JPH05154302A - 水除去用組成物及び物品の水除去方法 - Google Patents
水除去用組成物及び物品の水除去方法Info
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- JPH05154302A JPH05154302A JP4136706A JP13670692A JPH05154302A JP H05154302 A JPH05154302 A JP H05154302A JP 4136706 A JP4136706 A JP 4136706A JP 13670692 A JP13670692 A JP 13670692A JP H05154302 A JPH05154302 A JP H05154302A
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- Materials Applied To Surfaces To Minimize Adherence Of Mist Or Water (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】新規な水除去用組成物及びこれを使用する物品
からの水除去方法を提供することを主な目的とする。 【構成】 一般式 ＣnＦmＨ2n+2-m （式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物及び該水除去用組成物を使用する物品の水除
去方法を提供する。
からの水除去方法を提供することを主な目的とする。 【構成】 一般式 ＣnＦmＨ2n+2-m （式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物及び該水除去用組成物を使用する物品の水除
去方法を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水除去用組成物及び該
水除去用組成物を使用して物品に付着した水を除去する
方法に関する。
水除去用組成物を使用して物品に付着した水を除去する
方法に関する。
【０００２】なお、本願明細書において、“％”とある
のは、“重量％”を意味する。
のは、“重量％”を意味する。
【０００３】また、“水除去”とは、表面に付着した水
を有する物品から水を除去することを意味し、いわゆる
乾燥乃至脱水とも同義である。。
を有する物品から水を除去することを意味し、いわゆる
乾燥乃至脱水とも同義である。。
【０００４】
【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩなどの半導体の製造に使用
されるウェハー、メッキ製品、光学レンズ、フォトリソ
グラフィー工程で使用されるマスク、液晶表示装置部
品、電子部品、各種の金属、プラスチック、ガラス、セ
ラミックなどの部品（以下単に物品という）は、製造の
中間工程または最終工程で洗浄され、次いで脱水され
る。より具体的には、物品は、洗剤水溶液および純水で
洗浄され、次いで脱水されている。この様な物品の表面
に残存する水は、シミ状斑の形成、錆の発生などの原因
となるので、物品の性能を大きく左右することになる。
されるウェハー、メッキ製品、光学レンズ、フォトリソ
グラフィー工程で使用されるマスク、液晶表示装置部
品、電子部品、各種の金属、プラスチック、ガラス、セ
ラミックなどの部品（以下単に物品という）は、製造の
中間工程または最終工程で洗浄され、次いで脱水され
る。より具体的には、物品は、洗剤水溶液および純水で
洗浄され、次いで脱水されている。この様な物品の表面
に残存する水は、シミ状斑の形成、錆の発生などの原因
となるので、物品の性能を大きく左右することになる。
【０００５】従来、この様な物品の脱水を効果的に行う
ための水除去用組成物としては、イソプロパノール、エ
タノールなどのアルコール類、トリクロロトリフルオロ
メタンなどのフロンあるいはフロンにアルコール、界面
活性剤などを添加した組成物が広く使用されてきた。
ための水除去用組成物としては、イソプロパノール、エ
タノールなどのアルコール類、トリクロロトリフルオロ
メタンなどのフロンあるいはフロンにアルコール、界面
活性剤などを添加した組成物が広く使用されてきた。
【０００６】しかしながら、イソプロパノールおよびエ
タノールは、引火性が高いので、作業上の危険性が大き
いという問題点がある。また、前述のフロンは、成層圏
のオゾン層を破壊し、人類を含む地球上の生態系に重大
な悪影響を及ぼす危険性が指摘されている。従って、オ
ゾン層破壊の危険性の高いフロンについては、国際的な
取決めにより、使用および生産が制限されるに至ってい
る。
タノールは、引火性が高いので、作業上の危険性が大き
いという問題点がある。また、前述のフロンは、成層圏
のオゾン層を破壊し、人類を含む地球上の生態系に重大
な悪影響を及ぼす危険性が指摘されている。従って、オ
ゾン層破壊の危険性の高いフロンについては、国際的な
取決めにより、使用および生産が制限されるに至ってい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、新規な水除
去用組成物およびこれを使用する物品の水除去方法を提
供することを主な目的とする。
去用組成物およびこれを使用する物品の水除去方法を提
供することを主な目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の如き
技術の現状に鑑みて研究を進めた結果、特定のフッ化脂
肪族炭化水素とアルコールとを配合した組成物が、物品
の表面に付着した水の除去に優れた性質を具備している
ことを見出した。
技術の現状に鑑みて研究を進めた結果、特定のフッ化脂
肪族炭化水素とアルコールとを配合した組成物が、物品
の表面に付着した水の除去に優れた性質を具備している
ことを見出した。
【０００９】即ち、本発明は、一般式 ＣnＦmＨ2n+2-m （式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物、並びに表面に付着した水を有する物品から
水を除去する方法において、物品を上記水除去用組成物
と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除
去方法を提供するものである。
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物、並びに表面に付着した水を有する物品から
水を除去する方法において、物品を上記水除去用組成物
と接触させて水を除去することを特徴とする物品の水除
去方法を提供するものである。
【００１０】本発明で使用するフッ化脂肪族炭化水素と
しては、具体的に下記式で表される化合物が例示され
る：Ｃ4Ｆ6Ｈ4、Ｃ4Ｆ8Ｈ2、Ｃ4Ｆ9Ｈ、Ｃ5Ｆ8Ｈ4、Ｃ5
Ｆ9Ｈ3、Ｃ5Ｆ10Ｈ2、Ｃ5Ｆ11Ｈ、Ｃ6Ｆ10Ｈ4、Ｃ6Ｆ11
Ｈ3、Ｃ6Ｆ12Ｈ2、Ｃ6Ｆ13Ｈ。
しては、具体的に下記式で表される化合物が例示され
る：Ｃ4Ｆ6Ｈ4、Ｃ4Ｆ8Ｈ2、Ｃ4Ｆ9Ｈ、Ｃ5Ｆ8Ｈ4、Ｃ5
Ｆ9Ｈ3、Ｃ5Ｆ10Ｈ2、Ｃ5Ｆ11Ｈ、Ｃ6Ｆ10Ｈ4、Ｃ6Ｆ11
Ｈ3、Ｃ6Ｆ12Ｈ2、Ｃ6Ｆ13Ｈ。
【００１１】これらのフッ化脂肪族炭化水素の具体例と
しては、１，１，２，３，４，４−ヘキサフルオロブタ
ン、２−メチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフル
オロプロパン、１，２，２，３，３，４−ヘキサフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，３，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，２，２，３，４，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，４，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，３，４，４−オクタフ
ルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，４−オク
タフルオロブタン、１，１，２，２，３，３，４，４−
オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，
４，４−ノナフルオロブタン、１，１，１，２，２，
３，４，４，４−ノナフルオロブタン、１，１，２，
３，３，４，５，５−オクタフルオロペンタン、１，
１，１，２，２，５，５，５−オクタフルオロペンタ
ン、１，１，２，２，３，３，４，４，５−ノナフルオ
ロペンタン、１，１，１，２，３，３，４，４，５−ノ
ナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，５，
５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
３，５，５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，
２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペンタン、
１，１，１，２，２，３，３，４，５，５−デカフルオ
ロペンタン、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５
−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，
４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，
２，２，３，３，４，４，５，５−ウンデカフルオロペ
ンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５，５
−ウンデカフルオロペンタン、１，１，２，２，３，
３，４，４，５，５，６，６−ドデカフルオロヘキサ
ン、１，１，１，２，２，５，５，６，６，６−デカフ
ルオロヘキサン、２−トリフルオロメチル−１，１，
１，２，４，４−ヘキサフルオロブタン、２−トリフル
オロメチル−１，１，１，２，３，３，４，４−オクタ
フルオロブタン、２−トリフルオロメチル−１，１，
１，３，４，５，５−ヘプタフルオロペンタン、２−ト
リフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５−ヘプ
タフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，
１，１，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、
２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，
５，５−オクタフルオロペンタン、２−トリフルオロメ
チル−１，１，１，２，３，５，５，５−オクタフルオ
ロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，
３，４，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、２−
トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，
５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
３，３，４，４，５，５，６，６−トリデカフルオロヘ
キサン、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，
６，６，６−トリデカフルオロヘキサンなどが例示され
る。これらのうち、好ましいものとしては、１，１，
１，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，
１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、
１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタ
ン、１，１，１，２，３，３，４，４，５，５−デカフ
ルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，
５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、２−トリ
フルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５
−ノナフルオロペンタンなどを例示でき、より好ましい
ものとして１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフ
ルオロブタン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，
５−デカフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−
１，１，１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペ
ンタンなどを例示できる。これらは、単独で使用しても
或いは２種以上を混合して使用しても良い。
しては、１，１，２，３，４，４−ヘキサフルオロブタ
ン、２−メチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフル
オロプロパン、１，２，２，３，３，４−ヘキサフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，３，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，２，２，３，４，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，４，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオ
ロブタン、１，１，１，２，３，３，４，４−オクタフ
ルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，４−オク
タフルオロブタン、１，１，２，２，３，３，４，４−
オクタフルオロブタン、１，１，１，２，２，３，３，
４，４−ノナフルオロブタン、１，１，１，２，２，
３，４，４，４−ノナフルオロブタン、１，１，２，
３，３，４，５，５−オクタフルオロペンタン、１，
１，１，２，２，５，５，５−オクタフルオロペンタ
ン、１，１，２，２，３，３，４，４，５−ノナフルオ
ロペンタン、１，１，１，２，３，３，４，４，５−ノ
ナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，５，
５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
３，５，５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，
２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロペンタン、
１，１，１，２，２，３，３，４，５，５−デカフルオ
ロペンタン、１，１，１，２，２，３，４，５，５，５
−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，
４，５，５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，
２，２，３，３，４，４，５，５−ウンデカフルオロペ
ンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５，５
−ウンデカフルオロペンタン、１，１，２，２，３，
３，４，４，５，５，６，６−ドデカフルオロヘキサ
ン、１，１，１，２，２，５，５，６，６，６−デカフ
ルオロヘキサン、２−トリフルオロメチル−１，１，
１，２，４，４−ヘキサフルオロブタン、２−トリフル
オロメチル−１，１，１，２，３，３，４，４−オクタ
フルオロブタン、２−トリフルオロメチル−１，１，
１，３，４，５，５−ヘプタフルオロペンタン、２−ト
リフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５−ヘプ
タフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，
１，１，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、
２−トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，
５，５−オクタフルオロペンタン、２−トリフルオロメ
チル−１，１，１，２，３，５，５，５−オクタフルオ
ロペンタン、２−トリフルオロメチル−１，１，１，
３，４，４，５，５，５−ノナフルオロペンタン、２−
トリフルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，
５，５−ノナフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
３，３，４，４，５，５，６，６−トリデカフルオロヘ
キサン、１，１，１，２，２，３，３，４，４，５，
６，６，６−トリデカフルオロヘキサンなどが例示され
る。これらのうち、好ましいものとしては、１，１，
１，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，
１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、
１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタ
ン、１，１，１，２，３，３，４，４，５，５−デカフ
ルオロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，
５，５−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，
４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン、２−トリ
フルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５
−ノナフルオロペンタンなどを例示でき、より好ましい
ものとして１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフ
ルオロブタン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，
５−デカフルオロペンタン、２−トリフルオロメチル−
１，１，１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペ
ンタンなどを例示できる。これらは、単独で使用しても
或いは２種以上を混合して使用しても良い。
【００１２】上記フッ化脂肪族炭化水素と混合される炭
素数１〜４のアルコール類としては、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブ
タノール、sec-ブタノール、tert- ブタノールなどが例
示される。さらに、２，２，２−トリフルオロエタノー
ル、２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール、
２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールなど
のフッ素化アルコールなどが例示される。これらのアル
コール類の中でも、メタノール、エタノール、イソプロ
パノール、ｎ−プロパノール及びペンタフルオロプロパ
ノールが好ましく、メタノール、エタノール、イソプロ
パノール及びｎ−プロパノールがより好ましい。これら
は、単独で使用しても或いは２種以上を混合して使用し
ても良い。
素数１〜４のアルコール類としては、メタノール、エタ
ノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブ
タノール、sec-ブタノール、tert- ブタノールなどが例
示される。さらに、２，２，２−トリフルオロエタノー
ル、２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール、
２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールなど
のフッ素化アルコールなどが例示される。これらのアル
コール類の中でも、メタノール、エタノール、イソプロ
パノール、ｎ−プロパノール及びペンタフルオロプロパ
ノールが好ましく、メタノール、エタノール、イソプロ
パノール及びｎ−プロパノールがより好ましい。これら
は、単独で使用しても或いは２種以上を混合して使用し
ても良い。
【００１３】本発明による水除去用組成物は、下記の条
件を充足することが望ましい。
件を充足することが望ましい。
【００１４】（１）作業上の安全性の観点から、難燃性
ないし不燃性であること。
ないし不燃性であること。
【００１５】（２）性能の観点から、沸点が４０〜８０
℃の範囲にあること。
℃の範囲にあること。
【００１６】（３）水の溶解度が０．１〜３％の範囲内
にあり、より好ましくは０．１〜２％の範囲内にあるこ
と。水の溶解度が０．１％未満の場合には、水の剥離性
が不十分となるのに対し、３％を上回る場合には、水溶
性不純物の溶解量が増大して、水除去後にシミ状斑が形
成されやすい。
にあり、より好ましくは０．１〜２％の範囲内にあるこ
と。水の溶解度が０．１％未満の場合には、水の剥離性
が不十分となるのに対し、３％を上回る場合には、水溶
性不純物の溶解量が増大して、水除去後にシミ状斑が形
成されやすい。
【００１７】上記の様な要件を充足させるために、フッ
化脂肪族炭化水素とアルコールとの混合割合は、使用す
る両成分の水溶解性に依存するが、混合物中通常アルコ
ールが約２５％以下であり、アルコールを３〜１５％と
することが好ましく、さらに共沸組成物乃至共沸様組成
物（より具体的には、共沸組成物ではないが、定沸点お
よび定組成の挙動を示す組成物）を形成する割合とする
ことがより好ましい。アルコールの量が約２５％を上回
る場合には、水の溶解量が約３％以上となり、その結
果、水溶性不純物の溶解量が増大して、シミ状斑が形成
されやすくなり、また引火しやすくなるので、好ましく
ない。一方、アルコールの量が３％を下回る場合には、
水除去用組成物への水の溶解量が０．１％以下となるの
で、物品に付着した水との親和性が低下して、物品に付
着した水の除去性能が低下する。
化脂肪族炭化水素とアルコールとの混合割合は、使用す
る両成分の水溶解性に依存するが、混合物中通常アルコ
ールが約２５％以下であり、アルコールを３〜１５％と
することが好ましく、さらに共沸組成物乃至共沸様組成
物（より具体的には、共沸組成物ではないが、定沸点お
よび定組成の挙動を示す組成物）を形成する割合とする
ことがより好ましい。アルコールの量が約２５％を上回
る場合には、水の溶解量が約３％以上となり、その結
果、水溶性不純物の溶解量が増大して、シミ状斑が形成
されやすくなり、また引火しやすくなるので、好ましく
ない。一方、アルコールの量が３％を下回る場合には、
水除去用組成物への水の溶解量が０．１％以下となるの
で、物品に付着した水との親和性が低下して、物品に付
着した水の除去性能が低下する。
【００１８】さらに、本発明水除去用組成物には、必要
ならば、各種の目的に応じて、従来からこの種の水除去
用組成物に配合されている公知の添加剤を配合しても良
い。この様な添加剤としては、例えば、界面活性剤など
の各種脱水助剤、安定剤、オゾンを破壊するおそれの少
ない水素含有塩素化フッ素化炭化水素類、オゾンを破壊
するおそれが全くない炭化水素類などを挙げることがで
きる。
ならば、各種の目的に応じて、従来からこの種の水除去
用組成物に配合されている公知の添加剤を配合しても良
い。この様な添加剤としては、例えば、界面活性剤など
の各種脱水助剤、安定剤、オゾンを破壊するおそれの少
ない水素含有塩素化フッ素化炭化水素類、オゾンを破壊
するおそれが全くない炭化水素類などを挙げることがで
きる。
【００１９】本発明の水除去用組成物を使用して物品か
らの水除去を行うには、具体的には、表面に付着水を有
する物品を水除去用組成物に接触させて、物品から水を
除去させれば良い。両者の接触方法としては、水除去用
組成物に物品を浸漬する方法、水除去用組成物を物品に
対してスプレーする方法、水除去用組成物の蒸気と物品
とを接触させる方法、水除去用組成物に物品を浸漬し、
さらに該組成物の蒸気を接触させる方法、水除去用組成
物を物品に対してスプレーし、さらに該組成物の蒸気を
接触させる方法などが挙げられる。水除去用組成物は、
通常約４０℃程度乃至沸点の昇温状態で使用することが
好ましく、約４０℃から沸点より約５℃程度低い温度の
温度範囲で使用することがより好ましい。４０℃以下の
温度では、水除去能力が低下する。表面に付着水を有す
る物品と水除去用組成物との接触に際しては、水分除去
効果を改善するために、揺動、超音波振動などの手段を
併用しても良い。
らの水除去を行うには、具体的には、表面に付着水を有
する物品を水除去用組成物に接触させて、物品から水を
除去させれば良い。両者の接触方法としては、水除去用
組成物に物品を浸漬する方法、水除去用組成物を物品に
対してスプレーする方法、水除去用組成物の蒸気と物品
とを接触させる方法、水除去用組成物に物品を浸漬し、
さらに該組成物の蒸気を接触させる方法、水除去用組成
物を物品に対してスプレーし、さらに該組成物の蒸気を
接触させる方法などが挙げられる。水除去用組成物は、
通常約４０℃程度乃至沸点の昇温状態で使用することが
好ましく、約４０℃から沸点より約５℃程度低い温度の
温度範囲で使用することがより好ましい。４０℃以下の
温度では、水除去能力が低下する。表面に付着水を有す
る物品と水除去用組成物との接触に際しては、水分除去
効果を改善するために、揺動、超音波振動などの手段を
併用しても良い。
【００２０】本発明による水除去用組成物を使用して物
品の水除去を行なうには、フロン系などの公知の水除去
用組成物を使用する脱水方法と同様の装置を使用して、
同様の手順により実施すれば良い。従って、水除去方法
および水除去装置に関しては、特に限定されるものでな
いが、その一例を概略的に示すと、図１に示す通りであ
る。
品の水除去を行なうには、フロン系などの公知の水除去
用組成物を使用する脱水方法と同様の装置を使用して、
同様の手順により実施すれば良い。従って、水除去方法
および水除去装置に関しては、特に限定されるものでな
いが、その一例を概略的に示すと、図１に示す通りであ
る。
【００２１】本発明方法で使用する水除去装置の一例を
断面図として示す図１において、表面に水の付着した物
品（図示せず）は、先ず、ヒータを備えた第１の浸漬槽
（１）に収容された本発明による水除去用組成物に浸漬
され、ここで水と組成物とが置換され、物品からの水除
去が行われる。物品から離れた水は、比重差により、水
除去用組成物の上部表面に浮上してくる。
断面図として示す図１において、表面に水の付着した物
品（図示せず）は、先ず、ヒータを備えた第１の浸漬槽
（１）に収容された本発明による水除去用組成物に浸漬
され、ここで水と組成物とが置換され、物品からの水除
去が行われる。物品から離れた水は、比重差により、水
除去用組成物の上部表面に浮上してくる。
【００２２】物品の水除去をより高度に行う必要がある
場合には、第１の浸漬槽（１）での浸漬を終えた物品を
ヒータを備えた第２の浸漬槽（２）に送り、再度本発明
による水除去用組成物に浸漬する。これにより、目的と
するより高度の水除去が可能となる。第１の浸漬槽
（１）をオバーフローし、水分離装置（３）において水
を実質的に除去された水除去用組成物および蒸気槽
（６）の蒸気が凝縮して水分離が実質的に可能な凝縮液
貯槽（８）に流下した水除去用組成物が、第２の浸漬槽
（２）に循環されてくる。
場合には、第１の浸漬槽（１）での浸漬を終えた物品を
ヒータを備えた第２の浸漬槽（２）に送り、再度本発明
による水除去用組成物に浸漬する。これにより、目的と
するより高度の水除去が可能となる。第１の浸漬槽
（１）をオバーフローし、水分離装置（３）において水
を実質的に除去された水除去用組成物および蒸気槽
（６）の蒸気が凝縮して水分離が実質的に可能な凝縮液
貯槽（８）に流下した水除去用組成物が、第２の浸漬槽
（２）に循環されてくる。
【００２３】物品の水除去をさらに高度に行う必要があ
る場合には、ヒータ（５）を備えた水除去用組成物の蒸
気槽（６）の上方に位置する蒸気ゾーン（４）に第２の
浸漬槽（２）での浸漬を終えた物品を送り、水除去用組
成物の蒸気と接触させて、さらに水除去を継続すること
ができる。蒸気ゾーン（４）の上方には、冷却管（７）
が配設されており、これは、上昇してくる水除去用組成
物の蒸気を凝縮させ、水分離が実質的に可能な凝縮液貯
槽（８）に流下させる機能を有する。
る場合には、ヒータ（５）を備えた水除去用組成物の蒸
気槽（６）の上方に位置する蒸気ゾーン（４）に第２の
浸漬槽（２）での浸漬を終えた物品を送り、水除去用組
成物の蒸気と接触させて、さらに水除去を継続すること
ができる。蒸気ゾーン（４）の上方には、冷却管（７）
が配設されており、これは、上昇してくる水除去用組成
物の蒸気を凝縮させ、水分離が実質的に可能な凝縮液貯
槽（８）に流下させる機能を有する。
【００２４】水分離装置（３）或いは水分離方法として
は、特に限定されず、水除去用組成物から水を分離し得
る限り、任意の装置および方法が使用される。例えば、
水除去用組成物を低温にして水分離を行なう方法、蒸留
により水除去用組成物と水とを分離する方法、浸透気化
膜を利用して水を分離する方法或いはこれらの方法を実
施する装置を利用すれば良い。
は、特に限定されず、水除去用組成物から水を分離し得
る限り、任意の装置および方法が使用される。例えば、
水除去用組成物を低温にして水分離を行なう方法、蒸留
により水除去用組成物と水とを分離する方法、浸透気化
膜を利用して水を分離する方法或いはこれらの方法を実
施する装置を利用すれば良い。
【００２５】なお、図１には、物品の脱水を２つの浸漬
槽と１つの蒸気槽を設けた装置を使用して実施する例を
示したが、本発明方法で使用する装置は、この様な構造
に限定されるものではない。すなわち、物品表面への水
付着量、要求される物品の水除去程度、物品からの水除
去の容易さなどに応じて、装置は、例えば、単一の浸漬
槽或いは蒸気槽により構成しても良く、１つの浸漬槽と
１つの蒸気槽とにより構成しても良い。さらに、スプレ
ー方式による水除去を行なっても良い。
槽と１つの蒸気槽を設けた装置を使用して実施する例を
示したが、本発明方法で使用する装置は、この様な構造
に限定されるものではない。すなわち、物品表面への水
付着量、要求される物品の水除去程度、物品からの水除
去の容易さなどに応じて、装置は、例えば、単一の浸漬
槽或いは蒸気槽により構成しても良く、１つの浸漬槽と
１つの蒸気槽とにより構成しても良い。さらに、スプレ
ー方式による水除去を行なっても良い。
【００２６】
【発明の効果】本発明による水除去用組成物は、オゾン
層破壊などの環境破壊問題を生じることはない。さら
に、本発明の水除去用組成物は、物品の表面に付着した
水の除去性能に極めて優れている。また、水除去用組成
物が難燃性乃至実質的に不燃性なので、取扱い上特に有
利である。さらにまた、イソプロパノール、エタノール
などに比して、低温に冷却することにより、水との分離
を容易に行い得る。また、水除去用組成物からの水の分
離性が良いので、水処理用組成物と水との分離操作を容
易にかつ水処理用組成物のロスを少なくして行うことが
できる。また、水除去用組成物は、物品に対して悪影響
を与えることが少ない。さらにまた、共沸組成物または
共沸様組成物からなる本発明の水除去用組成物は、液管
理が容易であり、当然のことながら、回収および再使用
のために蒸発および凝縮を繰り返しても、混合割合は殆
ど変化しない。
層破壊などの環境破壊問題を生じることはない。さら
に、本発明の水除去用組成物は、物品の表面に付着した
水の除去性能に極めて優れている。また、水除去用組成
物が難燃性乃至実質的に不燃性なので、取扱い上特に有
利である。さらにまた、イソプロパノール、エタノール
などに比して、低温に冷却することにより、水との分離
を容易に行い得る。また、水除去用組成物からの水の分
離性が良いので、水処理用組成物と水との分離操作を容
易にかつ水処理用組成物のロスを少なくして行うことが
できる。また、水除去用組成物は、物品に対して悪影響
を与えることが少ない。さらにまた、共沸組成物または
共沸様組成物からなる本発明の水除去用組成物は、液管
理が容易であり、当然のことながら、回収および再使用
のために蒸発および凝縮を繰り返しても、混合割合は殆
ど変化しない。
【００２７】
【実施例】以下に実施例を示し、本発明の特徴とすると
ころをより一層明らかにする。
ころをより一層明らかにする。
【００２８】実施例１ 予め汚れを除去した、水の付着したガラス板（５０mm×
５０mm×１mm）を試料として、第１表に示す処理方法に
より水除去処理を行なった。水除去用組成物としては、
第２表に示す組成のものを用いた。
５０mm×１mm）を試料として、第１表に示す処理方法に
より水除去処理を行なった。水除去用組成物としては、
第２表に示す組成のものを用いた。
【００２９】次いで、水除去処理を終えたガラス板を所
定量の無水メタノール中に浸漬して、浸漬後のメタノー
ル中の水分増加量をカールフィッシャー法により分析し
た。この様にして測定した水分量を“Ｗ1”とした。
定量の無水メタノール中に浸漬して、浸漬後のメタノー
ル中の水分増加量をカールフィッシャー法により分析し
た。この様にして測定した水分量を“Ｗ1”とした。
【００３０】一方、予め汚れを除去した、水の付着した
ガラス板（５０mm×５０mm×１mm）を水除去用組成物に
よる処理を行なうことなく所定量の無水メタノール中に
浸漬した後、カールフィッシャー法によりメタノール中
の水分増加量を分析した。この様にして測定した水分量
を“Ｗ”とした。
ガラス板（５０mm×５０mm×１mm）を水除去用組成物に
よる処理を行なうことなく所定量の無水メタノール中に
浸漬した後、カールフィッシャー法によりメタノール中
の水分増加量を分析した。この様にして測定した水分量
を“Ｗ”とした。
【００３１】次いで、次式により水除去率Ｈ（％）を求
めた。
めた。
【００３２】Ｈ（％）＝（Ｗ−Ｗ1）／Ｗ×１００ 各水除去用組成物と水除去方法の組合わせによる水除去
率（％）を第３表に示す。なお、上記の測定における全
工程は、室温で行なった。
率（％）を第３表に示す。なお、上記の測定における全
工程は、室温で行なった。
【００３３】 第 １ 表 処理方法 Ａ 浸漬（液温４０℃）１分＋蒸気１分 Ｂ 浸漬（沸騰浴）１分＋蒸気１分 Ｃ スプレー（液温４０℃）１分＋蒸気１分 Ｄ 蒸気１分 Ｅ 浸漬（液温４０℃）１分 Ｆ 浸漬（沸騰浴）１分 第 ２ 表 組成物 No. １ ＣＦ3ＣＦ2ＣＦ2ＣＨ2Ｆ／エタノール ９４／６ ２ ＨＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｈ／メタノール ９７／３ ３ ＣＦ3ＣＦ2ＣＨ2ＣＦ2ＣＦ3／エタノール ９２／８ ４ （ＣＦ3）2ＣＦＣＦＨＣＦＨＣＦ3／エタノール ９０／１０ ５ ＣＦ3ＣＦ2ＣＦＨＣＦＨＣＦ3／エタノール ９５／５ ６ （ＣＦ3）2ＣＦＣＦＨＣＦＨＣＦ3 １００ ７ エタノール １００ ８ ＣＣｌ2ＦＣＣｌＦ2／エタノール ９６／４ 第 ３ 表 組成物 水 除 去 率 No. Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ Ｆ １ ９６ ９７ ９８ ９０ ９２ ９６ ２ ９４ ９５ ９６ ９０ ９２ ９４ ３ ９７ ９７ ９９ ９１ ９３ ９７ ４ ９７ ９９ ９９ ９１ ９３ ９７ ５ ８８ ８９ ９０ ８０ ８５ ８８ ６ １０以下 １０以下 １０以下 １０以下 １０以下 １０以下 ７（注） ９９ ９９ ９９ ９８ ９９ ９８ ８ ９６ ９８ ９９ ９０ ９４ ９７ 注：いずれもガラス板表面にシミ発生性能試験 （１）水分離テスト １００ｍｌの密栓付きフラスコに、上記第２表に示した
本発明の組成物３０ｍｌ及び水３０ｍｌを入れて３０秒
間激しく振り、静置後、白濁した液が完全に透明な２相
に分離するまでの時間を測定した。
本発明の組成物３０ｍｌ及び水３０ｍｌを入れて３０秒
間激しく振り、静置後、白濁した液が完全に透明な２相
に分離するまでの時間を測定した。
【００３４】 評価 分離時間 Ａ １０分以内 Ｂ １時間未満 Ｃ １時間以上 結果を下記第４表に示す。
【００３５】水分離テストにおいて、水が分離しやすい
組成物は、物品から除去された水が物品に再付着し難い
ものといえる。
組成物は、物品から除去された水が物品に再付着し難い
ものといえる。
【００３６】（２）材質テスト １００ｍｌのガラスビンに本発明の化合物５０ｍｌ及び
樹脂片（ＡＢＳ、アクリル樹脂及びポリカーボネート、
５×５０×２ｍｍ）を入れ、５０℃で４時間加熱した。
試験前後の樹脂片の外観及び重量変化を測定した。
樹脂片（ＡＢＳ、アクリル樹脂及びポリカーボネート、
５×５０×２ｍｍ）を入れ、５０℃で４時間加熱した。
試験前後の樹脂片の外観及び重量変化を測定した。
【００３７】 評価 Ａ 外観変化なく、重量変化５％以内 Ｂ 外観変化なく、重量変化１０％以内 Ｃ 溶解又はクラック発生 結果を下記第４表に示す。
【００３８】 第４表 組成物 材質テスト No. 水分離テスト ＡＢＳ アクリル樹脂 ポリカーボネート １ Ａ Ａ Ａ Ａ ２ Ａ Ａ Ａ Ａ ３ Ａ Ａ Ａ Ａ ４ Ａ Ａ Ａ Ａ ５ Ｂ Ａ Ａ Ａ ６ Ａ Ａ Ａ Ａ ７ 溶解 Ｂ Ｃ Ａ ８ Ａ Ａ Ａ Ａ
【図１】本発明方法で使用する水除去装置の一例を示す
断面図である。
断面図である。
（１） 第１の浸漬槽、 （２） 第２の浸漬槽、 （３） 水分離装置、 （４） 蒸気ゾーン、 （５） 加熱装置、 （６） 蒸気槽、 （７） 冷却管、 （８） 凝縮液貯槽。
フロントページの続き (72)発明者 松田 高広 大阪府摂津市西一津屋１の１ ダイキン工 業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 青山 博一 大阪府摂津市西一津屋１の１ ダイキン工 業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 関 英司 大阪府摂津市西一津屋１の１ ダイキン工 業株式会社淀川製作所内
Claims (13)
- 【請求項１】 一般式 ＣnＦmＨ2n+2-m （式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物。 - 【請求項２】 フッ化脂肪族炭化水素がＣ4Ｆ6Ｈ4、Ｃ4
Ｆ8Ｈ2、Ｃ4Ｆ9Ｈ、Ｃ5Ｆ8Ｈ4、Ｃ5Ｆ9Ｈ3、Ｃ5Ｆ
10Ｈ2、Ｃ5Ｆ11Ｈ、Ｃ6Ｆ10Ｈ4、Ｃ6Ｆ11Ｈ3、Ｃ6Ｆ12
Ｈ2及びＣ6Ｆ13Ｈから選ばれた少なくとも一種の化合物
である請求項１に記載の水除去用組成物。 - 【請求項３】 フッ化脂肪族炭化水素が１，１，１，
２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、１，１，
１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタン、１，
１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタン、
１，１，１，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオ
ロペンタン、１，１，１，２，２，３，３，４，５，５
−デカフルオロペンタン、１，１，１，２，２，４，
４，５，５，５−デカフルオロペンタン及び２−トリフ
ルオロメチル−１，１，１，２，３，４，５，５，５−
ノナフルオロペンタンから選ばれた少なくとも一種の化
合物である請求項１に記載の水除去用組成物。 - 【請求項４】 アルコールがメタノール、エタノール、
イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノー
ル、sec-ブタノール、tert- ブタノール、２，２，２−
トリフルオロエタノール、２，２，３，３−テトラフル
オロプロパノール及び２，２，３，３，３−ペンタフル
オロプロパノールから選ばれた少なくとも一種の化合物
である請求項１に記載の水除去用組成物。 - 【請求項５】 アルコールがメタノール、エタノール、
イソプロパノール及びｎ−プロパノールから選ばれた少
なくとも一種の化合物であり、フッ化脂肪族炭化水素が
１，１，１，２，２，３，３，４−オクタフルオロブタ
ン、１，１，１，２，２，４，４，５，５，５−デカフ
ルオロペンタン及び２−トリフルオロメチル−１，１，
１，２，３，４，５，５，５−ノナフルオロペンタンか
ら選ばれた少なくとも一種の化合物である請求項１に記
載の水除去用組成物。 - 【請求項６】 アルコールの含有量が２５重量％以下で
ある請求項１に記載の水除去用組成物。 - 【請求項７】 水の溶解度が０．１〜３重量％である請
求項１に記載の水除去用組成物。 - 【請求項８】 表面に付着した水を有する物品から水を
除去する方法において、一般式 ＣnＦmＨ2n+2-m （式中ｍおよびｎは、それぞれ４≦ｎ≦６且つ２ｎ−２
≦ｍ＜２ｎ＋２である正の整数）で表されるフッ化脂肪
族炭化水素と炭素数１〜４のアルコールとからなる水除
去用組成物物品を物品と接触させて水を除去することを
特徴とする物品の水除去方法。 - 【請求項９】 表面に付着した水を有する物品を４０℃
乃至沸騰点の温度範囲内に保持した水除去用組成物中に
浸漬させて水を除去することを特徴とする請求項８に記
載の物品の水除去方法。 - 【請求項１０】 表面に付着した水を有する物品に加熱
した水除去用組成物をスプレーして水を除去することを
特徴とする請求項８に記載の物品の水除去方法。 - 【請求項１１】 表面に付着した水を有する物品を水除
去用組成物の蒸気と接触させて水を除去することを特徴
とする請求項８に記載の物品の水除去方法。 - 【請求項１２】 表面に付着した水を有する物品を４０
℃乃至沸騰点の温度範囲内に保持した水除去用組成物中
に浸漬し、次いで該水除去用組成物の蒸気と接触させて
水を除去することを特徴とする請求項８に記載の物品の
水除去方法。 - 【請求項１３】 表面に付着した水を有する物品に加熱
した水除去用組成物をスプレーし、次いで該水除去用組
成物の蒸気と接触させて水を除去することを特徴とする
請求項８に記載の物品の水除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13670692A JP3266936B2 (ja) | 1991-05-28 | 1992-05-28 | 水除去用組成物及び物品の水除去方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-123803 | 1991-05-28 | ||
| JP12380391 | 1991-05-28 | ||
| JP13670692A JP3266936B2 (ja) | 1991-05-28 | 1992-05-28 | 水除去用組成物及び物品の水除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05154302A true JPH05154302A (ja) | 1993-06-22 |
| JP3266936B2 JP3266936B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=26460627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13670692A Expired - Fee Related JP3266936B2 (ja) | 1991-05-28 | 1992-05-28 | 水除去用組成物及び物品の水除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3266936B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005079943A1 (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Asahi Glass Company, Limited | 水切り方法および水切り装置 |
| JP2006015214A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Denso Corp | 水切り乾燥装置 |
| US7708888B2 (en) | 1995-08-11 | 2010-05-04 | Zenon Technology Partnership | Apparatus for withdrawing permeate using an immersed vertical skein of hollow fibre membranes |
| WO2010090270A1 (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-12 | 旭硝子株式会社 | 水切り方法 |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP13670692A patent/JP3266936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7708888B2 (en) | 1995-08-11 | 2010-05-04 | Zenon Technology Partnership | Apparatus for withdrawing permeate using an immersed vertical skein of hollow fibre membranes |
| WO2005079943A1 (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-01 | Asahi Glass Company, Limited | 水切り方法および水切り装置 |
| JPWO2005079943A1 (ja) * | 2004-02-24 | 2008-01-10 | 旭硝子株式会社 | 水切り方法および水切り装置 |
| US7527697B2 (en) | 2004-02-24 | 2009-05-05 | Asahi Glass Company, Limited | Process for removing water and apparatus for removing water |
| JP4735537B2 (ja) * | 2004-02-24 | 2011-07-27 | 旭硝子株式会社 | 水切り方法 |
| JP2006015214A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Denso Corp | 水切り乾燥装置 |
| WO2010090270A1 (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-12 | 旭硝子株式会社 | 水切り方法 |
| JPWO2010090270A1 (ja) * | 2009-02-09 | 2012-08-09 | 旭硝子株式会社 | 水切り方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3266936B2 (ja) | 2002-03-18 |
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