JPH02277005A - カラーフィルタ製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ製造方法Info
- Publication number
- JPH02277005A JPH02277005A JP1099420A JP9942089A JPH02277005A JP H02277005 A JPH02277005 A JP H02277005A JP 1099420 A JP1099420 A JP 1099420A JP 9942089 A JP9942089 A JP 9942089A JP H02277005 A JPH02277005 A JP H02277005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- picture elements
- resist
- black matrix
- black
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液晶カラーテレビ等に用いられるカラーフィ
ルターの製造方法に関するものである。
ルターの製造方法に関するものである。
従来の技術
一般に着色レジストを用いたカラーフィルター等のパタ
ーンの形成法は、第２図（Ａ）に示したように、ガラス
基板２１上に着色レジスト２２を所定の膜厚で塗布した
後、プリベークを行い、光重合を行なうタイプの着色レ
ジストの場合は、酸素遮断膜２３を塗布して、マスク２
４を介して露光を行った後、現像、リンスによって不要
部分を除去し、最後にポストベータを行う工程よりなっ
ている。特に、カラーフィルターの場合、ブラックマト
リクスの形成にはカーボンを分散した着色レジス°トを
用い、画素の部分には、赤、緑、青、の顔料を分散した
着色レジストを用いている。
ーンの形成法は、第２図（Ａ）に示したように、ガラス
基板２１上に着色レジスト２２を所定の膜厚で塗布した
後、プリベークを行い、光重合を行なうタイプの着色レ
ジストの場合は、酸素遮断膜２３を塗布して、マスク２
４を介して露光を行った後、現像、リンスによって不要
部分を除去し、最後にポストベータを行う工程よりなっ
ている。特に、カラーフィルターの場合、ブラックマト
リクスの形成にはカーボンを分散した着色レジス°トを
用い、画素の部分には、赤、緑、青、の顔料を分散した
着色レジストを用いている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、着色レジストは顔料等によって光吸収、
が大きいため膜厚方向に光の強度分布がつきレジストの
下部で重合が不十分なため現像時サイドエッチ２７が生
じパターンの欠は等の原因となる。前記着色レジストの
下部まで十分重合し、耐現像性を有するのに必要な露光
量を確保するためには、表面で非常に大きな露光量が必
要となる。
が大きいため膜厚方向に光の強度分布がつきレジストの
下部で重合が不十分なため現像時サイドエッチ２７が生
じパターンの欠は等の原因となる。前記着色レジストの
下部まで十分重合し、耐現像性を有するのに必要な露光
量を確保するためには、表面で非常に大きな露光量が必
要となる。
しかしこの場合、回折によりパターンの太りが生じる。
また、ブラックマトリクスに着色レジストを用いた場合
、ブラックマトリクスと画素が重なった部分は盛り上が
りを生じギャップむらや対向ショートの原因となり易い
。このため画素の大きさをブラックマトリクスにはみ出
さないようにすると、第２図（Ｂ）に示すように、アラ
イメント誤差等による白抜け２６が生じやすくなる。
、ブラックマトリクスと画素が重なった部分は盛り上が
りを生じギャップむらや対向ショートの原因となり易い
。このため画素の大きさをブラックマトリクスにはみ出
さないようにすると、第２図（Ｂ）に示すように、アラ
イメント誤差等による白抜け２６が生じやすくなる。
本発明はかかる点に鑑み、欠陥、白抜けのない安定なパ
ターンを有するカラーフィルタを容易に製造する方法を
提供することを目的とする。
ターンを有するカラーフィルタを容易に製造する方法を
提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、透明基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
の画素パターンを形成した後、前記透明基板上に顔料も
しくは、カーボンを混入、分散したネガ型の黒色（Ｋ）
着色フォトレジストを塗布しベーキングを行った後、酸
素遮断雰囲気中で前記透明基板側より裏面露光を行い、
最後にブラックマトリクスを形成することにより白抜け
や重なりの無いカラーフィルタの製造を可能とする。
の画素パターンを形成した後、前記透明基板上に顔料も
しくは、カーボンを混入、分散したネガ型の黒色（Ｋ）
着色フォトレジストを塗布しベーキングを行った後、酸
素遮断雰囲気中で前記透明基板側より裏面露光を行い、
最後にブラックマトリクスを形成することにより白抜け
や重なりの無いカラーフィルタの製造を可能とする。
作用
本発明は、基板上にＲ，Ｇ、 Ｂの画素を形成した後
に、黒色着色レジストを塗布し裏面露光を行うことによ
り、Ｒ，Ｇ、 Ｂの各画素がマスクとなりブラックマ
トリクス以外の所は遮光するため、ブラックマトリクス
部のみが重合し、パターニングされる。またこの時、画
素自身がマスクとなっているためアライメントずれによ
る白抜けや、重なりが発生しない。
に、黒色着色レジストを塗布し裏面露光を行うことによ
り、Ｒ，Ｇ、 Ｂの各画素がマスクとなりブラックマ
トリクス以外の所は遮光するため、ブラックマトリクス
部のみが重合し、パターニングされる。またこの時、画
素自身がマスクとなっているためアライメントずれによ
る白抜けや、重なりが発生しない。
実施例
以下に、本発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の実施例の工程説明図である。
ガラス基板１上に第１色目（Ｒ）の着色フォトレジスト
、を塗布し、ベーキングを行い、マスク３を介して第１
色目の画素部に酸素遮断雰囲気中で選択的に光を照射し
た後（同図（Ａ）参照）、重合促進加熱、現像、リンス
、ポストベークを行うことによって第１色目の画素４を
前記基板１上に形成する（同図（Ｂ）参照）。この後、
第１図（Ｃ）〜（Ｆ）に示したように前記工程を繰り返
すことによって第２色目の画素６、第３色目の画素８を
形成した後、同図（Ｇ）に示したように前記画素４．６
．８の上から黒色着色レジスト９を塗布した後ベーキン
グを行い酸素遮断雰囲気にて前記ガラス基板ｌ側より裏
面露光を行う。この後、現像、リンス、ポストベークを
行うことによって同図（Ｈ）に示すように、ブラックマ
トリクス１０を形成する。
、を塗布し、ベーキングを行い、マスク３を介して第１
色目の画素部に酸素遮断雰囲気中で選択的に光を照射し
た後（同図（Ａ）参照）、重合促進加熱、現像、リンス
、ポストベークを行うことによって第１色目の画素４を
前記基板１上に形成する（同図（Ｂ）参照）。この後、
第１図（Ｃ）〜（Ｆ）に示したように前記工程を繰り返
すことによって第２色目の画素６、第３色目の画素８を
形成した後、同図（Ｇ）に示したように前記画素４．６
．８の上から黒色着色レジスト９を塗布した後ベーキン
グを行い酸素遮断雰囲気にて前記ガラス基板ｌ側より裏
面露光を行う。この後、現像、リンス、ポストベークを
行うことによって同図（Ｈ）に示すように、ブラックマ
トリクス１０を形成する。
またこの時のブラックマトリクス及び各画素の感光波長
での吸光係数と膜厚を にに： Ｋの吸光係数 ｔｘ： Ｋの膜厚に＋
＋：Ｒの吸光係数 ｔＲ： Ｒの膜厚ｋａ：
Ｇの吸光係数 ｔｏ： Ｇの膜厚ｋｅ： Ｂ
の吸光係数 ｔｅ： Ｂの膜厚とし、前記黒色
（Ｋ）’Ｍ色レジスト９が重合し、十分な耐現像性を得
るのに必要な露光ｍをＥ、とすると、ブラックマトリク
スの膜厚ｔ、における露光量Ｅには、Ｅｔ以上でなけれ
ばならない。しかし、各画素上では、現像時に除去され
なければならないので、そこでの露光量は、ＥＩより小
さくなければならない。そのため各画素の、ブラックマ
トリクスの吸光係数と膜厚の関係は ｋｇ ｔＫ＜ ｋＲｔＲ，ｋａ ｊａ＋ ｋｅ ｔ。
での吸光係数と膜厚を にに： Ｋの吸光係数 ｔｘ： Ｋの膜厚に＋
＋：Ｒの吸光係数 ｔＲ： Ｒの膜厚ｋａ：
Ｇの吸光係数 ｔｏ： Ｇの膜厚ｋｅ： Ｂ
の吸光係数 ｔｅ： Ｂの膜厚とし、前記黒色
（Ｋ）’Ｍ色レジスト９が重合し、十分な耐現像性を得
るのに必要な露光ｍをＥ、とすると、ブラックマトリク
スの膜厚ｔ、における露光量Ｅには、Ｅｔ以上でなけれ
ばならない。しかし、各画素上では、現像時に除去され
なければならないので、そこでの露光量は、ＥＩより小
さくなければならない。そのため各画素の、ブラックマ
トリクスの吸光係数と膜厚の関係は ｋｇ ｔＫ＜ ｋＲｔＲ，ｋａ ｊａ＋ ｋｅ ｔ。
である必要がある。また、このような関係は、可視域で
は透過率が高いが、感光波長域では光の吸収が第なる顔
料等の物質を、Ｒ，Ｇ、 Ｂの着色レジストに混入す
ることによって実現できる。
は透過率が高いが、感光波長域では光の吸収が第なる顔
料等の物質を、Ｒ，Ｇ、 Ｂの着色レジストに混入す
ることによって実現できる。
このような方法によってカラーフィルタを製造すること
によって、次のような効果がある。
によって、次のような効果がある。
第１に、画素とブラックマトリクスの間に白抜けや重な
りが生じない。
りが生じない。
第２に、サイドエッチが生じないため線切れや、欠けに
よる欠陥が生じない。
よる欠陥が生じない。
着色、フォトレジストの材料としては、アクリロイド系
感光樹脂より成る、例えば富士ハントエレクトロニクス
テクノロジー社製の顔料充填レジスト、すなわち青色レ
ジスト（商標名カラーモザイクＢ１ 略称ＣＢ）、
緑色レジスト（商標名カラーモザイクＧ１ 略称Ｃ
Ｇ）、赤色レジスト（商標名カラーモザイクＲ１略称Ｃ
Ｒ）、黒色レジスト（商標名カラーモザイクに１ 略
称ＧＫ）を用いた。
感光樹脂より成る、例えば富士ハントエレクトロニクス
テクノロジー社製の顔料充填レジスト、すなわち青色レ
ジスト（商標名カラーモザイクＢ１ 略称ＣＢ）、
緑色レジスト（商標名カラーモザイクＧ１ 略称Ｃ
Ｇ）、赤色レジスト（商標名カラーモザイクＲ１略称Ｃ
Ｒ）、黒色レジスト（商標名カラーモザイクに１ 略
称ＧＫ）を用いた。
現像剤としては、１重量％の炭酸ソーダ水溶液を用いた
。
。
発明の効果
本発明によって、顔料やカーボン等を分散させた着色フ
ォトレジストを用いてサイドエッチ、欠け、突起、およ
び、白抜けのない安定したカラーフィルタの製造が可能
となる。
ォトレジストを用いてサイドエッチ、欠け、突起、およ
び、白抜けのない安定したカラーフィルタの製造が可能
となる。
第１図は本発明の一実施例の工程説明図、第２図は従来
例の工程説明図である。 １・・・ガラス基板、２・・・第１色目着色レジスト、
３・・・フォトマスク、４・・・第１色目の画素、５・
・・第２色目着色レジスト、６・・・第２色目の画素、
７・・・第３色目着色レジスト、８・・・第３色目の画
素、９・・・黒色着色レジスト、１０・・・ブラックマ
ド リクス。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか１名ｆ 光 ／−−一カフス蟇榎 ど−ｍ−第１ｆ！！ｊ１着色しシスト ５−Ｖ４２色目の着色しリスト ４−１１１２ｅ目のｉ！ｈ稟 一−− ３−°− ４・− ７−・− ８−・− がフス薔仮 マスク 鳩１１！！目のＩｊｉｌ素 狐２ｆ！！目の画素 第３＠目の１１＠レジズト 第３色目のｊｌｉＩ稟 露光
例の工程説明図である。 １・・・ガラス基板、２・・・第１色目着色レジスト、
３・・・フォトマスク、４・・・第１色目の画素、５・
・・第２色目着色レジスト、６・・・第２色目の画素、
７・・・第３色目着色レジスト、８・・・第３色目の画
素、９・・・黒色着色レジスト、１０・・・ブラックマ
ド リクス。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか１名ｆ 光 ／−−一カフス蟇榎 ど−ｍ−第１ｆ！！ｊ１着色しシスト ５−Ｖ４２色目の着色しリスト ４−１１１２ｅ目のｉ！ｈ稟 一−− ３−°− ４・− ７−・− ８−・− がフス薔仮 マスク 鳩１１！！目のＩｊｉｌ素 狐２ｆ！！目の画素 第３＠目の１１＠レジズト 第３色目のｊｌｉＩ稟 露光
Claims (2)
- （１）透明基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の画
素パターンを形成した後、前記透明基板上に顔料もしく
は、カーボンを混入、分散したネガ型の黒色（Ｋ）着色
フォトレジストを塗布しベーキングを行った後、酸素遮
断雰囲気中で前記透明基板側より裏面露光を行い、最後
にブラックマトリクスを形成することを特徴とするカラ
ーフィルタ製造方法。 - （２）黒色着色フォトレジストの感光波長域に於けるＲ
、Ｇ、Ｂの各画素及びブラックマトリクスの吸光係数を
ｋ＿Ｒ、ｋ＿Ｇ、ｋ＿Ｂ、ｋ＿Ｋとし、Ｒ、Ｇ、Ｂの各
画素及びブラックマトリクスの設定膜厚をｔ＿Ｒ、ｔ＿
Ｇ、ｔ＿Ｂ、ｔ＿Ｋとした時、ｋ＿Ｋｔ＿Ｋ ＜ｋ＿Ｒ
ｔ＿Ｒ、ｋ＿Ｇｔ＿Ｇ、ｋ＿Ｂｔ＿Ｂであることを特徴
とする請求項１記載のカラーフィルタ製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1099420A JPH02277005A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | カラーフィルタ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1099420A JPH02277005A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | カラーフィルタ製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02277005A true JPH02277005A (ja) | 1990-11-13 |
Family
ID=14246980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1099420A Pending JPH02277005A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | カラーフィルタ製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02277005A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03209203A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-12 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH05264985A (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 遮光パターンの形成方法 |
| US5916714A (en) * | 1996-07-23 | 1999-06-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Preparation of a pixel sheet provided with black matrix |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP1099420A patent/JPH02277005A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03209203A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-12 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH05264985A (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 遮光パターンの形成方法 |
| US5916714A (en) * | 1996-07-23 | 1999-06-29 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Preparation of a pixel sheet provided with black matrix |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4673253A (en) | Method of making a liquid crystal display with color filters | |
| US8351143B2 (en) | Color filter substrate and manufacturing method thereof | |
| JPS62106407A (ja) | 液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH02277005A (ja) | カラーフィルタ製造方法 | |
| JP2887317B2 (ja) | カラーフィルター | |
| JPH0443562B2 (ja) | ||
| KR100538291B1 (ko) | 컬러필터기판의제조방법 | |
| JPH0381122B2 (ja) | ||
| JPS6177804A (ja) | カラ−フィルタの製造方法 | |
| JP2003131020A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP2000028815A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH085813A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH0253003A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH01307703A (ja) | カラーフィルタの製造法 | |
| JP3374496B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルター基板 | |
| JPH02902A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH03274502A (ja) | カラーフィルタ | |
| JPH10133012A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS63159807A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| KR920003352B1 (ko) | 액정표시소자용 컬러필터 및 그 제조방법 | |
| JPH02264203A (ja) | カラーフィルタ製造方法 | |
| JPH09197122A (ja) | カラーフィルター配列用の黒マトリックスグリッドラインを製造する方法 | |
| JPS62254103A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH02115841A (ja) | フォトマスク | |
| JPS61295502A (ja) | カラ−フイルタの製法 |