JPH03216694A - 半導体振動センサー - Google Patents
半導体振動センサーInfo
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- JPH03216694A JPH03216694A JP1309890A JP1309890A JPH03216694A JP H03216694 A JPH03216694 A JP H03216694A JP 1309890 A JP1309890 A JP 1309890A JP 1309890 A JP1309890 A JP 1309890A JP H03216694 A JPH03216694 A JP H03216694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- vibration
- receiving element
- semiconductor
- semiconductor light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は機械的な振動を検知する振動センサーに関し、
特に光半導体素子によって振動を検知し、電気信号とし
て出力する振動センサーに間する。
特に光半導体素子によって振動を検知し、電気信号とし
て出力する振動センサーに間する。
従来の振動センサーは、流動体や他の物体の重心の移動
によって機械的に振動を伝達していた．このため、電気
信号への変換がむずかしくマイクロコンピュータ等への
接続が困難であった．〔発明が解決しようとする課題〕 上述した従来の振動センサーは、重心の移動等によって
検知した振動を機械的な接続によって伝達する構造とな
っているので、センサーが大型になり、信号伝達距離を
伸ばすことが出来ず、また、電気信号への変換が困難で
あり、マイクロコンピュータ等による制御系への接続が
出来ないという欠点がある。
によって機械的に振動を伝達していた．このため、電気
信号への変換がむずかしくマイクロコンピュータ等への
接続が困難であった．〔発明が解決しようとする課題〕 上述した従来の振動センサーは、重心の移動等によって
検知した振動を機械的な接続によって伝達する構造とな
っているので、センサーが大型になり、信号伝達距離を
伸ばすことが出来ず、また、電気信号への変換が困難で
あり、マイクロコンピュータ等による制御系への接続が
出来ないという欠点がある。
本発明の半導体振動センサーは、半導体発光素子と半導
体受光素子，可動球体，球体を収納する光透過性容器、
これらを組込むためのハウジングケースおよび反射板と
を有している。
体受光素子，可動球体，球体を収納する光透過性容器、
これらを組込むためのハウジングケースおよび反射板と
を有している。
半導体発光素子から反射物に向う光とこの光が反射物に
より反射され半導体受光素子に向う光とを同時に遮断で
きるような光不透過性の可動球体を光軸上に設けること
により、無振動時には可動球体が光を遮断する結果、半
導体受光素子には、光電流は流れないが振動時では今ま
で光を遮断していた球体が動き、半導体受光素子に光が
入射され光電流が流れてしまう。この光電流によって振
動を検知する。
より反射され半導体受光素子に向う光とを同時に遮断で
きるような光不透過性の可動球体を光軸上に設けること
により、無振動時には可動球体が光を遮断する結果、半
導体受光素子には、光電流は流れないが振動時では今ま
で光を遮断していた球体が動き、半導体受光素子に光が
入射され光電流が流れてしまう。この光電流によって振
動を検知する。
第１図は本発明の実施例１の断面図であり、第２図は光
透過性容器の上部より見た図である。振動がないときは
発光素子５、受光素子６の光軸上に遮光性の球体３があ
るため、発光素子５から出た光８は球体３に遮られ受光
素子６に入射しないので受光素子６には光電流は流れな
い。振動を与えると、これまで光軸を遮光していた球体
３が動き、反射板２で反射した光が受光素子に入射され
、受光素子に光電流が流れるので振動が感知できる。こ
の球体を収納する光透過性容器ｌの底面を受光素子６の
光軸の中心になるように光透過性容器に傾斜をつけ、こ
の傾斜の角度あるいは球体３の大きさを変えることによ
り、検知する振動の強さを変えることが出来る． 第３図，第４図に実施例２を示す．実施例ｌの光透過性
容器１の底面部に設置していた１個の受光素子６の廻り
に、複数の受光素子６を設置したものが実施例２である
．この他は先の実施例１と同じである。この実施例では
受光素子６が複数個あるためにそれぞれの受光素子６に
流れる電流の変化によって本体の振動だけでなく、傾き
の方向を検知できるという利点がある．また受光素子の
数を増やすことにより傾きを検知する精度を上げること
ができる． 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、反射型インクラブタにお
いて、発光素子と受光素子の光軸上に遮光性の球体を可
動しやすいように設置することにより、電気的に振動を
検知することが出来るという効果がある。
透過性容器の上部より見た図である。振動がないときは
発光素子５、受光素子６の光軸上に遮光性の球体３があ
るため、発光素子５から出た光８は球体３に遮られ受光
素子６に入射しないので受光素子６には光電流は流れな
い。振動を与えると、これまで光軸を遮光していた球体
３が動き、反射板２で反射した光が受光素子に入射され
、受光素子に光電流が流れるので振動が感知できる。こ
の球体を収納する光透過性容器ｌの底面を受光素子６の
光軸の中心になるように光透過性容器に傾斜をつけ、こ
の傾斜の角度あるいは球体３の大きさを変えることによ
り、検知する振動の強さを変えることが出来る． 第３図，第４図に実施例２を示す．実施例ｌの光透過性
容器１の底面部に設置していた１個の受光素子６の廻り
に、複数の受光素子６を設置したものが実施例２である
．この他は先の実施例１と同じである。この実施例では
受光素子６が複数個あるためにそれぞれの受光素子６に
流れる電流の変化によって本体の振動だけでなく、傾き
の方向を検知できるという利点がある．また受光素子の
数を増やすことにより傾きを検知する精度を上げること
ができる． 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、反射型インクラブタにお
いて、発光素子と受光素子の光軸上に遮光性の球体を可
動しやすいように設置することにより、電気的に振動を
検知することが出来るという効果がある。
第１図，第２図は、本発明の半導体振動センサーの実施
例１を示す。第１図は半導体振動センサーの断面図を示
し、第２図は光透過性容器の上部より見た図を示す。 第３図，第４図は半導体振動センサーの実施例２を示す
。第３図は実施例２の断面図を示し、第４図は光透過性
容器の上部より見た図を示す。
例１を示す。第１図は半導体振動センサーの断面図を示
し、第２図は光透過性容器の上部より見た図を示す。 第３図，第４図は半導体振動センサーの実施例２を示す
。第３図は実施例２の断面図を示し、第４図は光透過性
容器の上部より見た図を示す。
Claims (1)
- 発光素子、受光素子および反射物から構成される光反射
型振動センサーにおいて、半導体発光素子から反射物に
向う光と、この光が反射物により反射され、半導体受光
素子に向う光の少くとも一方を遮断できる大きさの球体
と、これを収納する光透過性容器を具備していることを
特徴とする半導体振動センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02013098A JP3080630B2 (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | 半導体振動センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02013098A JP3080630B2 (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | 半導体振動センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03216694A true JPH03216694A (ja) | 1991-09-24 |
| JP3080630B2 JP3080630B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=11823677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02013098A Expired - Fee Related JP3080630B2 (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | 半導体振動センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3080630B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009036519A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Rohm Co Ltd | 振動センサ |
-
1990
- 1990-01-22 JP JP02013098A patent/JP3080630B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009036519A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Rohm Co Ltd | 振動センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3080630B2 (ja) | 2000-08-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |