JPH0321707U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321707U JPH0321707U JP8185489U JP8185489U JPH0321707U JP H0321707 U JPH0321707 U JP H0321707U JP 8185489 U JP8185489 U JP 8185489U JP 8185489 U JP8185489 U JP 8185489U JP H0321707 U JPH0321707 U JP H0321707U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- polarization
- optical fiber
- measurement light
- types
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 22
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 12
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
第１図から第４図までは本考案を具体化した実
施例を示すもので、第１図は、本考案の一実施例
である寸法測定装置の構成を説明する図、第２図
は、本考案の他の実施例の構成を説明する図、第
３図は、本考案の更に別の実施例の構成を説明す
る図、第４図は、上記とは別の測尺機構による本
考案の実施例の構成を説明する図である。 図中、２０……定偏波光フアイバ、３０，８０
，９６……光送受信部、３８，８２，９８……光
センサヘツド部、２００……移動鏡、４００，５
００……測尺機構である。
施例を示すもので、第１図は、本考案の一実施例
である寸法測定装置の構成を説明する図、第２図
は、本考案の他の実施例の構成を説明する図、第
３図は、本考案の更に別の実施例の構成を説明す
る図、第４図は、上記とは別の測尺機構による本
考案の実施例の構成を説明する図である。 図中、２０……定偏波光フアイバ、３０，８０
，９６……光送受信部、３８，８２，９８……光
センサヘツド部、２００……移動鏡、４００，５
００……測尺機構である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 光フアイバを介して光送受信部と光センサヘ
ツド部との間で光の送受信を行なうとともに、参
照光と計測光とを干渉させることによつて得られ
る干渉光の位相変化に基づいて測定を行う光フア
イバセンサ装置を用いる寸法測定装置であつて、 前記光センサヘツド部の移動鏡を測尺機構の可
動側に配置すると共に、光センサヘツド部本体を
測尺機構の固定側に配置することを特徴とする寸
法測定装置。 ２ 前記光フアイバセンサ装置は偏波面が互いに
直交する２伝送モードにて光を伝送する単一の伝
送用定偏波光フアイバと、周波数が等しい参照光
及び計測光を取り出すための光を前記定偏波光フ
アイバへ入射させるとともに該定偏波光フアイバ
を介して戻される２種類の干渉光をそれぞれ検出
して電気信号に変換する光送受信部と、前記定偏
波光フアイバによつて伝送された光に基づいて前
記参照光及び計測光を取り出すとともに、該計測
光の位相が前記測尺機構の伸縮によつて変化させ
られるのに伴つて光強度変化の位相が変化させら
れ、且つ該光強度変化の位相が互いに９０°ずら
された２種類の干渉光が前記定偏波光フアイバの
２伝送モードにて伝送されるように該定偏波光フ
アイバに光を入射させる光センサヘツド部とを有
するもので、前記２種類の干渉光に対応して位相
が９０°ずらされた２種類のＡ相及びＢ相の電気
信号に基づいて該干渉光の位相変化量を求めて前
記測尺機構の変位量を測定し、被測定物の寸法を
測定する請求項(1)に記載の寸法測定装置。 ３ 前記光フアイバセンサ装置は、偏波面が互い
に直交する２伝送モードにて光を伝送する単一の
伝送用定偏波光フアイバと、前記参照光及び計測
光を前記定偏波光フアイバへ入射させ、該参照光
及び計測光を前記２伝送モードの一方及び他方に
て伝送させるとともに、該定偏波光フアイバを介
して戻された該参照光及び計測光に基づいて干渉
光を生成し、該干渉光の光強度変化を検出して電
気信号に変換する光送受信部と、前記定偏波光フ
アイバによつて伝送された前記計測光の位相を前
記測尺機構の伸縮によつて変化させるとともに、
該参照光及び計測光を往路とは反対の伝送モード
にて伝送されるように前記定偏波光フアイバに入
射させる光センサヘツド部とを有するものである
請求項１に記載の寸法測定装置。 ４ 前記光フアイバセンサ装置は、偏波面が互い
に直交する２伝送モードにて光を伝送する伝送用
定偏波光フアイバと、偏波面が互いに直交し且つ
周波数が異なる２種類の直線変更を前記定偏波光
フアイバへ入射させ、該２種類の直線変更を前記
２伝送モードの一方及び他方にて伝送させるとと
もに、該定偏波光フアイバの前記２伝送モードに
て戻された２種類の干渉光をそれぞれ検出して電
気信号に変換する光送受信部と、前記定偏波光フ
アイバによつて伝送された前記２種類の直線偏光
をそれぞれ前記参照光と計測光とに分配し、該計
測光の周波数を前記測尺機構の伸縮によつてそれ
ぞれ変化されるとともに、該参照光及び計測光の
いずれか一方に含まれる前記２種類の直線変更の
偏波面をそれぞれ反対方向へ９０°回転させた後
、該参照光と計測光とを合波させて前記定偏波光
フアイバに入射させる光センサヘツド部とを有す
るもので、前記２種類の干渉光に対応する２種類
の電気信号の周波数差に基づいて前記測尺機構の
変位量を測定し、被測定物の寸法を測定する請求
項１に記載の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8185489U JPH0321707U (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8185489U JPH0321707U (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321707U true JPH0321707U (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=31628156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8185489U Pending JPH0321707U (ja) | 1989-07-11 | 1989-07-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321707U (ja) |
-
1989
- 1989-07-11 JP JP8185489U patent/JPH0321707U/ja active Pending
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