概念図、
第３図は、従来の連続真空蒸着装置の一例を示す
縦断概念図である。 １，１′……走行基板、２……蒸着室、３……
ガイドロール、４……冷却ロール、５……巻取リ
ール、６……払出リール、７……蒸着装置、８…
…真空シール装置、９……シールロール、１０…
…シールバー、１１……減圧室、１２……ケーシ
ング、１３……真空配管、１４……真空排気装置
、１５……冷却ロール。
Claims (1)
- 可撓性の帯状材を大気中から連続的に真空中に
搬入して、真空処理を施した後、連続的に大気中
に搬出する装置において、払出リール、巻取リー
ル、真空シール装置、表面処理室、排気装置、お
よび冷却ロールを備え、上記真空シール装置は上
記冷却ロールと相対して同冷却ロールの半周未満
の領域を覆うように設置された複数個のシールバ
ーとそれらシールバーを保持するケーシングとか
ら構成されたことを特徴とする連続真空処理装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6095689U JPH031962U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6095689U JPH031962U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031962U true JPH031962U (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=31588779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6095689U Pending JPH031962U (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031962U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521071U (ja) * | 1991-03-11 | 1993-03-19 | タキゲン製造株式会社 | 離隔操作型ラツチ装置 |
| JP2003531594A (ja) * | 2000-05-02 | 2003-10-28 | ルナ ソシエテ アノニム | タンク、特に水槽用の外部フィルタ |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP6095689U patent/JPH031962U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0521071U (ja) * | 1991-03-11 | 1993-03-19 | タキゲン製造株式会社 | 離隔操作型ラツチ装置 |
| JP2003531594A (ja) * | 2000-05-02 | 2003-10-28 | ルナ ソシエテ アノニム | タンク、特に水槽用の外部フィルタ |
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