JPH0321688A - 含フッ素アルコール系脱水剤および物品の脱水乾燥方法 - Google Patents
含フッ素アルコール系脱水剤および物品の脱水乾燥方法Info
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- JPH0321688A JPH0321688A JP1156403A JP15640389A JPH0321688A JP H0321688 A JPH0321688 A JP H0321688A JP 1156403 A JP1156403 A JP 1156403A JP 15640389 A JP15640389 A JP 15640389A JP H0321688 A JPH0321688 A JP H0321688A
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- Japan
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- dehydrating
- water
- dehydrating agent
- containing alcohol
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D12/00—Displacing liquid, e.g. from wet solids or from dispersions of liquids or from solids in liquids, by means of another liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/26—Drying gases or vapours
- B01D53/28—Selection of materials for use as drying agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/50—Solvents
- C11D7/5004—Organic solvents
- C11D7/5018—Halogenated solvents
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/005—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by dipping them into or mixing them with a chemical liquid, e.g. organic; chemical, e.g. organic, dewatering aids
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、含フッ素アルコール系脱水剤および該脱水剤
を使用する物品の脱水乾燥方法に関する。
を使用する物品の脱水乾燥方法に関する。
なお、本願明細書において、“％”とあるのは、すべて
“重量％”を意味する。
“重量％”を意味する。
半導体製造用のシリコンウエハー、メッキ製品、光学レ
ンズ、各種の金属部品など（以下単に物品という）は、
加工の最終段階または最終段階に近い段階で水洗される
ことが多い。この様な物品の表面に残存する水分は、シ
ミ状斑の形成、錆の発生などの原因となるので、物品の
性能を大きく左右することになる。
ンズ、各種の金属部品など（以下単に物品という）は、
加工の最終段階または最終段階に近い段階で水洗される
ことが多い。この様な物品の表面に残存する水分は、シ
ミ状斑の形成、錆の発生などの原因となるので、物品の
性能を大きく左右することになる。
従来、この様な物品の脱水を効果的に行うための脱水剤
としては、イソプロパノール、エタノールなどのアルコ
ール類、トリクロロトリフルオロエタンなどのフロン類
あるいはフロンにアルコール、界面活性剤などを混合或
は添加した組成物などが広く使用されてきた。
としては、イソプロパノール、エタノールなどのアルコ
ール類、トリクロロトリフルオロエタンなどのフロン類
あるいはフロンにアルコール、界面活性剤などを混合或
は添加した組成物などが広く使用されてきた。
しかしながら、イソブロパノールおよびエタノールは、
引火性が高いので、作業上の危険性が大きいという問題
点がある。フロン系脱水剤には、その様な問題点は無い
が、近年、大気中に放出されたある種のフロンが成層圏
のオゾン層を破壊し、その結果、人類を含む地球上の生
態系に重大な悪影響を及ぼす危険性が指摘されている。
引火性が高いので、作業上の危険性が大きいという問題
点がある。フロン系脱水剤には、その様な問題点は無い
が、近年、大気中に放出されたある種のフロンが成層圏
のオゾン層を破壊し、その結果、人類を含む地球上の生
態系に重大な悪影響を及ぼす危険性が指摘されている。
従って、オゾン層破壊の危険性の高いフロンについては
、国際的な取決めにより、使用および生産が制限される
に至っている。
、国際的な取決めにより、使用および生産が制限される
に至っている。
従って、不燃性あるいは難燃性であり、且つ現在大量に
使用されているフロン系脱水剤に代替し得る新規な脱水
剤の出現が切望されている。
使用されているフロン系脱水剤に代替し得る新規な脱水
剤の出現が切望されている。
問題点を解決するための手段
本発明者は、上記の如き技術の現状に鑑みて研究を進め
た結果、含フッ素アルコールおよびこれに水を配合した
組成物が、物品の脱水剤として優れた性質を具備してい
ることを見出した。
た結果、含フッ素アルコールおよびこれに水を配合した
組成物が、物品の脱水剤として優れた性質を具備してい
ることを見出した。
即ち、本発明は、下記の脱水剤および物品の脱水方法を
提供するものである： ■ 含フッ素アルコールからなる脱水剤。
提供するものである： ■ 含フッ素アルコールからなる脱水剤。
■ 含フッ素アルコールと水からなる脱水剤。
■ 表面に付着した水を有する物品を脱水乾燥させる方
法において、物品を含フッ素アルコールからなる脱水剤
または含フッ素アルコールと水とからなる脱水剤に浸漬
した後、乾燥させることを特徴とする物品の脱水乾燥方
法。
法において、物品を含フッ素アルコールからなる脱水剤
または含フッ素アルコールと水とからなる脱水剤に浸漬
した後、乾燥させることを特徴とする物品の脱水乾燥方
法。
本発明で使用する含フッ素アルコールとしては、１分子
中に少なくとも２個のフッ素原子を有し且つ炭素数が２
個以上のアルコールが挙げられる。
中に少なくとも２個のフッ素原子を有し且つ炭素数が２
個以上のアルコールが挙げられる。
より具体的には、下式で表わされる含フッ素アルコール
が例示される： ＣＦ３ＣＨ２０Ｈ Ｈ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ａＣＨ２ ０ＨＣＦ３ ＣＨ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ｅＣＨ２ ０ＨＣＦ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ，ＣＨ２ ＣＨ２ ０ＨＣ
Ｆ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ｉ ＣＨ２ ＣＨ２ ＣＨ
２ ０ＨＦ （ＣＦ２ ＣＦ） ｊ ＣＨ２ ＣＨ２
ＣＨ２ ０ＨＣＦ３ （式中、ａ，Ｃ，ｅ，ｇおよびｉは、１〜５の整数を表
わし、ｂ，ｄ，ｆ，ｈおよびｊは、１〜３の整数を表わ
す。） これら含フッ素アルコール中でも、トリフルオロエタノ
ール（３ＦＥとする：沸点＝７７℃）、テトラフルオロ
プロパノール（４ＦＰとする：沸点＝１０７°Ｃ）およ
びペンタフルオロブロノくノール（５ＦＰとする：沸点
＝８１℃）がより好ましいものとして挙げられる。さら
に、不燃性であることから、５ＦＰがより好ましい。こ
れらの含フッ素アルコールは、単独で使用しても良く、
或いは２種以上を併用しても良い。
が例示される： ＣＦ３ＣＨ２０Ｈ Ｈ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ａＣＨ２ ０ＨＣＦ３ ＣＨ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ｅＣＨ２ ０ＨＣＦ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ，ＣＨ２ ＣＨ２ ０ＨＣ
Ｆ３ Ｆ （ＣＦ２ ＣＦ２ ） ｉ ＣＨ２ ＣＨ２ ＣＨ
２ ０ＨＦ （ＣＦ２ ＣＦ） ｊ ＣＨ２ ＣＨ２
ＣＨ２ ０ＨＣＦ３ （式中、ａ，Ｃ，ｅ，ｇおよびｉは、１〜５の整数を表
わし、ｂ，ｄ，ｆ，ｈおよびｊは、１〜３の整数を表わ
す。） これら含フッ素アルコール中でも、トリフルオロエタノ
ール（３ＦＥとする：沸点＝７７℃）、テトラフルオロ
プロパノール（４ＦＰとする：沸点＝１０７°Ｃ）およ
びペンタフルオロブロノくノール（５ＦＰとする：沸点
＝８１℃）がより好ましいものとして挙げられる。さら
に、不燃性であることから、５ＦＰがより好ましい。こ
れらの含フッ素アルコールは、単独で使用しても良く、
或いは２種以上を併用しても良い。
本発明脱水剤を含フッ素アルコールと水とからなる組戊
物の形態で使用する場合には、含フッ素アルコール組戊
物中の２０％（より好ましくは１０％）までを水により
構成することが出来る。
物の形態で使用する場合には、含フッ素アルコール組戊
物中の２０％（より好ましくは１０％）までを水により
構成することが出来る。
水１０％以下の混合物では、物体表面に存在する水との
置換が良好に行われるが、水の量が１０％を超えるにし
たがって、次第にその能力が低下し、２０％を超える場
合には、所望の効果が得られなくなる。４ＦＰ／水＝７
２．５／２７．５および５ＦＰ／水−９４７６の混合物
は、共沸組成物を形成するので、水除去に有効である。
置換が良好に行われるが、水の量が１０％を超えるにし
たがって、次第にその能力が低下し、２０％を超える場
合には、所望の効果が得られなくなる。４ＦＰ／水＝７
２．５／２７．５および５ＦＰ／水−９４７６の混合物
は、共沸組成物を形成するので、水除去に有効である。
また、３ＦＥと水との混合物は、共沸組成物ではないが
、共沸組成物に類似する、いわゆる“共沸様組底物”と
しての挙動を示す。
、共沸組成物に類似する、いわゆる“共沸様組底物”と
しての挙動を示す。
本発明脱水剤には、必要ならば、公知の安定剤を少量配
合しても良い。
合しても良い。
本発明の脱水剤を使用して物品の脱水乾燥を行うには、
フロン系などの公知の脱水剤を使用する脱水乾燥方法と
同様の装置を使用して、同様の手順により実施すれば良
い。従って、脱水方法および脱水装置に関しては、特に
限定されるものでないが、その一例を概略的に示すと、
第１図に示す通りである。
フロン系などの公知の脱水剤を使用する脱水乾燥方法と
同様の装置を使用して、同様の手順により実施すれば良
い。従って、脱水方法および脱水装置に関しては、特に
限定されるものでないが、その一例を概略的に示すと、
第１図に示す通りである。
本発明方法で使用する脱水装置の一例を断面図として示
す第１図において、表面に水の付着した物品（図示せず
）は、先ず、第１の浸漬槽（１）に収容された本発明に
よる脱水剤に浸漬され、ここで水と含フッ素アルコール
（以下特に必要でない限り、５ＦＰをもって代表させる
）とが置換され、物品の脱水が行われる。
す第１図において、表面に水の付着した物品（図示せず
）は、先ず、第１の浸漬槽（１）に収容された本発明に
よる脱水剤に浸漬され、ここで水と含フッ素アルコール
（以下特に必要でない限り、５ＦＰをもって代表させる
）とが置換され、物品の脱水が行われる。
物品の脱水をより高度に行う必要がある場合には、第１
の浸漬槽（１）での浸漬を終えた物品をさらに第２の浸
漬槽（２）に送り、再度本発明による脱水剤に浸漬する
。第２の浸漬槽（２）には、第１の浸漬槽（１）から流
下し、水分離装置（３）において水を除去された実質的
に５ＦＰからなる脱水剤が循環されてくるので、目的と
するより高度の脱水が可能となる。
の浸漬槽（１）での浸漬を終えた物品をさらに第２の浸
漬槽（２）に送り、再度本発明による脱水剤に浸漬する
。第２の浸漬槽（２）には、第１の浸漬槽（１）から流
下し、水分離装置（３）において水を除去された実質的
に５ＦＰからなる脱水剤が循環されてくるので、目的と
するより高度の脱水が可能となる。
物品の脱水をさらに高度に行う必要がある場合には、加
熱装置（５）を備えた５ＦＰの蒸気槽（６）の上方に位
置する蒸気ゾーン（４）に第２の浸漬槽（２）での浸漬
を終えた物品を送り、５ＦＰの蒸気と接触させて、さら
に脱水を継続することができる。蒸気ゾーン（４）の上
方には、冷却管（７）が配設されており、これは、上昇
してくる５ＦＰの蒸気を凝縮させ、蒸気槽（６）に戻す
機能を有する。
熱装置（５）を備えた５ＦＰの蒸気槽（６）の上方に位
置する蒸気ゾーン（４）に第２の浸漬槽（２）での浸漬
を終えた物品を送り、５ＦＰの蒸気と接触させて、さら
に脱水を継続することができる。蒸気ゾーン（４）の上
方には、冷却管（７）が配設されており、これは、上昇
してくる５ＦＰの蒸気を凝縮させ、蒸気槽（６）に戻す
機能を有する。
水分離装置（３）としては、特に限定されず、含フッ素
アルコールから水を分離し得る限り、任意の装置が使用
される。例えば、含フッ素アルコールとして５ＦＰを使
用する場合には、溶解度の差により、１５℃程度以下の
低温において５ＦＰと水との分離が大きいため、この現
象を両者の分離に利用することができる。或いは、精留
により含フッ素アルコールと水との分離を行っても良く
、さらには、特殊な膜を使用する水分離技術を利用して
もよい。
アルコールから水を分離し得る限り、任意の装置が使用
される。例えば、含フッ素アルコールとして５ＦＰを使
用する場合には、溶解度の差により、１５℃程度以下の
低温において５ＦＰと水との分離が大きいため、この現
象を両者の分離に利用することができる。或いは、精留
により含フッ素アルコールと水との分離を行っても良く
、さらには、特殊な膜を使用する水分離技術を利用して
もよい。
なお、第１図には、物品の脱水を２つの浸漬槽と１つの
蒸気槽を設けた装置を使用して実施する例を示したが、
本発明方法で使用する装置は、この様な構造に限定され
るものではない。すなわち、物品表面への水付着量、要
求される物品の脱水程度、物品の脱水の容易さなどに応
じて、装置は、例えば、単一の浸漬槽或いは蒸気槽によ
り構成しても良く、１つの浸漬槽と１つの蒸気槽とによ
り構成しても良い。更に、スプレ一方式による脱水を行
っても良い。
蒸気槽を設けた装置を使用して実施する例を示したが、
本発明方法で使用する装置は、この様な構造に限定され
るものではない。すなわち、物品表面への水付着量、要
求される物品の脱水程度、物品の脱水の容易さなどに応
じて、装置は、例えば、単一の浸漬槽或いは蒸気槽によ
り構成しても良く、１つの浸漬槽と１つの蒸気槽とによ
り構成しても良い。更に、スプレ一方式による脱水を行
っても良い。
発明の効果
本発明による脱水剤は、オゾン層破壊などの環境破壊問
題を生じることはない。
題を生じることはない。
さらに、本発明の脱水剤は、物品の表面に付着した水の
除去能に極めて優れている。
除去能に極めて優れている。
また、含フッ素アルコールとして５ＦＰを使用する場合
には、脱水剤が不燃性となるので、取扱い上特に有利で
ある。３ＦＥ或いは４ＦＰを使用する場合にも、公知の
脱水剤であるイソプロパノール、エタノールなどに比し
て、引火に要するエネルギーが大きく且つ燃焼熱量が小
さいので、極めて安全である。
には、脱水剤が不燃性となるので、取扱い上特に有利で
ある。３ＦＥ或いは４ＦＰを使用する場合にも、公知の
脱水剤であるイソプロパノール、エタノールなどに比し
て、引火に要するエネルギーが大きく且つ燃焼熱量が小
さいので、極めて安全である。
さらにまた、イソブロパノール、エタノールなどに比し
て、低温に冷却することにより、水との分離を容易に行
い得る。
て、低温に冷却することにより、水との分離を容易に行
い得る。
さらにまた、共沸組成物または共沸様組成物からなる本
発明の溶剤は、液管理が容易であり、当然のことながら
、回収および再使用のために蒸発および凝縮を繰り返し
ても、混合割合は殆ど変化しない。
発明の溶剤は、液管理が容易であり、当然のことながら
、回収および再使用のために蒸発および凝縮を繰り返し
ても、混合割合は殆ど変化しない。
実施例
以下に実施例を示し、本発明の特徴とするところをより
一層明らかにする。
一層明らかにする。
実施例１
予めきれいに洗浄した水の付着したガラス片（５ ０ｍ
ｍＸ ５ ０ｍｍＸ ５ｍｎ＋）を第１表に示す脱水剤
に所定時間浸漬した後、乾燥したブフナー漏斗に入れ、
所定量の無水メタノールで洗った。この無水メタノール
を集め、その中に含まれる水分をカールフィッシャー法
により分析し、その量を“Ａ′とした。
ｍＸ ５ ０ｍｍＸ ５ｍｎ＋）を第１表に示す脱水剤
に所定時間浸漬した後、乾燥したブフナー漏斗に入れ、
所定量の無水メタノールで洗った。この無水メタノール
を集め、その中に含まれる水分をカールフィッシャー法
により分析し、その量を“Ａ′とした。
また、脱水剤への浸漬およびその後の乾燥を行わない以
外は上記と同様にして、無水メタノール中の水分量を求
め、その量を“Ｂ”とした。
外は上記と同様にして、無水メタノール中の水分量を求
め、その量を“Ｂ”とした。
次に下式により、脱水率Ｃ（％）を求めた。
Ｃ＝ （Ｂ−Ａ）／Ｂｘｌ００ （％）結果を第２表に
示す。
示す。
なお、上記の各手順は、全て室温で行った。
第１表
組戊（％）
３ＦＥ
３ＦＥ／水＝９７／３
４ＦＰ
４ＦＰ／水＝７２．５／２７．５ （共沸）５ＦＰ
５ＦＰ／水＝９４／６（共沸）
ＩＰＡ
エタノール
脱水剤Ｎｏ．
第２表
５秒 １０秒 １５秒 ２０秒
脱水剤Ｎへ
第３表
５秒 １０秒 １５秒 ２０秒
９１
８８
９０
８２
９０
８８
８６
８６
９３
９１
９２
８４
９３
９０
８８
８９
９５
９４
９５
８７
９６
９３
９０
９１
９８
９６
９７
８９
９８
９４
９２
９３
１ ９２ ９５
２ ９０ ９１
３ ８９ ９２
４ ８４ ８５
５ ９３ ９６
６ ９０ ９３
７ ８８ ９０
８ ８７ ８９
９７ ９８
９４ ９６
９５ ９６
８８ ９０
９８ ９８
９５ ９６
９２ ９３
９１ ９３
また、セラミックスのテストピースを使用する以外は上
記と同様にして脱水試験を行った。
記と同様にして脱水試験を行った。
結果を第３表に示す。
第２表および第３表に示す結果から、本発明脱水剤Ｎａ
１〜６の脱水力が、公知の脱水剤であるイソプロパノ
ールおよびエタノールのそれと同等以上であることが明
らかである。
１〜６の脱水力が、公知の脱水剤であるイソプロパノ
ールおよびエタノールのそれと同等以上であることが明
らかである。
第１図は、本発明方法で使用する脱水装置の一例を示す
断面図である。 （１）・・・第１の浸漬槽 （２）・・・第２の浸漬槽 （３）・・・水分離装置 （４）・・・蒸気ゾーン （５）・・・加熱装置 （６）・・・蒸気槽 （７）・・・冷却管 （以 上）
断面図である。 （１）・・・第１の浸漬槽 （２）・・・第２の浸漬槽 （３）・・・水分離装置 （４）・・・蒸気ゾーン （５）・・・加熱装置 （６）・・・蒸気槽 （７）・・・冷却管 （以 上）
Claims (3)
- （１）含フッ素アルコールからなる脱水剤。
- （２）含フッ素アルコールと水からなる脱水剤。
- （３）表面に付着した水を有する物品を脱水乾燥させる
方法において、物品を含フッ素アルコールからなる脱水
剤または含フッ素アルコールと水とからなる脱水剤に浸
漬した後、乾燥させることを特徴とする物品の脱水乾燥
方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1156403A JPH0321688A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 含フッ素アルコール系脱水剤および物品の脱水乾燥方法 |
| US07/536,890 US5087386A (en) | 1989-06-19 | 1990-06-12 | Fluorine-containing alcohol-based dehydrating agent and method of drying articles |
| DE69021943T DE69021943T2 (de) | 1989-06-19 | 1990-06-15 | Fluor enthaltendes Trocknungsmittel auf Alkoholbasis und Verfahren zum Trocknen von Gegenständen. |
| EP90111281A EP0403962B1 (en) | 1989-06-19 | 1990-06-15 | Fluorine-containing alcoholbased dehydrating agent and method of drying articles |
| KR1019900008933A KR0169477B1 (ko) | 1989-06-19 | 1990-06-18 | 불소 함유 알코올을 기재로 하는 탈수제 및 물품건조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1156403A JPH0321688A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 含フッ素アルコール系脱水剤および物品の脱水乾燥方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321688A true JPH0321688A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15626979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1156403A Pending JPH0321688A (ja) | 1989-06-19 | 1989-06-19 | 含フッ素アルコール系脱水剤および物品の脱水乾燥方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5087386A (ja) |
| EP (1) | EP0403962B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0321688A (ja) |
| KR (1) | KR0169477B1 (ja) |
| DE (1) | DE69021943T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996012571A1 (en) * | 1994-10-19 | 1996-05-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Cleaning agent, method and equipment |
Families Citing this family (6)
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| US5089152A (en) * | 1991-04-19 | 1992-02-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Water displacement composition |
| US5125978A (en) * | 1991-04-19 | 1992-06-30 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Water displacement composition and a method of use |
| EP0516029B1 (en) * | 1991-05-28 | 1995-04-05 | Daikin Industries, Limited | A method of desiccating articles |
| WO1994026864A1 (fr) * | 1993-05-17 | 1994-11-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Agent nettoyant et procede et appareil de nettoyage |
| DE19506404C1 (de) * | 1995-02-23 | 1996-03-14 | Siemens Ag | Verfahren zum Freiätzen (Separieren) und Trocknen mikromechanischer Komponenten |
| CN114034163A (zh) * | 2021-11-11 | 2022-02-11 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 | 陶瓷坯干燥方法及干燥装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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