JPH0320063A - 電気ヒューズ - Google Patents
電気ヒューズInfo
- Publication number
- JPH0320063A JPH0320063A JP1155459A JP15545989A JPH0320063A JP H0320063 A JPH0320063 A JP H0320063A JP 1155459 A JP1155459 A JP 1155459A JP 15545989 A JP15545989 A JP 15545989A JP H0320063 A JPH0320063 A JP H0320063A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fuse
- heater
- heat generated
- cut
- blown
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電気ヒューズに関するものである。
従来の技術
最近、半導体装置の発展には目覚渣しいものがあｂ１特
に製造後に電気的にプログラムすることが可能な半導体
装置への要望が高１っている。この電気的にプログラム
する方法のひとつとして電気ヒューズを用いこれを切断
するか切断しないかにようプログラムするというものが
ある。第３図は、従来の電気ヒューズの一例で、Ａは電
気ヒューズの平面図、ＢはＡのａ − ａにおける断面
図である。１はヒューズ、２は絶縁膜である。この例で
は、２の絶縁膜を形或した上部に１のヒューズを形威し
た構戒となっている。１のヒューズは、例えばア〃ミな
どの導電体で構威され、このヒューズ部に電流を流すこ
とによるヒューズ部自身が発する熱によりヒューズを溶
断するというものである。
に製造後に電気的にプログラムすることが可能な半導体
装置への要望が高１っている。この電気的にプログラム
する方法のひとつとして電気ヒューズを用いこれを切断
するか切断しないかにようプログラムするというものが
ある。第３図は、従来の電気ヒューズの一例で、Ａは電
気ヒューズの平面図、ＢはＡのａ − ａにおける断面
図である。１はヒューズ、２は絶縁膜である。この例で
は、２の絶縁膜を形或した上部に１のヒューズを形威し
た構戒となっている。１のヒューズは、例えばア〃ミな
どの導電体で構威され、このヒューズ部に電流を流すこ
とによるヒューズ部自身が発する熱によりヒューズを溶
断するというものである。
発明が解決しようとする課題
上記従来の電気ヒューズでは、ヒューズ部に電流を流す
ことによりヒューズ部自身が発する熱によりヒューズを
溶断するものであるため、ヒューズ溶断時に流す電流を
制御する回路部と通常使用時にヒューズが切断している
か切断しないかを判断する回路部が必要であυ、通常使
用時にはヒューズ部に流れる電流を少なくしヒューズが
溶断しないようにしなければならない。ヒューズ部に流
れる電流はヒューズの形状にも起因し、特にこれら２つ
の回路部による電流の制御が難しく、信頼性良く動作さ
せるために大きな課題となっている。
ことによりヒューズ部自身が発する熱によりヒューズを
溶断するものであるため、ヒューズ溶断時に流す電流を
制御する回路部と通常使用時にヒューズが切断している
か切断しないかを判断する回路部が必要であυ、通常使
用時にはヒューズ部に流れる電流を少なくしヒューズが
溶断しないようにしなければならない。ヒューズ部に流
れる電流はヒューズの形状にも起因し、特にこれら２つ
の回路部による電流の制御が難しく、信頼性良く動作さ
せるために大きな課題となっている。
課題を解決するための手段
本発明は、上記の課題を解決するために、ヒューズと、
該ヒューズと絶縁膜で絶縁されたヒューズ切断用ヒータ
ーを有し、前記ヒューズ切断用ヒーターに電流を流すこ
とにより発する熱によυ前記ヒューズを切断するもので
ある。
該ヒューズと絶縁膜で絶縁されたヒューズ切断用ヒータ
ーを有し、前記ヒューズ切断用ヒーターに電流を流すこ
とにより発する熱によυ前記ヒューズを切断するもので
ある。
作 用
このように、本発明の電気ヒューズでは、ヒューズ部と
は別にヒューズ切断用ヒーターを設けこのヒューズ切断
用ヒーターに電流を流すことによう発する熱によりヒュ
ーズを溶断するものであるためヒューズ自身には大きな
電流を流す必要がなく、ヒューズに対しては、通常使用
時にヒューズが切断しているか切断しないかを判断する
回路部のみで、特に電流の制御が必要なく、信頼性良く
動作する。１た、ヒューズ部分を取り囲むようにヒュー
ズ切断用ヒーターを配置したものについては、ヒーター
の熱が効率よくヒューズ部に伝わυ、ヒューズ切断が効
率よくおこなえる。
は別にヒューズ切断用ヒーターを設けこのヒューズ切断
用ヒーターに電流を流すことによう発する熱によりヒュ
ーズを溶断するものであるためヒューズ自身には大きな
電流を流す必要がなく、ヒューズに対しては、通常使用
時にヒューズが切断しているか切断しないかを判断する
回路部のみで、特に電流の制御が必要なく、信頼性良く
動作する。１た、ヒューズ部分を取り囲むようにヒュー
ズ切断用ヒーターを配置したものについては、ヒーター
の熱が効率よくヒューズ部に伝わυ、ヒューズ切断が効
率よくおこなえる。
実施例
以下、本発明を実施例によって第１図及び第２図を用い
て説明する。第１図は、本発明の電気ヒューズの一実施
例で、第２図は、第１図の改良発明の電気ヒューズの一
実施例で、第１図及び第２図Ａは電気ヒューズの平面図
、ＢはＡのａ − ａにおける断面図である。１はヒュ
ーズ、２は絶縁膜、３はヒエーズ切断用ヒーターである
。この例では、２の絶縁膜を形戊した上部に例えばポリ
シリコンなどの導電体で構威され３のヒューズ切断用ヒ
ーターを形或し、さらに上部に２の絶縁膜を形成し、さ
らに上部に例えばアルミなどの導電体で構或された１の
ヒューズを形或した構或となっている。
て説明する。第１図は、本発明の電気ヒューズの一実施
例で、第２図は、第１図の改良発明の電気ヒューズの一
実施例で、第１図及び第２図Ａは電気ヒューズの平面図
、ＢはＡのａ − ａにおける断面図である。１はヒュ
ーズ、２は絶縁膜、３はヒエーズ切断用ヒーターである
。この例では、２の絶縁膜を形戊した上部に例えばポリ
シリコンなどの導電体で構威され３のヒューズ切断用ヒ
ーターを形或し、さらに上部に２の絶縁膜を形成し、さ
らに上部に例えばアルミなどの導電体で構或された１の
ヒューズを形或した構或となっている。
１のヒューズの切断時には、３のヒューズ切断用ヒータ
ーに電流を流すことにより発する熱によう，１のヒュー
ズを溶断するというものである。通常使用時には３のヒ
ューズ切断用ヒーターに電流を流さず、１のヒューズに
小さな電流を流すことによりヒューズが切断しているか
切断しないかをプログラムされた内容として判断する。
ーに電流を流すことにより発する熱によう，１のヒュー
ズを溶断するというものである。通常使用時には３のヒ
ューズ切断用ヒーターに電流を流さず、１のヒューズに
小さな電流を流すことによりヒューズが切断しているか
切断しないかをプログラムされた内容として判断する。
第２図の場合は、１のヒューズを取ジ囲むように３のヒ
ューズ切断用ヒーターを形或することによシヒーターの
熱が効率よくヒューズ部に伝えヒューズ切断が効率よく
おこなえるようにしたものである。
ューズ切断用ヒーターを形或することによシヒーターの
熱が効率よくヒューズ部に伝えヒューズ切断が効率よく
おこなえるようにしたものである。
発明の勤果
以上のように、本発明の電気ヒューズでは、ヒューズ部
とは別にヒューズ切断用ヒーターを設けこのヒーターの
熱によりヒューズを溶断するものであるためヒューズ自
身には大きな電流を流す必要がなく信頼性良く動作しそ
の実用的効果は極めて大きい。
とは別にヒューズ切断用ヒーターを設けこのヒーターの
熱によりヒューズを溶断するものであるためヒューズ自
身には大きな電流を流す必要がなく信頼性良く動作しそ
の実用的効果は極めて大きい。
第１図及び第２図は、本発明による電気ヒューズの一実
施例を示す図で、第１図，第２図のＡは平面図、第１図
，第２図のＢは同Ａのａ − ａにおける断面図、第３
図は、従来の電気ヒューズ一例であシ同Ａは平面図、同
Ｂは同Ａのａ − ａにおける断面図である。 １・・・・・・ヒューズ、２・・・・・・絶縁膜、３・
・・・・・ヒュズ切断用ヒーター
施例を示す図で、第１図，第２図のＡは平面図、第１図
，第２図のＢは同Ａのａ − ａにおける断面図、第３
図は、従来の電気ヒューズ一例であシ同Ａは平面図、同
Ｂは同Ａのａ − ａにおける断面図である。 １・・・・・・ヒューズ、２・・・・・・絶縁膜、３・
・・・・・ヒュズ切断用ヒーター
Claims (2)
- （１）ヒューズと、該ヒューズと絶縁膜で絶縁されたヒ
ューズ切断用ヒーターを有し、前記ヒューズ切断用ヒー
ターに電流を流すことにより発する熱により前記ヒュー
ズを切断することを特徴とする電気ヒューズ。 - （２）ヒューズ部分を取り囲むようにヒューズ切断用ヒ
ーターが配置されたことを特徴とする特許請求の範囲記
載第１項の電気ヒューズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1155459A JPH0320063A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 電気ヒューズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1155459A JPH0320063A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 電気ヒューズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320063A true JPH0320063A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15606513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1155459A Pending JPH0320063A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 電気ヒューズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320063A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19604776A1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-08-14 | Siemens Ag | Auftrennbare Verbindungsbrücke (Fuse) und verbindbare Leitungsunterbrechung (Anti-Fuse), sowie Verfahren zur Herstellung und Aktivierung einer Fuse und einer Anti-Fuse |
| JP2015109305A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 富士電機株式会社 | ポリシリコンヒューズおよびポリシリコンヒューズを有する、半導体装置およびポリシリコンヒューズの分断方法 |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1155459A patent/JPH0320063A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19604776A1 (de) * | 1996-02-09 | 1997-08-14 | Siemens Ag | Auftrennbare Verbindungsbrücke (Fuse) und verbindbare Leitungsunterbrechung (Anti-Fuse), sowie Verfahren zur Herstellung und Aktivierung einer Fuse und einer Anti-Fuse |
| JP2015109305A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 富士電機株式会社 | ポリシリコンヒューズおよびポリシリコンヒューズを有する、半導体装置およびポリシリコンヒューズの分断方法 |
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