JPH03207944A - 空調装置 - Google Patents
空調装置Info
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- JPH03207944A JPH03207944A JP2252984A JP25298490A JPH03207944A JP H03207944 A JPH03207944 A JP H03207944A JP 2252984 A JP2252984 A JP 2252984A JP 25298490 A JP25298490 A JP 25298490A JP H03207944 A JPH03207944 A JP H03207944A
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- Japan
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- opening
- room
- room pressure
- pressure
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルーム等の室圧制御を要する各種用
途の換気対象室に対して装備する空調装置に関し、詳し
くは、換気対象室に接続した強制換気風路に、前記換気
対象室に対する給排気量収支を微調整するための第lダ
ンパーを介装し、前記換気対象室に付設した室圧センサ
ーによる室圧検出に基づいて、検出室圧を設定値に維持
するように前記第1ダンパーを開度制御する室圧制御器
を設けた空調装置に関する。
途の換気対象室に対して装備する空調装置に関し、詳し
くは、換気対象室に接続した強制換気風路に、前記換気
対象室に対する給排気量収支を微調整するための第lダ
ンパーを介装し、前記換気対象室に付設した室圧センサ
ーによる室圧検出に基づいて、検出室圧を設定値に維持
するように前記第1ダンパーを開度制御する室圧制御器
を設けた空調装置に関する。
従来、上記の如き空調装置においては、強制換気風路に
介装した1個のダンパー(第1ダンパー)を検出室圧に
応じて単に開度制御することだけで換気対象室の室圧を
制御する構成となっていた(文献を示すことができない
)。
介装した1個のダンパー(第1ダンパー)を検出室圧に
応じて単に開度制御することだけで換気対象室の室圧を
制御する構成となっていた(文献を示すことができない
)。
しかし、1個のダンパーの開度制御で室圧制御を行う場
合、換気対象室に大きな室圧変動か生じたり、又、強制
換気風路に介装したフィルターの抵抗か長期使用に伴う
フィルターの目詰りにより大きく増大したりすると、室
圧検出に基づいた開度制御によりダンパーの開度か大き
く変更されることとなるか、ダンパーには、その開度変
更に対して通風量が第5図に破線及び実線で示す如く非
比例的に変化する特性かあるために、ダンパーの開度か
大きく変更されると、それに伴い、ダンパーの換気対象
室に対する給排気量収支の調整特性(単位量のダンパー
開度(C)変更に対する通風量(Q)の変化率)までも
大きく変化してしまう。
合、換気対象室に大きな室圧変動か生じたり、又、強制
換気風路に介装したフィルターの抵抗か長期使用に伴う
フィルターの目詰りにより大きく増大したりすると、室
圧検出に基づいた開度制御によりダンパーの開度か大き
く変更されることとなるか、ダンパーには、その開度変
更に対して通風量が第5図に破線及び実線で示す如く非
比例的に変化する特性かあるために、ダンパーの開度か
大きく変更されると、それに伴い、ダンパーの換気対象
室に対する給排気量収支の調整特性(単位量のダンパー
開度(C)変更に対する通風量(Q)の変化率)までも
大きく変化してしまう。
ところが、ダンパーの開度状態によってダンパーにおけ
る給排気量収支の調整特性か大きく変化するということ
は、室圧の微少変動に対する通常時の室圧制御を不安定
(ハンチングや応答性低下)とする要因となり、そのた
めに、換気対象室の室圧を所望の設定値に安定的に維持
することが難しくなって、例えば、クリーンルームに対
する不測の汚染空気侵入や、実験ルームからの不測の有
害気体漏洩等を室圧制御により防止する上で未だ十分な
信頼性を得られない問題がある。
る給排気量収支の調整特性か大きく変化するということ
は、室圧の微少変動に対する通常時の室圧制御を不安定
(ハンチングや応答性低下)とする要因となり、そのた
めに、換気対象室の室圧を所望の設定値に安定的に維持
することが難しくなって、例えば、クリーンルームに対
する不測の汚染空気侵入や、実験ルームからの不測の有
害気体漏洩等を室圧制御により防止する上で未だ十分な
信頼性を得られない問題がある。
また、室圧制御の対応巾を広く確保しながら通常時にお
ける室圧制御を安定化するに、室圧検出に基づいて室圧
制御器により開度制御される第1ダンパーの開度制御を
給排気量収支の調整特性かあまり大きく変化しない制限
開度範囲内に維持するように、検出室圧や第1ダンパー
の開度検出に基づいた強制換気ファンの能力制御で換気
対象室に対する給排気量収支の基本的調整を行うことも
考えられるが、能力制御可能なファンを装備しなければ
ならないために室圧制御のシステムコストか高く付いた
り、又、給排気量収支の基本調整であるにしてもファン
の能力制御では十分な調整精度や応答性を得ることがで
きない問題かある。
ける室圧制御を安定化するに、室圧検出に基づいて室圧
制御器により開度制御される第1ダンパーの開度制御を
給排気量収支の調整特性かあまり大きく変化しない制限
開度範囲内に維持するように、検出室圧や第1ダンパー
の開度検出に基づいた強制換気ファンの能力制御で換気
対象室に対する給排気量収支の基本的調整を行うことも
考えられるが、能力制御可能なファンを装備しなければ
ならないために室圧制御のシステムコストか高く付いた
り、又、給排気量収支の基本調整であるにしてもファン
の能力制御では十分な調整精度や応答性を得ることがで
きない問題かある。
本発明の目的は、強制換気風路における合理的な通風量
調整、すなわち、換気対象室に対する合理的な給排気量
収支調整により、室圧変動に対する対応巾を十分に大き
く確保しなから、室圧制御の安定化を図る点にある。
調整、すなわち、換気対象室に対する合理的な給排気量
収支調整により、室圧変動に対する対応巾を十分に大き
く確保しなから、室圧制御の安定化を図る点にある。
本発明による空調装置の特徴構威は、室圧制御器により
検出室圧に基づいて開度制御される第1ダンパーを介装
した強制換気風路に対して、通風量を調整する第2ダン
パーを前記第1ダンパーに並列接続させて介装し、室圧
センサーによる検出室圧に基づいて、又は、前記第1ダ
ンパーの開度検出に基づいて、前記第Iダンパーに対す
る前記室圧制御器の開度制御を設定制限開度範囲内に維
持するように、前記第2ダンパーを開度制御する基本室
圧制御器を設けたことにあり、その作用・効果は次の通
りである。
検出室圧に基づいて開度制御される第1ダンパーを介装
した強制換気風路に対して、通風量を調整する第2ダン
パーを前記第1ダンパーに並列接続させて介装し、室圧
センサーによる検出室圧に基づいて、又は、前記第1ダ
ンパーの開度検出に基づいて、前記第Iダンパーに対す
る前記室圧制御器の開度制御を設定制限開度範囲内に維
持するように、前記第2ダンパーを開度制御する基本室
圧制御器を設けたことにあり、その作用・効果は次の通
りである。
つまり、第1ダンパー開度制御の基準となる室圧センサ
ーの検出室圧や、あるいは、第1ダンパーそのものの開
度検出に基づいて第1ダンパーに対する室圧制御器の制
御状態を判断させる状態で、基本室圧制御器による第2
ダンパーの開度制御より換気対象室に対する給排気量収
支を基本的に調整してしまい、それによって、給排気量
収支微調整用である第Iダンパーに対する室圧制御器の
室圧検出に基づいた開度制御を設定制限開度範囲内に維
持するのであり、そして、設定制限開度範囲としては、
第1ダンパーにおいて換気対象室に対する給排気量収支
の調整特性かあまり大きく変化しない開度範囲、すなわ
ち、単位量のダンパー開度変更に対する通風量の変化率
かあまり大きく変化しない開度範囲を設定しておくので
ある。
ーの検出室圧や、あるいは、第1ダンパーそのものの開
度検出に基づいて第1ダンパーに対する室圧制御器の制
御状態を判断させる状態で、基本室圧制御器による第2
ダンパーの開度制御より換気対象室に対する給排気量収
支を基本的に調整してしまい、それによって、給排気量
収支微調整用である第Iダンパーに対する室圧制御器の
室圧検出に基づいた開度制御を設定制限開度範囲内に維
持するのであり、そして、設定制限開度範囲としては、
第1ダンパーにおいて換気対象室に対する給排気量収支
の調整特性かあまり大きく変化しない開度範囲、すなわ
ち、単位量のダンパー開度変更に対する通風量の変化率
かあまり大きく変化しない開度範囲を設定しておくので
ある。
その結果、第2ダンパーの開度制御による給排気量収支
の基本的調整により室圧制御の対応巾を十分に大きく確
保できながら、室圧の微小変動に対する通常時における
室圧制御の安定性は、設定制限開度範囲内に常に維持さ
れた第1ダンパーの開度制純により、従前の如く1個の
ダンパーの開度制御のみで室圧制御する型式に比して大
巾に向上される。
の基本的調整により室圧制御の対応巾を十分に大きく確
保できながら、室圧の微小変動に対する通常時における
室圧制御の安定性は、設定制限開度範囲内に常に維持さ
れた第1ダンパーの開度制純により、従前の如く1個の
ダンパーの開度制御のみで室圧制御する型式に比して大
巾に向上される。
しかも、前記第1ダンパーに対する開度制御を設定制限
開度範囲内に維持するために第2ダンパーか全閉近くに
なるときかあるか、このとき、例えば、前記第1ダンパ
ーと第2ダンパーとを直列接続させた場合には、強制換
気通路か第2ダンパーによって過剰に絞れて、第1ダン
パーの開度制御と給排気収支調整との関係か崩れ、その
結果、第2ダンパーによって第1ダンパーの開度制御を
設定制限開度範囲内に維持する割には、室圧制御の精度
か低くなる。
開度範囲内に維持するために第2ダンパーか全閉近くに
なるときかあるか、このとき、例えば、前記第1ダンパ
ーと第2ダンパーとを直列接続させた場合には、強制換
気通路か第2ダンパーによって過剰に絞れて、第1ダン
パーの開度制御と給排気収支調整との関係か崩れ、その
結果、第2ダンパーによって第1ダンパーの開度制御を
設定制限開度範囲内に維持する割には、室圧制御の精度
か低くなる。
しかし、本発明によるときは、前記第lダンパーと第2
ダンパーとを並列接続させてあるため、前記のように第
2ダンパーか全閉近くとなっても、第1ダンパーを確実
に作用させることかできる。
ダンパーとを並列接続させてあるため、前記のように第
2ダンパーか全閉近くとなっても、第1ダンパーを確実
に作用させることかできる。
したがって、室圧制御の対応巾か十分に大きいことによ
り、何らかの原因で生じた室圧の大きな変動や、強制換
気風路に介装したフィルターの目詰りによる抵抗増大等
に対しても十分に追従できながら、通常時において換気
対象室の室圧を所望の設定値に安定的に維持できるよう
になり、クリーンルームに対する不測の汚染空気侵入や
実験ルームからの不測の有害気体漏洩等を一層確実に防
止できる、室圧制御面での信頼性の高い空調装置にてき
た。
り、何らかの原因で生じた室圧の大きな変動や、強制換
気風路に介装したフィルターの目詰りによる抵抗増大等
に対しても十分に追従できながら、通常時において換気
対象室の室圧を所望の設定値に安定的に維持できるよう
になり、クリーンルームに対する不測の汚染空気侵入や
実験ルームからの不測の有害気体漏洩等を一層確実に防
止できる、室圧制御面での信頼性の高い空調装置にてき
た。
しかも、本発明によれば、ダンパー(第2ダンパー)の
開度制御により換気対象室に対する給排気量収支の基本
的調整を行うから、ファンを能力制御する型式に比して
システムコスト面で有利となり、しかも、本来的にファ
ンを能力制御する型式に比して給排気量収支の基本的調
整に高い調整精度や高い応答性を確保することかできる
から、何らかの原因で生じた室圧の大きな変動に対する
対応性を向上できると共に、第1ダンパーの開度制御範
囲維持を適確に実行できて、室圧制御をより一層効果的
に安定化てきる。
開度制御により換気対象室に対する給排気量収支の基本
的調整を行うから、ファンを能力制御する型式に比して
システムコスト面で有利となり、しかも、本来的にファ
ンを能力制御する型式に比して給排気量収支の基本的調
整に高い調整精度や高い応答性を確保することかできる
から、何らかの原因で生じた室圧の大きな変動に対する
対応性を向上できると共に、第1ダンパーの開度制御範
囲維持を適確に実行できて、室圧制御をより一層効果的
に安定化てきる。
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第I図に示すように、吸気ガラリ(1)から取入れた外
気を温湿度調整する空調器(2)、及び、その空調器(
2)により調整された空気を複数のクリーンルーム(3
)に給送する給気ファン(4)を設け、他方、クリーン
ルーム(3)夫々の室内空気を排気ガラリ(5)から外
部へ排出する排気ファン(6)、及び、その排気ファン
(6)からの給送風の一部を空調器(2)に戻す還気風
路(7)を設け、もって、換気対象室としての複数のク
リーンルーム(3)に対する換気装置を構威してある。
気を温湿度調整する空調器(2)、及び、その空調器(
2)により調整された空気を複数のクリーンルーム(3
)に給送する給気ファン(4)を設け、他方、クリーン
ルーム(3)夫々の室内空気を排気ガラリ(5)から外
部へ排出する排気ファン(6)、及び、その排気ファン
(6)からの給送風の一部を空調器(2)に戻す還気風
路(7)を設け、もって、換気対象室としての複数のク
リーンルーム(3)に対する換気装置を構威してある。
給気ファン(4)からの給気風路(8)を各クリーンル
ーム(3)に接続する分岐給気路(9)の夫々には、風
量センサー(lO)及び風量調整用ダンパー(l1)を
装備すると共に、風量センサー(IO)による検出風量
をシステムコントローラ(12)により指示された風量
に維持するように風量調整用ダンパー(11)を自動操
作する風量制御器(l3)を装備してある。
ーム(3)に接続する分岐給気路(9)の夫々には、風
量センサー(lO)及び風量調整用ダンパー(l1)を
装備すると共に、風量センサー(IO)による検出風量
をシステムコントローラ(12)により指示された風量
に維持するように風量調整用ダンパー(11)を自動操
作する風量制御器(l3)を装備してある。
又、排気ファン(6)に接続した排気風路(l4)に対
して各クリーンルーム(3)を接続する分岐排気路(1
5)の夫々には、各クリーンルーム(3)に対する室圧
制御手段として、室圧調整用ダンパー装置(16)を介
装すると共に、各クリーンルーム(3)に付設した室圧
センサー(17)による検出室圧をシステムコントロー
ラ(12)により指示された室圧に維持するように、室
圧調整用ダンパー装置(16)を自動操作して各クリー
ンルーム(3)の給排気量収支を調整する室圧制御器(
18)を装備してある。
して各クリーンルーム(3)を接続する分岐排気路(1
5)の夫々には、各クリーンルーム(3)に対する室圧
制御手段として、室圧調整用ダンパー装置(16)を介
装すると共に、各クリーンルーム(3)に付設した室圧
センサー(17)による検出室圧をシステムコントロー
ラ(12)により指示された室圧に維持するように、室
圧調整用ダンパー装置(16)を自動操作して各クリー
ンルーム(3)の給排気量収支を調整する室圧制御器(
18)を装備してある。
つまり、システムコントローラ(l2)に対するプログ
ラム設定により、各クリーンルーム(3)に対する給気
風量、並びに、各クリーンルーム(3)の室圧を、クリ
ーンルーム(3)夫々の使用条件に応じて自動制御する
ように構成してある。
ラム設定により、各クリーンルーム(3)に対する給気
風量、並びに、各クリーンルーム(3)の室圧を、クリ
ーンルーム(3)夫々の使用条件に応じて自動制御する
ように構成してある。
給気ファン(4)に対しては、給気風路(8)に付設し
た給気圧センサー(19)による検出給気圧をシステム
コントローラ(12)により指示された給気圧に維持す
るように給気ファン(4)を能力制御する給気圧制御器
(20)を付設してあり、排気ファン(6)に対しては
、排気風路(l4)に付設した排気圧センサー(2l)
による検出排気圧をシステムコントローラ(l2)によ
り指示された排気圧に維持するように排気ファン(6)
を能力制御する排気圧制御器(22)を付設してある。
た給気圧センサー(19)による検出給気圧をシステム
コントローラ(12)により指示された給気圧に維持す
るように給気ファン(4)を能力制御する給気圧制御器
(20)を付設してあり、排気ファン(6)に対しては
、排気風路(l4)に付設した排気圧センサー(2l)
による検出排気圧をシステムコントローラ(l2)によ
り指示された排気圧に維持するように排気ファン(6)
を能力制御する排気圧制御器(22)を付設してある。
そして、給気圧制御器(20)及び排気圧制御器(22
)に対して制御目標とする給気圧及び排気圧をシステム
コントローラ(l2)から指示するための、制御システ
ムとしては、各風量制御器(13)による風量制御の結
果としてシステムコントローラ(12)にフィードバッ
クされる風量調整用ダンパー(11)夫々のダンパー開
度のうち最大のものが全開開度近くに設定してある適性
開度範囲に入るような給気圧を給気圧制御器(20)に
対し指示する制御構成となっており、一方、排気圧につ
いては、各室圧制御器(18)による室圧制御の結果と
してシステムコントローラ(12)にフィードバックさ
れる室圧調整用ダンパー装置(16)夫々のダンパーの
開度の全てか全開開度付近及び全閉開度付近を除いて設
定してある適性中間開度範囲に入るような排気圧を排気
圧制御器(22)に対し指示する制御構或となっている
。
)に対して制御目標とする給気圧及び排気圧をシステム
コントローラ(l2)から指示するための、制御システ
ムとしては、各風量制御器(13)による風量制御の結
果としてシステムコントローラ(12)にフィードバッ
クされる風量調整用ダンパー(11)夫々のダンパー開
度のうち最大のものが全開開度近くに設定してある適性
開度範囲に入るような給気圧を給気圧制御器(20)に
対し指示する制御構成となっており、一方、排気圧につ
いては、各室圧制御器(18)による室圧制御の結果と
してシステムコントローラ(12)にフィードバックさ
れる室圧調整用ダンパー装置(16)夫々のダンパーの
開度の全てか全開開度付近及び全閉開度付近を除いて設
定してある適性中間開度範囲に入るような排気圧を排気
圧制御器(22)に対し指示する制御構或となっている
。
つまり、給気圧については、フィードバックされた風量
調整用ダンパー(II)夫々のダンパー開度(a+),
(a2). (a3), (a4)のうち最大のものか
′H2図(イ)に示すように設定適正開度範囲(aX)
を開き側に逸脱しているときには給気圧を徐々に上昇さ
せて、又、フィードバックされた風量調整用ダンパー(
1l)夫々のダンパー開度(at).(ax). (a
a). (a4)のうち最大のものか第2図(ハ)に示
すように設定適正開度範囲(aX)を閉じ側に逸脱して
いるときには給気圧を徐々に低下させて、結果的に、第
2図(ロ)に示すように、風量調整用ダンパー(1l)
夫々のダンパー開度(a.),(az)− (a3),
(a4)のうち最大のものか全開閉度近くに設定され
た適正開度範囲(aX)内に維持されるように給気圧制
御か実行される。
調整用ダンパー(II)夫々のダンパー開度(a+),
(a2). (a3), (a4)のうち最大のものか
′H2図(イ)に示すように設定適正開度範囲(aX)
を開き側に逸脱しているときには給気圧を徐々に上昇さ
せて、又、フィードバックされた風量調整用ダンパー(
1l)夫々のダンパー開度(at).(ax). (a
a). (a4)のうち最大のものか第2図(ハ)に示
すように設定適正開度範囲(aX)を閉じ側に逸脱して
いるときには給気圧を徐々に低下させて、結果的に、第
2図(ロ)に示すように、風量調整用ダンパー(1l)
夫々のダンパー開度(a.),(az)− (a3),
(a4)のうち最大のものか全開閉度近くに設定され
た適正開度範囲(aX)内に維持されるように給気圧制
御か実行される。
他方、排気圧については、フィードバックされた室圧調
整用ダンパー装置(l6)夫々.のダンパー開度(bl
), (b2), (b.). (b.)のうち少なく
とも1つが第3図(イ)に示すように設定適正中間開度
範囲(bx)を開き側に逸脱しているときには排気圧を
徐々に上昇させて、又、フイードバ・ソクされた室圧調
整用ダンパー装置(l6)夫々のダンパー開度(b.)
. (b2). (b3). (b4)のうち少なくと
も1つか第3図(ハ)に示すように設定適正中間開度範
囲(bx)を閉じ側に逸脱しているときには排気圧を徐
々に低下させて、結果的に、第3図(+1)に示すよう
に、室圧調整用ダンパー装置(16)夫々のダンパー開
度(b.). (b2), cb3). (b.)の全
てか全開開度付近及び全閉開度付近を除いて設定された
適正中間開度範囲(bx)内に維持されるように排気圧
制御か実行される。
整用ダンパー装置(l6)夫々.のダンパー開度(bl
), (b2), (b.). (b.)のうち少なく
とも1つが第3図(イ)に示すように設定適正中間開度
範囲(bx)を開き側に逸脱しているときには排気圧を
徐々に上昇させて、又、フイードバ・ソクされた室圧調
整用ダンパー装置(l6)夫々のダンパー開度(b.)
. (b2). (b3). (b4)のうち少なくと
も1つか第3図(ハ)に示すように設定適正中間開度範
囲(bx)を閉じ側に逸脱しているときには排気圧を徐
々に低下させて、結果的に、第3図(+1)に示すよう
に、室圧調整用ダンパー装置(16)夫々のダンパー開
度(b.). (b2), cb3). (b.)の全
てか全開開度付近及び全閉開度付近を除いて設定された
適正中間開度範囲(bx)内に維持されるように排気圧
制御か実行される。
すなわち、上述の如き給気圧制御、並びに、排気圧制御
により、各クリーンルーム(3)に対する給気風量を確
保し、かつ、各クリーンルーム(3)の室圧を適切に維
持しながら、給気ファン(4)及び排気ファン(6)の
消費動力を節減するようにしてある。
により、各クリーンルーム(3)に対する給気風量を確
保し、かつ、各クリーンルーム(3)の室圧を適切に維
持しながら、給気ファン(4)及び排気ファン(6)の
消費動力を節減するようにしてある。
各クリーンルーム(3)に対する室圧制御手段について
更に詳述すると、前述の室圧調整用ダンパー装置(16
)として、第4図({). ([1)に示すように、$
1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)を、各ク
リーンルーム(3)に対する強制換気風路の一部である
分岐排気路(15)に並列に並べて介装し、それら第1
及び第2ダンパー(23).(24)のうち第1ダンパ
ー(23)を、風路全閉か不能なダンパー、すなわち、
第lダンパー(23)の回転弁体(23A)が風路(F
)に対して直交する姿勢となっても回転弁体(23A)
とダンパーケーシング(16A)との間にバイパス風路
(Fb)が形成されるダンパーに構成すると共に、第2
ダンパー(24)を、2枚の回転弁体(24A)か風路
(F2)に対して直交する姿勢となったとき風路(F2
)を全閉するダンパーに構成してある。
更に詳述すると、前述の室圧調整用ダンパー装置(16
)として、第4図({). ([1)に示すように、$
1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)を、各ク
リーンルーム(3)に対する強制換気風路の一部である
分岐排気路(15)に並列に並べて介装し、それら第1
及び第2ダンパー(23).(24)のうち第1ダンパ
ー(23)を、風路全閉か不能なダンパー、すなわち、
第lダンパー(23)の回転弁体(23A)が風路(F
)に対して直交する姿勢となっても回転弁体(23A)
とダンパーケーシング(16A)との間にバイパス風路
(Fb)が形成されるダンパーに構成すると共に、第2
ダンパー(24)を、2枚の回転弁体(24A)か風路
(F2)に対して直交する姿勢となったとき風路(F2
)を全閉するダンパーに構成してある。
つまり、第1ダンパー(23)を全開不能に構成するこ
とにより、第5図に実線で示すように、第1ダンパー(
23)の開度調整範囲を、単位量の開度(C)変更に対
する通風量(Q)の変化率があまり大きく変化しない範
囲(CX)、すなわち、クリーンルーム(3)に対する
給排気量収支の調整特性かあまり大きく変化しない範囲
(CX)に制限するようにしてあり、それによって、第
lダンパ− (23)を、室圧の微小変動に対する安定
的な室圧調整を行うための給排気量収支微調整用のダン
パーとしてある。
とにより、第5図に実線で示すように、第1ダンパー(
23)の開度調整範囲を、単位量の開度(C)変更に対
する通風量(Q)の変化率があまり大きく変化しない範
囲(CX)、すなわち、クリーンルーム(3)に対する
給排気量収支の調整特性かあまり大きく変化しない範囲
(CX)に制限するようにしてあり、それによって、第
lダンパ− (23)を、室圧の微小変動に対する安定
的な室圧調整を行うための給排気量収支微調整用のダン
パーとしてある。
又、その第lダンパー(23)に対して全閉可能な第2
ダンパー(24)を並列接続することにより、その第2
ダンパー(24)の開度調整で分岐排気路(15)にお
ける全体通風量を大きく変更できるように、すなわち、
クリーンルーム(3)に対する給排気量収支の調整巾を
大きくして室圧調整の対応巾を大きく確保てきるように
してある。
ダンパー(24)を並列接続することにより、その第2
ダンパー(24)の開度調整で分岐排気路(15)にお
ける全体通風量を大きく変更できるように、すなわち、
クリーンルーム(3)に対する給排気量収支の調整巾を
大きくして室圧調整の対応巾を大きく確保てきるように
してある。
第I及び第2ダンパー(23), (24)に対する制
御システムとしては、室圧センサー(17)による検出
室圧をシステムコントローラ(l2)により指示された
室圧に維持するように、検出室圧に基づいて第1ダンパ
ー(23)を開度制御する制御器として前述の室圧制御
器(18)を設け、一方、室圧検出に基づいた室圧制御
器(18)による第1ダンパー(23)の開度制御を全
閉不能な第1ダンパ− (23)の適正開度調整範囲(
風路(F)方向に対して回転弁体(23A)か成す角度
θか06〜90°の範囲)、すなわち、給排気量収支の
調整特性があまり大きく変化しないように設定した前述
の制限開度範囲(CX)内に維持するように、同しく室
圧センサー(17)による室圧検出に基ついて第2ダン
パー(24)を開度制御する基本室圧制御器(18A)
を室圧制御器(18)に対して付設してある。
御システムとしては、室圧センサー(17)による検出
室圧をシステムコントローラ(l2)により指示された
室圧に維持するように、検出室圧に基づいて第1ダンパ
ー(23)を開度制御する制御器として前述の室圧制御
器(18)を設け、一方、室圧検出に基づいた室圧制御
器(18)による第1ダンパー(23)の開度制御を全
閉不能な第1ダンパ− (23)の適正開度調整範囲(
風路(F)方向に対して回転弁体(23A)か成す角度
θか06〜90°の範囲)、すなわち、給排気量収支の
調整特性があまり大きく変化しないように設定した前述
の制限開度範囲(CX)内に維持するように、同しく室
圧センサー(17)による室圧検出に基ついて第2ダン
パー(24)を開度制御する基本室圧制御器(18A)
を室圧制御器(18)に対して付設してある。
つまり、第6図に示すように、システムコントローラ(
l2)により指示された室圧値(PO)と室圧センサー
(17)による検出室圧値(PX)との差値(ΔP=P
x−Pa)が正側(Px>Po) ニ大きくなるほど第
1ダンパー(23)の開度(c)を大きくし、かつ、差
値(ΔP)か負側(Px < Po)に大きくなるほど
第1ダンパー(23)の開度(C)を小さくするように
、室圧制御器(18)により第1ダンパー(23)を開
度制御することにより、クリーンルーム(3)に対する
給排気量収支を微調整して検出室圧をシステムコントロ
ーラ(l2)による指示室圧に維持させるのであるか、
室圧制御器(18)による第Iダンパー(23)の開度
制御か前述の制限開度範囲(CX)内に維持される、差
値(ΔP)の許容変動巾(d)を設定して、差値(ΔP
)か許容変動巾(d)の上限(ΔPmax)を逸脱した
ときには、その逸脱量に応じて第2ダンパー(24)の
開度(b)を大きくするように、かつ、差値(ΔP)か
許容変動巾(a)の下限(ΔPmin)を逸脱したとき
には、その逸脱量に応じて第2ダンパー(24)の開度
(b)を小さくするように、基本室圧制御器(18A)
により第2ダンパー(24)を開度制御してクリーンル
ーム(3)に対する給排気量収支を基本的に調整してし
まうことにより、その基本的調整の結果として、第6図
の■部分や◎部分に示すように、差値(ΔP)を許容変
動巾(d)内に復帰維持するように、換言すれば、室圧
制御器(18)による第1ダンパー(23)の開度制御
を、前述の制限開度範囲(cx)内に維持するようにし
てある。
l2)により指示された室圧値(PO)と室圧センサー
(17)による検出室圧値(PX)との差値(ΔP=P
x−Pa)が正側(Px>Po) ニ大きくなるほど第
1ダンパー(23)の開度(c)を大きくし、かつ、差
値(ΔP)か負側(Px < Po)に大きくなるほど
第1ダンパー(23)の開度(C)を小さくするように
、室圧制御器(18)により第1ダンパー(23)を開
度制御することにより、クリーンルーム(3)に対する
給排気量収支を微調整して検出室圧をシステムコントロ
ーラ(l2)による指示室圧に維持させるのであるか、
室圧制御器(18)による第Iダンパー(23)の開度
制御か前述の制限開度範囲(CX)内に維持される、差
値(ΔP)の許容変動巾(d)を設定して、差値(ΔP
)か許容変動巾(d)の上限(ΔPmax)を逸脱した
ときには、その逸脱量に応じて第2ダンパー(24)の
開度(b)を大きくするように、かつ、差値(ΔP)か
許容変動巾(a)の下限(ΔPmin)を逸脱したとき
には、その逸脱量に応じて第2ダンパー(24)の開度
(b)を小さくするように、基本室圧制御器(18A)
により第2ダンパー(24)を開度制御してクリーンル
ーム(3)に対する給排気量収支を基本的に調整してし
まうことにより、その基本的調整の結果として、第6図
の■部分や◎部分に示すように、差値(ΔP)を許容変
動巾(d)内に復帰維持するように、換言すれば、室圧
制御器(18)による第1ダンパー(23)の開度制御
を、前述の制限開度範囲(cx)内に維持するようにし
てある。
前記第2ダンパー(24)の各開度(40°、50°6
0°、70°、80°)時における第1ダンパー(23
)の特性を第7図に示す。
0°、70°、80°)時における第1ダンパー(23
)の特性を第7図に示す。
以上、室圧制御について要約すると、第2ダンパー(2
4)の開度制御による給排気量収支の基本的調整により
室圧制御の対応巾を十分に大きく確保して、何らからの
原因で生した室圧の大きな変動や、換気凰路に介装した
フィルータの目詰りによる抵抗増大等に対しても十分に
追従できるようにしながらも、給排気量収支の調整特性
があまり大きく変化しないように設定された制限開度範
囲(cx)内に適切に維持しながらの第1ダンパー(2
3)の開度制御により、室圧の微小変動に対する通常時
の室圧制御を安定化してクリーンルーム(3)の室圧を
システムコントローラ(l2)により指示された室圧に
安定的に維持できるようにしてある。
4)の開度制御による給排気量収支の基本的調整により
室圧制御の対応巾を十分に大きく確保して、何らからの
原因で生した室圧の大きな変動や、換気凰路に介装した
フィルータの目詰りによる抵抗増大等に対しても十分に
追従できるようにしながらも、給排気量収支の調整特性
があまり大きく変化しないように設定された制限開度範
囲(cx)内に適切に維持しながらの第1ダンパー(2
3)の開度制御により、室圧の微小変動に対する通常時
の室圧制御を安定化してクリーンルーム(3)の室圧を
システムコントローラ(l2)により指示された室圧に
安定的に維持できるようにしてある。
図中(23M)、及び(24M)は、第1ダンパー(2
3)及び第2ダンパー(24)の操作モータであり、第
1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)の開度制
御にあたっては、それら操作モータ(23M). (2
4M)か室圧制御器(18)及び基本室圧制御器(18
A)により自動操作される。
3)及び第2ダンパー(24)の操作モータであり、第
1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)の開度制
御にあたっては、それら操作モータ(23M). (2
4M)か室圧制御器(18)及び基本室圧制御器(18
A)により自動操作される。
尚、前述の排気圧制御器(22)による排気圧制御のた
めにシステムコントローラ(l2)にフィードバックす
る室圧調整用ダンパー装置(l6)のダンパー開度とし
ては、第2ダンパー(24)の開度(b)をシステムコ
ントローラ(12)にフィードバックするようにしてあ
る。
めにシステムコントローラ(l2)にフィードバックす
る室圧調整用ダンパー装置(l6)のダンパー開度とし
ては、第2ダンパー(24)の開度(b)をシステムコ
ントローラ(12)にフィードバックするようにしてあ
る。
又、排気圧制御器(22)による排気圧制御を、システ
ムコントローラ(12)にフィードバックする第2ダン
パー(24)の開度(b)を全開閉度付近及び全閉開度
付近を除いて設定した適正中間開度範囲(bx)内に維
持するように、排気圧検出に基づき排気ファン(6)を
能力制御するものとしたことにより、その排気ファン(
6)の能力制御を、基本室圧制御器(18A)による第
2ダンパー(24)の開度制御よりも更に基本的なクリ
ーンルーム(3)に対する給排気■収支の基本調整に利
用する状態で、基本室圧制御器(18A)による第2ダ
ンパー(24)の開度制御をも、第2ダンバ(24)の
給排気量収支調整特性かあまり大きく変化しない中間開
度での開度制御に維持するようにしてあり、それによっ
て、排気ファン(6)の消費動力節減をも兼ねて室圧制
御を一層安定的なものとするようにしてある。
ムコントローラ(12)にフィードバックする第2ダン
パー(24)の開度(b)を全開閉度付近及び全閉開度
付近を除いて設定した適正中間開度範囲(bx)内に維
持するように、排気圧検出に基づき排気ファン(6)を
能力制御するものとしたことにより、その排気ファン(
6)の能力制御を、基本室圧制御器(18A)による第
2ダンパー(24)の開度制御よりも更に基本的なクリ
ーンルーム(3)に対する給排気■収支の基本調整に利
用する状態で、基本室圧制御器(18A)による第2ダ
ンパー(24)の開度制御をも、第2ダンバ(24)の
給排気量収支調整特性かあまり大きく変化しない中間開
度での開度制御に維持するようにしてあり、それによっ
て、排気ファン(6)の消費動力節減をも兼ねて室圧制
御を一層安定的なものとするようにしてある。
次の本発明の別実施例を説明する。
前述実施例においては、第1ダンパー(23)を全閉不
能に構或することにより、第1ダンパー(23)の開度
調整範囲を、給排気量収支の調整特性があまり大きく変
化しない設定制限開度範囲(cx)に機械的に制限して
おき、それに対して、室圧制御器(18)による第1ダ
ンパー(23)の開度制御を第1ダンパー(23)の適
正開度調整範囲である前述の設定制限開度範囲(CX)
内に維持するように、第2ダンパー(24)を開度制御
する構成としたが、第8図に示すように、第1ダンパー
(23)に通常の全閉可能なダンパーを採用し、第2ダ
ンパー(24)の開度制御で給排気量収支を基本調整し
て室圧制御器(18)によるliftダンパー(24)
の開度制御を設定制限開度範囲(CX)内に維持するこ
とのみにより、すなわち、制御上でのみ、第1ダンパー
(23)の動作範囲を、給排気量収支の調整特性があま
り大きくしない設定制限開度範囲(cxX第8図に示す
例では風路(F1)方向に対して回転弁体(23A)が
成す角度θか0°〜40°程度の範囲)内に制限するよ
うにしても良い。
能に構或することにより、第1ダンパー(23)の開度
調整範囲を、給排気量収支の調整特性があまり大きく変
化しない設定制限開度範囲(cx)に機械的に制限して
おき、それに対して、室圧制御器(18)による第1ダ
ンパー(23)の開度制御を第1ダンパー(23)の適
正開度調整範囲である前述の設定制限開度範囲(CX)
内に維持するように、第2ダンパー(24)を開度制御
する構成としたが、第8図に示すように、第1ダンパー
(23)に通常の全閉可能なダンパーを採用し、第2ダ
ンパー(24)の開度制御で給排気量収支を基本調整し
て室圧制御器(18)によるliftダンパー(24)
の開度制御を設定制限開度範囲(CX)内に維持するこ
とのみにより、すなわち、制御上でのみ、第1ダンパー
(23)の動作範囲を、給排気量収支の調整特性があま
り大きくしない設定制限開度範囲(cxX第8図に示す
例では風路(F1)方向に対して回転弁体(23A)が
成す角度θか0°〜40°程度の範囲)内に制限するよ
うにしても良い。
尚、第1ダンパー(23)を全閉不能に構威して第1ダ
ンパー(23)の開度調整範囲を設定制限開度範m (
cx)に機械的に予め制限しておく型式の場合、その機
械的制限構成として、前述実施例の如く、第Iダンパー
(23)の回転弁体(23A)か風路(F)に対して直
交する姿勢となってもバイパス風路(Fb)が形或され
るような構成を採用すれば、給排気量収支の調整特性を
あまり大きく変化させない設定制限開度範囲(CX)に
対応する回転弁体(23A)の動作範囲として、風路(
F)方向に対して回転弁体(23A)が成す角度θか0
°から90°までの大きな動作範囲を採れることから、
第1ダンパー(23)の開度制@(回転角制御)による
室圧の微調整精度を高くできる利点がある。
ンパー(23)の開度調整範囲を設定制限開度範m (
cx)に機械的に予め制限しておく型式の場合、その機
械的制限構成として、前述実施例の如く、第Iダンパー
(23)の回転弁体(23A)か風路(F)に対して直
交する姿勢となってもバイパス風路(Fb)が形或され
るような構成を採用すれば、給排気量収支の調整特性を
あまり大きく変化させない設定制限開度範囲(CX)に
対応する回転弁体(23A)の動作範囲として、風路(
F)方向に対して回転弁体(23A)が成す角度θか0
°から90°までの大きな動作範囲を採れることから、
第1ダンパー(23)の開度制@(回転角制御)による
室圧の微調整精度を高くできる利点がある。
又、そのようなバイパス風路(Pb)を形成するにあた
っては、第9図に示すように、第1ダンパー(23)の
弁体(23A)に通風孔(25)を形威しておくことや
、第10図に示すように、第1ダンパ− (23)に対
して外部バイパスダクト(2G)を設けておくことも考
えられる。
っては、第9図に示すように、第1ダンパー(23)の
弁体(23A)に通風孔(25)を形威しておくことや
、第10図に示すように、第1ダンパ− (23)に対
して外部バイパスダクト(2G)を設けておくことも考
えられる。
第lダンパー(23)において風路全開から風路全開ま
での開度範囲のうち、給排気量収支の調整特性(すなわ
ち、単位量の開度(C)変更に対する通風量(Q)の変
化率)かあまり大きく変化しない制限開度範囲(cx)
を、との部分にどの程度の巾で設定するかは必要に応じ
て決定すれば良く、場合によっては、第If図に示すよ
うに、全開寄り側部分を設定したり、あるいは、第12
図に示すように、全閉寄り側部分と全開寄り側部分との
両方を除いた中間開度部分を設定するようにしても良い
。
での開度範囲のうち、給排気量収支の調整特性(すなわ
ち、単位量の開度(C)変更に対する通風量(Q)の変
化率)かあまり大きく変化しない制限開度範囲(cx)
を、との部分にどの程度の巾で設定するかは必要に応じ
て決定すれば良く、場合によっては、第If図に示すよ
うに、全開寄り側部分を設定したり、あるいは、第12
図に示すように、全閉寄り側部分と全開寄り側部分との
両方を除いた中間開度部分を設定するようにしても良い
。
第1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)として
は、回転弁体型式のものに代えて、スライド型式や多翼
シャッター型式のもの等、夫々、種々の型式のダンパー
を適用できる。
は、回転弁体型式のものに代えて、スライド型式や多翼
シャッター型式のもの等、夫々、種々の型式のダンパー
を適用できる。
室圧検出に基ついた室圧制御器(18)による第1ダン
パー(23)の開度制御を設定制限開度範囲(aX)内
に維持するように、基本室圧制御器(18A)により第
2ダンパー(24)を開度制御するに、室圧検出に基う
いて第2ダンパー(24)を開度制御するに代えて、第
1ダンパー(23)の開度検出に基づいて第2ダンパー
(24)を開度制御するように構成しても良く、要する
に、室圧検出に基ついた室圧制御器(18)による第1
ダンパー(23)の開度制御状態を判定して第2ダンパ
ー(24)を開度制御させる構成であれば良い。
パー(23)の開度制御を設定制限開度範囲(aX)内
に維持するように、基本室圧制御器(18A)により第
2ダンパー(24)を開度制御するに、室圧検出に基う
いて第2ダンパー(24)を開度制御するに代えて、第
1ダンパー(23)の開度検出に基づいて第2ダンパー
(24)を開度制御するように構成しても良く、要する
に、室圧検出に基ついた室圧制御器(18)による第1
ダンパー(23)の開度制御状態を判定して第2ダンパ
ー(24)を開度制御させる構成であれば良い。
尚、室圧検出に基づいて第2ダンパー(24)を開度制
御する場合、第2ダンパー(24)の開度制御のための
室圧検出と第1ダンパー(23)の開度制御のための室
圧検出とを別個の室圧センサーで行わせても良い。
御する場合、第2ダンパー(24)の開度制御のための
室圧検出と第1ダンパー(23)の開度制御のための室
圧検出とを別個の室圧センサーで行わせても良い。
室圧制御器(I8)及び基本室圧制御器08A)の具体
的制御構造は、例えばマイクロコンピュータを利用した
構造や、単なる電気回路から戊る構造等、種々の構成変
更か可能である。
的制御構造は、例えばマイクロコンピュータを利用した
構造や、単なる電気回路から戊る構造等、種々の構成変
更か可能である。
第1ダンパー(23)及び第2ダンパー(24)を換気
対象室(3)に対する排気側の強制換気風路に介装する
に代えて、換気対象室(3)に対する給気側の強制換気
風路に介装しても良い。
対象室(3)に対する排気側の強制換気風路に介装する
に代えて、換気対象室(3)に対する給気側の強制換気
風路に介装しても良い。
室圧制御システムとして、前述実施例で採用したように
、検出室圧をシステムコントローラ(I2)から指示さ
れた室圧に維持するように室圧制御を行うに代えて、人
為設定した室圧に検出室圧を維持するように室圧制御を
行わせても良く、又、第2ダンパー(24)の開度(b
)を適正中間開度範囲(bx)に維持するようなファン
の能力制御を省略しても良い。
、検出室圧をシステムコントローラ(I2)から指示さ
れた室圧に維持するように室圧制御を行うに代えて、人
為設定した室圧に検出室圧を維持するように室圧制御を
行わせても良く、又、第2ダンパー(24)の開度(b
)を適正中間開度範囲(bx)に維持するようなファン
の能力制御を省略しても良い。
本発明は、クリーンルームや実験ルーム等、室圧制御を
要する各種用途の換気対象室に対して利用てきる。
要する各種用途の換気対象室に対して利用てきる。
尚、本発明は室圧制御を目的とするものであるが、本発
明の技術を応用するものとして、例4 えば、各種目的の給気風路系や排気風路系に第1ダンパ
ー及び第2ダンパーを介装し、風路系に装備した通風量
センサーによる通風量検出に基づいて、検出通風量を設
定風量に維持するように第1ダンパーを開度制御する風
量制御器を設け、更に、その風量制御器による第1ダン
パーの開度制御を、第1ダンパーの通風量調整特性かあ
まり大きく変化しない設定制限開度範囲内に維持するよ
うに、通風量検出又は第1ダンパーの開度検出に基づい
て第2ダンパーを開度制御する基本風量制御器を設け、
もって、風量制御の安定化を図るようにすることも考え
られる。
明の技術を応用するものとして、例4 えば、各種目的の給気風路系や排気風路系に第1ダンパ
ー及び第2ダンパーを介装し、風路系に装備した通風量
センサーによる通風量検出に基づいて、検出通風量を設
定風量に維持するように第1ダンパーを開度制御する風
量制御器を設け、更に、その風量制御器による第1ダン
パーの開度制御を、第1ダンパーの通風量調整特性かあ
まり大きく変化しない設定制限開度範囲内に維持するよ
うに、通風量検出又は第1ダンパーの開度検出に基づい
て第2ダンパーを開度制御する基本風量制御器を設け、
もって、風量制御の安定化を図るようにすることも考え
られる。
尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を便利にする為
に符号を記すか、該記入により本発明は添付図面の構造
に限定されるものではない。
に符号を記すか、該記入により本発明は添付図面の構造
に限定されるものではない。
!1図ないし第7図は本発明の実施例を示し、第I図は
全体構成を示す系統図、第2図(4). (O).(ハ
)は給気圧制御を説明する図、第3図({), ([+
).(ハ)は排気圧制御を説明する図、第4図({).
(D)は室圧調整用ダンパー装置の拡大図、第5図は
第1ダンパーの調整特性を示すグラフ、第6図は室圧制
御形態を示す図、第7図はダンパー特性図である。第8
図ないし第12図は夫々本発明の別実施例を示し、第8
図ないし第10図は夫々、室圧調整用ダンパー装置の拡
大図、第11図及び第12図は夫々第1ダンパーの調整
特性を示すグラフである。 (3)・・・・・・換気対象室、(15)・・・・・・
強制換気風路、(17)・・・・・・室圧センサー、(
18)・・・・・・室圧制御器、(18A)・・・・・
・基本室圧制御器、(23)・・・・・・第lダンパー
、(24)・・・・・・第2ダンパー、(CX)・・・
・・・設定制限開度範囲。 工 第10図 1b 第11 図 第12 図 手 続 補 正 書 (方式) 平成 2年 特 許 願 第252984号 2 発明の名称 ゲσ 調 装 置 3 補正をする者 事件との関係
全体構成を示す系統図、第2図(4). (O).(ハ
)は給気圧制御を説明する図、第3図({), ([+
).(ハ)は排気圧制御を説明する図、第4図({).
(D)は室圧調整用ダンパー装置の拡大図、第5図は
第1ダンパーの調整特性を示すグラフ、第6図は室圧制
御形態を示す図、第7図はダンパー特性図である。第8
図ないし第12図は夫々本発明の別実施例を示し、第8
図ないし第10図は夫々、室圧調整用ダンパー装置の拡
大図、第11図及び第12図は夫々第1ダンパーの調整
特性を示すグラフである。 (3)・・・・・・換気対象室、(15)・・・・・・
強制換気風路、(17)・・・・・・室圧センサー、(
18)・・・・・・室圧制御器、(18A)・・・・・
・基本室圧制御器、(23)・・・・・・第lダンパー
、(24)・・・・・・第2ダンパー、(CX)・・・
・・・設定制限開度範囲。 工 第10図 1b 第11 図 第12 図 手 続 補 正 書 (方式) 平成 2年 特 許 願 第252984号 2 発明の名称 ゲσ 調 装 置 3 補正をする者 事件との関係
Claims (1)
- 換気対象室(3)に接続した強制換気風路(15)に、
前記換気対象室(3)に対する給排気量収支を微調整す
るための第1ダンパー(23)を介装し、前記換気対象
室(3)に付設した室圧センサー(17)による室圧検
出に基づいて、検出室圧を設定値に維持するように前記
第1ダンパー(23)を開度制御する室圧制御器(18
)を設けた空調装置であって、前記強制換気風路(15
)に通風量を調整する第2ダンパー(24)を前記第1
ダンパー(23)に並列接続させて介装し、前記室圧セ
ンサー(17)による検出室圧に基づいて、又は、前記
第1ダンパー(23)の開度検出に基づいて、前記第1
ダンパー(23)に対する前記室圧制御器(18)の開
度制御を設定制限開度範囲(cx)内に維持するように
、前記第2ダンパー(24)を開度制御する基本室圧制
御器(18A)を設けた空調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252984A JPH03207944A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 空調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252984A JPH03207944A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 空調装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03207944A true JPH03207944A (ja) | 1991-09-11 |
| JPH0416683B2 JPH0416683B2 (ja) | 1992-03-24 |
Family
ID=17244888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252984A Granted JPH03207944A (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 空調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03207944A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2393799A (en) * | 2002-08-22 | 2004-04-07 | Richard Gatley | An air ventilation system for a clean room |
| JP2004177038A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Taikisha Ltd | 室圧制御システム |
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| JP2007132538A (ja) * | 2005-11-08 | 2007-05-31 | Yamatake Corp | 室圧制御システム |
| JP2009036398A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Hrd Singapore Pte Ltd | 住宅用換気システム |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252984A patent/JPH03207944A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2393799A (en) * | 2002-08-22 | 2004-04-07 | Richard Gatley | An air ventilation system for a clean room |
| GB2393799B (en) * | 2002-08-22 | 2006-03-08 | Richard Gatley | Gas flow control systems |
| JP2004177038A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Taikisha Ltd | 室圧制御システム |
| JP2006275446A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Dai-Dan Co Ltd | 流体搬送設備の流量調整方法 |
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| JP2009036398A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Hrd Singapore Pte Ltd | 住宅用換気システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416683B2 (ja) | 1992-03-24 |
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