JPH03210494A - 放射線測定素子の遮蔽用グリッド板 - Google Patents
放射線測定素子の遮蔽用グリッド板Info
- Publication number
- JPH03210494A JPH03210494A JP2004991A JP499190A JPH03210494A JP H03210494 A JPH03210494 A JP H03210494A JP 2004991 A JP2004991 A JP 2004991A JP 499190 A JP499190 A JP 499190A JP H03210494 A JPH03210494 A JP H03210494A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid plate
- shielding
- grid
- radiation
- radiation measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明（表 放射線測定素子に関するものであり、特に
放射線が透過するスリットを複数個形成１．たグリッド
板に関するものである。
放射線が透過するスリットを複数個形成１．たグリッド
板に関するものである。
従来の技術
Ｘ線の測定には、 例え１′Ｌ 厚さ約０．５ｍｍ。
幅約１ｍ亀 長さ１〜２ｃｍ程度のＣｄＴｅの単結晶が
センサーチップとして用いられも そして、。
センサーチップとして用いられも そして、。
幅１ｍｍ、長さ１〜２ｃｍの面をＸ線の被照射面として
用いるのである力丈 その面の前面には複数個のスリッ
トを有するグリッド板が配置され 前記センサーチップ
は それに具備される適当な構成の電極によって機能的
には個々のスリットに対応した独立の素子が集積された
ものと等価な動作を行なうよう構成されも すなわ板
グリッドの各スリット毎のＸ線の透過量が前記センサー
チップにおいて計測されるよう構成されも この様な構
成法 本願出願人の出願である特願平０１−２６９３５
６号において示されていも 従ってスリットの大きさ（
戴 Ｘ線測定における位置的分解能を左右するものであ
も 上記の位置的分解能を向上させるには スリットの大き
さを小さ（する必要があり、通象 スリットの加工はエ
ツチング加工法等によって行なわれている。
用いるのである力丈 その面の前面には複数個のスリッ
トを有するグリッド板が配置され 前記センサーチップ
は それに具備される適当な構成の電極によって機能的
には個々のスリットに対応した独立の素子が集積された
ものと等価な動作を行なうよう構成されも すなわ板
グリッドの各スリット毎のＸ線の透過量が前記センサー
チップにおいて計測されるよう構成されも この様な構
成法 本願出願人の出願である特願平０１−２６９３５
６号において示されていも 従ってスリットの大きさ（
戴 Ｘ線測定における位置的分解能を左右するものであ
も 上記の位置的分解能を向上させるには スリットの大き
さを小さ（する必要があり、通象 スリットの加工はエ
ツチング加工法等によって行なわれている。
よく知られているよう置 形状精度を必要とするエツチ
ング加工法においては、 サイドエツチングが形状精度
に影響を与えない薄板を使用する必要があも そこで、
形状精度と板厚を共に必要とする場合（よ エツチング
加工を施した薄板を積層することで所要の厚みを得てい
な 装置 実月面では 上記の短冊状のセンサーチップを、
その長さ方向に直線状に複数個配列して測定範囲を拡大
する必要があも 発明が解決しようとする課題 しかし 前述の技術で１よ 以下に示すような課題を有
す４ 遮蔽用グリッド板の厚さに対してスリットの開口幅が小
さく、且つ形状精度が掻めて高い遮蔽用グリッド板を得
ようとした場合、開口幅よりも薄いグリッド板をエツチ
ング加工し積層することで所用の厚みを得ていたた数
材料的にも工数的にも高価についた 更へ エツチング加工で（亀 スリットのコーナーに丸
みが付き、その部分ではＸ線が遮断されて実質的に感度
が低下し九 更！ミ センサーチップを、その長さ方向に直線状に複
数個配列して測定範囲を拡大する必要があるが、この場
合、センサーチップに対して個々にグリッド板を高精度
に位置決めする事が困難であつ九 本発明は上記課題を解決するた八 新しい遮蔽用グリッ
ド板を提供することを目的とすム課題を解決するための
手段 本発明は上記課題を解決するため随 放射線を透過する
グリッド板であって、くし歯状に溝加工がなされた第１
及へ 第２の部材を、放射線の入射方向に関して重ね合
わされるように接合を行な１、Ｘ、又グリッド板のスリ
ットの配列方向の両端の一方の面に凸部を、他方の面に
前記凸部に整合する凹部を形成し 連結することで複数
個のセンサーチップにおける放射線を一体型で遮蔽でき
る遮蔽用グリッド板を得るものであも 作用 上記の方法により、グリッド板を分割してスリットの溝
加工を行ない接合し又 スリットの配列方向に連結する
ことで、厚板を用いたグリッド板の作成が可能となり、
また個々のグリッドの高精度の連結が可能となム 実施例 第１図は本発明の実施例を示す図であも 第１図（ｆ）
に示す様番ミ センサチップ６を上記の様に実質的に
複数個の素子として駆動するための電極５八 センサチ
ップ６上に一定ピッチで形成されている（図で法 簡略
化のため両端部の電極のみを示している）。第１図（ａ
）、 （ｃ）！！ 本発明のグリッド板を構成するグ
リッド板１ａ、１ｂを示すものである。第１図（ｂ）、
（ｄ）（ｉそれぞれ同図（ａ）、 （ｂ）の右側面図
であム電極５に対応するスリット２（戴 遮蔽用グリッ
ド板をグリッド板１ａ及びグリッド板１ｂのように放射
線を遮蔽する構造で分割した状態でスリット２をダイシ
ングソー等により溝加工を行（＼ その後グリッド板１
ａ及び、グリッド板１ｂの溝部の開放部３を閉塞する様
に接合部４ａにて接合して形成する（スリット２につい
ても電極５と同一ピッチで形成されている力丈 中央部
のスリットは図では省略されている）。
ング加工法においては、 サイドエツチングが形状精度
に影響を与えない薄板を使用する必要があも そこで、
形状精度と板厚を共に必要とする場合（よ エツチング
加工を施した薄板を積層することで所要の厚みを得てい
な 装置 実月面では 上記の短冊状のセンサーチップを、
その長さ方向に直線状に複数個配列して測定範囲を拡大
する必要があも 発明が解決しようとする課題 しかし 前述の技術で１よ 以下に示すような課題を有
す４ 遮蔽用グリッド板の厚さに対してスリットの開口幅が小
さく、且つ形状精度が掻めて高い遮蔽用グリッド板を得
ようとした場合、開口幅よりも薄いグリッド板をエツチ
ング加工し積層することで所用の厚みを得ていたた数
材料的にも工数的にも高価についた 更へ エツチング加工で（亀 スリットのコーナーに丸
みが付き、その部分ではＸ線が遮断されて実質的に感度
が低下し九 更！ミ センサーチップを、その長さ方向に直線状に複
数個配列して測定範囲を拡大する必要があるが、この場
合、センサーチップに対して個々にグリッド板を高精度
に位置決めする事が困難であつ九 本発明は上記課題を解決するた八 新しい遮蔽用グリッ
ド板を提供することを目的とすム課題を解決するための
手段 本発明は上記課題を解決するため随 放射線を透過する
グリッド板であって、くし歯状に溝加工がなされた第１
及へ 第２の部材を、放射線の入射方向に関して重ね合
わされるように接合を行な１、Ｘ、又グリッド板のスリ
ットの配列方向の両端の一方の面に凸部を、他方の面に
前記凸部に整合する凹部を形成し 連結することで複数
個のセンサーチップにおける放射線を一体型で遮蔽でき
る遮蔽用グリッド板を得るものであも 作用 上記の方法により、グリッド板を分割してスリットの溝
加工を行ない接合し又 スリットの配列方向に連結する
ことで、厚板を用いたグリッド板の作成が可能となり、
また個々のグリッドの高精度の連結が可能となム 実施例 第１図は本発明の実施例を示す図であも 第１図（ｆ）
に示す様番ミ センサチップ６を上記の様に実質的に
複数個の素子として駆動するための電極５八 センサチ
ップ６上に一定ピッチで形成されている（図で法 簡略
化のため両端部の電極のみを示している）。第１図（ａ
）、 （ｃ）！！ 本発明のグリッド板を構成するグ
リッド板１ａ、１ｂを示すものである。第１図（ｂ）、
（ｄ）（ｉそれぞれ同図（ａ）、 （ｂ）の右側面図
であム電極５に対応するスリット２（戴 遮蔽用グリッ
ド板をグリッド板１ａ及びグリッド板１ｂのように放射
線を遮蔽する構造で分割した状態でスリット２をダイシ
ングソー等により溝加工を行（＼ その後グリッド板１
ａ及び、グリッド板１ｂの溝部の開放部３を閉塞する様
に接合部４ａにて接合して形成する（スリット２につい
ても電極５と同一ピッチで形成されている力丈 中央部
のスリットは図では省略されている）。
又第１図（ｅ）（よ第１図（ａ）、（ｂ）を正面図と見
たときにその下面図に対応するもので、この図に示すよ
うく 長さ方向の接合部４ｂで（瓜グリッド板のスリッ
ト配列方向の一方の面に凸部を、他方の面に前記凸部に
整合する凹部を加工して連結し一体型とすることゑ 複
数個のセンサーチップにおける放射線を一体型で遮蔽で
きる高精度な遮蔽用グリッド板を得るものである。
たときにその下面図に対応するもので、この図に示すよ
うく 長さ方向の接合部４ｂで（瓜グリッド板のスリッ
ト配列方向の一方の面に凸部を、他方の面に前記凸部に
整合する凹部を加工して連結し一体型とすることゑ 複
数個のセンサーチップにおける放射線を一体型で遮蔽で
きる高精度な遮蔽用グリッド板を得るものである。
又 第２図に他の実施例を示す。同図（ａ）、（ｂ）の
様に凹凸で接合する場淑 同図（Ｃ）、（ｄ）に示すよ
うに斜めに接合する場合を示すものであも 発明の効果 本発明によれ（戯 遮蔽用グリッド板の厚さが厚（とも
高精度にスリット加工でき、又 複数のセンサーチップ
に対応した遮蔽用グリッド板を高精度で、且つ容易に得
ることが出来も
様に凹凸で接合する場淑 同図（Ｃ）、（ｄ）に示すよ
うに斜めに接合する場合を示すものであも 発明の効果 本発明によれ（戯 遮蔽用グリッド板の厚さが厚（とも
高精度にスリット加工でき、又 複数のセンサーチップ
に対応した遮蔽用グリッド板を高精度で、且つ容易に得
ることが出来も
第１図は本発明の一実施例の構成図 第２図は本発明の
弛の実施例の構成図である。 １ａ、 １ｂ・・・グリッド楓 ２・・・溝ｆ！Ｌ、３
・・・溝部の開放に４ａ・・・接合風 ４ｂ・・・接合
拡 ５・・・電極 ６・・・センサーチッス
弛の実施例の構成図である。 １ａ、 １ｂ・・・グリッド楓 ２・・・溝ｆ！Ｌ、３
・・・溝部の開放に４ａ・・・接合風 ４ｂ・・・接合
拡 ５・・・電極 ６・・・センサーチッス
Claims (3)
- （１）放射線を透過するスリットを複数個有するグリッ
ド板であって、くし歯状に多数の溝加工がなされた第１
の部材と、前記第１の部材に密接し、前記溝部の開放部
を閉塞する第２の部材とを具備したことを特徴とする放
射線測定素子の遮蔽用グリッド板。 - （２）グリッド板の閉塞部は、第１の部材と第２の部材
が、放射線の入射方向に関して、重ね合わされるように
接合されたことを特徴とする請求項１記載の放射線測定
素子の遮蔽用グリッド板。 - （３）グリッド板のスリットの配列方向の両端の一方の
面に凸部を、他方の面に前記凸部に整合する凹部を、第
１の部材もしくは第２の部材もしくは第１と第２の部材
に形成したことを特徴とする請求項１記載の放射線測定
素子の遮蔽用グリッド板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004991A JPH03210494A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 放射線測定素子の遮蔽用グリッド板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004991A JPH03210494A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 放射線測定素子の遮蔽用グリッド板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210494A true JPH03210494A (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=11599077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004991A Pending JPH03210494A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 放射線測定素子の遮蔽用グリッド板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03210494A (ja) |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP2004991A patent/JPH03210494A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1116047B1 (en) | Pixelated photon detector | |
| KR20080074957A (ko) | 방사선 검출유닛 및 방사선 검사장치 | |
| US6365900B1 (en) | Sensing head and collimator for gamma-camera | |
| JPS6218680U (ja) | ||
| JPH03210494A (ja) | 放射線測定素子の遮蔽用グリッド板 | |
| JPH11295432A (ja) | Ｃｔ用固体検出器 | |
| JP2604114Y2 (ja) | 放射線検出器 | |
| JPS6281600A (ja) | 放射線診断装置用コリメ−タ | |
| JP2922098B2 (ja) | 半導体放射線検出器 | |
| JPH09127248A (ja) | 放射線検出器 | |
| SU1111024A1 (ru) | Полупроводниковый датчик широховатости поверхности | |
| JP2553454Y2 (ja) | Ｘ線ｃｔ装置用のｘ線検出器 | |
| EP1717603A1 (en) | PIixelated proton detector | |
| JPH0562709B2 (ja) | ||
| CA1116757A (en) | Imaging of a radiation source using a collimator | |
| JPH02129969A (ja) | 半導体放射線検出素子アレイ | |
| JP3177550B2 (ja) | 半導体検出器アレイ | |
| JP3114235B2 (ja) | 焦電アレイセンサ | |
| JPH0295218A (ja) | 複数の感受素子を有する焦電型センサ | |
| JP2822231B2 (ja) | 円形基板の位置決め装置 | |
| JPS60157236A (ja) | ダイシング法 | |
| JPH01113690A (ja) | 放射線検出器及びその製造方法 | |
| JPS5833643Y2 (ja) | 質量分析装置におけるイオンビ−ム電流検出装置 | |
| JPS6027977Y2 (ja) | シンチレ−シヨンカメラ | |
| JPH1010236A (ja) | Ｘ線ｃｔ装置用ｘ線検出器 |