JPH03218448A - X線装置のための湿度制御装置 - Google Patents
X線装置のための湿度制御装置Info
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- JPH03218448A JPH03218448A JP2012738A JP1273890A JPH03218448A JP H03218448 A JPH03218448 A JP H03218448A JP 2012738 A JP2012738 A JP 2012738A JP 1273890 A JP1273890 A JP 1273890A JP H03218448 A JPH03218448 A JP H03218448A
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は,X線装置に装着される試料のまわりの湿度を
調節するための湿度制御装置に関する。
調節するための湿度制御装置に関する。
[従来の技術コ
地球上に存在する鉱物のうちには、そのまわりの湿度が
変化することによって、その内部の結晶構造に変化が生
じるものがある。このような結晶構造の変化の態様は,
その鉱物を構成している元索などの種類に応じて種々に
異なり、従って、湿度をパラメータとして変化させなが
ら、結晶構造の状態を測定してゆけば、その鉱物を構成
している元素などについての情報を得ることが可能とな
る。
変化することによって、その内部の結晶構造に変化が生
じるものがある。このような結晶構造の変化の態様は,
その鉱物を構成している元索などの種類に応じて種々に
異なり、従って、湿度をパラメータとして変化させなが
ら、結晶構造の状態を測定してゆけば、その鉱物を構成
している元素などについての情報を得ることが可能とな
る。
例えば,スメクタイトと呼ばれる粘土鉱物は、n囲気の
相対湿度に伴って層状M@造の底面rIn隔が変化する
。この場合,粘土鉱物は層状珪酸塩であり、E記の底面
間隔の変化は、贋間に入る陽イオンの種類や、珪酸塩層
それ自体の結晶化学的性質の相違に起因するものである
。従って、相対湿度を変化させなからスメクタイトの底
面間隔の変化を測定すれば、そのスメクタイトを構成し
ている層間陽イオンや珪酸塩!−の電荷に関する情報を
得ることができる。
相対湿度に伴って層状M@造の底面rIn隔が変化する
。この場合,粘土鉱物は層状珪酸塩であり、E記の底面
間隔の変化は、贋間に入る陽イオンの種類や、珪酸塩層
それ自体の結晶化学的性質の相違に起因するものである
。従って、相対湿度を変化させなからスメクタイトの底
面間隔の変化を測定すれば、そのスメクタイトを構成し
ている層間陽イオンや珪酸塩!−の電荷に関する情報を
得ることができる。
ところで、スメクタイトの底面間隔などといった結晶構
造は、X線回折によって得られるX線回折図形から読み
取ることができる。したがって、上記のような鉱物試験
を行うに際して.X&I同折装置を用いることができる
。しかしながら、そのようなXM回折実験においては、
X線回折装置に装着された試料のまわりの相対湿度を、
予め設定した条件に従って変化させる必要が生じてくる
。
造は、X線回折によって得られるX線回折図形から読み
取ることができる。したがって、上記のような鉱物試験
を行うに際して.X&I同折装置を用いることができる
。しかしながら、そのようなXM回折実験においては、
X線回折装置に装着された試料のまわりの相対湿度を、
予め設定した条件に従って変化させる必要が生じてくる
。
この場合には、相対湿度を作り出す何等かの手段が必要
である。
である。
従来,相対湿度を作り出すための手段として、硫酸溶液
を用いた簡便法が知られている。この方法は、硫酸溶液
が有している吸湿性を利用したものであり,硫酸溶液の
濃度を適宜に変えることによって湿度を調節しようとす
るものである。
を用いた簡便法が知られている。この方法は、硫酸溶液
が有している吸湿性を利用したものであり,硫酸溶液の
濃度を適宜に変えることによって湿度を調節しようとす
るものである。
[発明が解決しようとする課題]
L記のような硫酸溶液を用いた湿度制御方法においては
、硫酸溶液の吸湿性が激しいため、実験上種々の困難を
伴った。特に.0〜20%と80〜100%の相対湿度
においてかなりの誤差を伴っていた. 本発明は、従来の湿度制御方法における上記の問題点に
鑑みてなされたものであって、相対湿度をパラメータと
したX線回折測定を正確に行うことを可能とするX線装
置のための湿度制御装置を提供することを目的とする。
、硫酸溶液の吸湿性が激しいため、実験上種々の困難を
伴った。特に.0〜20%と80〜100%の相対湿度
においてかなりの誤差を伴っていた. 本発明は、従来の湿度制御方法における上記の問題点に
鑑みてなされたものであって、相対湿度をパラメータと
したX線回折測定を正確に行うことを可能とするX線装
置のための湿度制御装置を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段]
上記の目的を達成するため、J請求項1の湿度制御装置
は、試料のまわりを密閉する試料ケースと、その試料ケ
ース内へ送り込むための湿度を持った空気を発生する湿
度発生手段とを有しており,その湿度発生手段は,分流
式湿度発生装置によって構成されている。この分流式湿
度発生装置とは、乾燥空気と湿度飽和空気とを互いに混
合させることによって湿度を発生するものであって,そ
れら両空気の混合割合を変えることによって、発生する
湿度の大きさを調節できるようになっている装置である
。
は、試料のまわりを密閉する試料ケースと、その試料ケ
ース内へ送り込むための湿度を持った空気を発生する湿
度発生手段とを有しており,その湿度発生手段は,分流
式湿度発生装置によって構成されている。この分流式湿
度発生装置とは、乾燥空気と湿度飽和空気とを互いに混
合させることによって湿度を発生するものであって,そ
れら両空気の混合割合を変えることによって、発生する
湿度の大きさを調節できるようになっている装置である
。
Jff求項2の湿度制御装置は、試料ケースと湿度発生
手段との連結状態を限定したものである。湿度発生手段
は、誠料ケースに直接取り付けることもできるが、蹟求
項2の装置では,可撓性を備えた長い管を介して両者を
互いに接続している。
手段との連結状態を限定したものである。湿度発生手段
は、誠料ケースに直接取り付けることもできるが、蹟求
項2の装置では,可撓性を備えた長い管を介して両者を
互いに接続している。
Jt1求項3の湿度制御装置は、試料ケースに限定を加
えたものである。 試料ケースは、本質的には、X線装
置に装着した試料を密閉できるものであれば、その構成
は特別のものに限定されることはないが. In求項
3の装置では、その試料ケースを特に2重4iI造のケ
ースによって構成してある。
えたものである。 試料ケースは、本質的には、X線装
置に装着した試料を密閉できるものであれば、その構成
は特別のものに限定されることはないが. In求項
3の装置では、その試料ケースを特に2重4iI造のケ
ースによって構成してある。
!+’t求項4の湿度制御装置は、試料ケースについて
改変を加えたものである。具体的には、試料ケースを−
E下の2つの部分に分けて、その上部を取付けおよび取
り外し可能にしたものである。
改変を加えたものである。具体的には、試料ケースを−
E下の2つの部分に分けて、その上部を取付けおよび取
り外し可能にしたものである。
請求項5の湿度制御装置は、試料ケースとしてl:記の
2貫構造のケースを用いた場合における,湿度保有空気
の流し方を特定したものである。この装置では、湿度発
生手段から送られた空気は、まず、内側ケースへ入り、
その後、外側ケースを経由して外部へ排出される。
2貫構造のケースを用いた場合における,湿度保有空気
の流し方を特定したものである。この装置では、湿度発
生手段から送られた空気は、まず、内側ケースへ入り、
その後、外側ケースを経由して外部へ排出される。
請求項6の湿度制御装置は、空気輸送管を用いている請
求項2の装置に,さらに改変を加えたものである。この
装置では、その空気供給管のまわりにヒータを設け、試
料ケースの中に湿度検出手段を設け、そして湿度検出手
段によって検出された湿度に基づいてヒータの発熱量を
制御するようにしている。
求項2の装置に,さらに改変を加えたものである。この
装置では、その空気供給管のまわりにヒータを設け、試
料ケースの中に湿度検出手段を設け、そして湿度検出手
段によって検出された湿度に基づいてヒータの発熱量を
制御するようにしている。
[作用]
請求項1の湿度制御装置において、湿度発生手段(17
)で発生した、所望の湿度を持った空気(湿度保有空気
)は、試料ケース(7)内に送り込まれる。これによっ
て,試料ケース内の試料(5)が所望の湿度下に置かれ
る。この状態で、X線装置、例えばX線回折装置による
測定が行われる。
)で発生した、所望の湿度を持った空気(湿度保有空気
)は、試料ケース(7)内に送り込まれる。これによっ
て,試料ケース内の試料(5)が所望の湿度下に置かれ
る。この状態で、X線装置、例えばX線回折装置による
測定が行われる。
湿度発生手段は、分流式湿度発生liI造を有している
ので、湿度の設定の変更を精密に行うことができ,しか
も設定された渇度を正確に一定に保持することができる
。
ので、湿度の設定の変更を精密に行うことができ,しか
も設定された渇度を正確に一定に保持することができる
。
Jff求項2の装置において,湿度発生手段(17)で
発生した湿度保有空気は、空気輸送管(25)を通って
試料ケース(7)へ送り込まれる。この空気輸送管を設
けたことにより、湿度発生手段を試料ケースから離れた
別の場所に設置することができる。
発生した湿度保有空気は、空気輸送管(25)を通って
試料ケース(7)へ送り込まれる。この空気輸送管を設
けたことにより、湿度発生手段を試料ケースから離れた
別の場所に設置することができる。
Jl?求Xf13の装置において,試料(5)は、内側
ケース(8)によって囲まれた試料室の中に納められる
。この試料室は,さらに外側ケース(9)によって包囲
されるので、試料室の保温性が良くなる。
ケース(8)によって囲まれた試料室の中に納められる
。この試料室は,さらに外側ケース(9)によって包囲
されるので、試料室の保温性が良くなる。
請求項4の装置において、試料の取り付けおよび取り外
し、あるいはその他の保守作業時において、試料ケース
のL部が開放される。
し、あるいはその他の保守作業時において、試料ケース
のL部が開放される。
請求項5の装置において,湿度保有空気は、2重ケース
の内部をまんべんなく流れた後に外部へ放出される。
の内部をまんべんなく流れた後に外部へ放出される。
請求項6の装置において、試料ケースへ送り込まれる空
気がヒータ(19)によって湿度調節され、これにより
、試料ケースの内部の湿度が一定に保持される。
気がヒータ(19)によって湿度調節され、これにより
、試料ケースの内部の湿度が一定に保持される。
[実施例]
第1図は、本発明に係る湿度制御装置が装着されたX線
装置の一例であるX線回折装置を示している。このX線
回折装置は、ゴニオメータlおよびその左側に設けられ
たX線発生装置2を有している。ゴニオメータ1の上に
は、試料ホルダ3および検出器ホルダ4が設けられてい
る。試料ホルダ3の上には試料5が取り付けられ、そし
て検出器ホルダ4の右端にはX&1−強度検出器6が取
り付けられている。試料ホルダ3は,軸線ωのまわりを
O回転し、そのとき同時に検出器ホルダ4は、同じく軸
線ωのまわりを20(0の2倍)回転する。
装置の一例であるX線回折装置を示している。このX線
回折装置は、ゴニオメータlおよびその左側に設けられ
たX線発生装置2を有している。ゴニオメータ1の上に
は、試料ホルダ3および検出器ホルダ4が設けられてい
る。試料ホルダ3の上には試料5が取り付けられ、そし
て検出器ホルダ4の右端にはX&1−強度検出器6が取
り付けられている。試料ホルダ3は,軸線ωのまわりを
O回転し、そのとき同時に検出器ホルダ4は、同じく軸
線ωのまわりを20(0の2倍)回転する。
X線発生装置2から放出されたX線は試料5で回折し、
その回折X線がX線検出器6によって受け取られてその
強度が測定される。この測定中、試料5は試料ホルダ3
と共にθ回耘し、X線検出86は検出器ホルダ4と共に
20回転する。これにより,縦軸にX線強度をとり,横
軸に試料回転角度(通常は20)をとった、周知のX線
回折図形が得られる。
その回折X線がX線検出器6によって受け取られてその
強度が測定される。この測定中、試料5は試料ホルダ3
と共にθ回耘し、X線検出86は検出器ホルダ4と共に
20回転する。これにより,縦軸にX線強度をとり,横
軸に試料回転角度(通常は20)をとった、周知のX線
回折図形が得られる。
本実施例では、上記のようなX線回折を行うにあたって
、試料5の雰囲気湿度を適宜に変更できるようになって
いる。以下、そのための構成について説明する。
、試料5の雰囲気湿度を適宜に変更できるようになって
いる。以下、そのための構成について説明する。
第1図において、試料ホルダ3および試料5は試料ケー
ス7に取り囲まれている。第2図に示すように,試料ケ
ース7は、試料5を取り囲む内側ケース8と,その内側
ケース8を取り囲む外側ケース9とを有している。両ケ
ース8および9は、ケース底部において一体になってお
り、ケース底部は0リング10を介して試料ホルダ3に
はめ込まれている。0リング10により、内側ケース8
の内部,すなわち試料5のまわりの試料室が密閉されて
いる。
ス7に取り囲まれている。第2図に示すように,試料ケ
ース7は、試料5を取り囲む内側ケース8と,その内側
ケース8を取り囲む外側ケース9とを有している。両ケ
ース8および9は、ケース底部において一体になってお
り、ケース底部は0リング10を介して試料ホルダ3に
はめ込まれている。0リング10により、内側ケース8
の内部,すなわち試料5のまわりの試料室が密閉されて
いる。
内側ケース8および外側ケース9には、第3図に示すよ
うに,X線入射用窓11および12並びにX線出射用窓
13およびl4が設けられている.これらの各意は,例
えばポリエステルフィルムによって形成されている。
うに,X線入射用窓11および12並びにX線出射用窓
13およびl4が設けられている.これらの各意は,例
えばポリエステルフィルムによって形成されている。
第2図に示すように、内側ケース8には吸気ノズル15
が取り付けられており、外側ケース9には排気ノズル1
6が取り付けられている。
が取り付けられており、外側ケース9には排気ノズル1
6が取り付けられている。
第4図は,相対湿度を発生すると共に、その湿度値を制
御するための装置の一例を示している。
御するための装置の一例を示している。
この装置は、湿度発生手段17と,制御装i18と、モ
してヒータ【9とを有している。
してヒータ【9とを有している。
湿度発生手段17は、いわゆる分流式の湿度発生構造を
有している。すなわち、供給された乾燥空気(湿度O%
)は、2本の管路20aおよび20bに分流される。一
方の管路20aには、流雀計21および飽和槽22が配
置されており,他方の管路20bには流量計23だけが
配置されている。飽和槽22は、送られてきた空気を湿
度飽和状態(Il度100%)にして次工程へ送り出す
働きをする。
有している。すなわち、供給された乾燥空気(湿度O%
)は、2本の管路20aおよび20bに分流される。一
方の管路20aには、流雀計21および飽和槽22が配
置されており,他方の管路20bには流量計23だけが
配置されている。飽和槽22は、送られてきた空気を湿
度飽和状態(Il度100%)にして次工程へ送り出す
働きをする。
管路20aによって送られる湿度飽和空気と,管路20
bによって送られる乾燥空気は,共に空気混合部24へ
送り込まれ、該部において互いに混合される。これによ
り、混合割合に応じた湿度を持った空気が発生する。発
生される湿度の大きさ、すなわち乾燥空気(0%)と湿
度飽和空気(100%)との混合割合は、各管路20a
,2Ob内を流れる空気の量を流量計21.23によっ
て調節することにより、希望する値に設定することがで
きる。
bによって送られる乾燥空気は,共に空気混合部24へ
送り込まれ、該部において互いに混合される。これによ
り、混合割合に応じた湿度を持った空気が発生する。発
生される湿度の大きさ、すなわち乾燥空気(0%)と湿
度飽和空気(100%)との混合割合は、各管路20a
,2Ob内を流れる空気の量を流量計21.23によっ
て調節することにより、希望する値に設定することがで
きる。
空気混合部24を経由して希望する湿度を有するに至っ
た空気(湿度保有空気)は、湿度発生手段l7と試料ケ
ース7の吸気ノズルl5とを連結する空気輸送管25に
よって、吸気ノズル15へ供給される。
た空気(湿度保有空気)は、湿度発生手段l7と試料ケ
ース7の吸気ノズルl5とを連結する空気輸送管25に
よって、吸気ノズル15へ供給される。
吸気ノズル15に達した空気は、第2図において,内側
ケース8の内部,すなわち試料5のまわりへ送り込まれ
る。内側ケース8内へ送り込まれた空気は、その後、内
側ケース8の上部に予め設けられている穴26を介して
、外側ケース9と内側ケース8との間の空間へ送り出さ
れ,さらに排気ノズル16を介して外部へ排出される。
ケース8の内部,すなわち試料5のまわりへ送り込まれ
る。内側ケース8内へ送り込まれた空気は、その後、内
側ケース8の上部に予め設けられている穴26を介して
、外側ケース9と内側ケース8との間の空間へ送り出さ
れ,さらに排気ノズル16を介して外部へ排出される。
こうして、X線回折測定中、試料5のまわりを所望の湿
度下に置くことができる。
度下に置くことができる。
測定中、内側ケース8の内部は、常に一定の湿度に保持
される必要がある。そのため本実施例では、内側ケース
8の内部に湿度センサ27が配置されている。この湿度
センサ27は、内側ケース8内の湿度を検知してその検
知結果を湿度信号として第4図の制御装置18へ送る。
される必要がある。そのため本実施例では、内側ケース
8の内部に湿度センサ27が配置されている。この湿度
センサ27は、内側ケース8内の湿度を検知してその検
知結果を湿度信号として第4図の制御装置18へ送る。
制御装置18はその湿度信号に基づいて、空気輸送管2
5の近くに配置されたヒータ19をオン・オフ制御ある
いはそのヒータへの給電量馴御をする。このように試料
ケース7へ供給される空気の湿度を調節することにより
,内側ケース8内の湿度を一定に保持している。
5の近くに配置されたヒータ19をオン・オフ制御ある
いはそのヒータへの給電量馴御をする。このように試料
ケース7へ供給される空気の湿度を調節することにより
,内側ケース8内の湿度を一定に保持している。
本実施例では、上記のように湿度を一定イ1αに保持す
るという湿度制御以外に,内側ケース8内の相対湿度値
それ自体を、O%,20%.・・・・・・80%のよう
に段階的に設定変更できるようになっている.このよう
な湿度変更を行うときには、第4図において,測定者が
キーボードなどの操作部28を介して制御装置18へ希
望の相対湿度イ11′[を指;1;する。制御装置18
は、それに応じて流量計21あるいは流量計23を制御
して,そこを流れる空気量を調節する。これにより,空
気混合部24における乾燥空気と湿度飽和空気との混合
割合が変わって,発生される湿度の大きさを所望の値に
変更することができる。
るという湿度制御以外に,内側ケース8内の相対湿度値
それ自体を、O%,20%.・・・・・・80%のよう
に段階的に設定変更できるようになっている.このよう
な湿度変更を行うときには、第4図において,測定者が
キーボードなどの操作部28を介して制御装置18へ希
望の相対湿度イ11′[を指;1;する。制御装置18
は、それに応じて流量計21あるいは流量計23を制御
して,そこを流れる空気量を調節する。これにより,空
気混合部24における乾燥空気と湿度飽和空気との混合
割合が変わって,発生される湿度の大きさを所望の値に
変更することができる。
以I−のように,本実施例によれば,試料5のまわりの
相対湿度を希望する値に変化させ,しかもその変化させ
た相対湿度を一定に保持した状態でX線回折測定を行う
ことができる。その結果、第5図に示すように、試料5
のまわりの相対湿度をO%、20%,・・・・・・80
%のように変化させた場合のX&1回折図形をイ;Iる
ことができる。これらの回折図形において,曲線aは曲
線bを拡大して示したものである。
相対湿度を希望する値に変化させ,しかもその変化させ
た相対湿度を一定に保持した状態でX線回折測定を行う
ことができる。その結果、第5図に示すように、試料5
のまわりの相対湿度をO%、20%,・・・・・・80
%のように変化させた場合のX&1回折図形をイ;Iる
ことができる。これらの回折図形において,曲線aは曲
線bを拡大して示したものである。
今、試料5としてスメクタイトと呼ばれる粘土鉱物を適
用した場合を考える。この場合には、第5図に示した各
相対湿度におけるX線回折図形に基づいて,粘土鉱物を
それらの各相対湿度に近いたときのその粘土鉱物の底面
間隔が算出できる。
用した場合を考える。この場合には、第5図に示した各
相対湿度におけるX線回折図形に基づいて,粘土鉱物を
それらの各相対湿度に近いたときのその粘土鉱物の底面
間隔が算出できる。
この算出方法自体は、既によく知られている技術である
ので、詳しい説明は省略する。このように、異なる相対
湿度下における粘土鉱物の底面間隔が求められると,そ
れに基づいて、その粘土鉱物を構成している元素に関す
る種々の情報を推測することが可能となる。例えば、粘
土鉱物を構成している層間イオンが何であるかとが、そ
の層間イオンの違いによって水分子層の形成の仕方がど
のように異なるかなどが判定できる。
ので、詳しい説明は省略する。このように、異なる相対
湿度下における粘土鉱物の底面間隔が求められると,そ
れに基づいて、その粘土鉱物を構成している元素に関す
る種々の情報を推測することが可能となる。例えば、粘
土鉱物を構成している層間イオンが何であるかとが、そ
の層間イオンの違いによって水分子層の形成の仕方がど
のように異なるかなどが判定できる。
なお、第2図において、内側ケース8および外側ケース
9の上部8aおよび9aは、それぞれ、ねじによって取
り付けおよび取り外しができるようになっている。これ
は、試料5の装着、保守などを容易にするためである。
9の上部8aおよび9aは、それぞれ、ねじによって取
り付けおよび取り外しができるようになっている。これ
は、試料5の装着、保守などを容易にするためである。
以上、一つの実施例をあげて本発明を説明したが,本発
明はその実施例に限定されない。
明はその実施例に限定されない。
例えば、上記実施例では、試料ケース7として内側ケー
ス8と外側ケース9とからなる2重構造のケースを用い
たが,試料5のまわりが密閉できるflt造のものであ
れば,虫なる1重のケースあるいはそれ以外の任意の構
造のケースを用いることができる。但し、2重構造のケ
ースを用いることにしておけば、試料室内、すなわち内
側ケース8の内部の保温性を高めることができる。
ス8と外側ケース9とからなる2重構造のケースを用い
たが,試料5のまわりが密閉できるflt造のものであ
れば,虫なる1重のケースあるいはそれ以外の任意の構
造のケースを用いることができる。但し、2重構造のケ
ースを用いることにしておけば、試料室内、すなわち内
側ケース8の内部の保温性を高めることができる。
本実施例では.湿度発生手段17と試料ケース7とを空
気輸送管25を介して互いに接続しているが、この空気
輸送管25を使わずに、両者を直接に接続することも可
能である。
気輸送管25を介して互いに接続しているが、この空気
輸送管25を使わずに、両者を直接に接続することも可
能である。
[発明の効果]
本発明によれば、分流式の湿度発生手段を用いて試料の
雰囲gAili!度を変化させるようにしたので,湿度
値の変更を精度良く行うことが可能となり、しかも変更
後の湿度値を正確に一定値に保持することが可能となっ
た。その結果、相対湿度をパラメータとするX線回折測
定を極めて正確に行うことができるようになった。
雰囲gAili!度を変化させるようにしたので,湿度
値の変更を精度良く行うことが可能となり、しかも変更
後の湿度値を正確に一定値に保持することが可能となっ
た。その結果、相対湿度をパラメータとするX線回折測
定を極めて正確に行うことができるようになった。
J17求項2の発明によれば、X線装置に関わりなく湿
度発生手段の形状、構造などを自由に設定できる。
度発生手段の形状、構造などを自由に設定できる。
請求項3の発明によれば、外側ケースと内側ケースとの
間に空間が形成され、これにより、内側ケースの内部、
すなわち試料のまわりを一定湿度に保持する能力、いわ
ゆる保温性を高めることができた。
間に空間が形成され、これにより、内側ケースの内部、
すなわち試料のまわりを一定湿度に保持する能力、いわ
ゆる保温性を高めることができた。
請求項4の発明によれば,試料ケース内の試料の取付け
および取外し、あるいはその他の保守作業が楽に行える
ようになった。
および取外し、あるいはその他の保守作業が楽に行える
ようになった。
請求項5の発明によれば、2重構造の試料ケースを用い
た場合における内側ケース内の保温性、すなわち試料室
内の保温性をよりーWII高めることができた。
た場合における内側ケース内の保温性、すなわち試料室
内の保温性をよりーWII高めることができた。
lh求項6の発明によれば,試料ケース内の湿度を極め
て正確に一定{+ilに保持することができる。
て正確に一定{+ilに保持することができる。
第1図は本発明に係る湿度制御装置を用いたX線回折装
置の一例を示す側面図,第2図は第1図の■一■線に従
った所面図,第3図は第2図の■−■線に従った平面所
面図、第4図は第1図の装置に用いられる湿度利御のた
めの手段の一例を示す図式図、第5図は第1図の装置を
用いて行った測定の結果を示すX線回折図形を示すグラ
フである。 5・・・試料 7・・・試料ケース 8・・・内側ケース 9・・・外側ケース 17・・・湿度発生手段 25・・・空気輸送管 8a,9a・・・ケース上部 19・・・ヒータ 27・・・湿度センサ 18・・・制御装置 第1 図 1 第2 図 xa x*i 第5図 2 10 20 30 40 2θ(@)
置の一例を示す側面図,第2図は第1図の■一■線に従
った所面図,第3図は第2図の■−■線に従った平面所
面図、第4図は第1図の装置に用いられる湿度利御のた
めの手段の一例を示す図式図、第5図は第1図の装置を
用いて行った測定の結果を示すX線回折図形を示すグラ
フである。 5・・・試料 7・・・試料ケース 8・・・内側ケース 9・・・外側ケース 17・・・湿度発生手段 25・・・空気輸送管 8a,9a・・・ケース上部 19・・・ヒータ 27・・・湿度センサ 18・・・制御装置 第1 図 1 第2 図 xa x*i 第5図 2 10 20 30 40 2θ(@)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)X線装置に装着された試料のまわりの湿度を調節
するための湿度制御装置であつて、 試料のまわりを密閉する試料ケースと、その試料ケース
内へ送り込むための湿度保有空気を発生する湿度発生手
段とを有しており、 その湿度発生手段は、乾燥空気と湿度飽和空気とを混合
することにより、上記湿度保有空気の湿度の大きさを調
節する分流式湿度発生装置であることを特徴とする湿度
制御装置。(2)請求項1記載の湿度制御装置であつて
、上記試料ケースと上記湿度発生手段とは、可撓性を備
えた空気輸送管によつて連通されていることを特徴とす
る湿度制御装置。 (3)請求項1記載の湿度制御装置であつて、上記試料
ケースは、試料を密閉する内側ケースと、その内側ケー
スを密閉する外側ケースとを有する2重ケースであるこ
とを特徴とする湿度制御装置。 (4)請求項1または3記載の湿度制御装置であって、
試料ケースの上部が着脱可能になつていることを特徴と
する湿度制御装置。 (5)請求項3記載の湿度制御装置であつて、上記湿度
発生手段から送り込まれた湿度保有空気は、まず内側ケ
ース内へ入り、その後、外側ケースと内側ケースとの間
の空間を経由して外部へ排出されることを特徴とする湿
度制御装置。 (6)請求項2記載の湿度制御装置であつて、上記空気
輸送管のまわりに設けられたヒータと、 上記試料ケース内に配置された湿度検出手段と、 湿度検出手段によつて検出された湿度に基づいて上記ヒ
ータの発熱量を制御する制御手段とを有することを特徴
とする湿度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012738A JP2859910B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | X線装置のための湿度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012738A JP2859910B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | X線装置のための湿度制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218448A true JPH03218448A (ja) | 1991-09-26 |
| JP2859910B2 JP2859910B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=11813774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012738A Expired - Lifetime JP2859910B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | X線装置のための湿度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2859910B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03289549A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Agency Of Ind Science & Technol | 相対湿度制御装置およびその制御方法 |
| US7400705B2 (en) * | 2002-06-19 | 2008-07-15 | Rigaku Corporation | Method of evaluating ion-exchange film, method of evaluating organic sample and X-ray measuring apparatus |
| US8164352B2 (en) | 2006-02-07 | 2012-04-24 | Pioneer Corporation | Capacitance detecting apparatus |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP2012738A patent/JP2859910B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03289549A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Agency Of Ind Science & Technol | 相対湿度制御装置およびその制御方法 |
| US7400705B2 (en) * | 2002-06-19 | 2008-07-15 | Rigaku Corporation | Method of evaluating ion-exchange film, method of evaluating organic sample and X-ray measuring apparatus |
| US8164352B2 (en) | 2006-02-07 | 2012-04-24 | Pioneer Corporation | Capacitance detecting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2859910B2 (ja) | 1999-02-24 |
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