JPH03209203A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JPH03209203A JPH03209203A JP2004231A JP423190A JPH03209203A JP H03209203 A JPH03209203 A JP H03209203A JP 2004231 A JP2004231 A JP 2004231A JP 423190 A JP423190 A JP 423190A JP H03209203 A JPH03209203 A JP H03209203A
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- JP
- Japan
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- light
- colored
- color filter
- glass substrate
- shielding film
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、液晶カラーディスプレイ等に用いられるカラ
ーフィルターの製造方法、特に着色部（カラーフィルタ
ーＩＩ）の間に遣光膜を有する遮光躾付きカラーフィル
ターの製造方法に関するものである。
ーフィルターの製造方法、特に着色部（カラーフィルタ
ーＩＩ）の間に遣光膜を有する遮光躾付きカラーフィル
ターの製造方法に関するものである。
例えば液晶ディスプレイのフルカラー化の一つの手段と
して三原色のカラーフィルターを採用することがある。
して三原色のカラーフィルターを採用することがある。
この種のカラーフィルターは、例えば透明な基板（ガラ
ス基板等）上に所要パターンのＲ．Ｇ，Ｂ各色の着色部
と、各着色部の問からの光漏れを防止する遮光躾とを形
成した構造とする。その製造に際しては、ガラス基板上
の着色部、遮光膜の順に形成する場合と、ガラス基板上
に遮光膜、着色部の順に形成する場合があり，前者の例
を第６図（Ａ）に、後者の例を第６図（Ｂ）にそれぞれ
示す。
ス基板等）上に所要パターンのＲ．Ｇ，Ｂ各色の着色部
と、各着色部の問からの光漏れを防止する遮光躾とを形
成した構造とする。その製造に際しては、ガラス基板上
の着色部、遮光膜の順に形成する場合と、ガラス基板上
に遮光膜、着色部の順に形成する場合があり，前者の例
を第６図（Ａ）に、後者の例を第６図（Ｂ）にそれぞれ
示す。
即ち、第６図（Ａ）では、まずガラス基板２１上に印劇
法、染色法等によりＲ．Ｇ．Ｂの肴色部２２を形成し、
この後、各着色部２２の問に遮光ｌＩ２３を形成する。
法、染色法等によりＲ．Ｇ．Ｂの肴色部２２を形成し、
この後、各着色部２２の問に遮光ｌＩ２３を形成する。
この場合、遮光膜用フォトマスクを用い、連光膜２３が
着色部２２の端縁部に重なるようにパターニングする。
着色部２２の端縁部に重なるようにパターニングする。
第６図（Ｂ）では、まずガラス基板２１上に連光！ｌ２
３’ を連光膜用フォトマスクを用いて形成し、この後
、各色の着色部２２′を遮光ｌ９ ２３’の端縁部に重
なるようにパターニングする， 〔発明が解決とようとする課題〕 しかし、このような方法で製造すると、着色部２２（２
２’ ）と連光膜２３（２３’ ）が互いに重なるため
、カラーフィルター面に凹凸が生じ、平滑性に欠けるよ
うになる。また、着色部２２（２２’）と遮光１２３（
２３’ ）のアライメントがずれると、光漏れが生じる
。更に、遮光膜用フオトマスクが必要であったり、着色
部と遮光膜用ファトマスクのアライメント工程が必要で
あるため、コストが高くなるといった問題点がある。
３’ を連光膜用フォトマスクを用いて形成し、この後
、各色の着色部２２′を遮光ｌ９ ２３’の端縁部に重
なるようにパターニングする， 〔発明が解決とようとする課題〕 しかし、このような方法で製造すると、着色部２２（２
２’ ）と連光膜２３（２３’ ）が互いに重なるため
、カラーフィルター面に凹凸が生じ、平滑性に欠けるよ
うになる。また、着色部２２（２２’）と遮光１２３（
２３’ ）のアライメントがずれると、光漏れが生じる
。更に、遮光膜用フオトマスクが必要であったり、着色
部と遮光膜用ファトマスクのアライメント工程が必要で
あるため、コストが高くなるといった問題点がある。
本発明の目的は、平滑性が良好な遮光膜付き力ラーフィ
ルターを安価に製造できるカラーフィルターの製造方法
を提供することにある。
ルターを安価に製造できるカラーフィルターの製造方法
を提供することにある。
本発明は、透明基板上に所定色、所定パターンの着色部
を形威し、基板及び着色部上に黒色ネガレジストを塗布
した後、透明基板の裏面側からＵ■光を照射して黒色ネ
ガレジストのパターニングを行い、着色部の間にのみ遮
光膜を形成することを特徴とするものである。
を形威し、基板及び着色部上に黒色ネガレジストを塗布
した後、透明基板の裏面側からＵ■光を照射して黒色ネ
ガレジストのパターニングを行い、着色部の間にのみ遮
光膜を形成することを特徴とするものである。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明は、次のような製造工程を有する。
（１）まず、第１図（Ａ）のように透明な基板（例えば
ガラス基板）１上に印刷法、染色法等によりＲ．Ｇ．Ｂ
各色の所定パターンの着色部２を形成する。
ガラス基板）１上に印刷法、染色法等によりＲ．Ｇ．Ｂ
各色の所定パターンの着色部２を形成する。
（２）次に、第１図（Ｂ）のようにガラス基板１及び着
色部２上に黒色フォトレジスト３をスビンコート法、ロ
ールコート法、印刺法等により塗布し、予備乾燥を行う
。
色部２上に黒色フォトレジスト３をスビンコート法、ロ
ールコート法、印刺法等により塗布し、予備乾燥を行う
。
（３） Ｉｌｆいて、第１図（Ｃ）のようにガラス基
板１の裏面側からＵＶ光（紫外線）ａを照銅ずる。
板１の裏面側からＵＶ光（紫外線）ａを照銅ずる。
このＵｖ光のピーク波長は、黒色フォトレジスト３の感
光波長域と互いに重なるか、望まし《は、更に紫外域に
なるように選択する。
光波長域と互いに重なるか、望まし《は、更に紫外域に
なるように選択する。
（４）この後、黒色フォトレジスト３を現像液にて現像
する。この現像により、Ｕ■光照射時に着色部自体がマ
スクとなる着色部上面の黒色フォトレジストが除去され
、第１図（Ｄ）のように着色部２の間に遮光躾３′が形
成される。この結果、表面が平滑な遣光膜付きカラーフ
ィルターが得られる。
する。この現像により、Ｕ■光照射時に着色部自体がマ
スクとなる着色部上面の黒色フォトレジストが除去され
、第１図（Ｄ）のように着色部２の間に遮光躾３′が形
成される。この結果、表面が平滑な遣光膜付きカラーフ
ィルターが得られる。
なお印刷法等で得られたＲ．Ｇ．Ｂ各色の着色部２が第
４図に示すように黒色フォトレジスト３の感光波長域で
の透過率が５％程度ある場合には、第２図のようなＵ■
フィルター４を用いてガラス基板１の裏面側からＵ■光
ａを照射する。このＵｖフィルター４は、例えば第５図
に示すような分光透過率のものを使用する。
４図に示すように黒色フォトレジスト３の感光波長域で
の透過率が５％程度ある場合には、第２図のようなＵ■
フィルター４を用いてガラス基板１の裏面側からＵ■光
ａを照射する。このＵｖフィルター４は、例えば第５図
に示すような分光透過率のものを使用する。
また、ガラス基板１の周縁部に遮光膜を形成したくない
場合には、第３図（Ａ）のようにガラス基板１の裏面に
簡素な構造のフォトマスク５を重ね、裏面側からＵＶ光
ａを照射すれば、第３図（８｝のような遮光膜付きカラ
ーフィルターが得られる。
場合には、第３図（Ａ）のようにガラス基板１の裏面に
簡素な構造のフォトマスク５を重ね、裏面側からＵＶ光
ａを照射すれば、第３図（８｝のような遮光膜付きカラ
ーフィルターが得られる。
次に、具体例を挙げる。
（１） フジハントエレクトロニクステクノロジー株
式会社製のカラーモザイクを用いて着色部を形成した。
式会社製のカラーモザイクを用いて着色部を形成した。
この時の分光透過率は第５図の通りであった。
（２｝ この上に同社製のカラーモザイクＣＫをスビ
ンナー法により塗布した。予備乾燥は、１００℃で５
ｓｉｎ行った。
ンナー法により塗布した。予備乾燥は、１００℃で５
ｓｉｎ行った。
（３）続いて、超高圧水銀ランプを用い、３６５ｎｍに
ピークを有するＵｖ光をガラス基板の裏面側から照射し
た。照射エネルギーは、５０１Ｊ／ ｃｄであった。
ピークを有するＵｖ光をガラス基板の裏面側から照射し
た。照射エネルギーは、５０１Ｊ／ ｃｄであった。
（４） この後、同社製現像液を用いて現像を行った
後、水洗、乾燥を行い、完成品を得た。
後、水洗、乾燥を行い、完成品を得た。
このようにして得られた完成品（カラーフィルター）は
、着色部（カラーフィルターＨ）と遮光膜が互いに重な
ることはなく、平滑なものであった。また、その遮光膜
は、十分な遮光機能を持つものであった。
、着色部（カラーフィルターＨ）と遮光膜が互いに重な
ることはなく、平滑なものであった。また、その遮光膜
は、十分な遮光機能を持つものであった。
以上のように本発明によれば、各色の着色部自体をＵｖ
光に対するマスクとして活用するため、遮光膜形成時に
専用の遣光膜用フォトマスクを使用したり、遮光膜と着
色部のアライメント操作を行う必要がなくなり、工程が
単純となってコストの低減が図れる。しかも、着色部を
マスクとして活用するため、その上面の黒色フォトレジ
ストは現像時に除去されて、遮光膜が着色部の間の領域
にのみ形威されるようになり、表面が平滑な遮光躾付き
カラーフィノレターを得ることができる。また、適宜の
Ｕ■フィルターを用いれば、十分な分光特性を持たない
着色部の場合にも、遮光膜の着色部への重なりを確実に
防止することができる。
光に対するマスクとして活用するため、遮光膜形成時に
専用の遣光膜用フォトマスクを使用したり、遮光膜と着
色部のアライメント操作を行う必要がなくなり、工程が
単純となってコストの低減が図れる。しかも、着色部を
マスクとして活用するため、その上面の黒色フォトレジ
ストは現像時に除去されて、遮光膜が着色部の間の領域
にのみ形威されるようになり、表面が平滑な遮光躾付き
カラーフィノレターを得ることができる。また、適宜の
Ｕ■フィルターを用いれば、十分な分光特性を持たない
着色部の場合にも、遮光膜の着色部への重なりを確実に
防止することができる。
更に、黒色フォトレジストを遮光膜として使用するため
、フォトリソグラフィー工程の終ｒと同時に遮光膜が形
成されることになり、可染性フォトレジストを用いて遮
光膜を形成する方法（パターン形成後に黒色染料による
染色工程を必要とする）よりも簡便である。
、フォトリソグラフィー工程の終ｒと同時に遮光膜が形
成されることになり、可染性フォトレジストを用いて遮
光膜を形成する方法（パターン形成後に黒色染料による
染色工程を必要とする）よりも簡便である。
第１図（Ａ）〜（Ｄ）は本発明に係るカラーフィルター
の製造方法の一実施例を示す各製造工程における断面図
、第２図及び第３図（Ａ），（Ｂ）は本発明の他の実施
例を示す断面図、第４図はＲ．Ｇ，８１色部の着色材料
の分光特性図、第ら図はＲ，Ｇ，Ｂの着色材料とＵＶフ
ィルターの波長と透過率の関係を示す分光特性図、第６
図（Ａ），（Ｂ）は従来例を示す断面図である。 １・・・ガラス基板 ２・・・Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の着色部 ３・・・黒色フォトレジスト ３′・・・遮光膜４・・
・Ｕｖフィルター ５・・・フォトマスクａ・・・
ＵＶ光
の製造方法の一実施例を示す各製造工程における断面図
、第２図及び第３図（Ａ），（Ｂ）は本発明の他の実施
例を示す断面図、第４図はＲ．Ｇ，８１色部の着色材料
の分光特性図、第ら図はＲ，Ｇ，Ｂの着色材料とＵＶフ
ィルターの波長と透過率の関係を示す分光特性図、第６
図（Ａ），（Ｂ）は従来例を示す断面図である。 １・・・ガラス基板 ２・・・Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の着色部 ３・・・黒色フォトレジスト ３′・・・遮光膜４・・
・Ｕｖフィルター ５・・・フォトマスクａ・・・
ＵＶ光
Claims (1)
- 透明基板上に所定色、所定パターンの着色部を形成し、
基板及び着色部上に黒色ネガレジストを塗布した後、透
明基板の裏面側からＵＶ光を照射して黒色ネガレジスト
のパターニングを行い、着色部の間にのみ遮光膜を形成
することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004231A JPH03209203A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004231A JPH03209203A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03209203A true JPH03209203A (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=11578795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004231A Pending JPH03209203A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03209203A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996036903A1 (fr) * | 1995-05-16 | 1996-11-21 | Citizen Watch Co., Ltd. | Affichage a cristaux liquides, procede de fabrication de substrat actif et procede de fabrication de substrat a filtre colore |
| US5693436A (en) * | 1994-12-08 | 1997-12-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for forming a color filter |
| JP2006317983A (ja) * | 2006-08-30 | 2006-11-24 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| JP2008134435A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタおよびそれを用いた液晶表示装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01293306A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタ製造方法 |
| JPH02277005A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタ製造方法 |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP2004231A patent/JPH03209203A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01293306A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタ製造方法 |
| JPH02277005A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタ製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5693436A (en) * | 1994-12-08 | 1997-12-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for forming a color filter |
| WO1996036903A1 (fr) * | 1995-05-16 | 1996-11-21 | Citizen Watch Co., Ltd. | Affichage a cristaux liquides, procede de fabrication de substrat actif et procede de fabrication de substrat a filtre colore |
| JP2006317983A (ja) * | 2006-08-30 | 2006-11-24 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| JP2008134435A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタおよびそれを用いた液晶表示装置 |
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