JPH0321746U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321746U JPH0321746U JP8153389U JP8153389U JPH0321746U JP H0321746 U JPH0321746 U JP H0321746U JP 8153389 U JP8153389 U JP 8153389U JP 8153389 U JP8153389 U JP 8153389U JP H0321746 U JPH0321746 U JP H0321746U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load cell
- conductor
- thin film
- organic insulating
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
Description
第１〜８図は本考案の実施例を示すもので、第
１図はロードセルの正面図、第２図は同平面図、
第３図は薄膜回路体付近の拡大平面図、第４図は
該ロードセルに設けられているホイートストンブ
リツジ回路の回路図、第５図はゲージ抵抗部付近
の拡大平面図、第６図は第５図を−線で切断
した中間省略拡大断面図、第７図はトリミング抵
抗部付近の拡大平面図、第８図は第７図を−
線で切断した中間省略拡大断面図である。第９，
１０図は問題点の説明図である。 ２……起歪体、１１……薄膜回路体、１７ａ２
，１７ａ３……導体部、２１１〜２１４……ゲー
ジ抵抗部、２３……有機絶縁膜、２８……中間部
。
１図はロードセルの正面図、第２図は同平面図、
第３図は薄膜回路体付近の拡大平面図、第４図は
該ロードセルに設けられているホイートストンブ
リツジ回路の回路図、第５図はゲージ抵抗部付近
の拡大平面図、第６図は第５図を−線で切断
した中間省略拡大断面図、第７図はトリミング抵
抗部付近の拡大平面図、第８図は第７図を−
線で切断した中間省略拡大断面図である。第９，
１０図は問題点の説明図である。 ２……起歪体、１１……薄膜回路体、１７ａ２
，１７ａ３……導体部、２１１〜２１４……ゲー
ジ抵抗部、２３……有機絶縁膜、２８……中間部
。
Claims (1)
- 起歪体の歪検出面に有機絶縁膜を設け、この有
機絶縁膜上に、少なくとも上記歪検出面の歪に応
じて抵抗値が変化する複数のゲージ抵抗部とそれ
らの抵抗部を接続する導体部とを有して、ホイー
トストーンブリツジ回路を構成する薄膜回路体を
設けてなるロードセルであつて、上記薄膜回路体
におけるゲージ抵抗部と導体部との間に設けた中
間部の幅が、抵抗部側から導体部側に向けて漸次
拡大されていることを特徴とするロードセル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8153389U JPH0321746U (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8153389U JPH0321746U (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321746U true JPH0321746U (ja) | 1991-03-05 |
Family
ID=31627569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8153389U Pending JPH0321746U (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321746U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225977A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-02-03 | Agency Of Ind Science & Technol | 新規なアミラ−ゼ |
| JPS6337227A (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-17 | Teraoka Seiko Co Ltd | ロ−ドセル |
| JPS63273029A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Kyocera Corp | ロ−ドセル |
-
1989
- 1989-07-10 JP JP8153389U patent/JPH0321746U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225977A (ja) * | 1985-06-29 | 1987-02-03 | Agency Of Ind Science & Technol | 新規なアミラ−ゼ |
| JPS6337227A (ja) * | 1986-07-31 | 1988-02-17 | Teraoka Seiko Co Ltd | ロ−ドセル |
| JPS63273029A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Kyocera Corp | ロ−ドセル |