JPH03213267A - 研磨用貼り付け皿 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、凹面ラッピング用に好適する研磨用貼り付け
皿に関する。

（従来の技術） 一般に、凹面ラッピングにおいては、凹面を有する鋳鉄
皿が貼り付け皿として用いられている。

上記鋳鉄皿の凹球面には、複数個の被加工物が貼着され
る。このときの貼着方法は、第４図に示すように、鋳鉄
皿（Ａ）の凹面（Ｂ）の油脂やゴミを除去する工程と、
凹面（Ｂ）上に例えば小径円板状の被加工物（Ｃ）・・
・を載置し瞬間接着剤で仮止めする工程と、仮止め後に
被加工物（Ｃ）・・・の周辺部に収縮の少ないワ・ソク
ス（Ｄ）を流し込み被加工物（Ｃ）・・・を半埋設させ
るようにして本固定を行う工程とからなっている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来の貼り付け皿においては、被加工物
と貼り付け皿との間に極小なゴミが侵入し、そのために
被加工物が傾き、そのまま固定される場合があった。平
面の、貼り付け皿に被加工物を貼り付ける場合は、被加
工物固定後、各被加工物の高さを測定することが可能で
あり、被加工物の良・不良を見分けることができるので
、再貼り付け等の修正が可能であるが、凹面の貼り付け
皿の場合は、適切な測定法がないため、修正が困難とな
っていた。

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、凹面の
貼り付け皿に被加工物を貼り付ける際に被加工物と貼り
付け皿との間に侵入したゴミの影響を少なくすることの
できる研磨用貼り付け皿を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段と作用） 本発明の研磨用貼り付け皿は、被加工物との間に介在す
るゴミが吸引手段により吸入除去するようにしたもので
、被加工物が傾いて固着される虞がなくなり、凹面ラッ
ピングを高精度で行うことができるとともに、煩雑な傾
き修正作業が不要となるので、加工能率の向上にも寄与
することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第１図は、この実施例の研磨用貼り付け皿を示している
。この研磨用貼り付け皿は、凹面ラッピング用のもので
、一方の主面が凹球面（１）をなしている円盤状の本体
部（２）と、凹球面（１）の被加工物（３）・・・貼り
付け位置に埋設された多孔性の吸着体（４）・・・と、
一端部がこれらの吸着体（４）・、・の底部に接続する
ように本体部（２）中に内設された吸気管（５）・・・
とからなっている。しかして、本体部（２）は、鋳鉄か
らなっている。また、吸着体（４）・・・は、例えばア
ルミナなどのセラミックスを焼結したものである。そし
て、吸着体（４）・・の外部に露出している部位には、
すり林状の凹部（６）が形成されている。さらに、吸気
管（５）・・・の他端部は、図示せぬ真空源に接続され
るようになっている。

つぎに、上記構成の研磨用貼り付け皿に被加工物（３）
・・・を貼り付ける場合、まず真空源を起動し、吸気管
（５）・・・を介して吸着体（４）・・・の露出面から
吸気する。つぎに、吸着体（４）・・・上に被加工物（
３）・・・を載置する。すると、四部（６）に介在する
ゴミ（７）・・・は、吸着体（４）・・・に吸引される
。また、吸着体（４）・・・に吸引されない大きめのゴ
ミ（７）・・・は、そのまま凹部（６）内に滞留するが
、吸着体（４）・・・に吸着された被加工物（３）・・
・よりも突出することはない。ついで、瞬間接着剤（８
）を吸着体（４）・・・に吸着された被加工物（３）・
・・の周縁部に塗布し仮止めする。そして、瞬間接着剤
（８）が完全に乾燥したのち、真空源による被加工物（
３）・・・の吸着を停止する。さらに、被加工物（３）
・・・の周縁部にワックスを流し込み被加工物（３）・
・・を半埋設させるようにして本固定を行う。

以上のように、この実施例の研磨用貼り付け皿によれば
、吸着体（４）・・・と被加工物（３）・・・との間に
介在するゴミ（７）・・・は、吸気管（５）・・・によ
り吸入除去されるか、あるいは、凹部（８）に滞留した
ままとなるので、被加工物（３）・・・が傾いて固着さ
れる虞がなくなり、凹面ラッピングを高精度で行うこと
ができる。また、煩雑な傾き修正作業が不要となる野で
、加工能率の向上にも寄与することができる。

なお、上記実施例に限ることなく、第２図に示すように
、吸着体（１４）の被加工物（３）吸着面（■５）を平
面としてもよい。さらに、第３図に示すように、本体部
（２０）に凹部（２１）を設け、この凹部（２１）に真
空源を接続させ、この凹部（２１）を塞ぐように被加工
物（３）を着設るようにしてもよい。

［発明の効果］ 本発明の研磨用貼り付け皿は、被加工物との間に介在す
るゴミが吸引手段により吸入除去されるので、被加工物
が傾いて固着される虞がなくなり、凹面ラッピングを高
精度で行うことができる。

また、煩雑な傾き修正作業が不要となるので、加工能率
の向上にも寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の研磨用研磨用貼り付け皿の
説明図、第２図及び第３図は本発明の他の実施例の研磨
用貼り付け皿の説明図、第４図は従来技術の説明図であ
る。 （１）：凹球面、　（２）　　：本体部、　（３）　　
、被加工物。 （４） 吸着体 （６） 凹部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）一方の主面が凹面をなしている円盤状の本体部と
   、上記凹面の被加工物貼り付け位置に設けられ上記被加
   工物を減圧により吸着する吸着手段とを具備することを
   特徴とする研磨用貼り付け皿。
2. （２）吸着手段は本体部に設けられ且つ減圧源に接続さ
   れる凹部であることを特徴とする請求項（１）記載の研
   磨用貼り付け皿。
3. （３）吸着手段は本体部に埋設され且つ減圧源に接続さ
   れる多孔性の吸着体であることを特徴とする請求項（１
   ）記載の研磨用貼り付け皿。
4. （４）吸着体の被加工物吸着部位が凹部に形成されてい
   ることを特徴とする請求項（３）記載の研磨用貼り付け
   皿。