JPH03205752A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、イオンビームを発生させる高電位部やそこ
からのイオンビームを加速する加速管等の周りをシール
ドキャビネットで囲んだ構造のイオン注入装置に関し、
より具体的には、当該シールドキャビネットの小型化手
段に関する。

〔従来の技術〕

この種のイオン注入装置の従来例を第２図に示す。

イオン源、更に通常は分析電磁石やイオン源用電源等を
含み（いずれも図示省略）、所要のイオンビームを発生
させる高電位部２が、絶縁架台３によって支持されてい
る。

この高電位部２には、そこからのイオンビームを加速す
る加速管４の一端側が接続されており、この加速管４の
他端側は通常は接地電位にされる。

そしてこの加速管４によって加速されたイオンビームが
、図示しないターゲットに導かれて、イオン注入が行わ
れる。

高電位部２の横には、高電位部２および加速智４に加速
電圧（例えば数十〜数百ＫＶ程度）を町加する加速電源
５が設置されており、その先端■・と高電位部２とがパ
イプ８によって接続されている。

同じく高電位部２の横には、高電位部２に（より具体的
にはその内部の機器に）大地電位部から電力を供給する
絶縁変圧器６が設置されている。

通常、この種の絶縁変圧器６は、１段構或の場合には巻
線や鉄心等を含む本体部分を大地電位にあるタンク部６
ａ内に、その二次側のリードを高圧ブッシング６ｂ内に
収納している。また、複数段構或の場合には、前述の本
体部分をタンク部６ａおよび高圧ブッシング６ｂ内に分
割し、その二次側のリードを高圧プッシング６ｂ内に収
納している。そしてこの従来例では、タンク部６ａから
二次側の高圧ブッシング６ｂが上に突き出された構造を
しており、この高圧ブ・ノシング６ｂの高圧端子と高電
位部２とがパイプ９によって接続されていてその中に必
要なリードが通されている。

そして、これらの高電位部２、加速管４、加速電源５お
よび絶縁変圧器６の周りは、その高電圧部との間に所定
の空間絶縁距離を取って、電気的シールドと、主として
高電位部２から放出されるＸ線のシールドとを兼ねて、
シールドキャビネット７によって囲まれている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記構成だと、シールドキャビネット７内に
おいて、高電位部２および加速管４については仕方ない
としても、加速電源５および絶縁変圧器６の設置スペー
スが必要であり、しかもそれらの高電圧部とシールドキ
ャビネット７との間に所定の空間絶縁距離を取る必要が
あるため、シールドキャビネット７が非常に大きくなる
。そしてこれの小型化が次のような理由から大きな課題
となっている。

即ち、イオン注入装置は通常、空調されたホコリの少な
いクリーンルーム内に設置されるが、クリーンルームの
建築コストは高いため、そこに収納する各装置の占有面
積を縮小することがクリーンルームを小さくしてそのコ
ストダウンを図る上で重要だからである。

そこでこの発明は、上記のようなシールドキャビネット
の小型化を図ることを主たる目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、この発明のイオン注入装置は
、前記絶縁変圧器をそのタンク部から高圧ブッシングが
横に突き出された構造のものとして、そのタンク部を前
記シールドキャビネット外に配置すると共に高圧ブソシ
ングをシールドキャビネット内に挿入してその高圧端子
を前記高電位部に接続し、かつ前記加速電源を前記高電
位部の下部に配置したことを特徴とする。

〔作用〕

上記構威によれば、絶縁変圧器のタンク部の周りをシー
ルドキャビネットで囲む必要が無くなるので、そのぶん
当該シールドキャビネットの小型化を図ることができる
。

また、加速電源を高電位部の下部に配置することで、加
速電源専用のスペースや空間絶縁距離が不要になるので
、この意味がらもシールドキャビネットの小型化を図る
ことができる。

〔実施例〕

第１図は、この発明の一実施例に係るイオン注入装置を
部分的に示すものであり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）
はその側面図である。この図は、シールドキャビネット
の大きさを対比しやすいように、第２図とほぼ同一縮尺
で図示している。また、第２図の従来例と同等部分には
同一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点
を主に説明する。

この実施例においては、前述した絶縁変圧器６に対応す
る絶縁変圧器ｌ６を、その大地電位にあるタンク部１６
ａから二次側の高圧ブッシング１６ｂが横に（水平方向
に）突き出された構造のものとしている。そしてこのタ
ンク部１６ａをシールドキャビネ７｝１７外に配置する
と共に、高圧ブンシング１６ｂをシールドキャビネット
１７内に穴１７ａの部分を通して挿入してその高圧端子
を前述した高電位部２に接続し、これによって当該高電
位部２に大地電位部から電力を供給するようにしている
。

また、前述した加速電源５に対応する加速電源１５を高
電位部２の下部に、より具体的にはその下部の絶縁架台
３内に配置している。その場合、このような配置を効果
的に行うためには、当該加速電源１５についてもこの実
施例のように小型化を図るのが好ましい。

上記構或によれば、絶縁変圧器１６のタンク部１６ａの
周りをシールドキャビネッ｝１７で従来例のように所定
の空間絶縁距離を取って囲む必要が無くなるので、その
ぶん当該シールドキャビネット１７の小型化を図ること
ができる。

また、加速電源ｌ５を高電位部２の下部に配置すること
で、シールドキャビネット１７内において加速電源ｌ５
専用の設置スペースが不要になり、しかもそれの高電圧
部とシールドキャビネット１７との間にそれ専用の空間
絶縁距離を取る必要が無くなるので、この意味からもシ
ールドキャビネット１７の小型化を図ることができる。

より具体的には、第１図の実施例によれば、第２図の従
来例に比べて、シールドキャビネット１７の平面の面積
は約５０％にでき、体積は約４５％にできた。

そして、このようにシールドキャビネット１７の小型化
を図ることで、それ自身のコストダウンは勿論のこと、
それを収納するクリーンルームを小さくしてそのコスト
ダウンを図ることができるようになる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、絶縁変圧器のタンク部
の周りをシールドキャビネットで囲む必要が無くなり、
しかもシールドキャビネット内において加速電源専用の
スペースや空間絶縁距離が不要になるので、当該シール
ドキャビネットの大幅な小型化を図ることができる。

その結果、当該シールドキャビネット自身のコストダウ
ンは勿論のこと、それを収納するクリーンルームを小さ
くしてそのコストダウンを図ることができるようになる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例に係るイオン注入装置を
部分的に示すものであり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）
は側面図である。第２図は、従来のイオン注入装置の一
例を部分的に示すものであり、（Ａ）はその平面図、（
Ｂ）はその側面図である。 ２・・・高電位部、３・・・絶縁架台、４・・・加速管
、１５・・・加速電源、１６・・・絶縁変圧器、１６ａ
・・・タンク部、１６ｂ・・・高圧プツシング、１７・
・・　シールドキャビネット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）イオン源を含みイオンビームを発生させる高電位
   部と、この高電位部に接続されていてそこからのイオン
   ビームを加速する加速管と、前記高電位部および加速管
   に加速電圧を印加する加速電源と、前記高電位部に大地
   電位部から電力を供給する絶縁変圧器であって大地電位
   にあるタンク部から高圧ブッシングが突き出された構造
   のものと、少なくとも前記高電位部および加速管の周り
   を囲むシールドキャビネットとを備えるイオン注入装置
   において、前記絶縁変圧器をそのタンク部から高圧ブッ
   シングが横に突き出された構造のものとして、そのタン
   ク部を前記シールドキャビネット外に配置すると共に高
   圧ブッシングをシールドキャビネット内に挿入してその
   高圧端子を前記高電位部に接続し、かつ前記加速電源を
   前記高電位部の下部に配置したことを特徴とするイオン
   注入装置。