JPH03213745A - 精密除振台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は精密除振台に係り、特に定盤の傾斜および上下
方向の微小な調整も容易な精密除振台に関する。

［従来の技術］ 半導体製造装置、同検査装置、電子顕微鏡、各種分析機
器、光学測定機器等の精密機器は除振台上に搭載して使
用されている。第６図に示すように、床９０上に設置さ
れた除振台は、精密機器が搭載される定盤４０と、定盤
４０の下面に接触して取り付けられた感知レバー６１を
有する自動圧力調整器６０と、自動圧力調整器６０の弁
（図示せず）により制御され定盤４０の下面に接触して
設けられている空気ばね５０と、空気ばね５０に対し空
気を供給する付加タンク５１と、フレーム８０とで構成
されている。自動圧力調整弁については、本出願人によ
り既に提案されている（実開昭５６−１４８７１５号）
。

定盤４０の振動が感知レバー６１に伝達されると、感知
レバー６１の上下動に応じて自動圧力調整器６０の弁が
開閉し、空気ばね５０に付加タンク５１から空気が供給
されるか、または、空気ばね５０から空気が放出されて
、上下動した定盤４０の復元が計られる。

［発明が解決すべき課題］ ところで従来の除振台に使用されている自動圧力調整器
６０は応答が遅いため、短時間にほぼ元の位置にもどる
という高速復元は望めず、また、ハンティング防止のた
め不感帯が大きく、復元精度も悪かった（第５図）。こ
のため、搭載される精密機器の高性能、高精度化に伴い
、除振台自体の機能向上が要求されていた。

［発明の目的］ 本発明は上記の点を解決するためになされたもので、機
器が搭載された定盤の傾斜及び上下方向のレベル変動を
、速かに、かつ、高精度に復元可能な精密除振台を提供
することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明による精密除振台
は、空気ばねと、空気ばねに支持される第１の定盤と、
第１の定盤の変位に応じて空気ばねを駆動させる自動圧
力調整器を有し、第１の定盤の上に設けられ除振対称物
を載置する第２の定盤と、第２の定盤の位置を検出する
非接触変位センサと、第１の定盤と第２の定盤の間に設
置され非接触変位センサが検出した位置信号に基つき第
２の定盤の変位を制御するアクチュエータと、アクチュ
エータを駆動制御する制御部とを備えた構造で、ある。

［実施例］ 以下、本発明による精密除振台の好ましい実施例を図面
を用いて詳述する。

第１図に示すように、本発明による精密除振台は、第１
の定盤４の上に設けられ除振対称物を載置する第２の定
盤４Ａと、第２の定盤４Ａの位置を検出する非接触変位
センサ１と、第１の定盤４と第２の定盤４Ａの間に設置
され非接触変位センサ１が検出した位置信号に基づき第
２の定盤４Ａの変位を制御するアクチュエータ２と、ア
クチュエータ２を駆動制御する制御部３とを備え、かつ
、第１の定盤４の下面に接触して取り付けられた感知レ
バー６１を有する自動圧力調整器６と、自動圧力調整器
６の弁（図示せず）により制御され第１の定盤４の下面
に接触して設けられている空気ばね５と、空気ばね５に
対し空気を供給する付加タンク５１と、フレーム８とを
有し、付加タンク５１の下部が床９上に設置されている
。

第２の定盤４Ａの位置を検出する非接触変位センサ１は
、フレーム８に設けられたブラッケット７に取り付けら
れる。除振対称物が載置される第２の定盤４Ａは、第１
の定盤４の上に設けられたアクチュエータ２により支持
されている。制御部３は、第１の定盤４の上、または、
別所に設けられる。

本発明の特徴である非接触変位センサ１、アクチュエー
タ２および制御部３から成る制御機構部分の基本構成は
、第２図に示すように、例えば、非接触変位センサ１が
４個、アクチュエータ２が４個、工ないし複数個の制御
部３（第２図には図示せず）であるが、それぞれの数に
は特別制限はない。

非接触変位センサ１が検出した第２の定盤４Ａの位置信
号は、制御部３に伝達され、制御部３はアクチュエータ
２を駆動制御する。第２の定盤４Ａの変位とは逆方向に
駆動するアクチュエータ２の働きで、第２の定盤４Ａは
素速く一定状態に復元される（第３図）。

本発明による精密除振台においては、第１の定盤４の大
きな振動は、従来と同様に制御される。

即ち、第１の定盤４の振動が感知レバー６１に伝達され
ると、感知レバー６１の上下動に応じて自動圧力調整器
６の弁が開閉し、空気ばね５に付加タンク５１から空気
が供給されるか、または、空気ばね５から空気が放出さ
れて、上下動した第１の定盤４の復元が計られる。一方
、搭載される精密機器にとって影響の大きい微小変位お
よび第１の定盤４の振動による第２の定盤４Ａの振動の
復元は、非接触変位センサ１が検出した位置信号に基づ
き制御部３にコントロールされているアクチュエータ２
の駆動により、能動的に第２の定盤４Ａに対してなされ
る。

非接触変位センサ１は、第２の定盤４Ａに接触すること
なく、床９と第２の定盤４Ａの相対変位を検出するもの
で、光学的（Ｌ　Ｅ　Ｄ）変位センサ、空気変動式変位
センサ、レーザ変位センサ、超音波式変位センサ、渦電
流式変位センサ等、公知の変位センサが好適に用いられ
る。設置位置はブラッケト７上とは限定されず、第２の
定盤４Ａと床９との相対変位を検出できる位置であれば
よい。

アクチュエータ２としては、高速で駆動可能な、リニア
モータ、圧電アクチュエータ、電動シリンダー、油圧シ
リンダー、超音波モータ、アモルファス磁気素子による
アクチュエータ、磁歪機能素子によるアクチュエータ等
公知のアクチュエータが好適である。

本発明による精密除振台の復元特性をみると、第４図に
示すように、極く短時間に、かつ、はぼ初期状態にもど
り、第５図に示す従来の除振台の復元特性に比較して優
れた性能が確認された。

尚、本発明の特徴である制御機構部分、即ち、４個の非
接触変位センサ１．４個のアクチュエータ２および制御
部３を、使用されている従来の除振台の振動制御機構に
対して直列的に付加することにより、本発明による精密
除振台と同様な効果があるのは言うまでもない。

［発明の効果］ 以上の実施例からも明らかなように、本発明による精密
除振台は、空気ばねと、空気ばねに支持される第１の定
盤と、第１の定盤の変位に応じて空気ばねを駆動させる
自動圧力調整器を有するので大きな振動が制御され、ま
た、第１の定盤の上に設けられ除振対称物を載置する第
２の定盤と、第２の定盤の位置を検出する非接触変位セ
ンサと、第１の定盤と第２の定盤の間に設置され非接触
変位センサが検出した位置信号に基づき第２の定盤の変
位を制御するアクチュエータと、アクチュエータを駆動
制御する制御部とを備えているので、精密機器が搭載さ
れた定盤の傾斜や微小なレベル変動も、速かに、かつ、
高精度に復元可能であり、搭載される精密機器の高性能
、高精度化によく対応する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明による精密除振台の構成を
示す図、第３図はその制御方法を説明する図、第４図は
本発明による精密除振台の復元特性を示す図、第５図は
従来の除振台の復元特性を示す図、第６図は従来の除振
台の構成を示す図である。 ０１１０００．、非接触変位センサ ３３１１．１０．アクチュエータ ０９０１１１１．制御部 ００１１９０．第１の定盤 Ａ、、、、、、、、第２の定盤 ９８９３８１．空気ばね ００１１９１．自動圧力調整器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　空気ばねと、前記空気ばねに支持される第１の定盤と
   、前記第１の定盤の変位に応じて前記空気ばねを駆動さ
   せる自動圧力調整器を有し、前記第１の定盤の上に設け
   られ除振対称物を載置する第２の定盤と、前記第２の定
   盤の位置を検出する非接触変位センサと、前記第１の定
   盤と前記第２の定盤の間に設置され前記非接触変位セン
   サが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤の変位を
   制御するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動
   制御する制御部とを備えたことを特徴とする精密除振台
   。